CN114391309A - 旋转式安装头及部件安装机 - Google Patents

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CN114391309A
CN114391309A CN201980100283.8A CN201980100283A CN114391309A CN 114391309 A CN114391309 A CN 114391309A CN 201980100283 A CN201980100283 A CN 201980100283A CN 114391309 A CN114391309 A CN 114391309A
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gears
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Abstract

多个吸嘴轴(43)分别具备的多个被驱动齿轮(432b)沿着驱动齿轮(44)的周缘配置,并与驱动齿轮(44)啮合。因此,通过使驱动齿轮(44)旋转,能够使多个轴旋转。而且,由于通过作为剪式齿轮的驱动齿轮(44)与多个被驱动齿轮(432b)各自的啮合来将驱动齿轮(44)的旋转向吸嘴轴(43)传递,所以能够抑制驱动齿轮(44)与被驱动齿轮(432b)之间的齿隙,并且无需在多个吸嘴轴(43)的每一个具备无齿隙齿轮,能够抑制安装头(4)的成本。

Description

旋转式安装头及部件安装机
技术领域
本发明涉及使用旋转式安装头来向基板安装部件的技术,该旋转式安装头利用安装于圆周状地排列的多个轴的每一个的吸嘴来吸附部件。
背景技术
以往,已知有利用安装于圆周状地排列的多个轴各自的下端的吸嘴来吸附部件的旋转式安装头。在该旋转式安装头中,具备使各轴绕着其中心轴旋转的机构。例如,在专利文献1中,配置于多个轴的内侧的驱动齿轮与设置于各轴的被驱动齿轮啮合,伴随于驱动齿轮的旋转而各轴旋转。尤其是,在专利文献1中,为了抑制齿轮的齿隙给轴的旋转位置带来的影响,在多个轴的每一个安装有无齿隙齿轮作为被驱动齿轮。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-135151号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而,在旋转式安装头所具备的多个轴的每一个设置无齿隙齿轮的结构中,需要安装与轴的个数一样个数的无齿隙齿轮。因而,存在旋转式安装头的成本变高这一问题。
本发明鉴于上述课题而完成,其目的在于能够抑制齿轮的齿隙并以低成本构成通过驱动多个轴各自的被驱动齿轮来使多个轴旋转的旋转式安装头的技术的提供。
用于解决课题的手段
本发明的旋转式安装头具备:剪式齿轮;及多个轴,分别具有与剪式齿轮啮合的被驱动齿轮,沿着剪式齿轮的周缘排列。
在这样构成的本发明(旋转式安装头)中,多个轴分别具备的多个被驱动齿轮沿着剪式齿轮的周缘配置,并与剪式齿轮啮合。因此,通过使剪式齿轮旋转,能够使多个轴旋转。而且,由于通过剪式齿轮与多个被驱动齿轮各自的啮合来将剪式齿轮的旋转向轴传递,所以能够抑制齿轮的齿隙,并且无需在多个轴的每一个具备无齿隙齿轮,能够抑制旋转式安装头的成本。这样,能够抑制齿轮的齿隙并以低成本构成通过驱动多个轴各自的被驱动齿轮而使多个轴旋转的旋转式安装头。
另外,也可以将旋转式安装头构成为,还具备将多个轴各自的被驱动齿轮向剪式齿轮按压的按压机构。通过这样将多个轴分别具备的多个被驱动齿轮向剪式齿轮按压,能够使多个被驱动齿轮的每一个和剪式齿轮牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制齿轮的齿隙,并使多个轴旋转。
另外,也可以将旋转式安装头构成为,按压机构通过利用磁力将轴向剪式齿轮侧吸引而将多个轴各自的被驱动齿轮向剪式齿轮按压。在该结构中,能够使多个被驱动齿轮的每一个和剪式齿轮通过磁力牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制齿轮的齿隙,并使多个轴旋转。
另外,也可以将旋转式安装头构成为,按压机构具有安装于剪式齿轮的磁铁,通过磁铁产生的磁力而使轴和剪式齿轮互相吸引。在该结构中,通过利用安装于剪式齿轮的磁铁产生的磁力来使多个轴的每一个和剪式齿轮互相吸引,能够使多个被驱动齿轮的每一个和剪式齿轮牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制齿轮的齿隙,并使多个轴旋转。
另外,也可以将旋转式安装头构成为,按压机构具有包围多个轴的环状的弹性构件,弹性构件以比自然长度伸长的状态从外侧与多个轴接触,通过弹性构件产生的弹性力,多个轴各自的被驱动齿轮被向剪式齿轮按压。在该结构中,通过从外侧与多个轴接触的环状的弹性构件所产生的弹性力,能够使多个轴分别具备的多个被驱动齿轮和剪式齿轮牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制齿轮的齿隙,并使多个轴的每一个旋转。
另外,也可以将旋转式安装头构成为,还具备包围多个轴各自的被驱动齿轮的环状的带齿带,带齿带从外侧与多个轴各自的被驱动齿轮啮合。在该结构中,通过从外侧与多个被驱动齿轮啮合的带齿带,能够使多个被驱动齿轮的旋转精确地联动,能够抑制齿轮的齿隙,并使多个轴的每一个旋转。
本发明的部件安装机具备上述的旋转式安装头和供给部件的部件供给部,旋转式安装头将由部件供给部供给的部件向基板安装。因此,能够抑制齿轮的齿隙并以低成本构成。
发明效果
根据本发明,能够抑制齿轮的齿隙并以低成本构成通过驱动多个轴各自的被驱动齿轮而使多个轴旋转的旋转式安装头。
附图说明
图1是示意性地示出本发明的部件安装机的局部俯视图。
图2是示出第一实施方式的安装头的立体图。
图3是示出图2的安装头的主视图。
图4是示出图2的安装头的剖视图。
图5是示意性地示出第二实施方式的安装头的俯视图。
图6是示出第三实施方式的安装头的立体图。
图7是示出图6的安装头的主视图。
图8是示出第四实施方式的安装头的立体图。
图9是示出图8的安装头的主视图。
图10是图8的安装头的局部放大图。
具体实施方式
图1是示意性地示出本发明的部件安装机的局部俯视图。在该图及以下的图中,适当示出互相正交的X方向、Y方向及Z方向。在此,X方向及Y方向是水平方向,Z方向是铅垂方向。如图1所示,部件安装机1具备设置于基台11上的一对输送机12、12。并且,部件安装机1对利用输送机12从X方向(基板运送方向)的上游侧运入到安装处理位置(图1的基板B的位置)的基板B安装部件,并将完成了部件安装的基板B利用输送机12从安装处理位置向X方向的下游侧运出。
在部件安装机1中,设置有在Y方向上延伸的一对Y轴轨道21、21、在Y方向上延伸的Y轴滚珠丝杠22及对Y轴滚珠丝杠22进行旋转驱动的Y轴电动机My,在X方向上延伸的X轴轨道23以被一对Y轴轨道21、21支承为能够在Y方向上移动的状态被固定于Y轴滚珠丝杠22的螺母。在X轴轨道23安装有在X方向上延伸的X轴滚珠丝杠24和对X轴滚珠丝杠24进行旋转驱动的X轴电动机Mx,头单元3以被X轴轨道23支承为能够在X方向上移动的状态被固定于X轴滚珠丝杠24的螺母。因此,能够利用Y轴电动机My使Y轴滚珠丝杠22旋转而使头单元3在Y方向上移动,或者利用X轴电动机Mx使X轴滚珠丝杠24旋转而使头单元3在X方向上移动。
在一对输送机12、12的Y方向的两侧分别有2个部件供给部28在X方向上排列。对于各部件供给部28,多个带式供料器281在X方向上排列且以能够装卸的方式装配,在各带式供料器281配置有卷盘,该卷盘卷绕有将集成电路、晶体管、电容器等小片状的部件E(芯片电子部件)每隔规定间隔收纳的带。并且,带式供料器281通过将带向头单元3侧间歇性地送出而向头单元3侧的前端的部件供给位置供给部件E。
头单元3具有在X方向上直线状地排列的多个(4根)安装头4。各安装头4利用安装于下端的吸嘴N(图2)来进行部件E的吸附、安装。也就是说,安装头4向带式供料器281的上方移动,吸附由带式供料器281供给的部件E。具体而言,安装头4使吸嘴N下降至与部件E抵接后一边在吸嘴N内产生负压一边使吸嘴N上升,从而吸附部件E。接着,安装头4移动到安装处理位置的基板B的上方而向基板B安装部件E。具体而言,安装头4使吸嘴N下降至部件E与基板B抵接后在吸嘴N内产生大气压或正压,从而安装部件。
图2是示出第一实施方式的安装头的立体图,图3是示出图2的安装头的主视图,图4是示出图2的安装头的剖视图。如图2~图4所示,安装头4是将18个吸嘴N以圆周状排列的旋转式安装头。接着,一边并用图2~图4一边对安装头4的结构进行说明。需要说明的是,4根安装头4的结构共通,因此,在此对1根安装头4进行说明。
另外,以下,为了说明对象物的旋转,适当使用“公转”及“自转”这些表述。在此,“公转”表示对象物以不通过该对象物的旋转轴为中心进行旋转的动作,“自转”表示对象物以通过该对象物的旋转轴为中心进行旋转的动作。
安装头4具有与Z方向平行地延伸的主杆41和支承于主杆41的下端的轴保持器42。轴保持器42以能够在以通过主杆41的中心的与Z方向平行的公转轴Ca(假想轴)为中心的公转方向Da上旋转的方式被支承,轴保持器42接受公转电动机(未图示)的驱动力而以公转轴Ca为中心进行旋转。该轴保持器42具有空开相等角度θi(20度)而排列成以公转轴Ca为中心的圆周状的18个轴插入孔421。轴插入孔421在Z方向上贯通,吸嘴轴43以插入于轴插入孔421的状态由轴保持器42支承。这样,由轴保持器42支承的18根吸嘴轴43空开相等角度θi(20度)而排列成以公转轴Ca为中心的圆周状。因此,若轴保持器42以公转轴Ca为中心进行旋转,则18根吸嘴轴43一体地以公转轴Ca为中心进行公转。需要说明的是,在图2中,仅示出了18根吸嘴轴43中的一部分(2根)吸嘴轴43。
各吸嘴轴43具有在Z方向上延伸设置的升降杆431和安装于轴保持器42的花键轴432。花键轴432以插入于轴插入孔421的状态安装于轴保持器42。在花键轴432设置有在Z方向上贯通的杆插入孔432a,升降杆431向杆插入孔432a插入。另外,吸嘴轴43具有外嵌于升降杆431的螺旋弹簧433,螺旋弹簧433相对于花键轴432而对升降杆431向上方施力。这样,升降杆431由花键轴432及螺旋弹簧433以能够升降的方式支承。该升降杆431的下端位于轴保持器42的下方,在该下端安装有吸嘴N。
吸嘴轴43以能够以与其中心线一致的自转轴Cb(假想轴)为中心进行自转的方式被轴保持器42支承。具体而言,吸嘴轴43的花键轴432能够相对于轴保持器42以自转轴Cb为中心进行自转。该花键轴432在以自转轴Cb为中心的旋转方向上束缚着升降杆431,花键轴432和升降杆431以自转轴Cb为中心一体地自转。该花键轴432在轴保持器42的上方具有以自转轴Cb为中心的被驱动齿轮432b,根据向被驱动齿轮432b施加的转矩,伴随着升降杆431而自转。
在该结构中,若向各自的被驱动齿轮432b施加转矩,则多个吸嘴轴43以各自的自转轴Cb为中心进行自转。相对于此,安装头4具有使多个吸嘴轴43驱动、旋转的驱动齿轮44。驱动齿轮44以公转轴Ca为中心,配置于轴保持器42的上方。该驱动齿轮44经由轴承45而外嵌于主杆41,若接受到自转轴电动机(未图示)的驱动力,则以公转轴Ca为中心进行旋转。相对于此,分别设置于多个吸嘴轴43的多个被驱动齿轮432b沿着驱动齿轮44的周缘而圆周状地排列,从外侧与驱动齿轮44啮合。因此,通过驱动齿轮44的旋转,多个被驱动齿轮432b被驱动,多个吸嘴轴43以各自的自转轴Cb为中心进行自转。
尤其是,驱动齿轮44是剪式齿轮。该剪式齿轮具有重叠的2片齿轮和对2片齿轮在周向上施力的弹簧,2片齿轮若接受到外力,则对抗弹簧的作用力而在周向上互相位移。因而,在抑制了驱动齿轮44与被驱动齿轮432b之间的齿隙的状态下,驱动齿轮44和被驱动齿轮432b啮合。因此,能够将驱动齿轮44的旋转向被驱动齿轮432b精确地传递而使吸嘴轴43自转。
需要说明的是,在该例子中,2个驱动齿轮44配置于不同的高度。这些驱动齿轮44互相固定,一体地旋转。并且,与2个驱动齿轮44中的上段的驱动齿轮44啮合的被驱动齿轮432b和与下段的驱动齿轮44啮合的被驱动齿轮432b交替地排列。这样,相邻的2根吸嘴轴43的被驱动齿轮432b的高度上下错开。
而且,安装头4具有配置于驱动齿轮44的上方的磁铁46。磁铁46具有以公转轴Ca为中心的圆板形状,由具有N极及S极中的一方的磁极的下方圆板461和具有N极及S极中的另一方的磁极的上方圆板462构成。也就是说,磁铁46具备具有互相不同的磁极的下方圆板461和上方圆板462,下方圆板461和上方圆板462层叠。磁铁46的下端位于比吸嘴轴43的上端靠下方处,另一方面,磁铁46的上端位于比吸嘴轴43的下端靠上方处,磁铁46和花键轴432从水平方向互相局部地对向。
相对于此,吸嘴轴43(至少升降杆431及花键轴432)包含通过磁力而被磁铁46吸引的软磁性材料(例如铁)。因此,在以包围磁铁46的方式配置的多个吸嘴轴43的每一个作用朝向磁铁46的磁力。其结果,多个被驱动齿轮432b的每一个被向驱动齿轮44按压。
在以上说明的第一实施方式的安装头4中,多个吸嘴轴43分别具备的多个被驱动齿轮432b沿着驱动齿轮44的周缘配置,与驱动齿轮44啮合。因此,通过使驱动齿轮44旋转,能够使多个轴旋转。而且,由于通过作为剪式齿轮的驱动齿轮44与多个被驱动齿轮432b各自的啮合来将驱动齿轮44的旋转向吸嘴轴43传递,所以能够抑制驱动齿轮44与被驱动齿轮432b之间的齿隙,并且无需在多个吸嘴轴43的每一个具备无齿隙齿轮(剪式齿轮),能够抑制安装头4的成本。这样,能够抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙并以低成本构成通过驱动多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b而使多个吸嘴轴43旋转的安装头4。
另外,具备将多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b向驱动齿轮44(剪式齿轮)按压的磁铁46(按压机构)。通过这样将多个被驱动齿轮432b向驱动齿轮44按压,能够使多个被驱动齿轮432b的每一个和驱动齿轮44牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙,并使多个吸嘴轴43旋转。
另外,通过利用磁铁46的磁力将吸嘴轴43向驱动齿轮44侧吸引,从而将多个被驱动齿轮432b向驱动齿轮44按压。在该结构中,能够利用磁力使多个被驱动齿轮432b的每一个和驱动齿轮44牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙,并使多个吸嘴轴43旋转。
图5是示意性地示出第二实施方式的安装头的俯视图。第一实施方式与第二实施方式的差异在于将吸嘴轴43向驱动齿轮44按压的按压机构,其他的结构在第一实施方式和第二实施方式中共通。因此,以下,以这些差异为中心进行说明,共通的结构标注相当标号而省略说明。不过,通过具备共通的结构,当然起到同样的效果。这一点对于在第二实施方式之后说明的各实施方式也是同样的。
第二实施方式的安装头4具有磁铁47来取代磁铁46。具体而言,18个磁铁47安装于驱动齿轮44的上表面。需要说明的是,磁铁47的配置部位不限于驱动齿轮44的上表面。因此,也可以将磁铁47安装于驱动齿轮44的下表面,还可以埋入于驱动齿轮44的内部。需要说明的是,磁铁47相对于上述的2个驱动齿轮44的配置共通,因此,在此不特别区分。
磁铁47的个数与安装头4所具备的全部的吸嘴轴43的个数相同,18个磁铁47空开相等角度θi(20度)而排列成以公转轴Ca为中心的圆周状。这样,磁铁47圆周状地排列于排列成圆周状的吸嘴轴43的内侧。在N极及S极中,磁铁47的内侧(公转轴Ca侧)的端部具有一方的磁极,磁铁47的外侧(公转轴Ca的相反侧)的端部具有另一方的磁极。
另外,驱动齿轮44包含软磁性材料(例如铁),通过磁铁47的磁力而磁化。相对于此,吸嘴轴43(至少被驱动齿轮432b)也包含软磁性材料(例如铁)。因此,在以包围驱动齿轮44的方式配置的多个吸嘴轴43的每一个作用朝向驱动齿轮44的磁力。其结果,多个被驱动齿轮432b的每一个被向驱动齿轮44按压。
在以上说明的第二实施方式中,安装头4也具有剪式齿轮作为驱动齿轮44。因此,能够抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙并以低成本构成通过驱动多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b而使多个吸嘴轴43旋转的安装头4。
另外,在第二实施方式中,在驱动齿轮44安装有磁铁47。因此,通过安装于驱动齿轮44的磁铁47所产生的磁力,能够使多个吸嘴轴43(被驱动齿轮432b)的每一个和驱动齿轮44互相吸引,使多个被驱动齿轮432b的每一个和驱动齿轮44牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙,并使多个吸嘴轴43旋转。
图6是示出第三实施方式的安装头的立体图,图7是示出图6的安装头的主视图。在第三实施方式中,与第一实施方式不同,安装头4不具备磁铁46,在吸嘴轴43不作用朝向驱动齿轮44的磁力。另一方面,第三实施方式的安装头4具有环状的弹性环48。
弹性环48例如是硅橡胶或金属制的弹簧圈等,具有弹性。即,弹性环48产生与从自然长度伸长的长度对应的弹性力。在安装头4中,该弹性环48以从自然长度伸长的状态外嵌于多个吸嘴轴43,从外侧(公转轴Ca的相反侧)与各吸嘴轴43接触。具体而言,弹性环48与18根花键轴432接触,将朝向公转轴Ca的弹性力对各花键轴432施加。
需要说明的是,在该例子中,弹性环48在比被驱动齿轮432b靠上方处与花键轴432接触。但是,弹性环48与花键轴432接触的位置不限于此,也可以是比被驱动齿轮432b靠下方处。进一步说,也可以以在花键轴432以外的位置与吸嘴轴43接触的方式配置弹性环48。
在以上说明的第三实施方式中,安装头4也具有剪式齿轮作为驱动齿轮44。因此,能够抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙并以低成本构成通过驱动多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b而使多个吸嘴轴43旋转的安装头4。
另外,在第三实施方式中,设置有包围多个吸嘴轴43的环状的弹性环48(弹性构件),弹性环48以比自然长度伸长的状态从外侧与多个吸嘴轴43接触。其结果,通过弹性环48所产生的弹性力,多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b被向驱动齿轮44按压。在该结构中,通过弹性环48所产生的弹性力,能够使多个吸嘴轴43分别具备的多个被驱动齿轮432b和驱动齿轮44牢固地啮合。其结果,能够可靠地抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙,并使多个吸嘴轴43的每一个旋转。
图8是示出第四实施方式的安装头的立体图,图9是示出图8的安装头的主视图,图10是图8的安装头的局部放大图。在第四实施方式中,与第一实施方式不同,安装头4不具备磁铁46,在吸嘴轴43不作用朝向驱动齿轮44的磁力。另一方面,第四实施方式的安装头4具有环状的带齿带49。并且,带齿带49外嵌于18个被驱动齿轮432b,从外侧与各被驱动齿轮432b啮合。
在以上说明的第四实施方式中,安装头4也具有剪式齿轮作为驱动齿轮44。因此,能够抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙并以低成本构成通过驱动多个吸嘴轴43各自的被驱动齿轮432b而使多个吸嘴轴43旋转的安装头4。
另外,在第四实施方式中,具备包围多个被驱动齿轮432b的环状的带齿带49,带齿带49从外侧与多个被驱动齿轮432b啮合。在该结构中,通过该带齿带49,能够使多个被驱动齿轮432b的旋转精确地联动,能够抑制被驱动齿轮432b与驱动齿轮44之间的齿隙,并使多个吸嘴轴43的每一个旋转。
如以上说明的那样,在本实施方式中,部件安装机1相当于本发明的“部件安装机”的一例,部件供给部28相当于本发明的“部件供给部”的一例,安装头4相当于本发明的“旋转式安装头”的一例,吸嘴轴43相当于本发明的“轴”的一例,安装头4所具备的18根吸嘴轴43中的一半的9根吸嘴轴43相当于本发明的“多个轴”,被驱动齿轮432b相当于本发明的“被驱动齿轮”的一例,驱动齿轮44相当于本发明的“剪式齿轮”的一例,磁铁46相当于本发明的“按压机构”及“磁铁”的一例,磁铁47相当于本发明的“按压机构”及“磁铁”的一例,弹性环48相当于本发明的“弹性构件”的一例,带齿带49相当于本发明的“带齿带”的一例。
需要说明的是,本发明不限定于上述实施方式,只要不脱离其主旨,就能够对上述的实施方式施加各种变更。例如,也可以将上述的第一~第四实施方式适当组合。例如,在第一实施方式的安装头4中,也可以设置磁铁46及磁铁47双方,还可以追加弹性环48。另外,也可以对第一实施方式、第二实施方式或第三实施方式的安装头4设置带齿带49。
另外,在第一实施方式中,也可以适当变更磁铁46的朝向、配置,在第二实施方式中,也可以适当变更磁铁47的个数、排列。
另外,能够变更驱动齿轮44的配置部位,变更吸嘴轴43的根数,变更安装头4的各种结构。
另外,安装头4不需要必须具有第一~第三实施方式中的将被驱动齿轮432b向驱动齿轮44按压的按压机构(磁铁46、磁铁47及弹性环48),不需要必须具有第四实施方式中的带齿带49。
另外,驱动齿轮44的个数不限于2个,也可以是1个。在具备单个驱动齿轮44的情况下,以使安装头4的全部(18根)吸嘴轴43的被驱动齿轮432b从外侧与单个驱动齿轮44相接且与其啮合的方式变更上述的各实施方式即可。
标号说明
1…部件安装机;
28…部件供给部;
4…安装头(旋转式安装头);
43…吸嘴轴(轴);
432b…被驱动齿轮;
44…驱动齿轮(剪式齿轮);
46…磁铁(按压机构);
47…磁铁(按压机构);
48…弹性环(弹性构件);
49…带齿带。

Claims (7)

1.一种旋转式安装头,具备:
剪式齿轮;及
多个轴,分别具有与所述剪式齿轮啮合的被驱动齿轮,沿着所述剪式齿轮的周缘排列。
2.根据权利要求1所述的旋转式安装头,
还具备将所述多个轴各自的所述被驱动齿轮向所述剪式齿轮按压的按压机构。
3.根据权利要求2所述的旋转式安装头,
所述按压机构通过利用磁力将所述轴向所述剪式齿轮侧吸引而将所述多个轴各自的所述被驱动齿轮向所述剪式齿轮按压。
4.根据权利要求3所述的旋转式安装头,
所述按压机构具有安装于所述剪式齿轮的磁铁,通过所述磁铁产生的磁力而使所述轴和所述剪式齿轮互相吸引。
5.根据权利要求2所述的旋转式安装头,
所述按压机构具有包围所述多个轴的环状的弹性构件,
所述弹性构件以比自然长度伸长的状态从外侧与所述多个轴接触,
通过所述弹性构件产生的弹性力,所述多个轴各自的所述被驱动齿轮被向所述剪式齿轮按压。
6.根据权利要求1所述的旋转式安装头,
还具备包围所述多个轴各自的所述被驱动齿轮的环状的带齿带,
所述带齿带从外侧与所述多个轴各自的所述被驱动齿轮啮合。
7.一种部件安装机,具备:
权利要求1~6中任一项所述的旋转式安装头;及
部件供给部,供给部件,
所述旋转式安装头将由所述部件供给部供给的部件向基板安装。
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