CN114227485A - 一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置 - Google Patents

一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座上，所述余热利用箱的上端嵌合固定有加热坩埚炉；所述集成底座的上端固定安装有水处理器和冲洗箱；包括：送料管，其对应固定安装在所述水处理器的上端左右两侧；吊装架，其对应设置在集成底座的正上端位置；前侧固定框，其嵌合贯穿安装在所述冲洗箱的前侧面。该大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，采用新型的结构设计，使得本装置将石英器件的成型工艺和清洗工艺相互综合，提高装置生产加工的效率，同时装置中设置有污水处理和硅料回收利用设备，其可以提高装置生产应用的环保性。

Description

一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置
技术领域
本发明涉及硅片生产加工技术领域，具体为一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置。
背景技术
硅片通过机械设备切成薄片结构主要是用于制作集成半导体结构，其被广泛应用于太阳能光伏板行业，硅片生产的主要原材料为石英，石英通过精炼提纯后形成硅材料，通过提拉设备控制硅溶液均匀转动拉伸形成硅棒结构，对于硅棒清洗处理后再通过切片机加工最终形成硅片结构，硅棒作为石英加工器件，其生产成型及清洗设备在加工的过程中还存在一定的问题：
1.现有的硅棒石英器件生产的过程中，其成型设备与清洗设备之间为独立分布结构，加工过程中涉及人工搬运物料以及分布加工处理等，使得硅棒石英器件整体加工的周期较长；
2.硅棒石英器材在清洗加工的过程中，清洗液中含有部分硅材料，直接控制污水排放不仅对环境形成一定的污染性，同时对提炼的纯硅材料产生一定的浪费现象，不利于环保加工。
所以需要针对上述问题设计一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，以解决上述背景技术中提出现有的硅棒石英器件生产的过程中，其成型设备与清洗设备之间为独立分布结构，加工过程中涉及人工搬运物料以及分布加工处理等，使得硅棒石英器件整体加工的周期较长，硅棒石英器材在清洗加工的过程中，清洗液中含有部分硅材料，直接控制污水排放不仅对环境形成一定的污染性，同时对提炼的纯硅材料产生一定的浪费现象，不利于环保加工的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座上，所述集成底座的上端通过安装架与余热利用箱固定连接，所述余热利用箱的上端嵌合固定有加热坩埚炉；
所述集成底座的上端固定安装有水处理器和冲洗箱，所述水处理器和冲洗箱的侧面通过导水管相互连接，所述水处理器的左侧贯通连接有控制污水排放的排水管，并且所述水处理器的侧面通过导气管与余热利用箱内部贯通连接；
一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，包括：
送料管，其对应固定安装在所述水处理器的上端左右两侧，且所述送料管的下端安装有导料斜管，并且所述导料斜管的侧面出料口与加热坩埚炉上端相互对应；
吊装架，其对应设置在集成底座的正上端位置，且所述吊装架的下端固定安装有直线滑杆，并且所述直线滑杆的外部套设有直线调节块，并且所述直线调节块的侧面与直线电机驱动带侧面相互连接，同时所述直线电机驱动带嵌合安装在所述吊装架的内部，所述直线调节块的下表面固定安装有籽晶棒提拉器；
前侧固定框，其嵌合贯穿安装在所述冲洗箱的前侧面，且所述前侧固定框的内部转动连接有打磨盘，并且前侧固定框的下端转动连接有纵向螺纹轴杆，所述冲洗箱的后侧面嵌合固定有后侧固定框，且所述后侧固定框的内部固定有清洗喷淋管。
优选的，所述冲洗箱的内外侧还设置有限位架、固定架和内调节架：
限位架，其设置在所述冲洗箱的前侧面，且所述限位架套设在所述纵向螺纹轴杆的外部，并且所述限位架的左右两侧对称固定有外调节杆，所述外调节杆贯穿设置在所述冲洗箱的侧面；
固定架，其固定安装在左右两侧外调节杆的前侧，且所述固定架的内侧转动安装有横向螺纹轴杆，并且所述固定架的两侧内部贯穿连接有驱动杆，所述驱动杆的侧面固定安装有上夹持防护块；
内调节架，其固定安装在所述外调节杆的内侧面，且所述内调节架的下表面转动安装有驱动齿轮，并且所述内调节架的下端内部贯穿转动安装有传动盘，所述传动盘的外部焊接固定有传动齿环。
优选的，所述驱动杆与固定架构成横向伸缩滑动结构，且所述驱动杆与所述横向螺纹轴杆构成螺纹传动结构，并且所述固定架与外调节杆固定为一体化结构，同时所述外调节杆与所述冲洗箱构成上下滑动结构，以及所述外调节杆的下端通过限位架与所述纵向螺纹轴杆构成螺纹传动结构，通过螺纹传动结构可以控制限位架上下移动，其可以推动外调节杆和内调节架同步上下移动。
优选的，所述传动盘的外侧通过传动齿环与驱动齿轮啮合连接，且所述传动盘的侧面贯穿连接有限位杆，并且所述限位杆的上端外侧面焊接固定有下夹持块，所述限位杆的下端侧面固定安装有凸块，以及所述凸块固定安装在自动伸缩杆的侧面伸缩端，同时所述自动伸缩杆固定安装在所述传动盘的内部，运行微型电机控制驱动齿轮转动，在齿轮啮合传动结构作用下控制传动盘对应转动，其通过夹持结构可以控制硅棒对应转动加工。
优选的，所述下夹持块通过限位杆与凸块固定为一体化结构，且所述限位杆与所述传动盘构成滑动结构，并且所述限位杆等角度在传动盘的侧面贯穿设置有4个，运行自动伸缩杆推动凸块和限位杆向侧面移动，限位杆通过下夹持块夹持设置在硅棒的外侧，其可以对硅棒的下端外部进行夹持限定。
优选的，所述水处理器的内部还设置有分割块和传输管：
分割块，其嵌合固定安装在所述水处理器的内部，且所述分割块的侧壁内部固定安装有金属导热棒，并且所述分割块的下端内部嵌合固定有滤水网；
传输管，其贯穿嵌合设置在所述分割块的内部中间位置，且所述传输管的内部转动设置有中间螺旋输料杆，所述中间螺旋输料杆转动连接在水处理器的内部中间位置，并且所述分割块的左右两侧内部对应转动设置有边侧螺旋输料杆，所述边侧螺旋输料杆转动安装在送料管的内部，所述传输管的上端外侧面固定安装有引导块。
优选的，所述水处理器内部的过滤物料通过送料管输送至导料斜管的内部，所述导料斜管内部物料通过斜面向下滑动回收进入加热坩埚炉的内部，通过传输结构控制水处理器中的回收硅料传输至加热坩埚炉中，提高硅材料生产利用率。
优选的，所述分割块将水处理器的内部分割成上下两处空间，所述水处理器下端排水空间下表面呈倾斜状结构，并且所述水处理器上端过滤空间通过滤水网与下端排水空间构成相互贯通结构，相互贯通的结构方便对污水中的硅材料过滤回收处理。
优选的，所述金属导热棒内侧面贴合设置在分割块的侧壁内部，且所述金属导热棒嵌合在分割块的内部空间通过导气管与余热利用箱的内部相互贯通，通过余热利用箱将部分加工热量传输至分割块的内部，热量分布在金属导热棒的外部，通过金属导热棒控制热量传输至分割块的内部空间中。
优选的，所述中间螺旋输料杆控制水处理器底部的物质转动输送至分割块的内部空间，所述分割块左右两侧内部积累的硅料通过边侧螺旋输料杆转动输送至送料管的内部，控制中间螺旋输料杆和边侧螺旋输料杆可以控制回收的硅料在装置内部输送。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，采用新型的结构设计，使得本装置将硅棒石英器件成型和清洗设备相互结合，应用加工效率较高，同时装置中设置有污水处理硅料回收结构，设备使用较为节能，其具体内容如下：
1.该大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，将石英器材成型和清洗工艺相互结合，提高工件加工的效率，通过加热坩埚炉和籽晶棒提拉器控制溶液成型为硅棒石英器件，再通过直线调节块控制硅棒石英器件横向移动至冲洗箱的上端，通过冲洗箱中的冲洗结构和打磨结构对硅棒表面进行处理，控制硅棒快速加工成型，整体生产效率较高；
2.该大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，设置有污水处理和硅材料回收利用结构，通过导水管控制冲洗污水进入水处理器的内部，运行电机控制中间螺旋输料杆和边侧螺旋输料杆对应转动，中间螺旋输料杆控制水处理器底部的物料进入分割块的内部，混合在物料中的污水通过滤水网重新进入水处理器的内部，污水最终通过排水管向外排出，硅料隔离在分割块的内部，边侧螺旋输料杆转动控制硅料进入送料管的内部，送料管的物料进入导料斜管的内部，最终物料通过导料斜管进入加热坩埚炉的内部，完成硅料回收利用，提高装置应用的环保性。
附图说明
图1为本发明正面结构示意图；
图2为本发明水处理器和冲洗箱正面剖视结构示意图；
图3为本发明传动盘正面结构示意图；
图4为本发明传动盘俯视剖视结构示意图；
图5为本发明横向螺纹轴杆正面结构示意图；
图6为本发明打磨盘正面结构示意图；
图7为本发明清洗喷淋管正面结构示意图；
图8为本发明分割块正面剖视结构示意图。
图中：1、集成底座；2、安装架；3、加热坩埚炉；4、水处理器；5、冲洗箱；6、导水管；7、排水管；8、导气管；9、余热利用箱；10、送料管；11、导料斜管；12、吊装架；13、直线滑杆；14、直线调节块；15、直线电机驱动带；16、籽晶棒提拉器；17、前侧固定框；18、打磨盘；19、纵向螺纹轴杆；20、限位架；21、外调节杆；22、固定架；23、驱动杆；24、上夹持防护块；25、横向螺纹轴杆；26、后侧固定框；27、清洗喷淋管；28、内调节架；29、驱动齿轮；30、传动盘；31、传动齿环；32、限位杆；33、下夹持块；34、凸块；35、自动伸缩杆；36、分割块；37、金属导热棒；38、滤水网；39、传输管；40、中间螺旋输料杆；41、引导块；42、边侧螺旋输料杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8，本发明提供一种技术方案：一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座1上，集成底座1的上端通过安装架2与余热利用箱9固定连接，余热利用箱9的上端嵌合固定有加热坩埚炉3；
集成底座1的上端固定安装有水处理器4和冲洗箱5，水处理器4和冲洗箱5的侧面通过导水管6相互连接，水处理器4的左侧贯通连接有控制污水排放的排水管7，并且水处理器4的侧面通过导气管8与余热利用箱9内部贯通连接；
一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，包括：
送料管10，其对应固定安装在水处理器4的上端左右两侧，且送料管10的下端安装有导料斜管11，并且导料斜管11的侧面出料口与加热坩埚炉3上端相互对应；
吊装架12，其对应设置在集成底座1的正上端位置，且吊装架12的下端固定安装有直线滑杆13，并且直线滑杆13的外部套设有直线调节块14，并且直线调节块14的侧面与直线电机驱动带15侧面相互连接，同时直线电机驱动带15嵌合安装在吊装架12的内部，直线调节块14的下表面固定安装有籽晶棒提拉器16；
前侧固定框17，其嵌合贯穿安装在冲洗箱5的前侧面，且前侧固定框17的内部转动连接有打磨盘18，并且前侧固定框17的下端转动连接有纵向螺纹轴杆19，冲洗箱5的后侧面嵌合固定有后侧固定框26，且后侧固定框26的内部固定有清洗喷淋管27。
本例中冲洗箱5的内外侧还设置有限位架20、固定架22和内调节架28：限位架20，其设置在冲洗箱5的前侧面，且限位架20套设在纵向螺纹轴杆19的外部，并且限位架20的左右两侧对称固定有外调节杆21，外调节杆21贯穿设置在冲洗箱5的侧面；固定架22，其固定安装在左右两侧外调节杆21的前侧，且固定架22的内侧转动安装有横向螺纹轴杆25，并且固定架22的两侧内部贯穿连接有驱动杆23，驱动杆23的侧面固定安装有上夹持防护块24；内调节架28，其固定安装在外调节杆21的内侧面，且内调节架28的下表面转动安装有驱动齿轮29，并且内调节架28的下端内部贯穿转动安装有传动盘30，传动盘30的外部焊接固定有传动齿环31；驱动杆23与固定架22构成横向伸缩滑动结构，且驱动杆23与横向螺纹轴杆25构成螺纹传动结构，并且固定架22与外调节杆21固定为一体化结构，同时外调节杆21与冲洗箱5构成上下滑动结构，以及外调节杆21的下端通过限位架20与纵向螺纹轴杆19构成螺纹传动结构；传动盘30的外侧通过传动齿环31与驱动齿轮29啮合连接，且传动盘30的侧面贯穿连接有限位杆32，并且限位杆32的上端外侧面焊接固定有下夹持块33，限位杆32的下端侧面固定安装有凸块34，以及凸块34固定安装在自动伸缩杆35的侧面伸缩端，同时自动伸缩杆35固定安装在传动盘30的内部；下夹持块33通过限位杆32与凸块34固定为一体化结构，且限位杆32与传动盘30构成滑动结构，并且限位杆32等角度在传动盘30的侧面贯穿设置有4个；
控制硅溶液进入加热坩埚炉3的内部，控制加热坩埚炉3内部的加热温度，并且通过控制器控制籽晶棒提拉器16内部的籽晶棒对应进入硅溶液的内部，控制籽晶棒缓慢转动提升，使得加热坩埚炉3内部的硅溶液形成硅棒石英器件向上移动，最终通过横向输送结构对成型的硅棒进行输送，运行直线电机控制直线电机驱动带15弯曲移动，直线电机驱动带15控制直线调节块14在直线滑杆13的外部横向滑动，直线调节块14控制下端的籽晶棒提拉器16和成型的硅棒横向移动，使得硅棒对应设置在冲洗箱5的上端；
接着控制硅棒石英器件下移进入冲洗箱5中，工作人员将硅棒与籽晶棒提拉器16相互裁切分离，同时控制夹持结构对硅棒边侧夹持限定，运行自动伸缩杆35控制凸块34向内侧移动，凸块34控制侧面固定的限位杆32在传动盘30的内部贯穿滑动，限位杆32控制上端侧面固定的下夹持块33夹持设置在硅棒的外侧，对硅棒进行夹持限定，接着运行双向微型电机控制横向螺纹轴杆25转动，在螺纹传动结构的控制作用下使得上夹持防护块24对应设置在硅棒外侧位置(使得上夹持防护块24与硅棒之间存在一定的间距，便于后期控制硅棒对应转动)，此时打磨盘18对应贴合在硅棒的边侧位置，并且清洗喷淋管27对应设置在硅棒的边侧位置，通过清洗喷淋管27控制水流冲洗在硅棒的表面，对其进行冲洗处理，运行电机控制纵向螺纹轴杆19转动，在螺纹传动结构的控制作用下推动固定架22向上移动，固定架22带动外调节杆21和内调节架28同步向上移动，该部分结构可以控制硅棒向上移动，同时纵向螺纹轴杆19转动时带动上端固定的打磨盘18同步转动，打磨盘18贴合在硅棒的外侧面对其表面进行打磨处理，硅棒在传动结构作用下向上移动，可以控制其表面较为均匀的完成打磨加工，同时运行电机控制驱动齿轮29转动，驱动齿轮29与传动齿环31啮合连接，在啮合传动结构的控制作用下带动传动盘30对应转动，传动盘30控制硅棒在上移的过程中进行转动，辅助硅棒完成表面打磨加工处理，清洗喷淋管27将硅棒表面打磨的杂质冲洗下来，污水分布在冲洗箱5的底部并且最终通过导水管6向外排出，该部分结构可以连续控制硅棒石英器件成型和冲洗加工，生产效率较高。
水处理器4的内部还设置有分割块36和传输管39：分割块36，其嵌合固定安装在水处理器4的内部，且分割块36的侧壁内部固定安装有金属导热棒37，并且分割块36的下端内部嵌合固定有滤水网38；传输管39，其贯穿嵌合设置在分割块36的内部中间位置，且传输管39的内部转动设置有中间螺旋输料杆40，中间螺旋输料杆40转动连接在水处理器4的内部中间位置，并且分割块36的左右两侧内部对应转动设置有边侧螺旋输料杆42，边侧螺旋输料杆42转动安装在送料管10的内部，传输管39的上端外侧面固定安装有引导块41；水处理器4内部的过滤物料通过送料管10输送至导料斜管11的内部，导料斜管11内部物料通过斜面向下滑动回收进入加热坩埚炉3的内部；分割块36将水处理器4的内部分割成上下两处空间，水处理器4下端排水空间下表面呈倾斜状结构，并且水处理器4上端过滤空间通过滤水网38与下端排水空间构成相互贯通结构；金属导热棒37内侧面贴合设置在分割块36的侧壁内部，且金属导热棒37嵌合在分割块36的内部空间通过导气管8与余热利用箱9的内部相互贯通；中间螺旋输料杆40控制水处理器4底部的物质转动输送至分割块36的内部空间，分割块36左右两侧内部积累的硅料通过边侧螺旋输料杆42转动输送至送料管10的内部；
导水管6将污水导流进入水处理器4的内部，水处理器4底部呈倾斜状结构，污水中的硅料集中沉积在水处理器4的底部位置，运行电机控制中间螺旋输料杆40和边侧螺旋输料杆42转动，中间螺旋输料杆40转动将水处理器4底部的沉积物输送至传输管39的内部，并且最终沉积物在引导块41的斜面引导作用下对应进入分割块36的内部，分割块36中分布的沉积物中混合的污水通过滤水网38过滤进入水处理器4的内部，完成固液分离，实现对硅料的回收，同时加热坩埚炉3内部加热的部分热量传输至余热利用箱9的内部，余热利用箱9内部与分割块36内侧壁相互贯通，热量分布在金属导热棒37的外部，控制金属导热棒37加热升温，金属导热棒37对分割块36内部的硅料加热处理，蒸发混合在硅料中的水分，保持硅料相对干燥，边侧螺旋输料杆42在转动的过程中，控制分割块36内部的硅料向上转动输送，硅料先进入送料管10的内部，送料管10对应贯通连接在导料斜管11的侧面，控制硅料进入导料斜管11的内部，硅料在重力作用下向下滑动重新进入加热坩埚炉3的内部，使得硅料重新进入加热坩埚炉3中加工利用，通过该部分结构既可以对加工污水进行处理，又可以回收利用硅料物质，提高生产加工的环保性能。
工作原理：使用本装置时，根据图1-8中所示的结构，通过加热坩埚炉3和籽晶棒提拉器16控制硅溶液成型为硅棒石英器件，通过直线调节块14控制硅棒向侧面移动对应设置在冲洗箱5的上端，控制硅棒进入冲洗箱5的内部，通过上夹持防护块24和下夹持块33对硅棒的边侧进行夹持防护限定，再通过传动结构控制硅棒向上移动，并且通过传动盘30控制硅棒转动，硅棒在上移转动的过程中，受到前后两侧对应的打磨盘18和清洗喷淋管27的作用完成冲洗打磨加工处理，冲洗的污水分布在冲洗箱5的内部，通过导水管6控制污水进入水处理器4的内部，控制中间螺旋输料杆40和边侧螺旋输料杆42转动，中间螺旋输料杆40控制水处理器4底部的沉积物向上输送进入分割块36的内部，分割块36中的沉积物内部水分通过滤水网38过滤进入水处理器4的底部位置，最终边侧螺旋输料杆42转动控制物料上移至导料斜管11的内部，导料斜管11中的硅料斜向滑动进入加热坩埚炉3的内部回收利用，提高该装置生产加工的环保性。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，石英器件成型加工及清洗装置设置在集成底座上，所述集成底座的上端通过安装架与余热利用箱固定连接，所述余热利用箱的上端嵌合固定有加热坩埚炉；
所述集成底座的上端固定安装有水处理器和冲洗箱，所述水处理器和冲洗箱的侧面通过导水管相互连接，所述水处理器的左侧贯通连接有控制污水排放的排水管，并且所述水处理器的侧面通过导气管与余热利用箱内部贯通连接；
其特征在于，包括：
送料管，其对应固定安装在所述水处理器的上端左右两侧，且所述送料管的下端安装有导料斜管，并且所述导料斜管的侧面出料口与加热坩埚炉上端相互对应；
吊装架，其对应设置在集成底座的正上端位置，且所述吊装架的下端固定安装有直线滑杆，并且所述直线滑杆的外部套设有直线调节块，并且所述直线调节块的侧面与直线电机驱动带侧面相互连接，同时所述直线电机驱动带嵌合安装在所述吊装架的内部，所述直线调节块的下表面固定安装有籽晶棒提拉器；
前侧固定框，其嵌合贯穿安装在所述冲洗箱的前侧面，且所述前侧固定框的内部转动连接有打磨盘，并且前侧固定框的下端转动连接有纵向螺纹轴杆，所述冲洗箱的后侧面嵌合固定有后侧固定框，且所述后侧固定框的内部固定有清洗喷淋管。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述冲洗箱的内外侧还设置有限位架、固定架和内调节架：
限位架，其设置在所述冲洗箱的前侧面，且所述限位架套设在所述纵向螺纹轴杆的外部，并且所述限位架的左右两侧对称固定有外调节杆，所述外调节杆贯穿设置在所述冲洗箱的侧面；
固定架，其固定安装在左右两侧外调节杆的前侧，且所述固定架的内侧转动安装有横向螺纹轴杆，并且所述固定架的两侧内部贯穿连接有驱动杆，所述驱动杆的侧面固定安装有上夹持防护块；
内调节架，其固定安装在所述外调节杆的内侧面，且所述内调节架的下表面转动安装有驱动齿轮，并且所述内调节架的下端内部贯穿转动安装有传动盘，所述传动盘的外部焊接固定有传动齿环。
3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述驱动杆与固定架构成横向伸缩滑动结构，且所述驱动杆与所述横向螺纹轴杆构成螺纹传动结构，并且所述固定架与外调节杆固定为一体化结构，同时所述外调节杆与所述冲洗箱构成上下滑动结构，以及所述外调节杆的下端通过限位架与所述纵向螺纹轴杆构成螺纹传动结构。
4.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述传动盘的外侧通过传动齿环与驱动齿轮啮合连接，且所述传动盘的侧面贯穿连接有限位杆，并且所述限位杆的上端外侧面焊接固定有下夹持块，所述限位杆的下端侧面固定安装有凸块，以及所述凸块固定安装在自动伸缩杆的侧面伸缩端，同时所述自动伸缩杆固定安装在所述传动盘的内部。
5.根据权利要求4所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述下夹持块通过限位杆与凸块固定为一体化结构，且所述限位杆与所述传动盘构成滑动结构，并且所述限位杆等角度在传动盘的侧面贯穿设置有4个。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述水处理器的内部还设置有分割块和传输管：
分割块，其嵌合固定安装在所述水处理器的内部，且所述分割块的侧壁内部固定安装有金属导热棒，并且所述分割块的下端内部嵌合固定有滤水网；
传输管，其贯穿嵌合设置在所述分割块的内部中间位置，且所述传输管的内部转动设置有中间螺旋输料杆，所述中间螺旋输料杆转动连接在水处理器的内部中间位置，并且所述分割块的左右两侧内部对应转动设置有边侧螺旋输料杆，所述边侧螺旋输料杆转动安装在送料管的内部，所述传输管的上端外侧面固定安装有引导块。
7.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述水处理器内部的过滤物料通过送料管输送至导料斜管的内部，所述导料斜管内部物料通过斜面向下滑动回收进入加热坩埚炉的内部。
8.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述分割块将水处理器的内部分割成上下两处空间，所述水处理器下端排水空间下表面呈倾斜状结构，并且所述水处理器上端过滤空间通过滤水网与下端排水空间构成相互贯通结构。
9.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述金属导热棒内侧面贴合设置在分割块的侧壁内部，且所述金属导热棒嵌合在分割块的内部空间通过导气管与余热利用箱的内部相互贯通。
10.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅片氧化掺杂用石英器件的成型加工及清洗装置，其特征在于：所述中间螺旋输料杆控制水处理器底部的物质转动输送至分割块的内部空间，所述分割块左右两侧内部积累的硅料通过边侧螺旋输料杆转动输送至送料管的内部。
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Denomination of invention: A Forming, Processing, and Cleaning Device for Large Size Silicon Oxide Doped Quartz Devices

Effective date of registration: 20231211

Granted publication date: 20220902

Pledgee: Bank of China Limited Donghai sub branch

Pledgor: Lianyungang Guolun quartz products Co.,Ltd.

Registration number: Y2023980070500