CN114280901A - 一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，包括2～8%重量份有机胺，25～70%重量份质子性有机溶剂，25～70%重量份非质子性有机溶剂，0.3～3%重量份添加剂，0.1～0.5%重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100%。制备方法包括：S1：加入非质子性有机溶剂；S2：不断搅拌，加入质子性有机溶剂；S3：不断搅拌，加入有机胺，并控制温度在40℃以内；S4：不断搅拌，加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。本发明剥离性能好，有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。

Description

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备 方法

技术领域

本发明涉及一种剥离液生产制造技术领域，尤其涉及一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法。

背景技术

随着经济和社会的发展，人们对柔性、大尺寸、高清甚至是超高清显示的需求在不断增加。柔性、大尺寸、超高清显示面板是未来的大趋势，将在工作、教育、娱乐、社交、医疗等诸多领域带给人民更高品质的体验。大尺寸超高清LCD和OLED面板的技术和应用将不断发展。显示面板技术朝着高精细化发展方向迭代更新，面板线宽进一步减小，制程趋于复杂化，金属制程方面将形成Cu、Al共用的局面，这对于配套电子化学品的性能要求将会越来越高。剥离液应用于显示面板制造中光刻工艺的剥离制程，属于配方型专用湿电子化学品。随着显示行业高精细化的发展趋势，对剥离液技术应用性能精细度和兼容性的要求越来越高，这就要求剥离液对抗蚀剂的剥离、溶解和清洗性能越来越好，同时对制程中抑制Cu或Al金属层的腐蚀性要求也越来越高。

现有技术中，部分剥离液配方组成成分中含有砜类或者亚砜类有机溶剂，虽然满足剥离性能，但是此类溶剂容易造成环境污染，不符合环保要求。而且随着显示技术的发展，面板制程趋于精细化，对于剥离液配方的精细度要求也越来越高。目前大部分剥离液选用低污染成分，在有机胺和有机溶剂选用方面已趋于同质化，剥离液配方的差异性主要集中在添加剂和表面活性的选择应用上。另外，由于显示面板制造过程中剥离液的应用大多为喷淋式，因此对于剥离液的动态表面张力要求标准逐渐提高，特别是高精细化、低线宽的高世代线LCD和OLED产线。

然而现有技术中，多数剥离液多只针对Al制程或者Cu制程，这就要求产线上不同制程使用不同的剥离液，剥离液制程兼容性差，这大大增加了产线工艺的复杂性。对于可调节铜钼界面的电势差的有机磷酸铜缓蚀剂，其是水溶性的而非油溶性的，在有机体系或者低水含量的有机体系中会析出，因此在有机系剥离液或者无水补给的产线中不能使用。另外，在表面活性剂方面，虽然现有技术大多使用的非离子表面活性剂，有利于降低金属离子引入量，但目前使用的苯酚乙氧基型非离子型表面活性剂、糖酰胺基的四硅氧烷双子表面活性剂和gemini型烷基糖苷类表面活性剂，分子量大，容易起泡，实际剥离液使用过程中将会大大降低剥离液的剥离性，导致抗蚀剂残留；另一方面，表面活性剂分子量大，可能会影响亲水性，在剥离工艺后端的水洗过程中有可能析出导致残留，而且基本上只能降低静态表面张力，难以满足高精细化、低线宽的高世代线LCD和OLED产线的要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物及其制备方法，解决了现有技术中对于剥离液的动态表面张力要求标准逐渐提高，特别是高精细化、低线宽的高世代线LCD和OLED产线，剥离液制程兼容性差，这大大增加了产线工艺的复杂性的问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，包括2～8％重量份有机胺，25～70％重量份质子性有机溶剂，25～70％重量份非质子性有机溶剂，0.3～3％重量份添加剂，0.1～0.5％重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

进一步地，所述添加剂包括0.1～1％重量份Al缓蚀剂，0.1～1％重量份Cu缓蚀剂和0.1～1％重量份金属电位调节剂。

进一步地，所述Al缓蚀剂为以下任意一种或两种以上的组合物：2-羟基喹啉、5-羟基喹啉、没食子酸甲酯或3,5-二叔丁基邻苯二酚。

进一步地，所述Cu缓蚀剂为以下任意一种或两种以上的组合物：苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇、苯并咪唑或N,N-羰基二咪唑。

进一步地，所述金属电位调节剂为高柠檬酸。

进一步地，所述有机胺为以下任意一种或两种以上的组合物：单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、羟乙基乙二胺、甲基二乙醇胺或(2-氨基乙氧基)-1-乙醇。

进一步地，所述质子性有机溶剂为以下任意一种或两种以上的组合物：二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二乙二醇单丁醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚或乙二醇单丁醚。

进一步地，所述非质子性有机溶剂为以下任意一种或两种以上的组合物：N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺或N,N-二甲基丙酰胺。

进一步地，所述表面活性剂为酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂，所述表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

本发明还提供一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

本发明的有益效果是：

1、本发明成分环保，对环境友好，所用有机胺对于抗蚀剂攻击作用强，剥离性能好，质子性有机溶剂和非质子性有机溶剂的组合使用有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，提高药液使用寿命，而且本发明中选用的有机物易于回收利用，回收利用率高，有利于降低剥离液成本。三类添加剂水溶性和油溶性均良好，其中Al缓蚀剂为含羟基的化合物，能够吸附在Al金属层表面，对于Al具有良好的缓蚀作用；Cu缓蚀剂为三唑或咪唑类衍生物，能够很好地和Cu形成配位结构，吸附在Cu层表面，对Cu具有优异的缓蚀作用；金属电位调节剂为高柠檬酸，其对Cu和Mo有较好的络合作用，能够有效调整Cu和Mo的金属电位，从而减少Cu的腐蚀，与Cu缓蚀剂产生协同作用，将Cu的腐蚀降到最低，以满足制程的电性能要求，另外，其对Al也有一定的吸附作用，能够与Al缓蚀剂产生协同作用，减少Al制程的腐蚀。因此剥离液在剥离和水洗过程中对Cu膜层或Al膜层均无腐蚀，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性。

2、本发明剥离液选用小分子类非离子Gemini表面活性剂，有效降低剥离液的静态和动态表面张力，产生气泡少且有一定的消泡作用，增强剥离液的抗蚀剂去除能力和均匀性，提升其精细度，而且该表面活性剂与剥离液体系兼容性好，水洗时不会析出，且易生物降解，更加环保。该剥离液不仅能够应用于高精细化、低线宽的高世代线LCD和OLED产线，还能覆盖其他产线，有利于降低面板生产企业的工艺难度，提升效率。表面活性剂从体相移动到表相建立平衡后有效降低表面张力并减小接触角改善浸润性，这一建立过程需要一定的时间，因此，静态表面张力不能反映动态使用过程中的浸润情况。而动态表面张力低，说明建立平衡时间短，动态使用过程中能快速减小接触角从而改善浸润性，因此本发明中使用的表面活性剂能够有效降低动态表面张力并改善浸润性，能够满足高精细化制程的使用要求。

具体实施方式

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括2％重量份单乙醇胺，26.7％重量份乙二醇单丙醚，70％重量份N-甲基甲酰胺，0.3％重量份2-羟基喹啉，0.5％重量份苯并三氮唑，0.2％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例2

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括3.2％重量份二乙醇胺，70％重量份二乙二醇单乙醚，25％重量份N-乙基甲酰胺，1％重量份5-羟基喹啉，0.2％重量份甲基苯并三氮唑，0.5％重量份高柠檬酸，0.1％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例3

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括4.4％重量份三乙醇胺，25％重量份二乙二醇单丙醚，68.6％重量份N,N-二乙基甲酰胺，0.1％重量份没食子酸甲酯，0.4％重量份甲基苯并三氮唑，1％重量份高柠檬酸，0.5％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例4

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括7.1％重量份羟乙基乙二胺，40％重量份二乙二醇单丁醚，50.8％重量份N,N-二甲基乙酰胺，0.6％重量份3,5-二叔丁基邻苯二酚，1％重量份苯并咪唑，0.1％重量份高柠檬酸，0.4％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例5

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括4％重量份甲基二乙醇胺，51％重量份乙二醇单甲醚，43％重量份N,N-二甲基丙酰胺，0.4％重量份2-羟基喹啉，0.6％重量份N,N-羰基二咪唑，0.8％重量份高柠檬酸，0.2％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例6

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括8％重量份(2-氨基乙氧基)-1-乙醇，42％重量份乙二醇单乙醚，48.3％重量份N-甲基甲酰胺，0.7％重量份5-羟基喹啉，0.3％重量份苯并三氮唑，0.3％重量份高柠檬酸，0.4％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

实施例7

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，48％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例1

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括1％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，52％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例2

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，23％重量份二乙二醇单甲醚，70％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例3

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，70％重量份二乙二醇单甲醚，23％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例4

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，48.8％重量份N-甲基甲酰胺，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例5

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，48.5％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.4％重量份高柠檬酸，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例6

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，48.4％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇，0.3％重量份酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

对比例7

一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括5％重量份单乙醇胺，45％重量份二乙二醇单甲醚，48.3％重量份N-甲基甲酰胺，0.8％重量份没食子酸甲酯，0.5％重量份[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇和0.4％重量份高柠檬酸；上述各组分总重量份之和为100％。

上述一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。

表1：实施例1-7和对比例1-7抗蚀剂剥离液组合物成分组成表

抗蚀剂剥离液组合物实验对象为面板生产产线Al制程、Cu制程待剥离玻璃片，使用实施例1-7和对比例1-7的抗蚀剂剥离液组合物在60℃条件下进行喷淋处理180s，然后吹干玻璃片表面剩余剥离液并用高纯水喷淋冲洗120s，最后用高纯氮气将玻璃片吹干，抗蚀剂剥离液组合物连续处理玻璃片24h或者处理800片后结束，综合评价其抗蚀剂残留情况和金属层制程腐蚀情况，见表2-5所示。

表2表示抗蚀剂剥离液组合物对抗蚀剂的去除剥离结果

评价等级	抗蚀剂残留情况
		A	剥离能力优异，抗蚀剂无残留
B	剥离能力一般，抗蚀剂有少量残留
		C	剥离能力差，抗蚀剂有大量残留

表3表示实施例1-7和对比例1-7抗蚀剂剥离液组合物对抗蚀剂残留情况

实施例	动态接触角(°)	抗蚀剂残留情况
			实施例1	37	A
实施例2	39	A
			实施例3	36	A
实施例4	35	A
			实施例5	38	A
实施例6	41	A
			实施例7	39	A
对比例1	36	C
			对比例2	40	B
对比例3	39	B
			对比例4	38	A
对比例5	39	A
			对比例6	39	A
对比例7	70	C

表4表示抗蚀剂剥离液组合物金属层制程腐蚀情况

评价等级	金属层制程腐蚀情况
		A1	金属层制程无腐蚀
B1	金属层制程仅有少量腐蚀
		C1	金属层制程腐蚀严重，出现缩进或者倒角

表5表示实施例1-7和对比例1-7抗蚀剂剥离液组合物对铝制程和铜制程腐蚀评价表

实施例	铝制程	铜制程
			实施例1	A1	A1
实施例2	A1	A1
			实施例3	A1	A1
实施例4	A1	A1
			实施例5	A1	A1
实施例6	A1	A1
			实施例7	A1	A1
对比例1	A1	A1
			对比例2	A1	A1
对比例3	A1	A1
			对比例4	C1	A1
对比例5	A1	C1
			对比例6	B1	B1
对比例7	A1	A1

上述实施例中，对比例1与实施例7相比有机胺含量较低，剥离能力不足，抗蚀剂有大量残留；对比例2和对比例3与实施例7相比，质子性有机溶剂或者非质子性有机溶剂性溶剂含量较低，对抗蚀剂的溶解和清洗性能略显不足，从而导致抗蚀剂有少量残留；对比例4与实施例7相比，不添加Al缓蚀剂，对Al制程金属层保护作用不足，剥离液使用过程中Al制程金属层腐蚀严重；对比例5与实施例7相比，不添加Cu缓蚀剂，对Cu制程金属层保护作用不足，剥离液使用过程中Cu制程金属层腐蚀严重；对比例6与实施例7相比，不添加金属电位调节剂，Al缓蚀剂和Cu缓蚀剂发挥作用时无金属电位调节剂存在时产生的协同作用，从而对Al制程金属层或Cu制程金属层的保护略有不足，剥离液使用过程中均有少量腐蚀；对比例7与实施例7相比，不添加表面活性剂，剥离液动态表面张力高，接触角大，浸润性不足，导致抗蚀剂有大量残留。

综上，本发明所用有机胺对于抗蚀剂攻击作用强，剥离性能好，质子性有机溶剂和非质子性有机溶剂的组合使用有利于增强剥离液对于抗蚀剂的溶解和清洗性能，剥离液使用过程中无抗蚀剂残留，提高药液使用寿命，而且本发明中选用的有机物易于回收利用，回收利用率高，有利于降低剥离液成本；三类添加剂水溶性和油溶性均良好，相互协同，使得剥离液在剥离和水洗过程中对Cu膜层或Al膜层均无腐蚀，保证剥离液对于Cu制程和Al制程的兼容性，有效降低产线工艺的复杂性；本发明选用的小分子类非离子Gemini表面活性剂，有效降低剥离液的静态和动态表面张力，减少剥离液使用过程中的接触角改善浸润性，产生气泡少且有一定的消泡作用，增强剥离液的抗蚀剂的去除能力和均匀性，提升其精细度，而且该表面活性剂与剥离液体系兼容性好，水洗时不会析出，且易生物降解，更加环保。该剥离液不仅能够应用于高精细化、低线宽的高世代线LCD和OLED产线，还能覆盖其他产线，有利于降低面板生产企业的工艺难度，提升效率。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包括2～8％重量份有机胺，25～70％重量份质子性有机溶剂，25～70％重量份非质子性有机溶剂，0.3～3％重量份添加剂，0.1～0.5％重量份表面活性剂；上述各组分总重量份之和为100％。

2.如权利要求1所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述添加剂包括0.1～1％重量份Al缓蚀剂，0.1～1％重量份Cu缓蚀剂和0.1～1％重量份金属电位调节剂。

3.如权利要求2所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述Al缓蚀剂为以下任意一种或两种以上的组合物：2-羟基喹啉、5-羟基喹啉、没食子酸甲酯或3,5-二叔丁基邻苯二酚。

4.如权利要求2所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述Cu缓蚀剂为以下任意一种或两种以上的组合物：苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、[[(甲基-1H-苯并三唑-1-基)甲基)]亚氨基]双乙醇、苯并咪唑或N,N-羰基二咪唑。

5.如权利要求2所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述金属电位调节剂为高柠檬酸。

6.如权利要求1所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述有机胺为以下任意一种或两种以上的组合物：单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、羟乙基乙二胺、甲基二乙醇胺或(2-氨基乙氧基)-1-乙醇。

7.如权利要求1所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述质子性有机溶剂为以下任意一种或两种以上的组合物：二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二乙二醇单丁醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚或乙二醇单丁醚。

8.如权利要求1所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述非质子性有机溶剂为以下任意一种或两种以上的组合物：N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺或N,N-二甲基丙酰胺。

9.如权利要求1所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述表面活性剂为酚类聚氧乙烯醚类非离子Gemini表面活性剂，所述表面活性剂的结构为：

其中，R＝C1-C5，n＝5-8。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种低动态表面张力的高精细抗蚀剂剥离液组合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：按比例在混配釜中加入非质子性有机溶剂；

S2：在不断搅拌的条件下，按比例加入质子性有机溶剂；

S3：在不断搅拌的条件下，按比例加入有机胺，并控制温度在40℃以内；

S4：在不断搅拌的条件下，按比例加入添加剂和表面活性剂，并循环3h以上得到混合液；

S5：将混合液采用过滤器进行循环过滤，得到成品剥离液组合物。