CN114310018A - 一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法，机构包括底座、调节电机、调节螺杆和调节块，调节电机固定在底座上，调节电机与调节螺杆相连接，调节块位于调节螺杆上，调节块的一侧连接有导向滑块，导向滑块上设置有第一T型槽，第一T型槽内贯穿连接有导向板，且导向滑块通过紧定螺钉与导向板限位固定。方法步骤如下：(1)部件加工；(2)焊接固定；(3)部件组装。本发明结构设计合理，实用性强，通过该微调机构实现直线方向的精准调节，使用操作方便且自动化，精确控制调节微调的距离，确保移动调节到位后的结构稳固性，有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差。

Description

一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法

技术领域

本发明涉及微调技术领域，尤其是涉及一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法。

背景技术

离子束刻蚀也称为离子铣，是指当定向高能离子向固体靶撞击时,能量从入射离子转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。通常离子束刻蚀所用的离子来自惰性气体。在离子刻蚀机的使用中，一般通过微调结构实现位置的调节，现有的微调结构的调节精度一般，容易出现误差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种离子刻蚀直线微调机构及其制造方法，结构设计合理，实用性强，通过该微调机构实现直线方向的精准调节，使用操作方便且自动化，精确控制调节微调的距离，调节电机带动调节螺杆转动，使得调节螺杆上的调节块移动实现直线调节，并且调节块移动中带动导向滑块沿着导向板同步滑移，进一步提高调节操作中的稳定性和安全性，保证调节过程中的直线性，且在调节到位后通过紧定螺钉将导向滑块限位固定在导向板，从而限制调节块的移动，确保移动调节到位后的结构稳固性，有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差；在整个制造过程中采用辅助装置对调节块、导向滑块、压板和连接板之间焊接进行辅助，实现焊接部件之间的精准定位，且确保焊接过程焊接处不会发生错位，有效提高实际的焊接精度和焊接质量，而且在焊接过程中对焊接部件的接触处配合转动调节，将每处未焊接的接触处均转动到正上方，使得焊接作业均位于正上方，从而便于实际的焊接作业，提高最终的焊接质量。

为了解决上述技术问题，采用如下技术方案：

一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：包括底座、调节电机、调节螺杆和调节块，调节电机固定在底座上，调节电机与调节螺杆相连接，调节块位于调节螺杆上，调节块的一侧连接有导向滑块，导向滑块上设置有第一T型槽，第一T型槽内贯穿连接有导向板，且导向滑块通过紧定螺钉与导向板限位固定；通过调节电机驱动调节螺杆转动，使得调节螺杆上的调节块移动，实现直线微调，并且调节块带动导向滑块同步移动，而导向滑块受到导向板的限制导向，进一步提高调节过程中的直线性和稳固性，而且在调节块调节到位后，通过紧定螺钉将导向滑块限位固定在导向板上，实现调节后的锁紧限位，有效提高整体操作安全性能，实用调节自动化，整体结构设计简单合理。

进一步，调节块的另一侧设置有嵌位卡槽，底座上设置有辅助导架，辅助导架与底座螺钉固定，辅助导架上设置有导向插块，导向插块与嵌位卡槽相匹配，导向插块滑动卡接在嵌位卡槽内，辅助导架进行辅助导向限位，通过导向插块和嵌位卡槽的配合，使得调节块沿着调节螺杆移动中，导向插块始终限位在嵌位卡槽内，限制引导调节块，确保调节块调节过程中的整体平稳性，提高整个调节过程的稳固性和可靠性。

进一步，导向滑块上连接有压板，压板活动卡接在导向框的导向滑槽内，导向框的底部设置有延伸侧板，延伸侧板与底座螺钉固定，结构设计巧妙合理，压板卡接在导向框的导向滑槽内，从而配合辅助导架、导向滑块共同限制引导调节块的移动调节，使得整个微调过程更加的稳固且安全，有效确保微调距离的精准性。

进一步，导向框的侧面设置有刻度，刻度配合压板可以便于调节块微调距离的读取校验，精确控制微调的距离，提高实际的微调精度。

进一步，导向框的两端连接设置有固定侧板，固定侧板支撑在底座的顶面上，导向板连接在两个固定侧板之间，固定侧板的设计不仅可以提高整个机构的结构稳固性，同时固定侧板也便于导向板的安装固定。

进一步，导向框的两端均设置有限位柱，固定侧板上设置有穿孔，穿孔与限位柱相匹配，限位柱通过穿孔贯穿对应的固定侧板，且限位柱延伸出固定侧板的端部设置有紧固螺母，通过紧固螺母将固定侧板与导向框限位固定，通过限位柱与穿孔的设计，实现固定侧板与导向框的初步卡接限位，并确保固定侧板支撑在底座顶面上，再通过紧固螺母将固定侧板与导向框之间进一步限位固定，有效保证固定侧板与导向框的安装牢固性，结构设计巧妙合理，拆装方便简单，便于实际的操作。

进一步，固定侧板上设置有第二T型槽，第二T型槽与导向板相匹配，导向板贯穿连接在两个固定侧板之间，且导向板的端部与固定侧板之间螺钉固定，第一T型槽和第二T型槽均与导向板对应匹配，从而实现导向板与固定侧板、导向滑块之间的安装定位，通过第二T型槽的设计实现导向板与两个固定侧板之间精准插接限位，再通过适当调节导向板的位置，使得导向板两端预留的孔与固定侧板上预留的孔对应，配合螺钉将导向板与固定侧板之间连接固定，有效确保导向板与固定侧板之间的安装牢固性和可靠性，确保整体结构强度，保证导向板对导向滑块的限位导向作用。

进一步，调节块的顶端面上设置有连接板，连接板上设置有安装孔，连接板与调节块焊接固定，有效保证整体结构牢固性，同时连接板上的安装孔的设计可以便于整个结构与其他部件之间的安装固定，安装拆卸方便简单且合理。

一种离子刻蚀直线微调机构的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)部件加工：根据设计要求加工出调节块、导向滑块、压板、连接板、底座、固定侧板、辅助导架和导向框；根据设计要求加工出各个部件；

(2)焊接固定：

a、将调节块安装到辅助装置上，辅助装置包括旋转电机、主支架和辅助支架，辅助支架包括两个支撑板和连接在两个支撑板之间的插杆，将调节块上的嵌位卡槽与辅助支架上的插杆对应，调节块插入到插杆上，同时插杆上设置有限位板，调节块插入到插杆后正好位于两个限位板之间；旋转电机与主支架连接带动主支架的旋转，而主支架与辅助支架转动连接，主支架上设置有驱动电机，通过驱动电机可以带动辅助支架转动，而同时辅助支架上的辅助导柱又可以进行辅助限位导向，在辅助导柱的顶部设置了限位螺母限位辅助支架，同时又不会影响到辅助支架的轴向转动，从而有效确保驱动电机带动辅助支架转动过程中的平稳性和可靠性，提高操作安全性；

插杆与嵌位卡槽配合实现调节块在辅助支架上的初步定位，并且插杆还设置了两个限位板，使得调节块正好限位在两个限位板之间，实现调节块的进一步定位安装，整体安装过程方便简单，无需任何尺寸的测量；

b、两个支撑板上均设置有带螺纹穿孔的限位块，限位块上螺纹旋接有固定柱，往调节块的螺纹孔方向转动固定柱，使得固定柱的端部旋入到调节块的螺纹孔内；在调节块插接限位到位后，通过转动固定柱，将其旋入到调节块上与调节螺杆对应安装的螺纹孔内，从而实现调节块在辅助支架上的进一步限位固定，有效确保调节块在辅助支架上的安装牢固性和可靠性，整体安装拆卸方便简单，而且在对调节块限位固定过程中对于调节块与导向滑块、连接板之间的接触面均裸露出，不会影响到后续导向滑块、连接板与调节块之间的定位焊接作业；

c、安装导向滑块，拧松第一限位螺钉，移动限位架，限位架包括支杆和C 型卡框，C型卡框的两端均连接有支杆，支杆与支撑板一一对应，将支杆沿着对应支撑板上的限位穿槽移动调节，使得C型卡框从导向滑块的第一T型槽的开口处滑入并移动抵触到第一T型槽的端部，再移动支杆带动C型卡框往调节块方向移动，C型卡框带动卡接限位的导向滑块同步往调节块方向移动，直至导向滑块与调节块贴附抵触，拧紧第一限位螺钉；通过限位架实现导向滑块在辅助支架上的间接安装固定，限位架上的支杆滑动连接在对应支撑板的限位穿槽内，使得C型卡框的位置可调，从而便于导向滑块与限位架之间的安装，同时又便于导向滑块与调节块之间的精准定位，由于第一T型槽形状的巧妙设计，使得C 型卡框可以从第一T型槽的开口处滑入，再移动抵触到第一T型槽的对应端部，正好将导向滑块卡接，该端部靠近导向滑块与调节块的贴附侧面,再移动支杆将导向滑块往调节块方向移动，使得导向滑块的对应侧面与调节块的对应侧面精准贴合抵触，再通过第一限位螺钉将支杆限位固定在对应支撑板上，从而确保导向滑块调节到位后的结构稳固性，确保导向滑块与调节块的精准定位，并且确保后续焊接过程中导向滑块和调节块均不会发生移位等，从而提高实际的焊接精度和焊接质量，整体结构设计巧妙合理，安装拆卸方便简单，便于操作；

d、采用焊接设备对导向滑块与调节块的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动辅助支架的转动，使得限位固定在辅助支架上的调节块与导向滑块同步转动，实现调节块与导向滑块连接位置的转动调节，使得调节块与导向滑块上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成导向滑块与调节块所有连接处的焊接作业；整体焊接过程合理且巧妙，在焊接作业中，当导向滑块与调节块正上方的一处连接处焊接完成后，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动与之连接的辅助支架的同步转动，使得限位固定在辅助支架上的导向滑块和调节块同步转动，从而将导向滑块与调节块的另一处连接处转动到正上方，使得整个焊接过程的作业面全部位于正上方，从而便于实际的焊接作业，有效提高实际的焊接效率和焊接质量；

e、导向滑块与调节块焊接好后，将压板安装到侧支架上，侧支架包括侧卡框和侧杆，侧卡框通过侧杆与辅助支架固定连接，将压板匹配卡接到侧卡框内，并沿着侧卡框往导向滑块方向移动，直至压板抵触到导向滑块，拧紧第二限位螺钉；在导向滑块与调节块焊接完成后，进行压板与导向滑块之间的焊接作业，由于导向滑块与调节块焊接连接成整体，通过插杆、固定柱和C型卡框的多重限位固定，有效保证结构稳固性，而压板则安装到侧支架的侧卡框内，沿着侧卡框上的槽往导向滑块方向移动，直至压板的对应侧面抵触贴附在导向滑块的对应侧面上，再拧紧第二限位螺钉将压板限位固定在侧卡框内，便于接下来的焊接作业，确保焊接作业过程中压板的定位稳固性和牢固性，降低焊接误差；

f、采用焊接设备对导向滑块与压板的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动辅助支架的转动，使得限位固定在辅助支架上的调节块、导向滑块和压板同步转动，实现压板与导向滑块连接位置的转动调节，使得压板与导向滑块上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成压板与导向滑块所有连接处的焊接作业；采用焊接设备进行焊接作业，并且在焊接作业中，当导向滑块与压板正上方的一处连接处焊接完成后，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动与之连接的辅助支架的同步转动，使得限位固定在辅助支架上的导向滑块和压板同步转动，从而将导向滑块与压板的另一处连接处转动到正上方，使得整个焊接过程的作业面全部位于正上方，从而便于实际的焊接作业，有效提高实际的焊接效率和焊接质量，焊接过程简单且合理，便于实际的操作；

g、压板与导向滑块焊接好后，将连接板安装到限位侧框上，限位侧框滑动连接在调节滑杆上，调节滑杆固定连接在辅助支架上，且限位侧框通过夹紧螺母限位固定在调节滑杆上，拧松夹紧螺母，沿着调节滑杆移动调节限位侧框，使得连接板上的安装孔与限位侧框上的卡接柱一一对应，卡接柱插接到安装孔内，并按压连接板使得连接板完全卡入到限位侧框内，再沿着调节滑杆将限位侧框往调节块方向移动，限位侧框带动连接板同步移动，直至连接板抵触到调节块，拧紧夹紧螺母；压板与导向滑块焊接后，使得压板、导向滑块和调节块之间焊接组成整体，从而通过插杆、固定柱、C型卡框和侧卡框的共同限位固定，有效保证整体结构稳固性，再将待焊接的连接板安装到限位侧框上，拧松夹紧螺母，使得连接板上的安装孔与限位侧框上的卡接柱一一对应卡接，并通过按压连接板，确保连接板完全卡入到限位侧框内，从而便于接下来限位侧框带动连接板同步移动与调节块之间精准定位，沿着调节滑杆移动限位侧框，确保调节过程中的平稳性和稳固性，限位侧框移动带动连接板同步位移直至连接板的对应侧面与调节块上的对应侧面精准定位贴附，再拧紧夹紧螺母将限位侧框限位固定，从而确保连接板移动到位后的稳固性和牢固性，限制连接板的移动，从而提高实际的焊接精度；

h、驱动电机启动，驱动电机带动辅助支架往远离旋转电机的方向转动90 °，接着采用焊接设备对连接板与调节块的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架转动，主支架带动辅助支架的转动，实现辅支架上的调节块与连接板同步转动，使得调节块与连接板上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成调节块与连接板所有连接处的焊接作业；通过驱动电机带动辅助支架往远离旋转电机方向转动90°，使得调节块与连接板的接触面转动到与旋转电机的轴心方向垂直，从而便于后续通过旋转电机带动调节块和连接板转动，实现调节块与连接板接触面上不同接触处的转动调节，使得每处接触处均可以转动到正上方进行焊接作业，旋转电机转动通过主支架带动辅助支架转动，实现调节块与连接板接触处的转动调节，从而便于实际的焊接作业，提高焊接效率和焊接质量，避免焊接处位于下方或侧面，不便于实际的焊接处理；

i、将固定柱完全从调节块的螺纹孔内转出，拧松夹紧螺母，将限位侧框从连接板上完全移出，再拧松第一限位螺钉和第二限位螺钉，将焊接后的连接板、调节块、导向滑块和压板的组合从辅助装置上取下；将固定柱转出，再拧松夹紧螺母，将限位侧框从连接板上完全移出，接着拧松第一限位螺钉和第二限位螺钉，为拆卸提供调节操作空间，从而便于将焊接后的调节块、连接板、导向滑块和压板的组合从辅助支架上取下，便于后续去其他部件之间的组装；

采用辅助装置配合调节块、导向滑块、压板和连接板之间的焊接作业，确保各个部件之间的精准定位，确保焊接后的精度，而且在焊接过程中对焊接部件的接触处配合转动调节，将每处未焊接的接触处均转动到正上方，使得焊接作业均位于正上方，从而便于实际的焊接作业，提高最终的焊接质量。

(3)部件组装；

a、将导向框通过螺钉与底座固定连接；通过螺钉将导向框与底座之间固定，有效确保安装牢固性，且安装拆卸方便简单；

b、在导向框的两侧安装固定侧板，固定侧板上的穿孔与导向框端部的限位柱对应，限位柱插接到穿孔内，同时固定侧板支撑放置在底座的顶面上，再在限位柱的端部选入紧固螺母并拧紧；通过穿孔和限位柱实现固定侧板与导向框之间的精准卡接限位，并确保固定侧板位于底座顶面上实现进一步的辅助定位，再通过紧固螺母限位固定，有效保证导向框与固定侧板之间的安装牢固性；

c、将调节块、连接板、导向滑块和压板的焊接组合安装到底座上，压板匹配卡接到导向框的导向槽内；通过导向框与压板的匹配卡接，实现调节块、连接板、导向滑块和压板焊接组合在底座上的初步安装定位；

d、安装导向板，导向板横向贯穿固定侧板上的第二T型槽，且导向板横向贯穿两个固定侧板过程中，导向板贯穿导向滑块上的第一T型槽，再将导向板的两端通过螺钉与固定侧板固定连接；通过第一T型槽和第二T型槽实现导向板的精准插接限位，再通过适当调整，使得导向板两端预留的孔与对应固定侧板上预留的孔对应，配合螺钉将导向板与固定侧板之间进一步安装固定，有效保证整体安装牢固性和可靠性，安装拆卸方便简单；

e、将调节螺杆连接在调节块的螺纹孔内，并贯穿调节块，再将调节螺杆的一端与调节电机连接，调节电机则通过支撑座固定在底座上，而调节螺杆的另一端则通过轴承座固定支撑在底座上；调节螺杆和调节电机选择市场上现有的产品与部件之间进行组装，将调节螺杆与调节块之间螺纹连接，并将调节螺杆的一端与调节电机的电机轴之间连接，同时调节电机本身通过支撑座固定在底座上，而调节螺杆的另一端则通过轴承座固定在底座上，保证整体结构稳固性，同时又不会阻碍调节电机带动调节螺杆的转动调节操作，设计合理，结构牢固可靠；

f、安装辅助导架，将辅助导架上的导向插块与调节块上的嵌位卡槽对应，导向插块插入到嵌位卡槽内，再通过螺钉将辅助导架与底座之间安装固定；最后安装辅助导架，通过辅助导架上的导向插块与调节块上的嵌位卡槽对应，实现卡接限位，再通过螺钉将辅助导架与底座之间进一步安装固定，安装过程清晰且合理，便于实际的组装操作。

进一步，在步骤(2)中，主支架上连接有导向盘，导向盘与驱动电机连接，而导向盘又转动限位在支撑导座的环形导槽内，当驱动电机带动主支架转动中，导向盘始终限位在支撑导座上，沿着支撑导座的环形导槽同步转动，通过导向盘配合支撑导座的设计，使得驱动电机带动整体的转动调节过程更加的平稳可靠，当驱动电机转动时带动导向盘转动，导向盘再带动与之连接的主支架的转动，而同时导向盘转动过程中始终受到支撑导座的限位导向，导向盘再环形导槽内转动调节，有效提高整个辅助装置的结构强度和结构稳固性，确保整体操作安全性能和可靠性。

由于采用上述技术方案，具有以下有益效果：

本发明结构设计合理，实用性强，通过该微调机构实现直线方向的精准调节，使用操作方便且自动化，精确控制调节微调的距离，调节电机带动调节螺杆转动，使得调节螺杆上的调节块移动实现直线调节，并且调节块移动中带动导向滑块沿着导向板同步滑移，进一步提高调节操作中的稳定性和安全性，保证调节过程中的直线性，且在调节到位后通过紧定螺钉将导向滑块限位固定在导向板，从而限制调节块的移动，确保移动调节到位后的结构稳固性，有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差；在整个制造过程中采用辅助装置对调节块、导向滑块、压板和连接板之间焊接进行辅助，实现焊接部件之间的精准定位，且确保焊接过程焊接处不会发生错位，有效提高实际的焊接精度和焊接质量，而且在焊接过程中对焊接部件的接触处配合转动调节，将每处未焊接的接触处均转动到正上方，使得焊接作业均位于正上方，从而便于实际的焊接作业，提高最终的焊接质量。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1为本发明一种离子刻蚀直线微调机构的结构示意图；

图2为图1的底部结构示意图；

图3为本发明中辅助导架与调节块的安装结构示意图；

图4为本发明中固定侧板的结构示意图；

图5为本发明中连接板、调节块、导向滑块和压板之间的安装结构示意图；

图6为本发明中导向框的结构示意图；

图7为本发明处于调节块在辅助装置上初步卡接后的状态结构示意图；

图8为本发明处于调节块在辅助装置上限位固定后的状态结构示意图；

图9为本发明处于导向滑块与调节块在辅助装置上焊接作业时的状态结构示意图；

图10为本发明处于导向滑块与压板在辅助装置上焊接作业时的状态结构示意图；

图11为本发明处于连接板在辅助装置上限位固定后的状态结构示意图；

图12为本发明处于连接板与调节块在辅助装置上焊接作业时的状态结构示意图；

图13为本发明中辅助装置的结构示意图；

图14为图13的后侧结构示意图；

图15为本发明中旋转电机与导向盘之间的安装结构示意图；

图16为本发明中限位侧框、侧支架、限位架在辅助支架上的安装结构示意图；

图17为本发明中辅助支架的结构示意图；

图18为本发明中限位侧框与辅助支架的安装结构示意图；

图19为本发明中限位架与辅助支架的安装结构示意图；

图20为本发明中驱动电机在主支架上的安装结构示意图。

图中：1-底座；2-调节电机；3-调节螺杆；4-调节块；5-导向滑块；6-第一T型槽；7-导向板；8-紧定螺钉；9-嵌位卡槽；10-辅助导架；11-导向插块； 12-压板；13-导向框；14-导向滑槽；15-延伸侧板；16-刻度；17-固定侧板； 18-限位柱；19-穿孔；20-紧固螺母；21-第二T型槽；22-连接板；23-安装孔； 24-辅助装置；25-旋转电机；26-主支架；27-辅助支架；28-支撑板；29-插杆； 30-限位板；31-限位块；32-固定柱；33-限位架；34-第一限位螺钉；35-支杆； 36-C型卡框；37-限位穿槽；38-侧支架；39-侧卡框；40-侧杆；41-第二限位螺钉；42-限位侧框；43-调节滑杆；44-夹紧螺母；45-卡接柱；46-驱动电机；47- 辅助导柱；48-限位螺母；49-导向盘；50支撑导座；51-环形导槽。

具体实施方式

如图1至图6所示，为本发明一种离子刻蚀直线微调机构，包括底座1、调节电机2、调节螺杆3和调节块4，调节电机2固定在底座1上，调节电机2与调节螺杆3相连接，调节块4位于调节螺杆3上，调节块4的一侧连接有导向滑块5，导向滑块5上设置有第一T型槽6，第一T型槽6内贯穿连接有导向板 7，且导向滑块5通过紧定螺钉8与导向板7限位固定；通过调节电机2驱动调节螺杆3转动，使得调节螺杆3上的调节块4移动，实现直线微调，并且调节块4带动导向滑块5同步移动，而导向滑块5受到导向板7的限制导向，进一步提高调节过程中的直线性和稳固性，而且在调节块4调节到位后，通过紧定螺钉8将导向滑块5限位固定在导向板7上，实现调节后的锁紧限位，有效提高整体操作安全性能，实用调节自动化，整体结构设计简单合理。

调节块4的另一侧设置有嵌位卡槽9，底座1上设置有辅助导架10，辅助导架10与底座1螺钉固定，辅助导架10上设置有导向插块11，导向插块11与嵌位卡槽9相匹配，导向插块11滑动卡接在嵌位卡槽9内，辅助导架10进行辅助导向限位，通过导向插块11和嵌位卡槽9的配合，使得调节块4沿着调节螺杆3移动中，导向插块11始终限位在嵌位卡槽9内，限制引导调节块4，确保调节块4调节过程中的整体平稳性，提高整个调节过程的稳固性和可靠性。

导向滑块5上连接有压板12，压板12活动卡接在导向框13的导向滑槽14 内，导向框13的底部设置有延伸侧板15，延伸侧板15与底座1螺钉固定，结构设计巧妙合理，压板12卡接在导向框13的导向滑槽14内，从而配合辅助导架10、导向滑块5共同限制引导调节块4的移动调节，使得整个微调过程更加的稳固且安全，有效确保微调距离的精准性。

导向框13的侧面设置有刻度16，刻度16配合压板12可以便于调节块4微调距离的读取校验，精确控制微调的距离，提高实际的微调精度。

导向框13的两端连接设置有固定侧板17，固定侧板17支撑在底座1的顶面上，导向板7连接在两个固定侧板17之间，固定侧板17的设计不仅可以提高整个机构的结构稳固性，同时固定侧板17也便于导向板7的安装固定。

导向框13的两端均设置有限位柱18，固定侧板17上设置有穿孔19，穿孔 19与限位柱18相匹配，限位柱18通过穿孔19贯穿对应的固定侧板17，且限位柱18延伸出固定侧板17的端部设置有紧固螺母20，通过紧固螺母20将固定侧板17与导向框13限位固定，通过限位柱18与穿孔19的设计，实现固定侧板17与导向框13的初步卡接限位，并确保固定侧板17支撑在底座1顶面上，再通过紧固螺母20将固定侧板17与导向框13之间进一步限位固定，有效保证固定侧板17与导向框13的安装牢固性，结构设计巧妙合理，拆装方便简单，便于实际的操作。

固定侧板17上设置有第二T型槽21，第二T型槽21与导向板7相匹配，导向板7贯穿连接在两个固定侧板17之间，且导向板7的端部与固定侧板17 之间螺钉固定，第一T型槽6和第二T型槽21均与导向板7对应匹配，从而实现导向板7与固定侧板17、导向滑块5之间的安装定位，通过第二T型槽21的设计实现导向板7与两个固定侧板17之间精准插接限位，再通过适当调节导向板7的位置，使得导向板7两端预留的孔与固定侧板17上预留的孔对应，配合螺钉将导向板7与固定侧板17之间连接固定，有效确保导向板7与固定侧板17 之间的安装牢固性和可靠性，确保整体结构强度，保证导向板7对导向滑块5 的限位导向作用。

调节块4的顶端面上设置有连接板22，连接板22上设置有安装孔23，连接板22与调节块4焊接固定，有效保证整体结构牢固性，同时连接板22上的安装孔23的设计可以便于整个结构与其他部件之间的安装固定，安装拆卸方便简单且合理。

如图7至图20所示，一种离子刻蚀直线微调机构的制造方法，包括如下步骤：

(1)部件加工：根据设计要求加工出调节块4、导向滑块5、压板12、连接板22、底座1、固定侧板17、辅助导架10和导向框13；根据设计要求加工出各个部件；

(2)焊接固定：

a、将调节块4安装到辅助装置24上，辅助装置24包括旋转电机25、主支架26和辅助支架27，辅助支架27包括两个支撑板28和连接在两个支撑板28 之间的插杆29，将调节块4上的嵌位卡槽9与辅助支架27上的插杆29对应，调节块4插入到插杆29上，同时插杆29上设置有限位板30，调节块4插入到插杆29后正好位于上下两个限位板30之间；旋转电机25与主支架26连接带动主支架26的旋转，而主支架26与辅助支架27转动连接，主支架26上设置有驱动电机46，通过驱动电机46可以带动辅助支架27转动，而同时辅助支架 27上的辅助导柱47又可以进行辅助限位导向，并在辅助导柱47的顶部设置了限位螺母48限位辅助支架27，同时又不会影响到辅助支架27的轴向转动，从而有效确保驱动电机46带动辅助支架27转动过程中的平稳性和可靠性，提高操作安全性；

插杆29与嵌位卡槽9配合实现调节块4在辅助支架27上的初步定位，并且插杆29还设置了两个限位板30，使得调节块4正好限位在两个限位板之间，实现调节块4的进一步定位安装，整体安装过程方便简单，无需任何尺寸的测量；

b、两个支撑板28上均设置有带螺纹穿孔19的限位块31，限位块31上螺纹旋接有固定柱32，往调节块4的螺纹孔方向转动固定柱32，使得固定柱32 的端部旋入到调节块4的螺纹孔内；在调节块4插接限位到位后，通过转动固定柱32，将其旋入到调节块4上与调节螺杆3对应安装的螺纹孔内，从而实现调节块4在辅助支架27上的进一步限位固定，有效确保调节块4在辅助支架27 上的安装牢固性和可靠性，整体安装拆卸方便简单，而且在对调节块4限位固定过程中对于调节块4与导向滑块5、连接板22之间的接触面均裸露出，不会影响到后续导向滑块5、连接板22与调节块4之间的定位焊接作业；

c、安装导向滑块5，拧松第一限位螺钉34，移动限位架33，限位架33包括支杆35和C型卡框36，C型卡框36的两端均连接有支杆35，支杆35与支撑板28一一对应，将支杆35沿着对应支撑板28上的限位穿槽37移动调节，使得C型卡框36从导向滑块5的第一T型槽6的开口处滑入并移动抵触到第一T 型槽6的端部，再移动支杆35带动C型卡框36往调节块4方向移动，C型卡框 36带动卡接限位的导向滑块5同步往调节块4方向移动，直至导向滑块5与调节块4贴附抵触，拧紧第一限位螺钉34；通过限位架33实现导向滑块5在辅助支架27上的间接安装固定，限位架33上的支杆35滑动连接在对应支撑板28 的限位穿槽37内，使得C型卡框36的位置可调，从而便于导向滑块5与限位架33之间的安装，同时又便于导向滑块5与调节块4之间的精准定位，由于第一T型槽6形状的巧妙设计，使得C型卡框36可以从第一T型槽6的开口处滑入，再移动抵触到第一T型槽6的对应端部，正好将导向滑块5卡接，该端部靠近导向滑块5与调节块4的贴附侧面,再移动支杆35将导向滑块5往调节块4 方向移动，使得导向滑块5的对应侧面与调节块4的对应侧面精准贴合抵触，再通过第一限位螺钉34将支杆35限位固定在对应支撑板28上，从而确保导向滑块5调节到位后的结构稳固性，确保导向滑块5与调节块4的精准定位，并且确保后续焊接过程中导向滑块5和调节块4均不会发生移位等，从而提高实际的焊接精度和焊接质量，整体结构设计巧妙合理，安装拆卸方便简单，便于操作；

d、采用焊接设备对导向滑块5与调节块4的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机25带动主支架26的转动，主支架26带动辅助支架 27的转动，使得限位固定在辅助支架27上的调节块4与导向滑块5同步转动，实现调节块4与导向滑块5连接位置的转动调节，使得调节块4与导向滑块5 上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成导向滑块5与调节块4所有连接处的焊接作业；整体焊接过程合理且巧妙，在焊接作业中，当导向滑块5与调节块4正上方的一处连接处焊接完成后，通过旋转电机25带动主支架26的转动，主支架26带动与之连接的辅助支架27的同步转动，使得限位固定在辅助支架27上的导向滑块5和调节块4同步转动，从而将导向滑块5与调节块4的另一处连接处转动到正上方，使得整个焊接过程的作业面全部位于正上方，从而便于实际的焊接作业，有效提高实际的焊接效率和焊接质量；

主支架26上连接有导向盘49，导向盘49与驱动电机46连接，而导向盘 49又转动限位在支撑导座50的环形导槽51内，当驱动电机46带动主支架26 转动中，导向盘49始终限位在支撑导座50上，沿着支撑导座50的环形导槽51 同步转动，通过导向盘49配合支撑导座50的设计，使得驱动电机46带动整体的转动调节过程更加的平稳可靠，当驱动电机46转动时带动导向盘49转动，导向盘49再带动与之连接的主支架26的转动，而同时导向盘49转动过程中始终受到支撑导座50的限位导向，导向盘49再环形导槽51内转动调节，有效提高整个辅助装置24的结构强度和结构稳固性，确保整体操作安全性能和可靠性；

e、导向滑块5与调节块4焊接好后，将压板12安装到侧支架38上，侧支架38包括侧卡框39和侧杆40，侧卡框39通过侧杆40与辅助支架27固定连接，将压板12匹配卡接到侧卡框39内，并沿着侧卡框39往导向滑块5方向移动，直至压板12抵触到导向滑块5，拧紧第二限位螺钉41；在导向滑块5与调节块 4焊接完成后，进行压板12与导向滑块5之间的焊接作业，由于导向滑块5与调节块4焊接连接成整体，通过插杆29、固定柱32和C型卡框36的多重限位固定，有效保证结构稳固性，而压板12则安装到侧支架38的侧卡框39内，沿着侧卡框39上的槽往导向滑块5方向移动，直至压板12的对应侧面抵触贴附在导向滑块5的对应侧面上，再拧紧第二限位螺钉41将压板12限位固定在侧卡框39内，便于接下来的焊接作业，确保焊接作业过程中压板12的定位稳固性和牢固性，降低焊接误差；

f、采用焊接设备对导向滑块5与压板12的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机25带动主支架26的转动，主支架26带动辅助支架 27的转动，使得限位固定在辅助支架27上的调节块4、导向滑块5和压板12 同步转动，实现压板12与导向滑块5连接位置的转动调节，使得压板12与导向滑块5上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成压板12与导向滑块5所有连接处的焊接作业；采用焊接设备进行焊接作业，并且在焊接作业中，当导向滑块5与压板12正上方的一处连接处焊接完成后，通过旋转电机25带动主支架26的转动，主支架26带动与之连接的辅助支架27的同步转动，使得限位固定在辅助支架27上的导向滑块5和压板12同步转动，从而将导向滑块5与压板12的另一处连接处转动到正上方，使得整个焊接过程的作业面全部位于正上方，从而便于实际的焊接作业，有效提高实际的焊接效率和焊接质量，焊接过程简单且合理，便于实际的操作；

主支架26上连接有导向盘49，导向盘49与驱动电机46连接，而导向盘 49又转动限位在支撑导座50的环形导槽51内，当驱动电机46带动主支架26 转动中，导向盘49始终限位在支撑导座50上，沿着支撑导座50的环形导槽51 同步转动，通过导向盘49配合支撑导座50的设计，使得驱动电机46带动整体的转动调节过程更加的平稳可靠，当驱动电机46转动时带动导向盘49转动，导向盘再带动与之连接的主支架26的转动，而同时导向盘转动过程中始终受到支撑导座50的限位导向，导向盘再环形导槽51内转动调节，有效提高整个辅助装置24的结构强度和结构稳固性，确保整体操作安全性能和可靠性；

g、压板12与导向滑块5焊接好后，将连接板22安装到限位侧框42上，限位侧框42滑动连接在调节滑杆43上，调节滑杆43固定连接在辅助支架27 上，且限位侧框42通过夹紧螺母44限位固定在调节滑杆43上，拧松夹紧螺母 44，沿着调节滑杆43移动调节限位侧框42，使得连接板22上的安装孔23与限位侧框42上的卡接柱45一一对应，卡接柱45插接到安装孔23内，并按压连接板22使得连接板22完全卡入到限位侧框42内，再沿着调节滑杆43将限位侧框42往调节块4方向移动，限位侧框42带动连接板22同步移动，直至连接板22抵触到调节块4，拧紧夹紧螺母44；压板12与导向滑块5焊接后，使得压板12、导向滑块5和调节块4之间焊接组成整体，从而通过插杆29、固定柱 32、C型卡框36和侧卡框39的共同限位固定，有效保证整体结构稳固性，再将待焊接的连接板22安装到限位侧框42上，拧松夹紧螺母44，使得连接板22上的安装孔23与限位侧框42上的卡接柱45一一对应卡接，并通过按压连接板22，确保连接板22完全卡入到限位侧框42内，从而便于接下来限位侧框42带动连接板22同步移动与调节块4之间精准定位，沿着调节滑杆43移动限位侧框42，确保调节过程中的平稳性和稳固性，限位侧框42移动带动连接板22同步位移直至连接板22的对应侧面与调节块4上的对应侧面精准定位贴附，再拧紧夹紧螺母44将限位侧框42限位固定，从而确保连接板22移动到位后的稳固性和牢固性，限制连接板22的移动，从而提高实际的焊接精度；

h、驱动电机46启动，驱动电机46带动辅助支架27往远离旋转电机25的方向转动90°，接着采用焊接设备对连接板22与调节块4的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机25带动主支架26转动，主支架26带动辅助支架27的转动，实现辅支架27上的调节块4与连接板22同步转动，使得调节块4与连接板22上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成调节块4与连接板22所有连接处的焊接作业；通过驱动电机46带动辅助支架27往远离旋转电机25方向转动90°，使得调节块4与连接板22的接触面转动到与旋转电机25的轴心方向垂直，从而便于后续通过旋转电机25带动调节块4和连接板22转动，实现调节块4与连接板22接触面上不同接触处的转动调节，使得每处接触处均可以转动到正上方进行焊接作业，旋转电机25转动通过主支架26带动辅助支架27转动，实现调节块4与连接板22接触处的转动调节，从而便于实际的焊接作业，提高焊接效率和焊接质量，避免焊接处位于下方或侧面，不便于实际的焊接处理；

主支架26上连接有导向盘49，导向盘49与驱动电机46连接，而导向盘 49又转动限位在支撑导座50的环形导槽51内，当驱动电机46带动主支架26 转动中，导向盘49始终限位在支撑导座50上，沿着支撑导座50的环形导槽51 同步转动，通过导向盘49配合支撑导座50的设计，使得驱动电机46带动整体的转动调节过程更加的平稳可靠，当驱动电机46转动时带动导向盘49转动，导向盘再带动与之连接的主支架26的转动，而同时导向盘转动过程中始终受到支撑导座50的限位导向，导向盘再环形导槽51内转动调节，有效提高整个辅助装置24的结构强度和结构稳固性，确保整体操作安全性能和可靠性；

i、将固定柱32完全从调节块4的螺纹孔内转出，拧松夹紧螺母44，将限位侧框42从连接板22上完全移出，再拧松第一限位螺钉34和第二限位螺钉41，将焊接后的连接板22、调节块4、导向滑块5和压板12的组合从辅助装置24 上取下；将固定柱32转出，再拧松夹紧螺母44，将限位侧框42从连接板22上完全移出，接着拧松第一限位螺钉34和第二限位螺钉41，为拆卸提供调节操作空间，从而便于将焊接后的调节块4、连接板22、导向滑块5和压板12的组合从辅助支架27上取下，便于后续去其他部件之间的组装；

采用辅助装置24配合调节块4、导向滑块5、压板12和连接板22之间的焊接作业，确保各个部件之间的精准定位，确保焊接后的精度，而且在焊接过程中对焊接部件的接触处配合转动调节，将每处未焊接的接触处均转动到正上方，使得焊接作业均位于正上方，从而便于实际的焊接作业，提高最终的焊接质量，并且对调节块4、导向滑块5、压板12和连接板22采用焊接组合整体，有效确保整个机构的稳固性和牢固性，确保微调过程的安全可靠性。

(3)部件组装；

a、将导向框13通过螺钉与底座1固定连接；通过螺钉将导向框13与底座 1之间固定，有效确保安装牢固性，且安装拆卸方便简单；

b、在导向框13的两侧安装固定侧板17，固定侧板17上的穿孔19与导向框13端部的限位柱18对应，限位柱18插接到穿孔19内，同时固定侧板17支撑放置在底座1的顶面上，再在限位柱18的端部选入紧固螺母20并拧紧；通过穿孔19和限位柱18实现固定侧板17与导向框13之间的精准卡接限位，并确保固定侧板17位于底座1顶面上实现进一步的辅助定位，再通过紧固螺母20 限位固定，有效保证导向框13与固定侧板17之间的安装牢固性；

c、将调节块4、连接板22、导向滑块5和压板12的焊接组合安装到底座1 上，压板12匹配卡接到导向框13的导向槽内；通过导向框13与压板12的匹配卡接，实现调节块4、连接板22、导向滑块5和压板12焊接组合在底座1上的初步安装定位；

d、安装导向板7，导向板7横向贯穿固定侧板17上的第二T型槽21，且导向板7横向贯穿两个固定侧板17过程中，导向板7贯穿导向滑块5上的第一 T型槽6，再将导向板7的两端通过螺钉与固定侧板17固定连接；通过第一T 型槽6和第二T型槽21实现导向板7的精准插接限位，再通过适当调整，使得导向板7两端预留的孔与对应固定侧板17上预留的孔对应，配合螺钉将导向板 7与固定侧板17之间进一步安装固定，有效保证整体安装牢固性和可靠性，安装拆卸方便简单；

e、将调节螺杆3连接在调节块4的螺纹孔内，并贯穿调节块4，再将调节螺杆3的一端与调节电机2连接，调节电机2则通过支撑座固定在底座1上，而调节螺杆3的另一端则通过轴承座固定支撑在底座1上；调节螺杆3和调节电机2选择市场上现有的产品与部件之间进行组装，将调节螺杆3与调节块4 之间螺纹连接，并将调节螺杆3的一端与调节电机2的电机轴之间连接，同时调节电机2本身通过支撑座固定在底座1上，而调节螺杆3的另一端则通过轴承座固定在底座1上，保证整体结构稳固性，同时又不会阻碍调节电机2带动调节螺杆3的转动调节操作，设计合理，结构牢固可靠；

f、安装辅助导架10，将辅助导架10上的导向插块11与调节块4上的嵌位卡槽9对应，导向插块11插入到嵌位卡槽9内，再通过螺钉将辅助导架10与底座1之间安装固定；最后安装辅助导架10，通过辅助导架10上的导向插块 11与调节块4上的嵌位卡槽9对应，实现卡接限位，再通过螺钉将辅助导架10 与底座1之间进一步安装固定，安装过程清晰且合理，便于实际的组装操作。

本发明结构设计合理，实用性强，通过该微调机构实现直线方向的精准调节，使用操作方便且自动化，精确控制调节微调的距离，调节电机2带动调节螺杆3转动，使得调节螺杆3上的调节块4移动实现直线调节，并且调节块4 移动中带动导向滑块5沿着导向板7同步滑移，进一步提高调节操作中的稳定性和安全性，保证调节过程中的直线性，且在调节到位后通过紧定螺钉8将导向滑块5限位固定在导向板7，从而限制调节块4的移动，确保移动调节到位后的结构稳固性，有效防止调节定位后的误操作导致移动距离出现误差；在整个制造过程中采用辅助装置24对调节块4、导向滑块5、压板12和连接板22之间焊接进行辅助，实现焊接部件之间的精准定位，且确保焊接过程焊接处不会发生错位，有效提高实际的焊接精度和焊接质量，而且在焊接过程中对焊接部件的接触处配合转动调节，将每处未焊接的接触处均转动到正上方，使得焊接作业均位于正上方，从而便于实际的焊接作业，提高最终的焊接质量。

以上仅为本发明的具体实施例，但本发明的技术特征并不局限于此。任何以本发明为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出地简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本发明的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：包括底座、调节电机、调节螺杆和调节块，所述调节电机固定在所述底座上，所述调节电机与所述调节螺杆相连接，所述调节块位于所述调节螺杆上，所述调节块的一侧连接有导向滑块，所述导向滑块上设置有第一T型槽，所述第一T型槽内贯穿连接有导向板，且所述导向滑块通过紧定螺钉与所述导向板限位固定。

2.根据权利要求1所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述调节块的另一侧设置有嵌位卡槽，所述底座上设置有辅助导架，所述辅助导架与所述底座螺钉固定，所述辅助导架上设置有导向插块，所述导向插块与所述嵌位卡槽相匹配，所述导向插块滑动卡接在所述嵌位卡槽内。

3.根据权利要求1所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述导向滑块上连接有压板，所述压板活动卡接在导向框的导向滑槽内，所述导向框的底部设置有延伸侧板，所述延伸侧板与所述底座螺钉固定。

4.根据权利要求3所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述导向框的侧面设置有刻度。

5.根据权利要求3所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述导向框的两端连接设置有固定侧板，所述固定侧板支撑在所述底座的顶面上，所述导向板连接在两个所述固定侧板之间。

6.根据权利要求5所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述导向框的两端均设置有限位柱，所述固定侧板上设置有穿孔，所述穿孔与所述限位柱相匹配，所述限位柱通过所述穿孔贯穿对应的所述固定侧板，且所述限位柱延伸出所述固定侧板的端部设置有紧固螺母，通过所述紧固螺母将所述固定侧板与所述导向框限位固定。

7.根据权利要求5所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述固定侧板上设置有第二T型槽，所述第二T型槽与所述导向板相匹配，所述导向板贯穿连接在两个所述固定侧板之间，且所述导向板的端部与所述固定侧板之间螺钉固定。

8.根据权利要求1所述一种离子刻蚀直线微调机构，其特征在于：所述调节块的顶端面上设置有连接板，所述连接板上设置有安装孔。

9.基于如权利要求1所述的一种离子刻蚀直线微调机构的制造方法，其特征在于包括如下步骤：

(1)部件加工：根据设计要求加工出调节块、导向滑块、压板、连接板、底座、固定侧板、辅助导架和导向框；

(2)焊接固定：

a、将调节块安装到辅助装置上，辅助装置包括旋转电机、主支架和辅助支架，辅助支架包括两个支撑板和连接在两个支撑板之间的插杆，将调节块上的嵌位卡槽与辅助支架上的插杆对应，调节块插入到插杆上，同时插杆上设置有限位板，调节块插入到插杆后正好位于上下两个限位板之间；

b、两个支撑板上均设置有带螺纹穿孔的限位块，限位块上螺纹旋接有固定柱，往调节块的螺纹孔方向转动固定柱，使得固定柱的端部旋入到调节块的螺纹孔内；

c、安装导向滑块，拧松第一限位螺钉，移动限位架，限位架包括支杆和C型卡框，C型卡框的两端均连接有支杆，支杆与支撑板一一对应，将支杆沿着对应支撑板上的限位穿槽移动调节，使得C型卡框从导向滑块的第一T型槽的开口处滑入并移动抵触到第一T型槽的端部，再移动支杆带动C型卡框往调节块方向移动，C型卡框带动卡接限位的导向滑块同步往调节块方向移动，直至导向滑块与调节块贴附抵触，拧紧第一限位螺钉；

d、采用焊接设备对导向滑块与调节块的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动辅助支架的转动，使得限位固定在辅助支架上的调节块与导向滑块同步转动，实现调节块与导向滑块连接位置的转动调节，使得调节块与导向滑块上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成导向滑块与调节块所有连接处的焊接作业；

e、导向滑块与调节块焊接好后，将压板安装到侧支架上，侧支架包括侧卡框和侧杆，侧卡框通过侧杆与辅助支架固定连接，将压板匹配卡接到侧卡框内，并沿着侧卡框往导向滑块方向移动，直至压板抵触到导向滑块，拧紧第二限位螺钉；

f、采用焊接设备对导向滑块与压板的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架的转动，主支架带动辅助支架的转动，使得限位固定在辅助支架上的调节块、导向滑块和压板同步转动，实现压板与导向滑块连接位置的转动调节，使得压板与导向滑块上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成压板与导向滑块所有连接处的焊接作业；

g、压板与导向滑块焊接好后，将连接板安装到限位侧框上，限位侧框滑动连接在调节滑杆上，调节滑杆固定连接在辅助支架上，且限位侧框通过夹紧螺母限位固定在调节滑杆上，拧松夹紧螺母，沿着调节滑杆移动调节限位侧框，使得连接板上的安装孔与限位侧框上的卡接柱一一对应，卡接柱插接到安装孔内，并按压连接板使得连接板完全卡入到限位侧框内，再沿着调节滑杆将限位侧框往调节块方向移动，限位侧框带动连接板同步移动，直至连接板抵触到调节块，拧紧夹紧螺母；

h、驱动电机启动，驱动电机带动辅助支架往远离旋转电机的方向转动90°，接着采用焊接设备对连接板与调节块的连接处进行焊接作业，并且在焊接过程中，通过旋转电机带动主支架转动，主支架带动辅助支架的转动，实现辅支架上的调节块与连接板同步转动，使得调节块与连接板上未焊接的连接处被转动到正上方进行焊接作业，直至完成调节块与连接板所有连接处的焊接作业；

i、将固定柱完全从调节块的螺纹孔内转出，拧松夹紧螺母，将限位侧框从连接板上完全移出，再拧松第一限位螺钉和第二限位螺钉，将焊接后的连接板、调节块、导向滑块和压板的组合从辅助装置上取下；

(3)部件组装：

a、将导向框通过螺钉与底座固定连接；

b、在导向框的两侧安装固定侧板，固定侧板上的穿孔与导向框端部的限位柱对应，限位柱插接到穿孔内，同时固定侧板支撑放置在底座的顶面上，再在限位柱的端部选入紧固螺母并拧紧；

c、将调节块、连接板、导向滑块和压板的焊接组合安装到底座上，压板匹配卡接到导向框的导向槽内；

d、安装导向板，导向板横向贯穿固定侧板上的第二T型槽，且导向板横向贯穿两个固定侧板过程中，导向板贯穿导向滑块上的第一T型槽，再将导向板的两端通过螺钉与固定侧板固定连接；

e、将调节螺杆连接在调节块的螺纹孔内，并贯穿调节块，再将调节螺杆的一端与调节电机连接，调节电机则通过支撑座固定在底座上，而调节螺杆的另一端则通过轴承座固定支撑在底座上；

f、安装辅助导架，将辅助导架上的导向插块与调节块上的嵌位卡槽对应，导向插块插入到嵌位卡槽内，再通过螺钉将辅助导架与底座之间安装固定。

10.根据权利要求9所述一种离子刻蚀直线微调机构的制造方法，其特征在于：在所述步骤(2)中，主支架上连接有导向盘，导向盘与驱动电机连接，而导向盘又转动限位在支撑导座的环形导槽内，当驱动电机带动主支架转动中，导向盘始终限位在支撑导座上，沿着支撑导座的环形导槽同步转动。

Images