CN114405037A - 光刻胶废液回收装置 - Google Patents

Abstract

一种光刻胶废液回收装置，包括：精馏塔、再沸器和一级回收组件，精馏塔通过第一回流管和第二回流管与再沸器连通，精馏塔底的重物料经第一回流管输送至再沸器再沸后产生回流料，回流料经第二回流管输送至精馏塔；再沸器还产生第一物料，一级回收组件连通再沸器，用于接收再沸器排出的第一物料；一级回收组件包括第一管道、第二管道和第一换热器，第一管道连通再沸器和第一换热器并将第一物料运送至第一换热器，第二管道连通第一换热器并运送第二物料至第一换热器，第一物料和第二物料通过第一换热器进行热交换。本发明能够解决光刻胶废液在回收过程中产生的热能浪费的问题。

Description

光刻胶废液回收装置

技术领域

本发明涉及废料回收技术领域，尤其涉及一种光刻胶废液回收装置。

背景技术

光刻胶被应用于半导体、液晶显示器、有机及无机显示器的制造中，其工艺是将光刻胶涂在待刻蚀的半导体基板表面，然后通过照相复印的方法，选择性地刻蚀半导体基板，以此形成微电路，再通过剥离液将光刻胶去除，而这个过程就会产生大量的光刻胶废液。

现有光刻胶废液的回收方式是利用使用高温水蒸气汽化光刻胶废液，再通过精馏塔除去汽化后光刻胶废液中的重组分物料，以此形成可再利用的轻组分剥离液。而在精馏塔精制的过程中，还需使用再沸器对精馏过程中产生的重组分物料反复汽化，以此使得回收率达到最大化。

但是在回收光刻胶废液的过程中还会持续排放高温废料，此高温废料为100℃左右的汽水混合物或重组分废料，其内部还具有较多的热能未曾释放便被排放，造成了热能浪费的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种光刻胶废液回收装置，能够解决光刻胶废液在回收过程中产生的热能浪费的问题。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

一种光刻胶废液回收装置，包括：精馏塔、再沸器和一级回收组件，所述精馏塔通过第一回流管和第二回流管与所述再沸器连通，所述精馏塔底的重物料经所述第一回流管输送至所述再沸器再沸后产生回流料，所述回流料经所述第二回流管输送至所述精馏塔；所述再沸器还产生第一物料，所述一级回收组件连通所述再沸器，用于接收所述再沸器排出的所述第一物料；所述一级回收组件包括第一管道、第二管道和第一换热器，所述第一管道连通所述再沸器和所述第一换热器并将所述第一物料运送至所述第一换热器，所述第二管道连通所述第一换热器并运送第二物料至所述第一换热器，所述第一物料和所述第二物料通过所述第一换热器进行热交换。

一种实施方式中，所述第一物料为汽水混合物，所述再沸器连通有水蒸气管道，水蒸气经所述水蒸气管道输送至所述再沸器并放热后形成所述汽水混合物。

一种实施方式中，所述再沸器再沸所述重物料后还产生废料，所述废料位于所述再沸器的底部，且所述第一管道连通所述再沸器的底部，即所述第一物料为所述废料。

一种实施方式中，所述第二物料为光刻胶废液，所述第一换热器和所述精馏塔之间还设置有进料管道，所述光刻胶废液通过所述第一换热器进行热交换后经所述进料管道输送至所述精馏塔。

一种实施方式中，所述第二物料为低温水，所述第一换热器还设有与外部连通出水管道，所述低温水通过所述第一换热器进行热交换后经所述出水管道输送至外部。

一种实施方式中，所述第一管道和所述再沸器之间设有第一汽水分离器，所述第一汽水分离器分离所述汽水混合物形成第一蒸气，所述第一蒸气通过所述第一管道输送至所述第一换热器。

一种实施方式中，所述一级回收组件还包括第二汽水分离器，所述第二汽水分离器连通所述第一管道和所述第一换热器，所述第一蒸气通过所述第一换热器与所述第二物料进行热交换后形成第二蒸气，所述第二蒸气自所述第一换热器流出后通过所述第二汽水分离器回流至所述第一管道与所述第一蒸气混合。

一种实施方式中，所述光刻胶废液回收装置还包括二级回收组件，所述第一汽水分离器分离所述汽水混合物还形成第一冷凝水，所述第一蒸气通过所述第一换热器与所述第二物料进行热交换后还形成第二冷凝水，所述二级回收组件连通所述第一汽水分离器和所述第二汽水分离器，所述第一汽水分离器和所述第二汽水分离器分离所述第一冷凝水和所述第二冷凝水并输送至所述二级回收组件形成第三冷凝水，所述二级回收组件用于将所述第三冷凝水进行热交换。

一种实施方式中，所述光刻胶废液回收装置还包括蒸发器，所述蒸发器和所述第一汽水分离器通过第三管道连通，所述蒸发器排出的汽水混合物通过所述第三管道输送至所述第一汽水分离器。

一种实施方式中，所述光刻胶废液回收装置还包括控制器，所述第一换热器内设置有温度传感器，所述温度传感器检测所述第一换热器内的温度并发送至所述控制器，所述控制器根据所述温度控制所述第一管道和/或第二管道的导通或关闭。

本发明通过在再沸器上连通一级回收组件，用于回收由再沸器所产生的第一物料；且一级回收组件包括第一管道、第二管道和第一换热器，第一物料中可以通过第一管道输送至第一换热器中，与第二管道输送的第二物料进行热交换，以此，进一步回收了第一物料中的热能，达到了节能减排的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图2是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图3是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图4是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图5是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图6是一种实施例的光刻胶废液回收装置的结构示意图；

图7是一种实施例的第一换热器的结构示意图；

图8是一种实施例的第一换热器的结构示意图；

图9是一种实施例的第一换热器的结构示意图。

附图标记说明：

1-蒸发器，2-精馏塔，3-再沸器，4-冷凝器；

5-一级回收组件，51-第一管道，52-第二管道，53-第一换热器，531-换热管道，532-第一储液罐，533-搅拌器，534-第一换热主管，535-第一换热副管，536-第一换热仓，537-第二换热仓；

6-二级回收组件，61-第二进液管，62-第二换热器，63-冷凝管道；

7-控制器，71-温度传感器，72-控制阀；

101-第一进液管，102-第一出气管，103-第一回流管，104-第二回流管，105-进料管道，106-出水管道，107-第一汽水分离器，108-第二出气管，109-第二汽水分离器，110-第三管道。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本发明实施例提供一种光刻胶废液回收装置，请参考图1，光刻胶废液来自于光刻工艺中除去光刻胶后所产生的剥离液或蚀刻液的废弃液。光刻胶废液回收装置包括：蒸发器1、精馏塔2、再沸器3、冷凝器4和一级回收组件5。蒸发器1通过第一进液管101连通精馏塔2，光刻胶废液进入蒸发器1后经蒸发器1内的高温水蒸气汽化，并经第一进液管101输送至精馏塔2。进入精馏塔2的光刻胶废液蒸汽会在精馏塔2底形成重物料，在精馏塔2顶形成轻物料。精馏塔2顶部通过第一出气管102连通冷凝器4，轻物料经第一出气管102输送至冷凝器4后被冷却形成可再次使用的合格品剥离液或蚀刻液。

请参考图1，精馏塔2通过第一回流管103道和第二回流管104道与再沸器3连通，精馏塔2底的重物料经第一回流管103线输送至再沸器3再沸后产生回流料，回流料经第二回流管104线输送至精馏塔2；再沸器3还产生第一物料，一级回收组件5连通再沸器3，用于接收再沸器3排出的第一物料；一级回收组件5包括第一管道51、第二管道52和第一换热器53，第一管道51连通再沸器3和第一换热器53并将第一物料运送至第一换热器53，第二管道52连通第一换热器53并运送第二物料至第一换热器53，第一物料和第二物料通过第一换热器53进行热交换。

具体地，请参考图1和图7，第一换热器53包括换热管道531和第一储液罐532。换热管道531自第一储液罐532的上部伸入第一储液罐532，并在第一储液罐532内延伸至其下部伸出。换热管道531的伸入端与第一管道51连通，使得第一管道51内的第一物料可以通过换热管道531流经至第一储液罐532的内部。第二管道52与第一储液罐532的内部连通，第二物料经第二管道52输送至第一储液罐532内，并可贮存在第一储液罐532内。并且，第一物料的温度应该高于第二物料的温度。以此，第一物料可以经换热管道531与第一储液罐532内的第二物料进行热交换，并且，延伸的换热管道531可以使得第一物料与第二物料具有更大的热交换几率，增加热交换效率。将第二物料贮存在第一储液罐532的方式，也可以使得第二物料可以与流经的第一物料进行长时间的热交换，进一步增加热交换的效率。

进一步地，换热管道531的表面还可以设置有凸出与管壁的散热鳍片(图中未展示)，散热鳍片的作用可以增大换热管道531的散热面积，以此增加换热管道531的热交换效率。或者，还可以在换热管道531表面涂敷有散热涂层，进一步增强换热管道531的热交换效率。换热管道531的材质可以是金属，包括但不限于铜、铍铜、不锈钢或铝合金等，具体不做限制。第一储液罐532可以由保温材料制成，以减少第一储液罐532内的热量散发至外部。

换热管道531的延伸方式可以为螺旋延伸，且换热管道531可以从上部或下部伸入第一储液罐532，即在第一储液罐532内换热管道531自上向下或自下向上螺旋延伸。在其他实施例中，换热管道531的延伸方式可以为折叠延伸，且换热管道531可以从上部和/或下部伸入第一储液罐532；例如，在第一储液罐532内先换热管道531自上向下折叠延伸，后自下而上折叠延伸，并从上端伸出第一储液罐532。

在其他实施例中，请参考图1和图7，第一储液罐532的内部还可以设置搅拌器533，其用于搅拌第二物料，以此使得第二物料可以与换热管道531充分接触，增加热交换效率。

在其他实施例中，请参考图1和图8，第一换热器53还可以设置为第一换热主管534和第一换热副管535。第一换热主管534连通第一管道51，第一换热副管535连通第二管道52。第一换热主管534和第一换热副管535可以为紧贴且并列螺旋延伸的方式，第一物料和第二物料可以通过第一换热主管534和第一换热副管535进行热交换。并且，第一换热主管534和第一换热副管535的材质可以是金属，包括但不限于铜、铍铜、不锈钢或铝合金等，具体不做限制。进一步地，在第一换热主管534和第一换热副管535的外周可以包裹有隔热材料，以此使得第一物料的热量可以通过第一换热主管534最大程度的传递至第一换热副管535。

在其他实施例中，请参考图1和图9，第一换热器53还可以设置为第一换热仓536和第二换热仓537，第一换热仓536和第二换热仓537之间通过换热板相分隔，第一管道51连通第一换热仓536，第二管道52连通第二换热仓537，第一物料和第二物料可以通过换热板进行热交换。以此，可以节约第一换热器53的制造成本，并第一换热仓536内的第一物料具备更大的放热体积，放热量增加。

本发明通过在再沸器3上连通一级回收组件5，用于回收由再沸器3所产生的第一物料；且一级回收组件5包括第一管道51、第二管道52和第一换热器53，第一物料中可以通过第一管道51输送至第一换热器53中，与第二管道52输送的第二物料进行热交换，以此，进一步回收了第一物料中的热能，达到了节能减排的目的。

一种实施例中，请参考图1，第一物料为汽水混合物，再沸器3连通有水蒸气管道，水蒸气经水蒸气管道输送至再沸器3并放热后形成汽水混合物。具体地，精馏塔2底的重物料经第一回流管103线输送至再沸器3后，输送至再沸器3的水蒸气可以对重物料进行再沸，以此可以使重物料中所含有的部分轻物料再沸后形成回流料；而回流料经第二回流管104线输送至精馏塔2，可以在精馏塔2中进一步分离后产生合格品。而在使用水蒸气再沸的过程中，大部分水蒸气的热量不会被完全释放至再沸器3中，使得水蒸气形成由水蒸气和冷凝水组成的汽水混合物。在现有的光刻胶废液的回收装置中，汽水混合物都被直接输送至冷凝水管道中，其内部所包含的大部分热量被浪费。

通过设置第一管道51并将汽水混合物输送至第一换热器53的方式，可以将汽水混合物中所剩余的热量传输至第二物料中，进一步实现汽水混合物的二次利用。

一种实施例中，请参考图3，再沸器3再沸重物料后还产生废料，废料位于再沸器3的底部，且第一管道51连通再沸器3的底部，即第一物料为废料。具体地，再沸器3中不可通过再沸形成回流料的重物料会形成废料，即重物料中无法通过再沸回至精馏塔2中的物料被称为废料。废料在再沸器3中也会吸收来自水蒸气的热量，而在现有的光刻胶废液的回收装置中，废料都被直接输送至废料罐中贮存待后续处理，在输送的过程中废料中的热量经由管道散发至外部环境中，其也造成了热量的浪费。

通过设置第一管道51并将废料输送至第一换热器53的方式，可以将废料中所剩余的热量传输至第二物料中，进一步实现废料的二次利用。

一种实施例中，请参考图2，第二物料为光刻胶废液，第一换热器53和精馏塔2之间还设置有进料管道105，光刻胶废液通过第一换热器53进行热交换后经进料管道105输送至精馏塔2。具体地，第一换热器53和蒸发器1通过进料管道105连通，光刻胶废液通过第二管道52输送至第一换热器53内，然后经由第一换热器53与第一物料进行热交换，以使得光刻胶废液可以在汽化前得到提前预热。光刻胶废液可以吸收来自第一物料中的热量后其温度升高，以此减少在汽化过程中所需要吸收的热量。

预热后的光刻胶废液再经由进料管道105输送至蒸发器1，并在蒸发器1中汽化后由第一进液管101输送至精馏塔2中。通过将光刻胶废液作为第二物料与第一物料进行热交换，可以在汽化光刻胶废液前对其进行预热工作，以使得第一物料所释放的热量被光刻胶废液吸收，第一物料的热量能在光刻胶废液回收装置中循环，极大地减少热能的浪费。

一种实施例中，请参考图1和图4，第二物料为低温水，第一换热器53还设有与外部连通出水管道106，低温水通过第一换热器53进行热交换后经出水管道106输送至外部。具体地，低温水可以为自来水或水箱存水，可以理解的，低温水应该为可利用的洁净水，且低温水的温度应该低于第一物料的温度，以使得低温水可以与第一物料进行热交换。进一步地，低温水通过第二管道52输送至第一换热器53后与第一物料进行热交换，且可以通过出水管道106输送至外部。

通过将低温水作为第二物料与第一物料进行热交换，可以利用第一物料释放的热量加热部分生活或工业用水，被加热的低温水可以通过出水管道106引流至外部，用于生产单位或生活单位的用水，可以减少电热水器或燃气热水的使用，达到了节能减排的效果。

一种实施例中，请参考图5和图6，第一管道51和再沸器3之间设有第一汽水分离器107，第一汽水分离器107分离汽水混合物形成第一蒸气，第一蒸气通过第一管道51输送至第一换热器53。具体地，第一汽水分离器107可以通过第二出气管108与再沸器3连通，且第一管道51还连通第一汽水分离器107和第一换热器53。汽水混合物中包括水蒸气和冷凝水，第一汽水分离器107可以分离此水蒸气和冷凝水并将形成的第一蒸气通过第一管道51输送至第一换热器53。

进一步地，汽水混合物中所包括的水蒸气应该为温度高于100℃的气体和温度不高于100℃的冷凝水，通过设置第一汽水分离器107，将高于100℃的第一蒸气分出可以最大化的利用第一蒸气中的热量。

一种实施例中，请参考图5和图6，一级回收组件5还包括第二汽水分离器109，第二汽水分离器109连通第一管道51和第一换热器53，第一蒸气通过第一换热器53与第二物料进行热交换后形成第二蒸气，第二蒸气自第一换热器53流出后通过第二汽水分离器109回流至第一管道51与第一蒸气混合。具体地，第一蒸气在持续与第二物料换热的过程中释放热量可以形成第二蒸气和冷凝水，或者第一蒸气中至少部分未参与热交换的过程而形成第二蒸气，且可以理解的，第二蒸气的温度应该不高于第一蒸气的温度，而高于100℃。如若将此第二蒸气与冷凝水同一排放，也会造成回收热量回收不充分的问题。通过设置第二汽水分离器109，可以将第二蒸气分离并输送至第一管道51中，以此使得第二蒸气可以通过第一换热器53再一次进行热交换的过程，使得第二蒸气中的热量充分释放，避免了热量的浪费。

一种实施例中，请参考图5和图6，光刻胶废液回收装置还包括二级回收组件6，第一汽水分离器107分离汽水混合物还形成第一冷凝水，第一蒸气通过第一换热器53与第二物料进行热交换后还形成第二冷凝水，二级回收组件6连通第一汽水分离器107和第二汽水分离器109，第一汽水分离器107和第二汽水分离器109分离第一冷凝水和第二冷凝水并输送至二级回收组件6形成第三冷凝水，二级回收组件6用于将第三冷凝水进行热交换。

具体地，二级回收组件6包括第二换热器62和第二进液管61，第二换热器62通过第二进液管61连通第一汽水分离器107和第二汽水分离器109。第一冷凝水和第二冷凝水可以在第二进液管61内或第二换热器62内混合形成第三冷凝水。可以理解的，第三冷凝水为第一冷凝水和第二冷凝水的混合液体，其温度应该不高于第一冷凝水或第二冷凝水，即温度不高于100℃。

进一步地，第二换热器62的组成结构可以与第一换热器53的组成结构相同或不同。可以理解的，第一换热器53和第二换热器62可以由前文涉及的第一换热器53结构中的任一种或两种组合而成。

在其他实施例中，第二换热器62还可以仅包括第二储液罐，第二进液管61输送冷凝水至第二储液罐，其第三冷凝水贮存在第二储液罐中。并且第二储液罐再通过外部管道将第三冷凝水输送至外部，可以将第三冷凝水输送至除本光刻胶废液回收装置之外的设备上进行热交换过程。

通过，设置二级回收组件6，可以将第三冷凝水进行热交换的处理，以此利用第三冷凝水中的热量，避免了第三冷凝水中的热量排放至外部环境中而造成热能浪费。

一种实施例中，请参考图5和图6，蒸发器1和第一汽水分离器107通过第三管道110连通，蒸发器1排出的汽水混合物通过第三管道110输送至第一汽水分离器107。

具体地，蒸发器1用于汽化所需回收的光刻胶废液，所以蒸发器1中也需要通入大量的水蒸气，而经过蒸发器1利用后的水蒸气可以通过第三管道110输送至第一汽水分离器107中经由一级回收组件进行热能的回收。

一种实施例中，请参考图5和图6，二级回收组件6通过冷凝管道63连通外部储水箱，二级回收组件6将第三冷凝水热交换后通过冷凝管道63输送至外部储水箱。

具体地，由于二级回收组件6中所产生的冷凝水，其内部杂质含量较低，还可回收并用于工业生产中，所以外部储水箱可以放置于阴凉或低温环境中，对储存在其内部的冷凝水进行再冷却。外部储水箱可以通过管道连通至冷凝器4或清洁装置中(图中未展示)，待储水箱中的冷凝水温度达到可使用的温度后，将冷凝水输送至冷凝器4或清洁装置中进行再利用。

进一步地，由于轻物料经第一出气管102输送至冷凝器4后需要在冷凝器4中被冷却后，再形成可再次使用的合格品剥离液或蚀刻液。所以冷凝器4中还需输送温度低于轻物料的冷凝水，以使得轻物料可以释放热量并液化。或者，光刻胶废液回收的过程中与需要用到大量的纯净水用于清洁。在现在常用的光刻胶废液回收装置中，冷凝水和纯净水均由外部管道输送，需要使用的大量的外部冷凝水和纯净水，其成本较高；由外部储水箱冷却后的冷凝水既可以作为冷凝器4的冷凝水，也可以作为清洁用的纯净水，以此能够达到节约生产成本的目的。

一种实施例中，请参考图2，光刻胶废液回收装置还包括控制器7，第一换热器53内设置有温度传感器71，温度传感器71检测第一换热器53内的温度并发送至控制器7，控制器7根据温度控制第一管道51和/或第二管道52的导通或关闭。

具体地，温度传感器71用于监测第一物料和/或第二物料的温度，第一管道51和/或第二管道52上还可以设置有控制阀72，且控制阀72均与控制器7电连接，控制器7可以为电脑、手机、单片机等在内的智能设备。用户可以通过控制器7设定一预设温度，具体可以但不限为30-100℃中任一温度值。温度传感器71可以将第一换热器53内的第二物料的实时温度传输至控制器7上，当实时温度达到或超过预设温度时，控制器7可以控制控制阀72导通或关闭，以此第一物料和/或第二物料流入第一换热器53。

在其他实施例中，在第二汽水分离器109和第一换热器53之间、进料管道105、出水管道106上均可以设置有与控制器7电连接的控制阀72。以此，使得控制器7可以控制第一物料和/或第二物料流出第二换热器62。

在其他实施例中，第二换热器62内也可以设置一温度传感器71，且连通第二换热器62的管道均可设置控制阀72，且温度传感器71和控制阀72均与控制器7电连接。

在其他实施例中，外部储水箱内也可以设置一温度传感器(图中未展示)，用于监测储水箱内的温度，以此便于用户判断储水箱内的水温，若温度达到30℃以下时，可作为冷凝器4的冷凝水使用；若温度未达到30℃以下时，可作为清洁纯净水使用。

一种实施例中，第一物料可以同时为汽水混合物和废料。具体地，输送汽水混合物和废料的第一管道51可以为两条并列且不相连通的管道，且两条第一管道51可分别连通两个第一换热器53，即汽水混合物和废料单独作用于第一换热器53；当然，也可以使用两条第一管道51连通同一第一换热器53，即汽水混合物和废料共同作用于第一换热器53。通过此方式，可以实现将汽水混合物和废料中的热量同时回收，以达到热量回收的最大化。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种光刻胶废液回收装置，其特征在于，包括：精馏塔、再沸器和一级回收组件，所述精馏塔通过第一回流管和第二回流管与所述再沸器连通，所述精馏塔底的重物料经所述第一回流管输送至所述再沸器再沸后产生回流料，所述回流料经所述第二回流管输送至所述精馏塔；所述再沸器还产生第一物料，所述一级回收组件连通所述再沸器，用于接收所述再沸器排出的所述第一物料；

所述一级回收组件包括第一管道、第二管道和第一换热器，所述第一管道连通所述再沸器和所述第一换热器并将所述第一物料运送至所述第一换热器，所述第二管道连通所述第一换热器并运送第二物料至所述第一换热器，所述第一物料和所述第二物料通过所述第一换热器进行热交换。

2.根据权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述第一物料为汽水混合物，所述再沸器连通有水蒸气管道，水蒸气经所述水蒸气管道输送至所述再沸器并放热后形成所述汽水混合物。

3.根据权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述再沸器再沸所述重物料后还产生废料，所述废料位于所述再沸器的底部，且所述第一管道连通所述再沸器的底部，即所述第一物料为所述废料。

4.根据权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述第二物料为光刻胶废液，所述第一换热器和所述精馏塔之间还设置有进料管道，所述光刻胶废液通过所述第一换热器进行热交换后经所述进料管道输送至所述精馏塔。

5.根据权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述第二物料为低温水，所述第一换热器还设有与外部连通出水管道，所述低温水通过所述第一换热器进行热交换后经所述出水管道输送至外部。

6.根据权利要求2所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述第一管道和所述再沸器之间设有第一汽水分离器，所述第一汽水分离器分离所述汽水混合物形成第一蒸气，所述第一蒸气通过所述第一管道输送至所述第一换热器。

7.根据权利要求6所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述一级回收组件还包括第二汽水分离器，所述第二汽水分离器连通所述第一管道和所述第一换热器，所述第一蒸气通过所述第一换热器与所述第二物料进行热交换后形成第二蒸气，所述第二蒸气自所述第一换热器流出后通过所述第二汽水分离器回流至所述第一管道与所述第一蒸气混合。

8.根据权利要求7所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述光刻胶废液回收装置还包括二级回收组件，所述第一汽水分离器分离所述汽水混合物还形成第一冷凝水，所述第一蒸气通过所述第一换热器与所述第二物料进行热交换后还形成第二冷凝水，所述二级回收组件连通所述第一汽水分离器和所述第二汽水分离器，所述第一汽水分离器和所述第二汽水分离器分离所述第一冷凝水和所述第二冷凝水并输送至所述二级回收组件形成第三冷凝水，所述二级回收组件用于将所述第三冷凝水进行热交换。

9.根据权利要求8所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述光刻胶废液回收装置还包括蒸发器，所述蒸发器和所述第一汽水分离器通过第三管道连通，所述蒸发器排出的汽水混合物通过所述第三管道输送至所述第一汽水分离器。

10.根据权利要求1所述的光刻胶废液回收装置，其特征在于，所述光刻胶废液回收装置还包括控制器，所述第一换热器内设置有温度传感器，所述温度传感器检测所述第一换热器内的温度并发送至所述控制器，所述控制器根据所述温度控制所述第一管道和/或第二管道的导通或关闭。

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