CN114228000B - 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具 - Google Patents

一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具 Download PDF

Info

Publication number
CN114228000B
CN114228000B CN202210154942.XA CN202210154942A CN114228000B CN 114228000 B CN114228000 B CN 114228000B CN 202210154942 A CN202210154942 A CN 202210154942A CN 114228000 B CN114228000 B CN 114228000B
Authority
CN
China
Prior art keywords
sputtering
mold
silicon rubber
target
mould
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210154942.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN114228000A (zh
Inventor
修建
杨一烁
杨红娜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Aerospace Tianmei Technology Co ltd
Beijing Aerospace Hexing Technology Co Ltd
Original Assignee
Beijing Aerospace Tianmei Technology Co ltd
Beijing Aerospace Hexing Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Aerospace Tianmei Technology Co ltd, Beijing Aerospace Hexing Technology Co Ltd filed Critical Beijing Aerospace Tianmei Technology Co ltd
Priority to CN202210154942.XA priority Critical patent/CN114228000B/zh
Publication of CN114228000A publication Critical patent/CN114228000A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114228000B publication Critical patent/CN114228000B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/42—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/70—Maintenance
    • B29C33/72—Cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
    • B29C70/04—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts comprising reinforcements only, e.g. self-reinforcing plastics
    • B29C70/28—Shaping operations therefor
    • B29C70/30—Shaping by lay-up, i.e. applying fibres, tape or broadsheet on a mould, former or core; Shaping by spray-up, i.e. spraying of fibres on a mould, former or core
    • B29C70/34—Shaping by lay-up, i.e. applying fibres, tape or broadsheet on a mould, former or core; Shaping by spray-up, i.e. spraying of fibres on a mould, former or core and shaping or impregnating by compression, i.e. combined with compressing after the lay-up operation
    • B29C70/342—Shaping by lay-up, i.e. applying fibres, tape or broadsheet on a mould, former or core; Shaping by spray-up, i.e. spraying of fibres on a mould, former or core and shaping or impregnating by compression, i.e. combined with compressing after the lay-up operation using isostatic pressure
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021—Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605—Carbon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3464—Sputtering using more than one target

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本申请提供了一种用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米结构及具有该结构的一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具。以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干，之后采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，随后转移至溅射腔室中，采用溅射法制备Al掺杂DLC涂层。所述的这种用于橡胶模具的类金刚石微纳米结构及其制备方法解决了现有技术中的橡胶模具表面易腐蚀、不易脱模、硬度不高、耐磨性不强的技术问题。此外还提供了具有该涂层的小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具。

Description

一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具
技术领域
本申请涉及一种硅橡胶模具表面结构，具体为一种溅射制备DLC涂层，及具有该涂层的一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具。
背景技术
纤维增强复合材料具有高比强度、高比模量、抗疲劳、耐腐蚀、可设计性强、密度小、热膨胀系数低、尺寸稳定性高等优势，已被广泛用于航天、航空、航海等领域；复合材料及舱体结构，为保证产品具有一定的刚度，减轻产品重量，设置网格筋增强结构是一种通用的设计方法。与增加壁厚实现同等刚度相比，设计成环网格筋增强结构能够大幅度地节省材料成本，及人工工时；一般情况下复合材料舱段结构为金属模具，分为分瓣阳模具及外阴模，但是在产品尺寸较小时，内部阳模根本无法正常脱模，本申请介绍了一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具。
类金刚石膜层(Diamond like Carbon，DLC)，是一种同时兼具金刚石结构和石墨结构的非晶碳膜高性能材料，碳原子主要以SP2和SP3键结合，具备优异的力学性能与摩擦学性能，能够显著改善硅橡胶模具的磨损、黏连、腐蚀、不易脱模问题；但DLC膜层与硅橡胶基体的物理性能差异较大导致膜-基结合强度较差，使得DLC膜层在使用过程中易脱落。
发明内容
本申请提供了一种用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层，所述的这种用于橡胶模具的类金刚石微纳米涂层及其制备方法解决了现有技术中的橡胶模具表面易腐蚀、不易脱模、硬度不高、耐磨性不强的技术问题。此外还提供了具有该涂层的小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具。
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，在反应腔室电极间通入高纯硅烷、甲烷混合气体，通气流速为15-35mL/min，硅烷与甲烷体积比为（0.5-0.8）:1，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、20-25kV的交流电源产生常温含Si、C等离子体，对模具施加处理1-2min。
随后转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材3-5分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射3-5分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为50-200W，石墨靶功率为100-400W，Al靶与石墨靶溅射功率之比为1:2；工作气压保持在0.2-2.0Pa、溅射时间10-15min、偏压-80~-200V。
通过常温等离子体改性，能够在硅橡胶表面接枝含有Si和C的活性基团，作为硅橡胶与后续溅射制备得到的类金刚石层的过渡层，提高了DLC层与硅橡胶的结合性，经过含有Si、C等离子体处理后的硅橡胶表面具有更多的悬挂键，为DLC成膜过程提供更多的结合点位，特别是对于易变形的硅橡胶，在后续脱模过程中，即使出现形变也并不会导致表面的DLC层出现开裂、脱落的现象。
通过溅射参数的调整在模具表面形成微纳米结构的Al掺杂DLC涂层，Al的加入能够降低涂层表面能，该DLC层的引入，能够在硅橡胶模具和使用该模具成型的碳纤维铺层结构之间形成阻隔，避免二者性质接近导致在脱模过程中出现粘连，由于制备得到的DLC涂层具有微纳米结构，并且表面能较低，可以进一步降低在模具表面发生粘附的可能。
本申请还提供一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具，产品外阴模采用分体模具，分为上、下模具，保证产品外形尺寸。产品阳模采用组合方式，固定阳模为金属模具，分瓣阳模为硅橡胶模具，通过金属模具固定分瓣阳模，在通过分瓣阳模的硅橡胶伸缩性来进行脱模。硅橡胶模具是自己通过硅橡胶灌注工艺来进行制造的，硅橡胶加工模具为尼龙材质。产品固化方式采用热烘箱螺栓加压方式，保证产品整体外形尺寸及表面质量。产品过程对碳纤维铺层时通过热压罐多次压实，保证产品层间质量。对于其硅橡胶模具通过上述工艺制备DLC涂层。
小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具具体的使用方式为：1、对产品阳模整体组装，组装固定完成后对模具进行清理；2、对产品进行碳纤维铺层，先进行环筋铺层，使用纤维带对模具环筋槽进行填充要求纤维连续不断开，环筋铺层结束后，进行蒙皮整体包裹，在铺层过程中根据情况对产品进行多次热压实，包覆辅材后，抽真空至≤0.097MPa，进热压罐加温加压压实，温度为60℃，时间1-3h。3、在铺层结束后，对产品进行包覆辅材，抽真空至≤0.097MPa，进热烘箱加温固化，固化温度为180℃，固化时间10-12h，在固化过程中，当模具温度到达110℃时，打开烘箱门，对产品外上、下阴模连接螺钉进行加紧、加压将模具合模到位，保证产品外形尺寸。4、产品脱模，对产品进行机加工。5、产品整体进行强度、压力等性能测试。
具体实施方式
实施例1：
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，在反应腔室电极间通入高纯硅烷、甲烷混合气体，通气流速为20mL/min，硅烷与甲烷体积比为0.6:1，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、25kV的交流电源产生常温含Si、C等离子体，对模具施加处理2min。
随后转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材4分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射4分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为100W，石墨靶功率为200W；工作气压保持在1Pa、溅射时间10min、偏压-100V。
一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具，产品外阴模采用分体模具，分为上、下模具，保证产品外形尺寸。产品阳模采用组合方式，固定阳模为金属模具，分瓣阳模为硅橡胶模具，通过金属模具固定分瓣阳模，在通过分瓣阳模的硅橡胶伸缩性来进行脱模。硅橡胶模具是自己通过硅橡胶灌注工艺来进行制造的，硅橡胶加工模具为尼龙材质。产品固化方式采用热烘箱螺栓加压方式，保证产品整体外形尺寸及表面质量。产品过程对碳纤维铺层时通过热压罐多次压实，保证产品层间质量。对于其硅橡胶模具通过上述工艺制备DLC涂层。
小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具具体的使用方式为：1、对产品阳模整体组装，组装固定完成后对模具进行清理；2、对产品进行碳纤维铺层，先进行环筋铺层，使用纤维带对模具环筋槽进行填充要求纤维连续不断开，环筋铺层结束后，进行蒙皮整体包裹，在铺层过程中根据情况对产品进行多次热压实，包覆辅材后，抽真空至≤0.097MPa，进热压罐加温加压压实，温度为60℃，时间2h。3、在铺层结束后，对产品进行包覆辅材，抽真空至≤0.097MPa，进热烘箱加温固化，固化温度为180℃，固化时间10-12h，在固化过程中，当模具温度到达110℃时，打开烘箱门，对产品外上、下阴模连接螺钉进行加紧、加压将模具合模到位，保证产品外形尺寸。4、产品脱模，对产品进行机加工。5、产品整体进行强度、压力等性能测试。
上述工艺获得的模具在使用100次后，在产品脱模过程中仍未出现粘连现象。
实施例2：
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，在反应腔室电极间通入高纯硅烷、甲烷混合气体，通气流速为35mL/min，硅烷与甲烷体积比为0.8:1，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、20kV的交流电源产生常温含Si、C等离子体，对模具施加处理2min。
随后转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材3分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射3分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为50W，石墨靶功率为100W；工作气压保持在0.5Pa、溅射时间15min、偏压-200V。
一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具的结构与使用方式与实施例1相同。上述工艺获得的模具在使用100次后，在产品脱模过程中仍未出现粘连现象。
对比例1：
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
将模具转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材4分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射4分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为100W，石墨靶功率为200W；工作气压保持在1Pa、溅射时间10min、偏压-100V。
一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具的结构与使用方式与实施例1相同。上述工艺获得的模具在使用34次后，在产品脱模过程中出现粘连现象，这是由于在DLC膜层与硅橡胶模具之间未进行等离子体处理，导致DLC层与模具基体之间结合力降低，在重复使用过程中DLC层脱落，导致出现粘连现象。
对比例2：
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，在反应腔室电极间通入高纯甲烷混合气体，通气流速为20mL/min，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、25kV的交流电源产生常温含C等离子体，对模具施加处理2min。
随后转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材4分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射4分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为100W，石墨靶功率为200W；工作气压保持在1Pa、溅射时间10min、偏压-100V。
一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具的结构与使用方式与实施例1相同。上述工艺获得的模具在使用57次后，在产品脱模过程中出现粘连现象。这是由于在DLC膜层与硅橡胶模具之间进行等离子体处理，未形成具有Si、C的悬挂键，导致DLC层与模具基体之间结合力不足，在重复使用过程中DLC层脱落，导致出现粘连现象。
对比例3：
用于硅橡胶模具的类金刚石微纳米涂层的制备方式主要包括以下步骤：
以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干。
采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，在反应腔室电极间通入高纯硅烷、甲烷混合气体，通气流速为10mL/min，硅烷与甲烷体积比为0.6:1，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、25kV的交流电源产生常温含Si、C等离子体，对模具施加处理2min。
随后转移至溅射腔室中，Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材4分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射4分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为100W，石墨靶功率为200W；工作气压保持在1Pa、溅射时间10min、偏压-100V。
一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具的结构与使用方式与实施例1相同。上述工艺获得的模具在使用80次后，在产品脱模过程中出现粘连现象。这是由于在DLC膜层与硅橡胶模具之间进行等离子体处理，由于原料供应不足，未形成足够的具有Si、C的悬挂键，导致DLC层与模具基体之间结合力不足，在重复使用过程中DLC层脱落，导致出现粘连现象。
对比例4-9
在实施例1的基础上，对比例4-9仅仅调整溅射制备DLC层的工艺参数，具体调整的工艺参数及测试性能参见表1。可见制备参数的调整会影响DLC膜层微纳结构的形成，从而影响其表面与碳纤维铺层结构之间亲合力，从而导致出现粘连现象。
表1
Figure 174385DEST_PATH_IMAGE001

Claims (2)

1.一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具，其特征在于：其包括外阴模和阳模，外阴模采用分体模具，分为上、下模具，阳模采用组合方式，固定阳模为金属模具，分瓣阳模为硅橡胶模具，通过金属模具固定分瓣阳模，再通过分瓣阳模的硅橡胶伸缩性来进行脱模，其中硅橡胶模具表面具有类金刚石微纳米结构，其制备方法为，以丙酮，酒精，去离子水分别对硅橡胶模具进行超声波清洗，除去表面的油脂和污物，并用热风吹干，之后采用电介质阻挡放电反应器进行常温等离子体改性，随后转移至溅射腔室中，采用溅射法制备Al掺杂DLC涂层；
所述电介质阻挡放电反应器中进行常温等离子体改性工艺具体为：在反应腔室电极间通入高纯硅烷、甲烷混合气体，通气流速为15~35mL/min，硅烷与甲烷体积比为0.5~0.8:1，在电介质阻挡放电反应器中施加10kHz、20~25kV的交流电源产生常温含Si、C等离子体，对模具施加处理1~2min。
2.如权利要求1所述的一种小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具，其特征在于：所述溅射法制备Al掺杂DLC涂层工艺具体为：Al靶与石墨靶相对设置，首先Ar离子轰击靶材3~5分钟，分别清洗和活化靶材；溅射腔室真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氩气，使其起辉，进行预溅射3~5分钟，除去两靶材表面的杂质、污物；进行溅射镀膜时两靶材的工艺参数为：Al靶功率为50~200W，石墨靶功率为100~400W，Al靶与石墨靶溅射功率之比为1:2；工作气压保持在0.2~2.0Pa、溅射时间10~15min、偏压-80~-200V。
CN202210154942.XA 2022-02-21 2022-02-21 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具 Active CN114228000B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210154942.XA CN114228000B (zh) 2022-02-21 2022-02-21 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210154942.XA CN114228000B (zh) 2022-02-21 2022-02-21 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114228000A CN114228000A (zh) 2022-03-25
CN114228000B true CN114228000B (zh) 2022-05-03

Family

ID=80747625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210154942.XA Active CN114228000B (zh) 2022-02-21 2022-02-21 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114228000B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101881419A (zh) * 2009-06-25 2010-11-10 李欣洋 一种使用具有透明基材的光学器件的led光源
CN101887221A (zh) * 2010-06-22 2010-11-17 富美科技有限公司 有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理
CN111378927A (zh) * 2020-04-20 2020-07-07 海南大学 一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构及制备方法
WO2020155732A1 (zh) * 2019-01-29 2020-08-06 苏州涂冠镀膜科技有限公司 用于注塑模具的防粘附硬质涂层及其制备方法
CN214361654U (zh) * 2021-02-23 2021-10-08 黑龙江省海振科技有限公司 一种橡胶表面沉积dlc涂层的射频耦合磁控溅射装置
CN113774344A (zh) * 2021-09-01 2021-12-10 太原理工大学 一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103328176B (zh) * 2011-01-14 2015-07-29 吉坤日矿日石能源株式会社 微细图案转印用模具的制造方法及使用该模具的衍射光栅的制造方法、以及具有该衍射光栅的有机el元件的制造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101881419A (zh) * 2009-06-25 2010-11-10 李欣洋 一种使用具有透明基材的光学器件的led光源
CN101887221A (zh) * 2010-06-22 2010-11-17 富美科技有限公司 有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理
WO2020155732A1 (zh) * 2019-01-29 2020-08-06 苏州涂冠镀膜科技有限公司 用于注塑模具的防粘附硬质涂层及其制备方法
CN111378927A (zh) * 2020-04-20 2020-07-07 海南大学 一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构及制备方法
CN214361654U (zh) * 2021-02-23 2021-10-08 黑龙江省海振科技有限公司 一种橡胶表面沉积dlc涂层的射频耦合磁控溅射装置
CN113774344A (zh) * 2021-09-01 2021-12-10 太原理工大学 一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN114228000A (zh) 2022-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105239039B (zh) 一种多层纳米复合涂层冲压模具及其制备方法
CN108193173B (zh) 一种低粘附轮胎模具的多层复合涂层及其制备方法
CN111270203B (zh) 一种用于压铸模具的AlCrNbSiTiCN高熵合金纳米复合涂层及其制备方法
CN101173839A (zh) 泡沫炭超高温大型硬质隔热室制造方法
CN108385085B (zh) 一种低应力cvd金刚石复合涂层及其制备方法
CN105671551A (zh) 金刚石复合涂层、具有该复合涂层的梯度超细硬质合金刀具及其制备方法
CN108728793A (zh) 一种强韧耐蚀CrAlN/Cr2AlC多层膜涂层及其制备方法
CN110029292A (zh) 一种石墨烯层改性c涂层纤维增强钛基复合材料的制备方法
CN102453858A (zh) 轻质软金属表面碳基薄膜材料的制备方法
CN114228000B (zh) 一种硅橡胶小型网格筋增强结构复合材料舱段用模具
CN105420673A (zh) 一种用于橡胶模具的类金刚石微纳米涂层及制备方法
CN114836715A (zh) 一种金属表面Cr/CrN/CrCN/Cr-DLC多层复合自润滑薄膜及其制备方法
CN110735107A (zh) 一种类金刚石涂层制备前的离子表面刻蚀方法
CN108950517B (zh) 一种铝合金基体表面的耐磨润滑涂层及其制备方法
CN106676470A (zh) 一种AlTiON热作模具钢复合梯度涂层及其制备方法
CN207176061U (zh) 一种物理气相沉积Ta‑C涂层及设有该涂层的工件
CN114000118B (zh) 一种钛合金表面硬度梯度分布层厚可调的氮化层制备方法
CN114293148A (zh) 一种钛合金表面修复与强化功能涂层一体化的涂层材料及其制备方法和应用
CN114990485A (zh) 一种超耐磨的复合涂层及制备方法和在牙板模具上的应用
CN113802112B (zh) 带有键合层和过渡层的高界面强度dlc薄膜的沉积方法
CN110872684A (zh) 一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法
CN115287599B (zh) 一种高耐磨CoFeTaB/MgCuY非晶/非晶多层膜及其制备方法
CN1769226B (zh) 具有耐磨层的模仁及其制备方法
CN113930742A (zh) 一种橡胶模具的表面处理方法
CN114540753B (zh) 提高高熵氮化物膜膜基结合强度的梯度过渡层及制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant