CN114206469B - 过滤装置及过滤装置的过滤器清洗方法 - Google Patents

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Abstract

过滤装置具备：圆筒状的滤芯(21)，其为一端部开口且另一端部封闭的圆筒状，通过使经由开口引导的对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过来进行过滤；反洗机构(5)，其通过沿从滤芯(21)的外周面朝向内周面的方向抽吸过滤流体来进行反洗；高压清洗机构(6)，喷射高压流体以使其在沿从滤芯(21)的内周面朝向外周面的方向上通过滤芯(21)来执行高压清洗；以及旋转驱动机构(4)，其安装有反洗机构(5)和高压清洗机构(6)，在滤芯(21)的内部空间(F)中，使反洗机构(5)和高压清洗机构(6)绕滤芯(21)的轴线(21a)旋转。

Description

过滤装置及过滤装置的过滤器清洗方法
技术领域
本发明涉及使用滤芯过滤流体的过滤装置及过滤装置的过滤器清洗方法。
背景技术
作为过滤装置及其过滤器清洗方法，例如专利文献1所记载的那样，已知有在从圆筒状的滤芯的外周面朝向内周面的方向上进行过滤，在使滤芯旋转的状态下进行反洗或从外周面进行高压清洗的方法。
在先技术文献
专利技术文献
专利技术文献1：日本特开2017-6876号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，由于进行反洗的反洗机构及进行高压清洗的高压清洗机构配置在圆筒状的滤芯的外侧，因此过滤装置的小径化存在界限，难以降低制造成本。另外，由于在从圆筒状的滤芯的外周面朝向内周面的方向上进行过滤，因此在滤芯上作用有由对象流体向内侧挤压的力，在维持滤芯的强度方面并不优选。另外，排放由反洗机构产生的反洗流体的配管在与反洗机构的拆卸方向不同的方向上突出到过滤装置的外部，因此，在过滤装置的维护时难以拆卸反洗机构。
因此，本发明鉴于上述问题，其目的在于提供一种实现了过滤装置的小径化、提高滤芯的强度以及提高维护性的过滤装置。
解决问题所需的手段
因此，在本发明的过滤装置的一个方式中，过滤装置具备：壳体，壳体被划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对对象流体进行过滤并具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；滤芯，构成为：配置于过滤室并呈圆筒状，通过使得滤芯的一端部与流体流入室连通连接并且使从流体流入室引导的对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过，来进行过滤，并且阻断对象流体从滤芯的另一端部向第二端口流出；反洗机构，通过沿从滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸过滤流体来进行反洗；高压清洗机构，以使高压流体在沿从滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；旋转驱动机构，安装有反洗机构和高压清洗机构，在与流体流入室连通的滤芯的内部空间中，使反洗机构和高压清洗机构绕滤芯的轴线旋转，高压清洗机构构成为：包括：可动气缸，可动气缸能够沿轴线的方向移动且能够绕轴线旋转；活塞杆，容纳于可动气缸，具有不能沿轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给高压流体的两个流体供给路，其中，第一流体室和第二流体室是夹着活塞部划分可动气缸的内部空间而成的；以及喷射喷嘴，在可动气缸上设置有多个喷射喷嘴，多个喷射喷嘴中的一部分与第一流体室连通，多个喷射喷嘴中的另一部分与第二流体室连通，喷射喷嘴向外部喷射高压流体，以及高压清洗机构通过依次切换两个流体供给路中的供给高压流体的流体供给路，使得可动气缸在轴线的方向上进行往复移动，过滤装置还具备流量控制阀，设置在对两个流体供给路进行分流的分流路中，能够将高压流体的一部分从两个流体供给路中供给高压流体的一个流体供给路向另一个流体供给路供给。
在本发明的过滤装置的另一方式中，过滤装置，具备：壳体，壳体被划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对对象流体进行过滤并具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；滤芯，构成为：配置于过滤室并呈圆筒状，通过使得滤芯的一端部与流体流入室连通连接并且使从流体流入室引导的对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过，来进行过滤，并且阻断对象流体从滤芯的另一端部向第二端口流出；反洗机构，通过沿从滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸过滤流体来进行反洗；高压清洗机构，以使高压流体在沿从滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；旋转驱动机构，安装有反洗机构和高压清洗机构，在与流体流入室连通的滤芯的内部空间中，使反洗机构和高压清洗机构绕滤芯的轴线旋转，第一排出路径，经由滤芯的另一端部与内部空间连通，并且排出经由反洗而使过滤流体通过滤芯所生成的反洗流体，第二排出路径，经由滤芯的另一端部与内部空间连通，并且排出通过高压清洗生成的清洗流体，高压清洗机构构成为：包括：可动气缸，可动气缸能够沿轴线的方向移动且能够绕轴线旋转；活塞杆，容纳于可动气缸，具有不能沿轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给高压流体的两个流体供给路，其中，第一流体室和第二流体室是夹着活塞部划分可动气缸的内部空间而成的；以及喷射喷嘴，在可动气缸上设置有多个喷射喷嘴，多个喷射喷嘴中的一部分与第一流体室连通，多个喷射喷嘴中的另一部分与第二流体室连通，喷射喷嘴喷射高压流体，以及高压清洗机构通过依次切换两个流体供给路中的供给高压流体的流体供给路，使得可动气缸在轴线的方向上往复移动，喷射喷嘴的喷射轴线相对于与轴线正交的方向，在轴线上向从喷射喷嘴的位置朝向滤芯的另一端部的位置的方向倾斜。
另外，在本发明的过滤装置的过滤器清洗方法的一个方式中，过滤装置具备：壳体，其划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对对象流体进行过滤并且具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；以及滤芯，构成为：形成为圆筒状并且配置于过滤室，通过使得滤芯的一端部与流体流入室连通连接并且使从流体流入室引导的对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过来进行过滤，并且阻断对象流体从滤芯的另一端部向第二端口流出，其中，过滤器清洗方法包括：通过沿从滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸过滤流体来进行反洗；以使高压流体在沿从滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；以及在进行反洗和高压清洗期间，在与流体流入室连通的滤芯的内部空间中，使进行反洗的机构和进行高压清洗的机构围绕滤芯的轴线旋转，其中，进行高压清洗的机构构成为：包括：可动气缸，可动气缸能够沿轴线的方向移动且能够绕轴线旋转；活塞杆，容纳于可动气缸，具有不能沿轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给高压流体的两个流体供给路，其中，第一流体室和第二流体室是夹着活塞部划分可动气缸的内部空间而成的；以及喷射喷嘴，在可动气缸上设置有多个喷射喷嘴，多个喷射喷嘴中的一部分与第一流体室连通，多个喷射喷嘴中的另一部分与第二流体室连通，喷射喷嘴喷射高压流体，以及进行高压清洗的机构通过依次切换两个流体供给路中的供给高压流体的流体供给路，使得可动气缸在轴线的方向上往复移动，通过将高压流体的一部分从两个流体供给路中供给高压流体的一个流体供给路向另一个流体供给路供给，来降低可动气缸的移动速度。
在根据本发明的过滤装置的过滤器清洗方法的另一方式中，过滤装置具备：壳体，其划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对对象流体进行过滤并且具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；以及滤芯，构成为：形成为圆筒状并且配置于过滤室，通过使得滤芯的一端部与流体流入室连通连接并且使从流体流入室引导的对象流体在从内周面朝向外周面的方向上通过来进行过滤，并且阻断对象流体从滤芯的另一端部向第二端口流出，其中，过滤器清洗方法包括：通过沿从滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸过滤流体来进行反洗；以使高压流体在沿从滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；以及在进行反洗和高压清洗期间，在与流体流入室连通的滤芯的内部空间中，使进行反洗的机构和进行高压清洗的机构围绕滤芯的轴线旋转，经由滤芯的另一端部排出经由反洗而使过滤流体通过滤芯所生成的反洗流体，经由滤芯的另一端部排出通过高压清洗生成的清洗流体，进行高压清洗的机构构成为：包括：可动气缸，可动气缸能够沿轴线的方向移动且能够绕轴线旋转；活塞杆，容纳于可动气缸，具有不能沿轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给高压流体的两个流体供给路，其中，第一流体室和第二流体室是夹着活塞部划分可动气缸的内部空间而成的；以及喷射喷嘴，在可动气缸上设置有多个喷射喷嘴，多个喷射喷嘴中的一部分与第一流体室连通，多个喷射喷嘴中的另一部分与第二流体室连通，喷射喷嘴喷射高压流体，以及进行高压清洗的机构通过依次切换两个流体供给路中的供给高压流体的流体供给路，使得可动气缸在轴线的方向上往复移动，喷射喷嘴相对于与轴线正交的方向，在轴线上向从喷射喷嘴的位置朝向滤芯的另一端部的位置的方向倾斜来喷射高压流体。
发明效果
根据本发明的过滤装置，能够实现过滤装置的小径化、提高滤芯的强度并且提高维护性。
附图说明
图1是示出第一实施方式的过滤装置的一个示例的中央纵截面图。
图2是图1的A-A线的横截面图。
图3是示出该过滤装置中的过滤器的层结构的一个示例的截面图。
图4是示出该过滤装置的过滤时的操作的中央纵截面图。
图5是示出该过滤装置的反洗时的操作的中央纵截面图。
图6是示出该过滤装置的高压清洗时的第一操作的中央纵截面图。
图7是示出该过滤装置的高压清洗时的第二操作的中央纵截面图。
图8是示出该过滤装置中的流量控制阀所进行的操作的中央纵截面图。
图9是示出该过滤装置的局部分解状态的截面图。
图10是示出该过滤装置的变形例的中央截面图。
图11是示出第二实施方式的过滤装置的一个示例的中央纵截面图。
图12是图10的B-B线的横截面图。
图13是示出该过滤装置的第一变形例的中央截面图。
图14是示出该过滤装置的第二变形例的局部中央截面图。
图15是示出第三实施方式的过滤装置的一个示例的中央截面图。
图16是示出第四实施方式的过滤装置的一个示例的概要结构图。
图17是示出该过滤装置中的过滤器清洗处理的一个示例的流程图。
图18是示出图14的过滤器清洗处理的第一变形例的流程图。
图19是示出图14的过滤器清洗处理的第二变形例的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的实施方式进行详细说明。
〔第一实施方式〕
图1及图2表示第一实施方式的过滤装置的一个示例。该过滤装置具有使作为过滤对象的各种流体(以下称为“对象流体”)通过内置的滤芯而进行过滤的过滤功能。作为对象流体，有河流水、湖沼水或海水、各种装置的冷却水或处理液等产业上通常使用的液体、润滑油或柴油机燃料油等油、在化学工厂等使用的各种原料气体、或船舶的压载水等。具体而言，过滤装置具备壳体1和过滤器单元2作为实现过滤功能的结构。
壳体1是构成过滤装置的外壳的筒状体(例如圆筒体)11，一端部的开口由第一壳体盖板12封闭，并且另一端部的开口由第二壳体盖板13封闭，在内部具有密闭的空间。壳体1的内部由与第一壳体盖板12及第二壳体盖板13对置(例如大致平行)的隔壁板14分隔成两个空间。第一壳体盖板12与隔壁板14之间的空间形成有对象流体从外部流入到的流体流入室15，隔壁板14与第二壳体盖板13之间的空间形成有对流体流入室15的对象流体进行过滤的过滤室16。壳体1的材质是金属或合成树脂等，其形状、大小可根据过滤装置的使用目的、对象流体的种类或量、或过滤装置的设置场所等适当决定。
流体流入室15具有贯通筒状体11内外的第一端口17，经由该第一端口17使对象流体从外部流入。过滤室16具有贯通筒状体11内外的第二端口18，经由该第二端口18使对象流体的过滤后的流体(以下称为“过滤流体”)向外部流出。流体流入室15和过滤室16通过在从第一壳体盖板12朝向第二壳体盖板13的方向上贯通隔壁板14的大致圆形的连通孔14a连通。
过滤器单元2具有过滤对象流体的圆筒状的滤芯21，滤芯21的轴线21a以从隔壁板14朝向第二壳体盖板13延伸的方式配置在过滤室16内。在滤芯21的一端部的外周遍及全周放射状地安装有凸缘部22，滤芯21的另一端部的开口由过滤器盖板23封闭。凸缘部22和过滤器盖板23也作为保持滤芯21的径向形状的结构体发挥作用。滤芯21的一端部通过凸缘部22与连通孔14a的周围连接固定而与流体流入室15连通连接，滤芯21的一端部的开口面对流体流入室15。由此，滤芯21的内部空间F经由一端部的开口构成流体流入室15的一部分。流入流体流入室15的对象流体在从滤芯21的内周面(以下称为“过滤面”)朝向外周面(以下称为“反过滤面”)的方向上通过滤芯21而被过滤，由此生成过滤流体。
与图3所示的现有滤芯同样地，滤芯21只要是多层重叠、且滤芯21的过滤面侧的最内层为最细的网眼即可。例如，有将多个层叠的金属网进行烧结而提高保形性并成形为圆筒状的结构、圆筒状的切口线过滤器、楔形线过滤器、在板部件上开设置有细孔的结构等。在为进行了烧结的结构的情况下，最内层的网眼的大小从10μm至200μm的大小中适当选择，其外侧的层的网眼的大小从200μm至5000μm的大小中适当选择。此时，最内层以外的加强网或保护网与过滤器单元2的强度相关，为了得到必要的强度，选择其层数、网眼的大小及线材直径。另外，网眼的编织方法可以采用平纹编织、斜纹编织、缎纹编织、叠纹编织、斜叠纹编织等。另外，也可以将滤芯21的反过滤面侧的最外层作为金属网，在将例如穿设置有无数方孔的圆筒状的冲孔板、沿纵横方向排列多根细杆而成的加强部件配设于其内侧的状态下进行烧结。
过滤装置除了具有过滤功能之外，还具有使由滤芯21捕获到的微颗粒、尘埃等捕获物从滤芯21脱离的过滤器清洗功能。过滤器清洗功能包括反洗和高压清洗。过滤装置具有反洗用排放箱3、旋转驱动机构4、反洗机构5以及高压清洗机构6作为实现过滤器清洗功能的结构。
反洗用排放箱3是一端部在滤芯21的内部空间F开口，另一端部沿轴线21a的方向贯通过滤盖板23和第二壳体盖板13而向壳体1的外部延伸，是延伸端开口被封闭的有底筒状体(例如有底圆筒体)。反洗用排放箱3通过其一端部与过滤器盖板23的贯通孔嵌合而支承滤芯21。反洗用排放箱3在筒状体的内部空间形成反洗用排放室31，并且构成壳体1的一部分，该反洗用排放室31容纳含有通过如下所述进行反洗而从滤芯21脱离的捕获物的流体(以下称为“反洗流体”)。反洗用排放箱3具有将反洗用排放室31和过滤装置的外部连通的反洗用排放端口32。另外，在过滤器盖板23的贯通孔的内周面和插通于该贯通孔的反洗用排放箱3的外周面之间，设置有用于防止流体泄漏的O型环等密封部件23a。
旋转驱动机构4是在壳体1的外部具有例如带减速器的马达等驱动源41且从驱动源41经由输出轴42向反洗机构5及高压清洗机构6传递旋转力的机构。例如，在滤芯21的轴线21a为竖直方向的情况下，在第一壳体盖板12上设置有驱动源41。旋转驱动机构4作为从输出轴42向反洗机构5及高压清洗机构6传递旋转力的结构，从壳体1的外部到流体流入室15及滤芯21的内部空间F具有第一端部旋转体43、第二端部旋转体44及连结轴45。
第一端部旋转体43以在壳体1的外部能够传递旋转力的方式与输出轴42连结。第一端部旋转体43从与输出轴42的连结部贯通第一壳体盖板12而向流体流入室15延伸，在流体流入室15中，以能够绕轴线21a相对旋转的方式插通于固定配置于第一壳体盖板12的环状的第一轴承46。另外，在第一壳体盖板12的贯通孔的内周面和插通于该贯通孔的第一端部旋转体43的外周面之间，为了防止壳体1的内外之间的流体泄漏而设置有O型环等密封部件42a。
第二端部旋转体44在轴线21a的方向上在过滤器盖板23的附近位置以能够绕轴线21a相对旋转的方式插通于环状的第二轴承47。第二轴承47的外周面紧密地嵌合固定于反洗用排放箱3的一端部的开口。第二端部旋转体44以能够相对旋转的方式插通于第二轴承47，由此封闭反洗用排放箱3的一端部的开口。第二端部旋转体44通过与轴线21a大致平行地呈直线状延伸的至少一个连结轴45与第一端部旋转体43连结，从第一端部旋转体43经由连结轴45向第二端部旋转体44传递输出轴42的旋转力。
这样，由连结轴45连结的第一端部旋转体43及第二端部旋转体44由第一轴承46和第二轴承47以能够绕轴线21a旋转的方式支承，并且轴线21a的方向上的移动被限制在第一轴承46与第二轴承47之间。
反洗机构5是通过进行使过滤流体从滤芯21的反过滤面朝向过滤面逆流而抽吸的反洗，从而主要以去除通过过滤而从过滤面侧捕获的最内层等的捕获物并进行清洗为目的的机构。具体而言，反洗机构5具有反洗头51及去除刷52。
反洗头51是从滤芯21的凸缘部22沿着过滤面延伸至过滤器盖板23的两端封闭的管状体。反洗头51与第一端部旋转体43及第二端部旋转体44中的至少一方连接固定，通过旋转驱动机构4绕轴线21a旋转。反洗头51在其管状体中面向过滤面的部分遍及管长方向的全长具有连通管内外的抽吸孔51a。上述反洗流体在反洗头51经由抽吸孔51a沿从滤芯21的反过滤面朝向过滤面的方向抽吸过滤流体，从而过滤流体在滤芯21中逆流时产生。另外，反洗头51也可以构成为：在通过旋转驱动机构4进行旋转时，抽吸孔51a的开口端部与滤芯21的过滤面滑动接触。
在反洗头51上形成有从管内向第二端部旋转体44贯通的反洗流体排放端口51b，该反洗流体排放端口51b与形成于第二端部旋转体44的内部通路即反洗流体排出路44a连通连接。通过该反洗流体排出路44a，将在反洗头51的管内产生的反洗流体从反洗流体排放端口51b向反洗用排放室31排放。
去除刷52是在通过旋转驱动机构4使反洗头51旋转时，前端与过滤面滑动接触的滑动接触部件，植入反洗头51的抽吸孔51a的周围。去除刷52的刷毛的材质例如为天然或合成的纤维、或钢、铜、黄铜等金属线，可根据过滤装置的使用目的及对象流体的种类适当选择。另外，也可以取代去除刷52，而将形成为刃状或刮刀状的金属制、树脂制或橡胶制的刮板作为滑动接触部件设置在抽吸孔51a的周围。
高压清洗机构6是进行向滤芯21的过滤面喷射高压流体以使其通过反过滤面的高压清洗，且主要以去除在反洗中难以去除的中间层或最外层等的捕获物为目的的机构。该高压清洗机构6构成为：除了通过旋转驱动机构4而进行的旋转运动之外，一部分还能够在轴线21a的方向上进行往复移动。具体而言，高压清洗机构6具有活塞杆61及供其插通于内部的可动气缸62。
活塞杆61是其轴线与轴线21a相同的圆柱体或圆筒体，从反洗用排放箱3的外部以能够相对旋转的方式贯通第二端部旋转体44并延伸至第一端部旋转体43。活塞杆61的一端部通过具有挡块兼止转功能的固定件63固定于反洗用排放箱3。活塞杆61的另一端部经由中间轴承48以能够相对旋转的方式支承于第一端部旋转体43。另外，为了滤芯21的内部空间F和反洗用排放室31之间的液密或气密，而在第二端部旋转体44的贯通孔的内周面和贯通该贯通孔的活塞杆61的外周面之间设置有O型环等密封部件44b。
活塞杆61在第一端部旋转体43和第二端部旋转体44之间的中间位置具有全周向径向鼓出的圆盘状的活塞部61c。该活塞部61c的轴线与轴线21a相同。另外，在活塞杆61的内部设置有用于供给高压流体的第一流体供给路61a及第二流体供给路61b。第一流体供给路61a在活塞部61c和第一端部旋转体43之间(例如活塞部61c的附近)向活塞杆61的外部开口。第二流体供给路61b在活塞部61c和第二端部旋转体44之间(例如活塞部61c的附近)向活塞杆61的外部开口。而且，第一流体供给路61a及第二流体供给路61b延伸至活塞杆61固定于反洗用排放箱3的一端部。
可动气缸62是在其内部空间插通有活塞杆61、在轴线21a的方向上以能够相对移动的方式容纳活塞部61c的圆筒体。在可动气缸62中，一端部的开口被第一封闭栓62a封闭，活塞杆61在轴线21a的方向上以能够相对移动的方式贯通该第一封闭栓62a。另外，在可动气缸62中，另一端部的开口被第二封闭栓62b封闭，活塞杆61在轴线21a的方向上以能够相对移动的方式贯通该第二封闭栓62b。在第一封闭栓62a及第二封闭栓62b中，连结轴45在轴线21a的方向上以能够相对移动的方式贯通。可动气缸62的内部空间被活塞部61c划分为两个流体室，在活塞部61c与第一封闭栓62a之间形成有第一流体室62c，在活塞部61c与第二封闭栓62b之间形成有第二流体室62d。高压流体经由第一流体供给路61a而供给至第一流体室62c，高压流体经由第二流体供给路61b而供给至第二流体室62d。
可动气缸62能够相对于活塞部61c在与轴线21a相同的轴线上相对旋转。另外，第一封闭栓62a及第二封闭栓62b能够相对于活塞杆61在与轴线21a相同的轴线上相对旋转。
另外，在可动气缸62的内周面与活塞部61c的外周面之间，为了防止第一流体室62c与第二流体室62d之间的流体泄漏而设置有O型环等密封部件62e。另外，在活塞杆61的外周面和第一封闭栓62a及第二封闭栓62b的各贯通孔的内周面之间，为了防止可动气缸62的内外之间的流体泄漏而分别设置有O型环等密封部件62f、62g。
在第一封闭栓62a上安装有将第一流体室62c内的高压流体朝向滤芯21的内周面(过滤面)喷射的第一喷射喷嘴64，第一流体室62c和第一喷射喷嘴64通过第一喷射路径62h连通。在第二封闭栓62b上安装有将第二流体室62d内的高压流体朝向滤芯21的内周面喷射的第二喷射喷嘴65，第二流体室62d和第二喷射喷嘴65通过第二喷射路径62i连通。
在上述结构中，即使在旋转驱动机构4或活塞杆61的轴线与轴线21a之间存在误差的情况下，由于以下的理由也不会产生大的问题。即，这是因为从喷射喷嘴64、65向过滤面喷射高压流体的高压清洗机构6远离滤芯21配置。另外，还因为即使反洗头51根据旋转位置而不与过滤面滑动接触，也能够通过具有柔性的去除刷52预先具有的挠曲来吸收轴线的误差。
接着，在过滤装置中，对过滤、反洗及高压清洗所需的外部配管系统和各种压力的检测机构进行说明。
在流体流入室15的第一端口17上连接有用于从外部供给对象流体的对象流体流入管L1。对象流体流入管L1经由在其中途进行管路的开闭的流入阀VI，与泵等一次压力P1的对象流体供给源连接。在过滤室16的第二端口18上连接有用于使过滤流体向外部流出的过滤流体流出管L2。过滤流体流出管L2经由在其中途进行管路的开闭的流出阀VO，与过滤流体储存槽等二次压力P2的压力容器连接。反洗用排放室31的反洗用排放端口32与用于排放容纳在反洗用排放室31中的反洗流体的反洗流体排放管L3连接。反洗流体排放管L3经由在其中途进行管路的开闭的反洗用排放阀VD，向大气压等周围压力P0的空间开放。在此，一次压力P1、二次压力P2以及周围压力P0按照该顺序压力变小(P0<P2<P1)。一次压力P1设定为大于在二次压力P2上加上由滤芯21的过滤阻力等引起的过滤装置内部的压力损失和由配管、阀等的流路阻力引起的压力损失而得到的值。
第一流体供给路61a经由第一流体供给管La与三通阀VH的第一分支端口连接，三通阀VH具有与供给供给压力PH(例如10MPa)的清洁高压流体的高压流体供给源连接的供给口。另外，第二流体供给路61b经由第二流体供给管Lb与三通阀VH的第二分支端口连接。三通阀VH设定为供给端口和第一分支端口开放的第一设定、供给端口和第二分支端口开放的第二设定、或者至少供给端口关闭的第三设定中的任一个。在第一设定中，经由第一流体供给路61a向第一流体室62c供给高压流体，在第二设定中，经由第二流体供给路61b向第二流体室62d供给高压流体。通过在第一设定和第二设定之间切换三通阀VH，可动气缸62在轴线21a的方向上进行往复移动。
过滤装置为了检测滤芯21引起的过滤的压力损失，而具备过滤器内压检测机构Sin和过滤器外压检测机构Sout。过滤器内压检测机构Sin具有用于检测滤芯21的过滤面侧即内部空间F的压力(过滤器内压Pin)的压力传感器，基于压力传感器的输出信号显示过滤器内压Pin。同样地，过滤器外压检测机构Sout具有用于检测滤芯21的反过滤面侧即过滤室16的压力(过滤器外压Pout)的压力传感器，基于其输出信号显示过滤器外压Pout。
另外，过滤装置具备用于检测第一流体供给路61a的流体压力Pa的第一流体压力检测机构Sa、和用于检测第二流体供给路61b的流体压力Pb的第二流体压力检测机构Sb。第一流体压力检测机构Sa例如在第一流体供给管La中具有用于检测第一流体供给路61a的流体压力Pa的压力传感器，基于压力传感器的输出信号显示流体压力Pa。同样地，第二流体压力检测机构Sb例如在第二流体供给管Lb中具有用于检测第二流体供给路61b的流体压力Pb的压力传感器，基于压力传感器的输出信号显示流体压力Pb。
接着，使用图4至图7对过滤装置的操作进行说明。图4表示过滤时的操作，图5表示反洗时的操作，图6表示可动气缸62在一个方向上移动的高压清洗时的第一操作，图7表示可动气缸62向另一个方向移动的高压清洗时的第二操作。
如图4所示，在过滤时，不使旋转驱动机构4操作，打开流入阀VI及流出阀VO，并且关闭反洗用排放阀VD。另外，将三通阀VH设定为第三设定，并且设定成不向可动气缸62进行流体供给。通过这样的设定，第二端口18的流体压力比第一端口17的流体压力低，因此过滤室16的压力变为比流体流入室15的压力低。因此，经由第一端口17流入流体流入室15的对象流体(粗实线箭头)从过滤面朝向反过滤面通过滤芯21。由此，在过滤室16内生成的过滤流体(空心箭头)经由第二端口18向过滤装置的外部流出。
如图5所示，在反洗时，使旋转驱动机构4操作，使反洗头51绕轴线21a旋转，并且打开流入阀VI、流出阀VO以及反洗用排放阀VD。另外，将三通阀VH设定为第三设定，并且设定为不向可动气缸62进行流体供给。通过这样的设定，反洗头51的管内的压力降低，因此过滤流体(空心箭头)在滤芯21中的面向反洗头51的抽吸孔51a的带状区域中在从反过滤面朝向过滤面的方向上逆流。当反洗头51通过旋转驱动机构4沿滤芯21的过滤面旋转移动时，一边通过去除刷52刮取被滤芯21捕获的捕获物，一边面向抽吸孔51a的带状区域移动。由此，对过滤面的大致整个区域进行反洗，主要是过滤时从过滤面侧捕获到的捕获物脱离并包含在反洗头51的管内生成的反洗流体(虚线箭头)中。而且，反洗流体经由反洗流体排放端口51b及反洗流体排出路44a而排放至反洗用排放室31，进而经由反洗用排放端口32向过滤装置的外部排放。
反洗可以根据过滤装置的设想的使用条件，以规定的频率进行规定的时间。或者，反洗可以根据滤芯21上实际捕获的捕获物的捕获量在适当的时序·时间进行。例如，反洗在由过滤器内压检测机构Sin显示的过滤器内压Pin和由过滤器外压检测机构Sout显示的过滤器外压Pout的压力差ΔP为预定值以上时进行。该预定值是表示从过滤性能的方面出发推定为滤芯21有过滤器清洗的必要性时的过滤阻力的压力差ΔP。另外，反洗也可以在压力差ΔP小于预定值时停止。
如图6及图7所示，在高压清洗时，使旋转驱动机构4操作，并使可动气缸62绕轴线21a旋转。另外，在高压清洗时，为了同时进行过滤而减少过滤装置的停机时间，打开流入阀VI及流出阀VO，关闭反洗用排放阀VD。因此，与过滤时和反洗时同样地，在对象流体和过滤流体存在于过滤装置内的状态下进行高压清洗。
如图6所示，在使可动气缸62向第一端部旋转体43的方向移动的情况下，将三通阀VH设定为第一设定。于是，压力PH的高压流体从三通阀VH经由第一流体供给路61a向第一流体室62c流入，填充第一流体室62c后，经由第一喷射路径62h从第一喷射喷嘴64喷射。另外，第一流体室62c的体积由于填充在第一流体室62c中的高压流体的压力PH而上升，因此，第一封闭栓62a向远离活塞部61c的方向移动。伴随于此，第二封闭栓62b向接近活塞部61c的方向移动，因此，第二流体室62d的体积减少。由此，第二流体室62d的流体也经由第二喷射路径62i从第二喷射喷嘴65喷射。
当第一封闭栓62a与第一端部旋转体43抵接时，第二流体室62d的体积不再减少。因此，从第二喷射喷嘴65的流体的喷射停止，由第二流体压力检测机构Sb显示的流体压力Pb从高压流体的压力PH显著降低。因此，在改变可动气缸62的移动方向的情况下，在流体压力Pb从压力PH显著降低时，将三通阀VH切换为第二设定即可。在通过三通阀VH的设定切换使可动气缸62向第二端部旋转体44的方向移动时，从三通阀VH经由第一流体供给路61a填充至第一流体室62c中的高压流体作为从第一喷射喷嘴64喷射的流体使用。另外，第一封闭栓62a和第二封闭栓62b之间的距离优选设定为：在第一封闭栓62a与第一端部旋转体43抵接时，第二流体供给路61b的面向第二流体室62d的开口不被第二封闭栓62b封闭。
另一方面，如图7所示，在使可动气缸62向第二端部旋转体44的方向移动的情况下，将三通阀VH设定为第二设定。于是，压力PH的高压流体从三通阀VH经由第二流体供给路61b向第二流体室62d流入，填充第二流体室62d后，经由第二喷射路径62i从第二喷射喷嘴65喷射。另外，第二流体室62d的体积由于填充在第二流体室62d中的高压流体的压力PH而上升，因此，第二封闭栓62b向远离活塞部61c的方向移动。伴随于此，第一封闭栓62a向接近活塞部61c的方向移动，因此，第一流体室62c的体积减少。由此，第一流体室62c的流体也经由第一喷射路径62h从第一喷射喷嘴64喷射。
当第二封闭栓62b与第二端部旋转体44抵接时，第一流体室62c的体积不再减少。因此，从第一喷射喷嘴64的流体的喷射停止，由第一流体压力检测机构Sa显示的流体压力Pa从高压流体的压力PH显著降低。因此，在改变可动气缸62的移动方向的情况下，在流体压力Pa从压力PH显著降低时，将三通阀VH切换为第一设定即可。在通过三通阀VH的设定切换使可动气缸62向第一端部旋转体43的方向移动时，从三通阀VH经由第二流体供给路61b填充至第二流体室62d的高压流体作为从第二喷射喷嘴65喷射的流体使用。另外，第一封闭栓62a和第二封闭栓62b之间的距离优选设定为：在第二封闭栓62b与第二端部旋转体44抵接时，第一流体供给路61a的面向第一流体室62c的开口不被第一封闭栓62a封闭。
如图6所示，在从三通阀VH向第一流体室62c供给压力PH的高压流体的情况下，流路截面积通过第一喷射喷嘴64缩小，从而第一流体室62c的内压成为压力PH。而且，根据可动气缸62的轴线21a方向的力的平衡，第二流体室62d的内压也成为压力PH。因此，在与三通阀VH连接的高压流体供给源的供给压力稳定在压力PH的情况下，从第一喷射喷嘴64及第二喷射喷嘴65喷射的流体的喷射流量恒定。如果从第二喷射喷嘴65的流体的喷射流量恒定，则第二流体室62d的体积减少速度恒定，可动气缸62的移动速度也恒定。
如图7所示，在从三通阀VH向第二流体室62d供给压力PH的高压流体的情况下，通过第二喷射喷嘴65缩小流路截面积，从而第二流体室62d的内压成为压力PH。而且，根据可动气缸62的轴线21a方向的力的平衡，第一流体室62c的内压也成为压力PH。因此，在与三通阀VH连接的高压流体供给源的供给压力稳定在压力PH的情况下，从第一喷射喷嘴64及第二喷射喷嘴65喷射的流体的喷射流量恒定。如果从第一喷射喷嘴64的流体的喷射流量恒定，则第一流体室62c的体积减少速度恒定，可动气缸62的移动速度也恒定。
从与三通阀VH连接的高压流体供给源供给的高压流体的压力PH以及旋转驱动机构4的驱动源41的旋转输出预先设定为：能够在考虑表示来自喷射喷嘴64、65的喷射流体的扩散的喷射角度的同时对过滤面的整个区域进行喷射。这样，在设定了高压流体的压力PH和驱动源41的旋转输出时，可动气缸62的移动速度为设定移动速度u，可动气缸62的旋转速度为设定旋转速度ω。
例如，设定移动速度u和设定旋转速度ω可以根据下述关系式来设定。在此，L是可动气缸62在第一端部旋转体43和第二端部旋转体44之间的单程移动距离，n是正整数，p、q都是正自然数，p是比q小的值，p设为不是q的1以外的公约数。该关系式表示可动气缸62以设定旋转速度ω旋转一周时的时间与可动气缸62以设定移动速度u在移动了(n+p/q)个周期时的时间一致。这里，将可动气缸62沿轴线21a的方向进行往复移动并返回到原始位置作为一个周期。
u/ω＝{L(n+p/q)}/π
如果设定在可动气缸62旋转一周时进行相当于(n+p/q)个周期的移动，则在可动气缸62旋转一周时能够将第一喷射喷嘴64及第二喷射喷嘴65的位置投影到滤芯21的过滤面上而形成的移动轨迹为q。因此，随着q的值增大，喷射喷嘴64、65的移动轨迹的间隔变小，因此q的值考虑喷射喷嘴64、65的喷射角度而设定为过滤面的整个区域为被喷射区域。例如，q的值被设定为使得在最短时间内喷射整个过滤表面。通过将该q的值代入上述关系式，能够确定设定移动速度u及设定旋转速度ω，进而，能够确定高压流体的压力PH及驱动源41的旋转输出。
如图8所示，在可动气缸62的移动速度超过设定移动速度u的情况下，也可以在第一流体供给路61a和第二流体供给路61b之间的分流路中设置能够调整流量的流量控制阀VC，使可动气缸62的移动速度降低。流量控制阀VC例如设置在第一流体供给管La和第二流体供给管Lb的分流路中。通过将三通阀VH设置为第一设定，在经由第一流体供给路61a向第一流体室62c供给流体时，为了降低可动气缸62的移动速度，稍微打开流量控制阀VC。由此，第一流体室62c的内压不降低，但从三通阀VH流入第一流体供给路61a的流体的一部分经由第二流体供给路61b向第二流体室62d供给，第二流体室62d的体积减少速度降低，因此，可动气缸62的移动速度降低。通过将三通阀VH设定为第二设定，在经由第二流体供给路61b向第二流体室62d供给流体时也同样能够降低可动气缸62的移动速度。
这样，可动气缸62通过在第一设定和第二设定之间切换三通阀VH而在轴线21a的方向上进行往复移动，并且通过旋转驱动机构4绕轴线21a进行旋转运动。因此，通过适当设定设定移动速度u和设定旋转速度ω，第一喷射喷嘴64和第二喷射喷嘴65能够对滤芯21的过滤面的整个区域喷射。通过来自过滤面侧的高压喷射，主要在反洗中难以去除的中间层或最外层等的捕获物脱离到滤芯21的外部的过滤室16内，与过滤流体一起经由第二端口18流出至外部。
高压清洗也可以根据过滤装置的设想的使用条件以预先设定的频率和时间进行。但是，高压清洗主要以去除在反洗中难以去除的中间层或最外层等的捕获物为目的，这些捕获物与从作为反洗去除的主要对象的从过滤面侧捕获的捕获物的捕获量相比为少量，因此能够设定成比进行反洗的频率低。
代替以规定频率进行高压清洗，可以根据在滤芯21上实际捕获的捕获物的捕获量来决定可否实施高压清洗。例如，在反洗结束时，在由过滤器内压检测机构Sin显示的过滤器内压Pin与由过滤器外压检测机构Sout显示的过滤器外压Pout的压力差ΔP小于预定值的情况下，省略高压清洗。另外，在高压清洗中压力差ΔP小于预定值的情况下，也可以立即停止高压清洗。
高压清洗在通过反洗去除从过滤面侧捕获到的捕获物之后进行。假设如果在反洗前进行高压清洗，则从过滤面侧捕获到的捕获物的一部分脱离到滤芯21的内部空间F中，其中的微小的颗粒状的捕获物(例如200μm以下)不沉降而浮游。这种微小的颗粒状的捕获物通过过滤功能从过滤面侧被再次捕获到滤芯21中，有可能使过滤性能的充分恢复变得困难。因此，在高压清洗之前，通过反洗去除微小的颗粒状的捕获物。
接着，对从过滤装置装卸反洗机构5及高压清洗机构6的装卸方法进行说明。参照图1，在取出反洗机构5及高压清洗机构6的情况下，首先，解除输出轴42与第一端部旋转体43的连结，将驱动源41从过滤装置拆下后，拆下第一壳体盖板12，在壳体1上设置作为取出口的开口。然后，解除活塞杆61与第一流体供给管La及第二流体供给管Lb的连接，拆下将活塞杆61固定在反洗用排放箱3上的固定件63。然后，如图9所示，将第一端部旋转体43从壳体1的开口拉出。即使这样，反洗机构5和高压清洗机构6也不会脱落。这是因为，反洗头51与第一端部旋转体43或第二端部旋转体44连接固定，可动气缸62在第一端部旋转体43及第二端部旋转体44之间被限制移动，活塞部61c在第一封闭栓62a和第二封闭栓62b之间限制移动。这样，将反洗机构5和高压清洗机构6取出到过滤装置的外部。另外，对于过滤器单元2，解除凸缘部22与隔壁板14的连接，将凸缘部22从壳体1的开口拉出，由此将其取出到过滤装置的外部。在将反洗机构5、高压清洗机构6以及过滤器单元2安装在过滤装置上的情况下，可以按照上述相反的顺序进行。
图10表示第一实施方式的过滤装置的变形例。过滤室16被第二壳体盖板13和隔壁板14之间的隔壁板19进一步划分成第一过滤室16a和第二过滤室16b。第一过滤室16a配置有滤芯21，并且经由第二端口18与外部连通。第二过滤室16b在另一端与滤芯21连通连接。在隔壁板19的贯通孔中嵌合有在滤芯21的一端部的外周遍及整周呈放射状形成的凸缘部24，由此，滤芯21被壳体1支承。另外，在隔壁板19的贯通孔和与其嵌合的凸缘部24之间，设置有以防止流体泄漏为目的的O型环等密封部件24a。
根据本变形例的过滤装置，滤芯21的另一端部不通过过滤器盖板23封闭，与第二过滤室16b连通连接，由此，从滤芯21脱离并沉降的捕获物不易因来自第二喷射喷嘴65的高压流体喷射而飞起。另外，在本变形例的过滤装置中，也能够与上述同样地操作并且能够装卸，也能够应用流量控制阀VC。因此，滤芯21可以构成为阻止对象流体从其另一端向第二端口18流出。
根据第一实施方式的过滤装置，反洗机构5及高压清洗机构6安装于旋转驱动机构4，在滤芯21的内部空间F中以能够旋转的方式配置。因此，与在可旋转的滤芯21的外部配置反洗机构5及高压清洗机构6的现有的过滤装置相比，能够实现过滤装置的小径化，由此，也能够降低制造成本。
另外，在第一实施方式的过滤装置中，使滤芯21的过滤方向为从内周面朝向外周面的方向，使反洗机构5及高压清洗机构6旋转。因此，与使滤芯21的过滤方向为从外周面朝向内周面的方向且使滤芯21旋转的现有过滤装置相比，可以提高滤芯21的强度。
此外，在第一实施方式的过滤装置中，构成为如下：由于反洗机构5旋转的关系，而成为使在反洗头51产生的反洗流体与反洗机构5及高压清洗机构6的拆卸方向相同地沿轴线21a的方向排放。因此，与将排放反洗流体的配管贯通壳体1的外周面进行设置的现有过滤装置相比，反洗机构5及高压清洗机构6的拆卸变得容易，能够提高过滤装置的维护性。
〔第二实施方式〕
图11及图12表示第二实施方式的过滤装置的一个示例。另外，在本实施方式中，主要对与第一实施方式的不同点进行说明，对于与第一实施方式的过滤装置类似的结构，标注相同的符号，省略或简化其说明。在以下的实施方式中是同样的。
如在第一实施方式中所说明的那样，通过在高压清洗之前进行反洗，从滤芯21的过滤面侧捕获的微小颗粒状的捕获物几乎全部与反洗流体一起被去除。但是，在反洗不充分的情况下，微小的颗粒状的捕获物可能会因高压清洗而脱离并残留在滤芯21的内部空间F中。因此，在第二实施方式的过滤装置中，考虑到滤芯21的捕获物因高压清洗而脱离到滤芯21的内部空间F中的可能性，还具有排放这样的捕获物的路径。
为了在高压清洗时将脱离的捕获物排放到外部，过滤装置将与反洗用排放箱3的外周面间隔开包围反洗用排放箱3的外周面的筒状体即高压清洗用排放箱7固定在壳体1上。高压清洗用排放箱7的一端部在滤芯21的内部空间F开口，另一端部沿轴线21a的方向贯通过滤盖板23和第二壳体盖板13而延伸至壳体1的外部。高压清洗用排放箱7的延伸端与反洗用排放箱3的外周面连接，高压清洗用排放箱7的另一端部被封闭。由此，反洗用排放箱3经由高压清洗用排放箱7而固定在壳体1上。另外，高压清洗用排放箱7通过其一端部与过滤器盖板23的贯通孔嵌合而支承滤芯21。而且，在反洗用排放箱3的外周面和高压清洗用排放箱7的内周面之间的空间中，形成有高压清洗用排放室71，该高压清洗用排放室71容纳含有因高压清洗而脱离到滤芯21的内部空间F中的捕获物的流体(以下称为“清洗流体”)。高压清洗用排放箱7具有将高压清洗用排放室71和过滤装置的外部连通的高压清洗用排放端口72。
另外，过滤器盖板23的贯通孔的内周面以及插通该贯通孔的高压清洗用排放箱7的外周面形成为能够绕轴线21a相对旋转。另外，在过滤器盖板23的贯通孔的内周面以及插通该贯通孔的高压清洗用排放箱7的外周面之间，设置有用于防止流体泄漏的O型环等密封部件23a。
高压清洗用排放室71的高压清洗用排放端口72与用于排放收纳在高压清洗用排放室71中的清洗流体的清洗流体排放管L4连接。清洗流体排放管L4经由在其中途进行管路开闭的高压清洗用排放阀VDH，向大气压等周围压力P0的空间开放。
高压清洗用排放阀VDH在过滤时及反洗时关闭，在高压清洗时打开。如果在高压清洗时打开高压清洗用排放阀VDH，则高压清洗用排放室71的内压降低。因此，流入至流体流入室15进而流入至滤芯21的内部空间F的对象流体的一部分，作为含有通过高压清洗而脱离到滤芯21的内部空间F中的捕获物的清洗流体(涂黑箭头)而流出至高压清洗用排放室71。然后，容纳在高压清洗用排放室71中的清洗流体从高压清洗用排放端口72经由清洗流体排放管L4向过滤装置的外部排放。
图13示出第二实施方式的过滤装置的第一变形例。在该变形例中，在图10的过滤装置中，还具有与第二过滤室16b连通连接的排放管8。与高压清洗用排放端口72同样，在排放管8上连接有清洗流体排放管L4，清洗流体排放管L4经由在其中途进行管路的开闭的高压清洗用排放阀VDH，向大气压等周围压力P0的空间开放。然后，容纳在第二过滤室16b中的清洗流体经由排放管8和清洗流体排放管L4排放到外部。
图14示出第二实施方式的过滤装置的第二变形例。在该变形例中，图11及图13的过滤装置中的喷射喷嘴64、65的喷射轴线X相对于与轴线21a正交的方向D，在轴线21a上向从喷射喷嘴64、65的位置朝向第一排出箱3的位置的方向倾斜。在此，喷射轴线X是指沿着从喷射喷嘴64、65喷射的高压流体的行进方向的喷流的中心轴。通过使喷射轴线X这样进行倾斜，从通过高压清洗从滤芯21脱离到其内部空间F中的微小颗粒状的捕获物被比较迅速地引导到高压清洗用排放室71或排放管8。
根据第二实施方式的过滤装置，通过高压清洗将从滤芯21脱离的捕获物排放。因此，除了过滤装置的小径化和制造成本的降低、滤芯21的强度提高以及维护性的提高之外，还能够充分地恢复过滤性能。
〔第三实施方式〕
图15示出第三实施方式的过滤装置的一个示例。本实施方式的过滤装置与第一实施方式的过滤装置的不同点在于，活塞杆61以不能相对旋转的方式固定在第一端部旋转体43和第二端部旋转体44上并与旋转驱动机构4一体旋转。因此，在本实施方式中，省略了第一实施方式中的以下结构。即，省略了将活塞杆61以能够相对旋转的方式支承在第一端部旋转体43上的中间轴承48、以及将活塞杆61固定在反洗用排放箱3上的固定件63。另外，省略作为使活塞杆61与第二端部旋转体44的贯通孔的内周面密切接触并固定的部件的、第二端部旋转体44和活塞杆61之间的密封部件44b。
在反洗用排放箱3的外表面中活塞杆61所贯通的贯通孔的周围配置固定有环状的第三轴承49，活塞杆61以能够绕轴线21a相对旋转的方式插通第三轴承49。另外，活塞杆61从第三轴承49进一步向外部延伸，以能够绕轴线21a相对旋转的方式且液密或气密地插通旋转接头66，该旋转接头66是用于向旋转的活塞杆61供给高压流体的密闭容器。而且，在活塞杆61的延伸端部以能够装卸的方式安装有挡块61d，在挡块61d与旋转接头66之间配置有活塞杆61所插通的环状的推力轴承61e。由此，将旋转接头66的轴线21a的方向上的移动限制在第三轴承49和挡块61d之间，防止旋转接头66的脱落。
旋转接头66以不能相对旋转的方式固定于壳体1。在旋转接头66上连接有第一流体供给管La及第二流体供给管Lb。旋转接头66的内部空间被液密或气密地划分为两个，旋转接头66具有与第一流体供给管La连通的第一连通室66a和与第二流体供给管Lb连通的第二连通室66b。第一连通室66a构成为：与活塞杆61的旋转角度无关地与第一流体供给路61a连通，但不与第二流体供给路61b连通。另外，第二连通室66b构成为：与活塞杆61的旋转角度无关地与第二流体供给路61b连通，但不与第一流体供给路61a连通。
例如，在旋转接头66中，可以将其内部空间在轴线21a的方向上划分为两个并且成为第一连通室66a和第二连通室66b。在这种情况下，使第一流体供给路61a在轴线21a的方向上在第一连通室66a的位置开口，使第二流体供给路61b在轴线21a的方向上在第二连通室66b的位置开口。由此，与活塞杆61的旋转角度无关，第一连通室66a与第一流体供给路61a始终连通，第二连通室66b与第二流体供给路61b始终连通。
在第一实施方式的过滤装置中，活塞杆61的一端部通过固定件63固定在反洗用排放箱3上，活塞杆61的另一端部经由中间轴承48以能够相对旋转的方式支承在第一端部旋转体43上。因此，第一实施方式的活塞杆61作为向旋转的可动气缸62供给高压流体的旋转接头发挥作用。与此相对，在第三实施方式的过滤装置中，由于活塞杆61与旋转驱动机构4一体旋转，因此为了向旋转的活塞杆61供给高压流体而具备上述旋转接头66。
在取出反洗机构5及高压清洗机构6时，与拆下固定件63的第一实施方式的不同点在于，需要拆下挡块61d。除此之外，与第一实施方式同样地将反洗机构5、高压清洗机构6及过滤器单元2取出到过滤装置的外部。另外，与第一实施方式同样地，也可以应用流量控制阀VC。
根据第三实施方式的过滤装置，活塞杆61以不能相对旋转的方式固定在第一端部旋转体43和第二端部旋转体44上，与旋转驱动机构4一体旋转。因此，在活塞杆61和可动气缸62之间产生轴线21a的方向的直线滑动，但不产生旋转滑动，因此，与第一实施方式相比，尤其能够延长密封部件62e、62f、62g的磨损周期。因此，除了过滤装置的小径化及降低制造成本、提高滤芯21的强度及提高维护性之外，还能够降低过滤装置的维护频率。
〔第四实施方式〕
图16表示第四实施方式的过滤装置的一个示例。图中的过滤装置与第一实施方式相同，但在由控制装置100进行操作控制这一点上不同。
在本实施方式中，三通阀VH、流入阀VI、流出阀VO以及反洗用排放阀VD都是能够从外部进行控制的电磁阀。另外，流量控制阀VC是通过流量根据内置的螺线管的输入电流而变化的、能够从外部进行控制的调节阀。另外，过滤器内压检测机构Sin、过滤器外压检测机构Sout、第一流体压力检测机构Sa及第二流体压力检测机构Sb构成为：能够向外部输出与作为各自的检测对象的压力相关的信号。
旋转驱动机构4的驱动源41构成为：能够经由安装在电源与驱动源41之间的电源继电器或功率晶体管、或者对驱动源41进行驱动的逆变器等各种电力设备从外部进行控制。旋转驱动机构4具有用于检测输出轴42的旋转角度的旋转角度检测机构Sr。旋转角度检测机构Sr可以使用旋转变压器、旋转编码器或霍尔元件等各种旋转角度传感器。
控制装置100输入过滤器内压检测机构Sin、过滤器外压检测机构Sout、第一流体压力检测机构Sa、第二流体压力检测机构Sb以及旋转角度检测机构Sr的各输出信号。然后，基于这些输出信号，控制装置100控制三通阀VH、流入阀VI、流出阀VO、反洗用排放阀VD、流量控制阀VC以及旋转驱动机构4的驱动源41。由此，控制装置100进行过滤装置的操作控制。
控制装置100包括具有CPU(Central Processing Unit，中央处理单元)等处理器的微计算机。该微型计算机具有以能够通过内部总线与处理器通信的方式连接的ROM(ReadOnly Memory，只读存储器)、RAM(Random Access Memory，随机访问存储器)、输入输出接口等。通过微计算机的处理器将过滤装置的操作控制程序从ROM读出到RAM并执行的软件处理，控制装置100进行过滤装置的操作控制。另外，控制装置100中的过滤装置的操作控制并不排除其一部分或全部通过硬件的结构来执行的情况。
图17表示在控制装置100中进行的过滤装置的操作控制中，在过滤时重复执行的过滤器清洗处理的一个示例。另外，在过滤时，控制装置100进行过滤的设定。具体而言，控制装置100不使旋转驱动机构4的驱动源41操作，而打开流入阀VI及流出阀VO，并且关闭反洗用排放阀VD。另外，控制装置100设定为：将三通阀VH设定为第三设定，不进行向可动气缸62的流体供给。在这样的设定下，通过过滤装置进行过滤。
在步骤S101(图中简记为"S101"。以下相同。)中，控制装置100判断是否有过滤器清洗要求。例如，控制装置100也可以在通过其开关操作或上位的控制装置的信号输出而经由输入输出接口输入了过滤指令信号时，或者在成为预先设定的规时序序时，判断为有过滤器清洗请求。然后，控制装置100在判断为有过滤器清洗请求的情况下(是)，使处理进入步骤S102，另一方面，在判断为没有过滤器清洗请求的情况下(否)，暂时结束过滤器清洗处理，再次执行步骤S101。
在步骤S102中，控制装置100打开反洗用排放阀VD，启动旋转驱动机构4，由此在过滤装置中开始反洗。另外，控制装置100为了有效地实施反洗，可以在过滤装置内的流体量为一定以上时开始反洗。例如，也可以在从特定的液位传感器的输出信号得到的过滤装置内的液位为表示满液或滤芯21的整体浸渍在流体中的值以上时开始反洗。
在步骤S103中，控制装置100判断开始反洗后的输出轴42的旋转量Δθ[rad]是否达到第一预定旋转量θ1。输出轴42的旋转量Δθ基于旋转角度检测机构Sr的输出信号得到。另外，第一预定旋转量Δθ是推定为从滤芯21的过滤面侧捕获到的微小颗粒状的捕获物通过反洗几乎全部脱离的旋转量Δθ，优选至少旋转一圈(＝2π[rad])。然后，控制装置100在判断为输出轴42的旋转量Δθ达到了第一预定旋转量θ1的情况下(是)，使处理进入步骤S104。另一方面，控制装置100在判断为输出轴42的旋转量Δθ未达到第一预定旋转量θ1的情况下(否)，为了继续进行反洗，再次执行步骤S103。另外，在步骤S103中，也可以代替上述内容，判断从反洗开始的经过时间是否达到输出轴42的旋转量Δθ达到第一预定旋转量θ1所需的时间。对于以下的步骤S111也同样。
在步骤S104中，控制装置100关闭反洗用阀，由此在过滤装置中停止反洗。
在步骤S105中，控制装置100为了开始高压清洗，将三通阀VH设定为第一设定或第二设定中的任一个。控制装置100也可以预先将高压清洗开始时的三通阀VH的设定固定为第一设定或第二设定中的任一个，但取而代之，可以根据前次的高压清洗中的三通阀VH的最后的设定来确定三通阀VH的本次的设定。例如，在前次的高压清洗中的三通阀VH的最后的设定为第二设定的情况下，也可以将三通阀VH的本次的设定设置为第二设定。另外，与前次的高压清洗中的三通阀VH的最后的设定相关的信息被写入并保持在例如控制装置100的闪速ROM等可写入的非易失性存储器中。
另外，在如第二实施方式那样设置有高压清洗用排放室71的情况下，在步骤S105中，控制装置100也打开构成为电磁阀的高压清洗用阀VDH。
在步骤S106中，在三通阀VH为第一设定的情况下(是)，控制装置100使处理进入步骤S107，另一方面，在三通阀VH为第二设定的情况下(否)，使处理进入步骤S109。
在步骤S107中，控制装置100判断基于第二流体压力检测机构Sb的输出信号取得的第二流体供给路61b的流体压力Pb是否小于预定值α。预定值α是推定第一封闭栓62a与第一端部旋转体43抵接时的第二流体供给路61b的流体压力Pb。然后，控制装置100在判断为第二流体供给路61b的流体压力Pb小于预定值α的情况下(是)，使处理进入步骤S108，将三通阀VH从第一设定切换到第二设定。另一方面，控制装置100在判断为第二流体供给路61b的流体压力Pb在预定值α以上的情况下(否)，省略步骤S108，保持第一设定，使处理进入步骤S111。
在步骤S109中，控制装置100判断基于第一流体压力检测机构Sa的输出信号取得的第一流体供给路61a的流体压力Pa是否小于预定值β。预定值β是推定第二封闭栓62b与第二端部旋转体44抵接时的第一流体供给路61a的流体压力Pa。另外，预定值β也可以是与预定值α相同的值。然后，控制装置100在判断为第一流体供给路61a的流体压力Pa小于预定值β的情况下(是)，使处理进入步骤S110，将三通阀VH从第二设定切换到第一设定。另一方面，控制装置100在判断为第一流体供给路61a的流体压力Pa为预定值β以上的情况下(否)，省略步骤S110而保持第二设定，使处理进入步骤S111。
在步骤S111中，控制装置100判断开始高压清洗后的输出轴42的旋转量Δθ[rad]是否达到第二预定旋转量θ2。输出轴42的旋转量Δθ基于旋转角度检测机构Sr的输出信号得到。另外，第二预定旋转量θ2是预先设定为能够对过滤面的整个区域进行喷射的值。例如，在设定移动速度u和设定旋转速度ω满足上述关系式的情况下，可以将第二预定旋转量θ2设定为(q×2π)[rad]。然后，当控制装置100判断为输出轴42的旋转量Δθ达到了第二预定旋转量θ2时(是)，使处理进入步骤S112。另一方面，控制装置100在判断为输出轴42的旋转量Δθ未达到第二预定旋转量θ2的情况下(否)，为了继续进行高压清洗，使处理返回步骤S106。
在步骤S112中，控制装置100将三通阀VH设置为第三设定，使旋转驱动机构4停止，由此在过滤装置中停止高压清洗。以上，过滤器清洗处理结束。
另外，在如第二实施方式那样设置高压清洗用排放室71的情况下，在步骤S112中，控制装置100还对构成为电磁阀的高压清洗用排出阀VDH进行闭阀。
图18示出图17的过滤器清洗处理的第一变形例。另外，在本变形例中，除了步骤S101a和步骤S104a之外，与图17的过滤器清洗处理相同，因此，对于与图17的过滤器清洗处理相同的内容，标注相同的步骤编号，并省略或简化其说明。
在步骤S101a中，控制装置100代替如图17的步骤S101那样判断是否有过滤器清洗要求，而求出过滤器内压Pin与过滤器外压Pout的压力差ΔP，并判断该压力差ΔP是否在预定值γ以上。过滤器内压Pin基于过滤器内压检测机构Sin的输出信号而得到，过滤器外压Pout基于过滤器外压检测机构Sout的输出信号而得到。另外，预定值γ是表示从过滤性能的方面出发推定滤芯21有过滤器清洗的必要性时的过滤阻力的压力差ΔP。然后，控制装置100在判断压力差ΔP为预定值γ以上的情况下(是)，使处理进入步骤S102，另一方面，在判断压力差ΔP小于预定值γ时(否)，暂时结束过滤器清洗处理，再次执行步骤S101a。这样，通过基于压力差ΔP判断是否开始过滤器清洗，能够在与滤芯21的实际的捕获状态对应的适当时序开始过滤器清洗。
另外，步骤S101a的处理也可以与步骤S101的处理组合执行。例如，在抑制过滤器清洗所需的功耗以及流体消耗的情况下，也可以当在步骤S101中判断为有过滤器清洗要求时，进一步执行步骤S101a的处理。或者，在重视抑制过滤性能的降低的情况下，也可以当即使在步骤S101中判断为没有过滤器清洗要求时，执行步骤S101a的处理。
当在步骤S104中停止反洗之后且在步骤S105中进行高压清洗之前，控制装置100执行步骤S104a的处理。在步骤S104a中，控制装置100判断压力差ΔP是否在预定值γ以上。然后，控制装置100在判断为压力差ΔP为预定值γ以上时(是)，使处理进入步骤S105，另一方面，在判断为压力差ΔP小于预定值γ时(否)，暂时结束过滤器清洗处理，再次执行步骤S101a。这样，由于在反洗后且高压清洗前根据压力差ΔP判断是否需要开始高压清洗，因此在推定通过反洗提高了过滤性能的情况下，可以省略高压清洗的实施，抑制高压清洗所需的无用功耗以及流体消耗。
另外，在本变形例中，也可以反映步骤S101向步骤S101a的置换或者步骤S104和步骤S105之间追加步骤S104a中的任一个。
图19表示图17的过滤器清洗处理的第二变形例。另外，在本变形例中，除了步骤110a，与图17的过滤器清洗处理相同，因此，对于与图17的过滤器清洗处理相同的内容，标注相同的步骤编号，省略或简化其说明。
当在步骤S108或步骤S110中切换了三通阀VH的设定之后，并在执行步骤S111的处理之前，控制装置100在步骤S110a中进行移动速度或旋转速度的调整。具体而言，控制装置100基于从三通阀VH的前次设定切换到本次设定切换所经过的经过时间Δt和根据设定移动速度u得到的半周期量的时间Thalf(＝L/u)的比较，进行可动气缸62的移动速度或旋转速度的调整。在半周期的时间Thalf比经过时间Δt大的情况下，可动气缸62的实际移动速度比设定移动速度u低。因此，控制装置100通过在能够进行驱动源41的速度控制的情况下对其进行控制，以例如满足上述关系式的方式根据移动速度的偏差量使旋转速度降低。另一方面，在半周期的时间Thalf比经过时间Δt小的情况下，可动气缸62的实际移动速度高。因此，控制装置100以例如满足上述关系式的方式稍微打开流量控制阀VC来降低移动速度。或者，控制装置100通过在能够进行驱动源41的速度控制的情况下对其进行控制，以例如满足上述关系式的方式根据移动速度的偏差量使旋转速度上升。
根据第四实施方式的过滤装置，通过其具有的控制装置100，过滤器清洗处理以从反洗到高压清洗的顺序自动进行，微小颗粒状的捕获物不易脱离到滤芯21的内部空间F中。因此，除了过滤装置的小径化和降低制造成本、提高滤芯21的强度以及提高维护性之外，还能够充分地复原过滤性能。
另外，在上述第一实施方式至第四实施方式中，在高压清洗时，当在过滤装置的定期维护时等不需要使过滤功能发挥作用时，也可以关闭流入阀VI和反洗用排放阀VD，打开流出阀VO，将过滤装置内的流体排放到外部。在这种情况下，即使通过高压清洗将从过滤面侧捕获的捕获物脱离，微小颗粒状的捕获物也不会在滤芯21的内部空间F中浮游，因此也可以在高压清洗之前不进行反洗。
另外，虽然说明了高压清洗在反洗后进行，但并不排除在高压清洗中进行反洗。如果在高压清洗中进行反洗，则即使通过高压清洗而脱离到滤芯21的内部空间F中的微小颗粒状的捕获物再次被滤芯21捕获，也能够通过反洗排放到外部。
高压清洗机构6不限于使用高压喷射的喷射流体使可动气缸62往复移动的结构，只要是能够从滤芯21的一端部到另一端部进行往复移动的机构即可。例如，也可以使用气缸或电动机驱动的进给螺杆机构，使第一喷射喷嘴64和第二喷射喷嘴65往复移动。
虽然使用清洁的流体作为高压清洗的喷射流体，但不限于此，例如也可以使用过滤流体。另外，在过滤流体中可能混入有通过高压清洗去除的捕获物。但是，这样的捕获物主要是在过滤时通过滤芯21后，在反洗时从反过滤面侧被捕获的捕获物。因此，即使使用过滤流体作为高压清洗的喷射流体，也能够确认在过滤时再次通过滤芯21的可能性，因此没有特别的问题。
壳体1的内部由流体流入室和过滤室划分，但不限于此，也可以省略流体流入室。在这种情况下，只要构成为对象流体从外部直接流入滤芯21的内部空间F即可。
在可动气缸62上安装有与第一流体室62c连通的第一喷射喷嘴64和与第二流体室62d连通的第二喷射喷嘴65这两个喷嘴，但喷射喷嘴的个数不限于此。即，与第一流体室62c连通的喷射喷嘴和与第二流体室62d连通的喷射喷嘴中的至少一个的个数也可以是多个。例如，可以在轴线21a的周围以不与反洗头51干涉的角度安装两个与第一流体室62c连通的喷射喷嘴，并安装两个与第二流体室62d连通的喷射喷嘴。
对于过滤装置的设置姿势没有特别限定，例如，可以以轴线21a为竖直方向的方式设置过滤装置，或者以轴线21a为水平方向的方式设置过滤装置。
以上，参照优选的实施方式具体地说明了本发明的内容，但基于本发明的基本技术思想及教导，对于本领域技术人员来说能够采用各种变形方式是显而易见的。另外，在上述第一实施方式至第四实施方式中说明的各技术思想只要不产生矛盾，则可以适当组合使用。
附图标记
1···壳体、2···过滤器单元、3···反洗用排放箱、4···旋转驱动机构、15···流体流入室、5···反洗机构、6···高压清洗机构、7···高压清洗用排放箱、8···排放管、16···过滤室、16a···第一过滤室、16b···第二过滤室、17···第一端口、18···第二端口、21···滤芯、21a···滤芯的轴线、23···过滤器盖板、41···驱动源、43···第一端部旋转体、44···第二端部旋转体、44a···反洗流体排出路、45···连结轴、51···反洗头、51a···抽吸孔、61···活塞杆、61a···第一流体供给路、61b···第二流体供给路、61c···活塞部、62···可动气缸、62a···第一封闭栓、62b···第二封闭栓、62c···第一流体室、62d···第二流体室、64···第一喷射喷嘴、65···第二喷射喷嘴、66···旋转接头、100···控制装置、F···滤芯的内部空间、VC···流量控制阀、Pin···过滤器内压、Pout···过滤器外压、ΔP···压力差、u···设定移动速度、ω···设定旋转速度

Claims (15)

1.一种过滤装置，具备：
壳体，所述壳体被划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对所述对象流体进行过滤并具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；
滤芯，构成为：配置于所述过滤室并呈圆筒状，通过使得所述滤芯的一端部与所述流体流入室连通连接并且使从所述流体流入室引导的所述对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过，来进行过滤，并且阻断所述对象流体从所述滤芯的另一端部向所述第二端口流出；
反洗机构，通过沿从所述滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸所述过滤流体来进行反洗；
高压清洗机构，以使高压流体在沿从所述滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过所述滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；
旋转驱动机构，安装有所述反洗机构和所述高压清洗机构，在与所述流体流入室连通的所述滤芯的内部空间中，使所述反洗机构和所述高压清洗机构绕所述滤芯的轴线旋转，
所述高压清洗机构构成为：
包括：
可动气缸，所述可动气缸能够沿所述轴线的方向移动且能够绕所述轴线旋转；
活塞杆，容纳于所述可动气缸，具有不能沿所述轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给所述高压流体的两个流体供给路，其中，所述第一流体室和所述第二流体室是夹着所述活塞部划分所述可动气缸的内部空间而成的；以及
喷射喷嘴，在所述可动气缸上设置有多个所述喷射喷嘴，所述多个所述喷射喷嘴中的一部分与所述第一流体室连通，所述多个所述喷射喷嘴中的另一部分与所述第二流体室连通，所述喷射喷嘴向外部喷射所述高压流体，以及
所述高压清洗机构通过依次切换所述两个流体供给路中的供给所述高压流体的流体供给路，使得所述可动气缸在所述轴线的方向上进行往复移动，
所述过滤装置还具备流量控制阀，设置在对所述两个流体供给路进行分流的分流路中，能够将所述高压流体的一部分从所述两个流体供给路中供给所述高压流体的一个流体供给路向另一个流体供给路供给。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其中，所述滤芯重叠多层而形成，所述滤芯的内周面侧的最内层的网眼最细。
3.根据权利要求1所述的过滤装置，其中，
所述旋转驱动机构具备：第一端部旋转体，与驱动源连结；第二端部旋转体，在所述轴线的方向上与所述第一端部旋转体分离；以及连结轴，沿所述轴线的方向延伸，并将所述第一端部旋转体与所述第二端部旋转体连结，
所述可动气缸的两端部由插通有所述连结轴的封闭栓封闭，所述可动气缸能够在所述第一端部旋转体与所述第二端部旋转体之间沿所述轴线的方向移动。
4.根据权利要求3所述的过滤装置，其中，
所述活塞杆以能够相对旋转且能够相对移动的方式插通于所述可动气缸并沿所述轴线的方向延伸，以能够相对旋转的方式支承于所述第一端部旋转体，以能够相对旋转的方式贯通所述第二端部旋转体，并固定于所述壳体。
5.根据权利要求3所述的过滤装置，其中，
所述活塞杆具有旋转接头，所述旋转接头构成为：以能够相对移动的方式插通于所述可动气缸并沿所述轴线的方向延伸，以不能相对旋转的方式固定于所述第一端部旋转体和所述第二端部旋转体，并以能够相对旋转的方式贯通所述壳体，在从所述壳体向外部延伸的延伸端部从外部向所述两个流体供给路供给所述高压流体。
6.根据权利要求3所述的过滤装置，其中，
所述滤芯的所述另一端部由盖板封闭，
在所述壳体上固定有贯通所述壳体和所述盖板并向所述内部空间开口的第一排放箱，
所述第二端部旋转体以能够旋转的方式支承于所述第一排放箱的开口部，并且所述滤芯通过所述第一排放箱与所述盖板的贯通孔嵌合，从而支承于所述第一排放箱，
通过所述反洗使所述过滤流体通过所述滤芯而生成的反洗流体经由所述第二端部旋转体的内部通路排出到所述第一排放箱。
7.根据权利要求6所述的过滤装置，其中，
在所述壳体上固定有第二排放箱，所述第二排放箱与所述第一排放箱的外周面间隔开并且包围所述第一排放箱的外周面，并且贯通所述壳体及所述盖板而向所述内部空间开口，
所述滤芯通过所述第二排放箱取代所述第一排放箱来与所述盖板的贯通孔嵌合，而支承于所述第二排放箱，
通过所述高压清洗所生成的清洗流体经由所述第二排放箱的开口部排出至所述第二排放箱。
8.根据权利要求3所述的过滤装置，其中，
所述过滤室被划分为第一过滤室和第二过滤室，其中，所述第一过滤室配置有所述滤芯并且经由所述第二端口与外部连通，所述第二过滤室与所述滤芯的所述另一端部连通连接，
在所述壳体上固定有贯通所述壳体并在所述内部空间或所述第二过滤室开口的第一排放箱，
所述第二端部旋转体以能够旋转的方式支承于所述第一排放箱的开口部，
通过所述反洗使所述过滤流体通过所述滤芯而生成的反洗流体经由所述第二端部旋转体的内部通路排出至所述第一排放箱。
9.根据权利要求8所述的过滤装置，其中，
所述过滤装置还具备与所述第二过滤室连通连接的排放管。
10.一种过滤装置，具备：
壳体，所述壳体被划分为：流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及过滤室，对所述对象流体进行过滤并具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；
滤芯，构成为：配置于所述过滤室并呈圆筒状，通过使得所述滤芯的一端部与所述流体流入室连通连接并且使从所述流体流入室引导的所述对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过，来进行过滤，并且阻断所述对象流体从所述滤芯的另一端部向所述第二端口流出；
反洗机构，通过沿从所述滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸所述过滤流体来进行反洗；
高压清洗机构，以使高压流体在沿从所述滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过所述滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；
旋转驱动机构，安装有所述反洗机构和所述高压清洗机构，在与所述流体流入室连通的所述滤芯的内部空间中，使所述反洗机构和所述高压清洗机构绕所述滤芯的轴线旋转，
第一排出路径，经由所述滤芯的所述另一端部与所述内部空间连通，并且排出经由所述反洗而使所述过滤流体通过所述滤芯所生成的反洗流体，
第二排出路径，经由所述滤芯的所述另一端部与所述内部空间连通，并且排出通过所述高压清洗生成的清洗流体，
所述高压清洗机构构成为：
包括：
可动气缸，所述可动气缸能够沿所述轴线的方向移动且能够绕所述轴线旋转；
活塞杆，容纳于所述可动气缸，具有不能沿所述轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给所述高压流体的两个流体供给路，其中，所述第一流体室和所述第二流体室是夹着所述活塞部划分所述可动气缸的内部空间而成的；以及
喷射喷嘴，在所述可动气缸上设置有多个所述喷射喷嘴，所述多个所述喷射喷嘴中的一部分与所述第一流体室连通，所述多个所述喷射喷嘴中的另一部分与所述第二流体室连通，所述喷射喷嘴喷射所述高压流体，以及
所述高压清洗机构通过依次切换所述两个流体供给路中的供给所述高压流体的流体供给路，使得所述可动气缸在所述轴线的方向上往复移动，
所述喷射喷嘴的喷射轴线相对于与所述轴线正交的方向，在所述轴线上向从所述喷射喷嘴的位置朝向所述滤芯的所述另一端部的位置的方向倾斜。
11.根据权利要求1所述的过滤装置，其中，
还具备控制所述反洗机构、所述高压清洗机构及所述旋转驱动机构的控制装置，
所述控制装置在使所述反洗机构进行所述反洗之后，使所述高压清洗机构进行所述高压清洗。
12.根据权利要求11所述的过滤装置，其中，
在所述滤芯的内周面侧的压力与外周面侧的压力的压力差小于预定值的情况下，所述控制装置省略所述高压清洗。
13.根据权利要求11所述的过滤装置，其中，
所述控制装置在进行所述高压清洗时，调整所述喷射喷嘴的在所述滤芯的所述轴线的方向上的移动速度或所述旋转驱动机构的旋转速度。
14.一种过滤装置的过滤器清洗方法，所述过滤装置具备：
壳体，其划分为：
流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及
过滤室，对所述对象流体进行过滤并且具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；以及
滤芯，构成为：形成为圆筒状并且配置于所述过滤室，通过使得所述滤芯的一端部与所述流体流入室连通连接并且使从所述流体流入室引导的所述对象流体沿从内周面朝向外周面的方向通过来进行过滤，并且阻断所述对象流体从所述滤芯的另一端部向所述第二端口流出，
其中，所述过滤器清洗方法包括：
通过沿从所述滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸所述过滤流体来进行反洗；
以使高压流体在沿从所述滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过所述滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；以及
在进行所述反洗和所述高压清洗期间，在与所述流体流入室连通的所述滤芯的内部空间中，使进行所述反洗的机构和进行所述高压清洗的机构围绕所述滤芯的轴线旋转，
其中，进行所述高压清洗的机构构成为：
包括：
可动气缸，所述可动气缸能够沿所述轴线的方向移动且能够绕所述轴线旋转；
活塞杆，容纳于所述可动气缸，具有不能沿所述轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给所述高压流体的两个流体供给路，其中，所述第一流体室和所述第二流体室是夹着所述活塞部划分所述可动气缸的内部空间而成的；以及
喷射喷嘴，在所述可动气缸上设置有多个所述喷射喷嘴，所述多个所述喷射喷嘴中的一部分与所述第一流体室连通，所述多个所述喷射喷嘴中的另一部分与所述第二流体室连通，所述喷射喷嘴喷射所述高压流体，以及
所述进行所述高压清洗的机构通过依次切换所述两个流体供给路中的供给所述高压流体的流体供给路，使得所述可动气缸在所述轴线的方向上往复移动，
通过将所述高压流体的一部分从所述两个流体供给路中供给所述高压流体的一个流体供给路向另一个流体供给路供给，来降低所述可动气缸的移动速度。
15.一种过滤装置的过滤器清洗方法，所述过滤装置具备：
壳体，其划分为：
流体流入室，具有使对象流体从外部流入的第一端口；以及
过滤室，对所述对象流体进行过滤并且具有使过滤后的过滤流体向外部流出的第二端口；以及
滤芯，构成为：形成为圆筒状并且配置于所述过滤室，通过使得所述滤芯的一端部与所述流体流入室连通连接并且使从所述流体流入室引导的所述对象流体在从内周面朝向外周面的方向上通过来进行过滤，并且阻断所述对象流体从所述滤芯的另一端部向所述第二端口流出，
其中，所述过滤器清洗方法包括：
通过沿从所述滤芯的外周面朝向内周面的方向抽吸所述过滤流体来进行反洗；
以使高压流体在沿从所述滤芯的内周面朝向外周面的方向上通过所述滤芯的方式进行喷射来执行高压清洗；以及
在进行所述反洗和所述高压清洗期间，在与所述流体流入室连通的所述滤芯的内部空间中，使进行所述反洗的机构和进行所述高压清洗的机构围绕所述滤芯的轴线旋转，
经由所述滤芯的所述另一端部排出经由所述反洗而使所述过滤流体通过所述滤芯所生成的反洗流体，
经由所述滤芯的所述另一端部排出通过所述高压清洗生成的清洗流体，
所述进行所述高压清洗的机构构成为：
包括：
可动气缸，所述可动气缸能够沿所述轴线的方向移动且能够绕所述轴线旋转；
活塞杆，容纳于所述可动气缸，具有不能沿所述轴线的方向移动的活塞部，并且具有从外部向第一流体室和第二流体室分别供给所述高压流体的两个流体供给路，其中，所述第一流体室和所述第二流体室是夹着所述活塞部划分所述可动气缸的内部空间而成的；以及
喷射喷嘴，在所述可动气缸上设置有多个所述喷射喷嘴，所述多个所述喷射喷嘴中的一部分与所述第一流体室连通，所述多个所述喷射喷嘴中的另一部分与所述第二流体室连通，所述喷射喷嘴喷射所述高压流体，以及
所述进行所述高压清洗的机构通过依次切换所述两个流体供给路中的供给所述高压流体的流体供给路，使得所述可动气缸在所述轴线的方向上往复移动，
所述喷射喷嘴相对于与所述轴线正交的方向，在所述轴线上向从所述喷射喷嘴的位置朝向所述滤芯的所述另一端部的位置的方向倾斜来喷射所述高压流体。
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