CN114122296A - 显示背板及其制作方法和显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了显示背板及其制作方法和显示装置，显示背板包括：显示背板结构中：薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；辅助阴极设置在栅极远离衬底基板的一侧；发光单元设置在辅助阴极远离薄膜晶体管基板的一侧，辅助阴极与发光单元的阴极电连接，辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，第一导电层靠近发光单元设置，且第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。辅助阴极与阴极搭接，可有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体的，涉及显示背板及其制作方法和显示装置。
背景技术
现有的OLED显示面板中，OLED器件的阴极的厚度需要较薄以保证其透光性，保证有机发光层发射的光线能出射到屏幕外部，但较薄的阴极结构会导致阴极电阻过大，导致显示面板的近IC端与远离IC端、边框附近与显示区域中心处的电压有较大的差异，即IRDrop较大，会引起较明显的显示不均，降低显示质量。
因此，关于显示背板的研究有待深入。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种显示背板，该显示背板中设置有辅助阴极，辅助阴极的结构简单，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量。
在本发明的一方面，本发明提供了一种显示背板。根据本发明的实施例，显示背板包括：薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。由此，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极与阴极搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量。
根据本发明的实施例，显示背板还包括：第一平坦层，所述第一平坦层设置在所述薄膜晶体管基板的一侧，其中，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置，且所述发光单元中的阳极与所述漏极或所述源极电连接。
根据本发明的实施例，显示背板还包括：第一平坦层，所述第一平坦层设置在所述薄膜晶体管基板的一侧；导电连接层，所述导电连接层设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，且与所述漏极或所述源极和所述阳极电连接；第二平坦层，所述第二平坦层设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧，且覆盖所述导电连接层；其中，所述辅助阴极设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，或者，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极还包括第三导电层，所述第三导电层设置在第二导电层远离所述第一导电层的表面上，且所述第三导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置，所述第一平坦层具有第一通孔，所述辅助阴极位于所述第一通孔内，其中，所述辅助阴极在所述薄膜晶体管基板上的正投影与所述第一平坦层在所述薄膜晶体管基板上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层的两侧的边缘均超出所述第二导电层的边缘；或者，所述第一平坦层覆盖所述辅助阴极的部分表面，且所述第一导电层未被所述第一平坦层覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，所述第二平坦层具有第二通孔，所述辅助阴极位于所述第二通孔内，其中，所述辅助阴极在所述薄膜晶体管基板上的正投影与所述第二平坦层在所述薄膜晶体管基板上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层的两侧的边缘均超出所述第二导电层的边缘；或者，所述第二平坦层覆盖所述辅助阴极的部分表面，且所述第一导电层未被所述第二平坦层覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
根据本发明的实施例，所述阴极和所述辅助阴极的电连接满足以下条件之一：所述阴极在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开，且所述阴极在断开处的其中一个侧面与所述第二导电层电的侧面电连接；所述阴极在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开，且所述阴极在断开处的其中一个侧面与所述第三导电层电连接；所述阴极在所述辅助阴极的侧端不断开，且所述阴极与所述第二导电层的侧壁接触连接。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极满足以下条件中的至少之一：所述第二导电层的厚度大于所述第一导电层的厚度，且大于所述第三导电层的厚度；所述第二导电层的电阻小于所述第一导电层的电阻，且大于所述第三导电层的电阻；所述第一导电层的材料和所述第三导电层的材料分别为Ti、Cu、Mo、W、Al、Ag、ITO、IGZO、ZnO、MgO和有机导电材料中的至少一种；所述第二导电层的材料为Cu、Ag、ITO、IGZO、ZnO和Al中的至少一种；所述第二导电层的氧化速率大于所述第一导电层的氧化速率，且大于所述第三导电层的氧化速率。
根据本发明的实施例，上述辅助阴极位于相邻两个上述阳极之间，且相邻两行或相邻两列的所述辅助阴极通过连接层电连接，所述连接层与所述阳极、所述漏极或所述导电连接层同层设置。
根据本发明的实施例，所述发光单元的发光层在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开。
在本发明的另一方面，本发明提供了一种制作前面所述的显示背板的方法。根据本发明的实施例，制作显示背板的方法包括：形成薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；形成辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；形成发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。由此，上述制作方法中，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极与阴极搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量。
根据本发明的实施例，制作显示背板的方法还包括：辅助阴极与所述源极和所述漏极同层形成；在所述薄膜晶体管基板的一侧形成第一平坦层；在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成发光单元，且所述发光单元中的阳极与所述漏极或所述源极电连接。
根据本发明的实施例，制作显示背板的方法还包括：在所述薄膜晶体管基板的一侧形成第一平坦层；在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上形成导电连接层，且所述导电连接层与所述漏极或所述源极电连接；所述辅助阴极形成在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，或者，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层形成，
在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成第二平坦层，且所述第二平坦层覆盖所述导电连接层；
在所述第二平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成所述发光单元，且所述发光单元中的阳极与所述导电连接层电连接。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极的形成方法包括：形成辅助阴极原始层，所述辅助阴极原始层包括层叠设置的第一层和第二层；形成阳极原始层；在所述阳极原始层的表面上形成光刻胶，利用掩模版对所述光刻胶进行曝光显影处理，曝光出所述阳极原始层的预定区域，通过对曝光的所述阳极原始层进行刻蚀处理，得到所述阳极和包括第一导电层和所述第二导电层的所述辅助阴极。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极原始层还包括第三层，所述第三层设置在第二层远离所述第一层的表面上，通过对曝光的所述阳极原始层和所述辅助阴极原始层进行所述刻蚀处理，得到所述阳极和包括第一导电层所述第二导电层和第三导电层的所述辅助阴极。
在本发明的又一方面，本发明提供了一种显示装置。根据本发明的实施例，该显示装置包括前面所述的显示背板。由此，该显示装置的显示亮度均匀，显示质量较佳。本领域技术人员可以理解，该显示装置具有前面所述的显示背板的所有特征和优点，在此不再过多的赘述。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本发明一个实施例中显示背板的结构示意图；
图2是本发明另一个实施例中显示背板的结构示意图；
图3是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图4是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图5是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图6是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图7是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图8是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图9是本发明又一个实施例中显示背板的结构示意图；
图10是本发明又一个实施例中辅助阴极的扫描电镜图；
图11是本发明又一个实施例中制作显示背板的结构流程图；
图12是本发明又一个实施例中制作显示背板的结构流程图。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的方案进行解释。本领域技术人员将会理解，下面的实施例仅用于说明本发明，而不应视为限定本发明的范围。实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市购获得的常规产品。
下面参考具体实施例，对本发明进行描述，需要说明的是，这些实施例仅仅是描述性的，而不以任何方式限制本发明。
在本发明的一方面，本发明提供了一种显示背板。根据本发明的实施例，显示背板包括：薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。由此，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极与阴极搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量。
根据本发明的一些实施例，参照图1和图2，显示背板包括：薄膜晶体管基板10，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板15、有源层11、栅极12、源极13和漏极14；第一平坦层21，所述第一平坦层21设置在所述薄膜晶体管基板10的一侧，(在一些示例中，第一平坦层覆盖所述源极13和所述漏极14)；辅助阴极30，所述辅助阴极30与所述源极13和所述漏极14同层设置；发光单元40，所述发光单元40设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的一侧，且所述发光单元40中的阳极41与所述漏极14或源极13电连接(通过第一平坦层中的过孔实现电连接，并以阳极与漏极电连接为例)，其中，所述辅助阴极31与所述发光单元40的阴极42电连接，所述辅助阴极30包括层叠设置的第一导电层31和第二导电层32，其中，所述第一导电层31靠近所述发光单元40设置，且所述第一导电层31的至少一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘。由此，辅助阴极与漏极同层设置，在制作工艺上可以与漏极通过同一步骤形成，进而不会增加额外的工艺流程，进而也就不会增加制作成本。
根据本发明的另一些实施例，参照图3和图4，显示背板除了包括上述的薄膜晶体管基板10、第一平坦层21、辅助电极30和发光单元40之外，显示背板还进一步的包括：导电连接层50，所述导电连接层50设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的表面上，且导电连接层50与所述漏极14或源极13和所述阳极41电连接(导电连接层50与阳极的电连接是通过第二平坦层中的过孔实现的，并以导电连接层与漏极电连接为例，导电连接层50与漏极的电连接是通过第一平坦层中的过孔实现的)；第二平坦层22，所述第二平坦层22设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的一侧，且覆盖所述导电连接层50，其中，所述辅助阴极30设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的表面上，或者，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置(图3和图4中以所述辅助阴极30设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的表面上为例)，其中，所述辅助阴极31与所述发光单元40的阴极42电连接，所述辅助阴极30包括层叠设置的第一导电层31和第二导电层32，其中，所述第一导电层31靠近所述发光单元40设置，且所述第一导电层31的至少一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘，即是说，无论第一导电层和第二导电层的形状如何，只要第一导电层的某一侧的边缘超出第二导电层的边缘即可。由此，辅助阴极与漏极或者与导电连接层同层设置，在制作工艺上可以与漏极或导电连接层通过同一步骤形成，进而不会增加额外的工艺流程，进而也就不会增加制作成本
在上述两种结构中，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极30与阴极42搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量；而且，由于辅助阴极与漏极或者与导电连接层同层设置，在制作工艺上可以与漏极或导电连接层通过同一步骤形成，进而不会增加额外的工艺流程，进而也就不会增加制作成本。
根据本发明的实施例，参照图5、图6、图7和图8，辅助阴极30还包括第三导电层33，所述第三导电层33设置在第二导电层32远离所述第一导电层31的表面上，且所述第三导电层33的至少一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘。如此，辅助阴极的至少一侧，第二导电层相对第一导电层和第二导电层向内缩，发光单元中的阴极与第二导电层或第三导电层搭接，进而实现阴极与辅助阴极的电连接，降低不同区域的压降差值，提高显示质量。
需要说明的是，如图1～9所示，薄膜晶体管基板除了前面所述的衬底基板15、有源层11、栅极12、源极13和漏极14，还包括栅绝缘层16以及层间介质层17等其他结构，以顶栅结构结为例，有源层11位于衬底基板15的表面上，栅绝缘层16覆盖有源层11，栅极12位于栅绝缘层16远离衬底基板的表面上，层间介质层17覆盖栅极以及未被栅极覆盖的其他区域，源极和漏极位于层间介质层17远离衬底基板的表面上，且源极和漏极通过过孔与有源层电连接。进一步的，显示背板还包括像素界定层60，像素界定层60设置在第一平坦层21或第二平坦层的表面上，像素界定层60具有多个开口，开口用于限定发光单元的有效发光区域。
根据本发明的实施例，参照图1和2，辅助阴极30与所述源极13和所述漏极14同层设置，在制作工艺中，用于形成辅助阴极的辅助阴极原始层(辅助阴极原始层通过刻蚀之后得到辅助阴极)和源极、漏极通过同一步骤形成的，即是说，源极和漏极与辅助阴极相同的层叠结构，比如说，辅助阴极30包括第一导电层31和第二导电层32时，源极和漏极也包括层叠的两层结构；若是辅助阴极30包括第一导电层31、第二导电层32和第三导电层33时，源极和漏极也包括层叠的三层结构。
根据本发明的另一些实施例，参照图3至图9，辅助阴极30与导电连接层50同层设置，在制作工艺中，用于形成辅助阴极的辅助阴极原始层(辅助阴极原始层通过刻蚀之后得到辅助阴极)和导电连接层50通过同一步骤形成的，即是说，导电连接层50与辅助阴极相同的层叠结构，比如说，辅助阴极30包括第一导电层31和第二导电层32时，导电连接层50也包括层叠的两层结构；若是辅助阴极30包括第一导电层31、第二导电层32和第三导电层33时，导电连接层50也包括层叠的三层结构。
根据本发明的实施例，根据第一导电层和第三导电层比第二导电层边缘突出的尺寸大小以及第二导电层的厚度大小，阴极和所述辅助阴极的电连接是通过以下方式之一实现的：第一，参照图1至图4以及图7和图8，若是第一导电层和第三导电层比第二导电层边缘突出的尺寸较小，则阴极42在所述辅助阴极30的至少一侧的侧端断开，且所述阴极42在断开处的其中一个侧面与所述第二导电层32电的侧面电连接；第二，参照图5和图6，若是第一导电层和第三导电层比第二导电层边缘突出的尺寸较大，则阴极42在所述辅助阴极30的至少一侧的侧端断开，且阴极42在断开处的其中一个侧面与第三导电层33电连接；第三，参照图9，若是第一导电层和第三导电层比第二导电层边缘突出的尺寸较小，且第二导电层的厚度相对上述两种情况较厚，则阴极42在所述辅助阴极30的侧端不断开，且所述阴极42与所述第二导电层33的侧壁接触连接。上述三种阴极和辅助阴极的电连接方式均可使实现辅助阴极与阴极的电连接。其中，上述第一导电层和第三导电层比第二导电层边缘突出的尺寸大小以及第二导电层的厚度大小没有特殊要求，本领域技术人员可以根据实际需求灵活选择，再次不作限制要求。
根据本发明的实施例，参照图1-9，发光单元40的发光层43在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开。由此，可以将不同的发光单元中的发光层在辅助阴极处断开，可以避免混色，且便于对发光单元的封装，尤其是针对具有用于防止摄像头的通孔的显示面板，位于通孔边缘处的发光单元的发光层在辅助阴极处断开，之后进行封装，可以更好的提高通孔处的封装效果。
根据本发明的实施例，参照图1和图2，辅助阴极30与所述源极13和所述漏极14同层设置，所述第一平坦层21具有第一通孔210，所述辅助阴极30位于所述第一通孔210内，其中，第一平坦层与辅助阴极的位置关系可以为以下两种情况：第一，如图2所示，辅助阴极30在所述薄膜晶体管基板10上的正投影与所述第一平坦层21在所述薄膜晶体管基板10上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层31的两侧的边缘均超出所述第二导电层32的边缘，如此，阴极均在辅助阴极的两侧与辅助阴极电连接；第二，如图1所示，第一平坦层21覆盖所述辅助阴极30的部分表面，且所述第一导电层31未被所述第一平坦层21覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘，如此，阴极在辅助阴极的一侧与辅助阴极电连接，辅助阴极的另一侧被第一平坦层覆盖。
根据本发明的实施例，辅助阴极30设置在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板的表面上，所述第二平坦层22具有第二通孔220，所述辅助阴极30位于所述第二通孔220内，其中，第二平坦层与辅助阴极的位置关系可以为以下两种情况：第一，如图4、图6和图8所示，所述辅助阴极30在所述薄膜晶体管基板10上的正投影与所述第二平坦层22在所述薄膜晶体管基板10上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层31的两侧的边缘均超出所述第二导电层32的边缘，如此，阴极均在辅助阴极的两侧与辅助阴极电连接；第二，如图3、图5、图7和图9所示，所述第二平坦层22覆盖所述辅助阴极30的部分表面，且所述第一导电层31未被所述第二平坦层22覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘，如此，阴极在辅助阴极的一侧与辅助阴极电连接，辅助阴极的另一侧被第二平坦层覆盖。
根据本发明的实施例，当显示背板包括第二平坦层和导电连接层，且所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置时，第二通孔220会延伸至第一平坦层，即是说，第二通孔会贯穿第一平坦层和第二平坦层，以便实现阴极与辅助阴极的电连接。
根据本发明的实施例，所述辅助阴极满足以下条件中的至少之一：
第二导电层的厚度大于第一导电层的厚度，且大于第三导电层的厚度，如此，第二导电层的厚度相对较大，不仅可以进一步的降低显示面板的压降差，而且还可以更好的保证将发光层隔断开，提高产品良率；
第二导电层的电阻小于所述第一导电层的电阻，且大于所述第三导电层的电阻，如此，有助于进一步的降低辅助阴极的总电阻，进而降低压降差；
第二导电层的氧化速率大于所述第一导电层的氧化速率，且大于所述第三导电层的氧化速率，如此，在制作辅助阴极过程中，第二导电层付师傅率较快，第一导电层和第二导电层的腐蚀速率较慢，进而可以很好的实现第一导电层和第三导电层的至少一侧的边缘线超出第二导电层的边缘线；
第一导电层的材料和所述第三导电层的材料分别为Ti、Cu、Mo、W、Al、Ag、ITO、IGZO、ZnO、MgO和有机导电材料中的至少一种(包括多种材料是即为合金，比如钛铝合金、钼钛合金等)，第二导电层的材料为Cu、Ag、ITO、IGZO、ZnO和Al中的至少一种；上述材料不仅导电性好，而且可以实现第二导电层的氧化速率大于所述第一导电层的氧化速率且大于所述第三导电层的氧化速率的要求；而且，上述材料的第一导电层和所述第一导电层与第一平坦层或第二平坦层之间的粘附力较佳，在辅助阴极的形成过程中，还可以避免第二导电层的底部被过度腐蚀。
根据本发明的一个具体实施例，辅助阴极的第一导电层的材料为钛，第二导电层的材料为铝，第三导电层为钛，辅助阴极的扫描电镜图可参照图10，可以很清楚的看出，阴极42在所述辅助阴极30的至少一侧的侧端断开，且所述阴极42在断开处的其中一个侧面与所述第二导电层32电的侧面电连接。
根据本发明的实施例，上述辅助阴极30位于相邻两个上述阳极41之间(即辅助阴极位于相邻两个发光单元之间)，且相邻两行或相邻两列的所述辅助阴极30连接层电连接，所述连接层与所述阳极、所述漏极或所述导电连接层同层设置。由此，可以实现辅助阴极的网状连接结构，进而更进一步的降低压降。
根据本发明的实施例，发光单元40除了前面所述的阳极41、发光层43和阴极42之外，还可以包括空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发射层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)等结构，另外，发光层4可以包括有机材料，有机材料包含发射红光、绿光、蓝光或白光的荧光或磷光材料，发光层4还可以包括低分子量有机材料或聚合物材料。
在本发明的另一方面，本发明提供了一种制作前面所述的显示背板的方法。根据本发明的实施例，制作显示背板的方法包括：形成薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；形成辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；形成发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。由此，上述制作方法中，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极与阴极搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量；而且，由于辅助阴极与漏极或者与导电连接层同层设置，在制作工艺上可以与漏极或导电连接层通过同一步骤形成，进而不会增加额外的工艺流程，进而也就不会增加制作成本。
根据本发明的一些实施例中，制作显示背板的方法包括：
S110：提供薄膜晶体管基板100，所述薄膜晶体管基板100包括有源层11、栅极12、源极13和漏极14；
S120：辅助阴极30与所述源极13和所述漏极14同层形成；
S130：在所述薄膜晶体管基板10的一侧形成第一平坦层21，(在一些示例中，所述第一平坦层21可覆盖所述源极13和所述漏极14)；
S140：在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的一侧形成发光单元40，且所述发光单元40中的阳极41与所述漏极14或源极13电连接，所述辅助阴极30与所述发光单元中的阴极42电连接。
在一些实施例中，参照图11，上述步骤中辅助阴极的具体形成方法包括：
(1)形成辅助阴极原始层，辅助阴极原始层包括层叠设置的第一层310和第二层320，第一层310远离薄膜晶体管基板10设置；
辅助阴极原始层与源极漏极同步工艺形成，在形成辅助阴极原始层之后，再形成第一平坦层21，且第一平坦层21的第一通孔210暴露出辅助阴极原始层的至少部分表面。
(2)形成阳极原始层410。其中，阳极原始层410设置在第一平坦层远离薄膜晶体管基板10的一侧，且覆盖第一平坦层21的第一通孔210暴露出辅助阴极原始层的表面。
(3)在阳极原始层410的表面上形成光刻胶70，利用掩模版80(掩膜版80包括透光区82和遮光区81)对光刻胶70进行曝光显影处理，曝光出阳极原始层410的预定区域，通过对曝光的阳极原始层进行刻蚀处理，得到所述阳极和包括第一导电层和所述第二导电层的所述辅助阴极。其中，在对阳极原始层进行刻蚀处理后，被阳极原始层覆盖的辅助阴极原始层暴露出来，所以刻蚀液会进一步的对辅助阴极原始层进行刻蚀，由于第二层的氧化速率大于第一层的氧化速率，所以在刻蚀的过程中刻蚀液对第二层的刻蚀速率大于对第一层的刻蚀速率，所以制作得到的辅助阴极30包括层叠设置的第一导电层31和第二导电层32，且所述第一导电层31的至少一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘，第一导电层31靠近发光单元设置，制备得到的显示背板的结构示意图可参照图1和图2。
需要说明的是，如图1～9所示，薄膜晶体管基板除了前面所述的衬底基板15、有源层11、栅极12、源极13和漏极14，还包括栅绝缘层16以及层间介质层17等其他结构，以顶栅结构结为例，有源层11位于衬底基板15的表面上，栅绝缘层16覆盖有源层11，栅极12位于栅绝缘层16远离衬底基板的表面上，层间介质层17覆盖栅极以及未被栅极覆盖的其他区域，源极和漏极位于层间介质层17远离衬底基板的表面上，且源极和漏极通过过孔与有源层电连接。进一步的，显示背板还包括像素界定层60，像素界定层60设置在第一平坦层21或第二平坦层的表面上，像素界定层60具有多个开口，开口用于限定发光单元的有效发光区域。
在本发明的另一些实施例中，制作显示背板的方法包括：
S210：提供薄膜晶体管基板10，所述薄膜晶体管基板10包括有源层11、栅极12、源极13和漏极14；
S220：在所述薄膜晶体管基板10的一侧形成所述第一平坦层21，且所述第一平坦层21覆盖所述源极13和所述漏极14；
S230：在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的表面上形成导电连接层50，且所述导电连接层50与所述漏极14或源极13电连接；
S240：辅助阴极30形成在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的表面上，或者，所述辅助阴极30与所述源极13和所述漏极14同层形成，
S250：在所述第一平坦层21远离所述薄膜晶体管基板10的一侧形成第二平坦层22，且所述第二平坦层22覆盖所述导电连接层50；
S260：在所述第二平坦层22远离所述薄膜晶体管基板10的一侧形成所述发光单元40，且所述发光单元40中的阳极41与所述导电连接层电50连接，所述辅助阴极30与所述发光单元40中的阴极42电连接；
其中，上述形成辅助阴极的具体方法与前面所述的方法一致，不同之处只是辅助阴极原始层形成在第一平坦层21的表面上，与导电连接层50通过统一步骤工艺制作得到。得到的所述辅助阴极30包括层叠设置的第一导电层31和第二导电层32，所述第一导电层31的至少一侧的边缘超出所述第二导电层32的边缘，第一导电层31靠近所述发光单元40设置结构示意图可参照图3和图4。
根据本发明的实施例，上述制作方法中，该显示背板中的辅助阴极的结构简单，辅助阴极与阴极搭接，可以有效降低显示背板不同区域处的电压差，提高显示面板的显示质量；而且，由于辅助阴极与漏极或者与导电连接层同层设置，在制作工艺上可以与漏极或导电连接层通过同一步骤形成，进而不会增加额外的工艺流程，进而也就不会增加制作成本。
根据本发明的实施例，参照图12，辅助阴极原始层还包括第三层330，第三层330设置在第二层320远离所述第一层310的表面上，通过对曝光的所述阳极原始层410和所述辅助阴极原始层进行所述刻蚀处理，得到所述阳极41和包括第一导电层31、第二导电层32和第三导电层33的所述辅助阴极。在一些实施例中(图2中以包含第二平坦层22为例)，形成辅助阴极的具体步骤包括：
(1)形成辅助阴极原始层，辅助阴极原始层包括层叠设置的第一层310、第二层320和第三层330，第一层310远离薄膜晶体管基板10设置；
辅助阴极原始层与导电连接层50同步工艺形成，在形成辅助阴极原始层之后，再形成第二平坦层22，且第二平坦层22的第二通孔220暴露出辅助阴极原始层的至少部分表面。
(2)形成阳极原始层410。其中，阳极原始层410设置在第二平坦层远离薄膜晶体管基板10的一侧，且覆盖第二平坦层21的第二通孔210暴露出辅助阴极原始层的表面。
(3)在阳极原始层410的表面上形成光刻胶70，利用掩模版80(掩膜版80包括透光区82和遮光区81)对光刻胶70进行曝光显影处理，曝光出阳极原始层410的预定区域，通过对曝光的阳极原始层进行刻蚀处理，得到阳极41和包括第一导电层31、第二导电层32和第三导电层33的辅助阴极30。其中，在对阳极原始层进行刻蚀处理后，被阳极原始层覆盖的辅助阴极原始层暴露出来，所以刻蚀液会进一步的对辅助阴极原始层进行刻蚀，由于第二层的氧化速率大于第一层和第二层的氧化速率，所以在刻蚀的过程中刻蚀液对第二层的刻蚀速率大于对第一层和第二层的刻蚀速率，所以制作得到的辅助阴极30包括层叠设置的第一导电层31、第二导电层32和第三导电层33，且第一导电层31的至少一侧的边缘超出第二导电层32的边缘，且第三导电层33的至少一侧的边缘超出第二导电层32的边缘，第一导电层31靠近发光单元40设置。
根据本发明的实施例，当显示背板的制作方法包括形成第二平坦层和导电连接层的步骤，且所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层形成时，第二通孔220会由第二平坦层延伸至第一平坦层，即是说，第二通孔会贯穿第一平坦层和第二平坦层，以便实现阴极与辅助阴极的电连接。
在本发明的又一方面，本发明提供了一种显示装置。根据本发明的实施例，该显示装置包括前面所述的显示背板。由此，该显示装置的显示亮度均匀，显示质量较佳。本领域技术人员可以理解，该显示装置具有前面所述的显示背板的所有特征和优点，在此不再过多的赘述。
根据本发明的实施例，上述显示装置的具体种类没有特殊要求，本领域技术人员可以根据实际需求灵活选择，在一些实施例，上述显示装置的具体种类包括但不限于手机、电脑、游戏机、电视、iPad、kandle等一切具有显示功能的显示设备。
根据本发明的实施例，上述显示装置除了前面显示背板，还包括常规显示装置所必备的结构部件，以手机为例，除了包括上述的显示背板，还包括盖板、偏光片、触控面板、电池、壳体、CPU、音频模组、摄像模组等必备的结构和部件。
文中术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (16)
1.一种显示背板，其特征在于，包括：
薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；
辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；
发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，
其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
2.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，还包括：
第一平坦层，所述第一平坦层设置在所述薄膜晶体管基板的一侧，
其中，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置，且所述发光单元中的阳极与所述漏极或所述源极电连接。
3.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，还包括：
第一平坦层，所述第一平坦层设置在所述薄膜晶体管基板的一侧；
导电连接层，所述导电连接层设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，且与所述漏极或所述源极和所述阳极电连接；
第二平坦层，所述第二平坦层设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧，且覆盖所述导电连接层，
其中，所述辅助阴极设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，或者，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置。
4.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，所述辅助阴极还包括第三导电层，所述第三导电层设置在第二导电层远离所述第一导电层的表面上，且所述第三导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
5.根据权利要求2或4所述的显示背板，其特征在于，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层设置，所述第一平坦层具有第一通孔，所述辅助阴极位于所述第一通孔内，
其中，所述辅助阴极在所述薄膜晶体管基板上的正投影与所述第一平坦层在所述薄膜晶体管基板上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层的两侧的边缘均超出所述第二导电层的边缘；
或者，所述第一平坦层覆盖所述辅助阴极的部分表面，且所述第一导电层未被所述第一平坦层覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
6.根据权利要求3或4所述的显示背板，其特征在于，所述辅助阴极设置在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，所述第二平坦层具有第二通孔，所述辅助阴极位于所述第二通孔内，
其中，所述辅助阴极在所述薄膜晶体管基板上的正投影与所述第二平坦层在所述薄膜晶体管基板上的正投影没有重叠区域，且所述第一导电层的两侧的边缘均超出所述第二导电层的边缘；
或者，所述第二平坦层覆盖所述辅助阴极的部分表面，且所述第一导电层未被所述第二平坦层覆盖的一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
7.根据权利要求4所述的显示背板，其特征在于，所述阴极和所述辅助阴极的电连接满足以下条件之一：
所述阴极在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开，且所述阴极在断开处的其中一个侧面与所述第二导电层电的侧面电连接；
所述阴极在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开，且所述阴极在断开处的其中一个侧面与所述第三导电层电连接；
所述阴极在所述辅助阴极的侧端不断开，且所述阴极与所述第二导电层的侧壁接触连接。
8.根据权利要求4所述的显示背板，其特征在于，所述辅助阴极满足以下条件中的至少之一：
所述第二导电层的厚度大于所述第一导电层的厚度，且大于所述第三导电层的厚度；
所述第二导电层的电阻小于所述第一导电层的电阻，且大于所述第三导电层的电阻；
所述第一导电层的材料和所述第三导电层的材料分别为Ti、Cu、Mo、W、Al、Ag、ITO、IGZO、ZnO、MgO和有机导电材料中的至少一种；
所述第二导电层的材料为Cu、Ag、ITO、IGZO、ZnO和Al中的至少一种；
所述第二导电层的氧化速率大于所述第一导电层的氧化速率，且大于所述第三导电层的氧化速率。
9.根据权利要求3或4所述的显示背板，其特征在于，所述辅助阴极位于相邻两个上述阳极之间，且相邻两行或相邻两列的所述辅助阴极通过连接层电连接，所述连接层与所述阳极、所述漏极或所述导电连接层同层设置。
10.根据权利要求1～4中任一项所述的显示背板，其特征在于，所述发光单元的发光层在所述辅助阴极的至少一侧的侧端断开。
11.一种制作权利要求1～10中任一项所述的显示背板的方法，其特征在于，包括：
形成薄膜晶体管基板，所述薄膜晶体管基板包括衬底基板、有源层、栅极、源极和漏极；
形成辅助阴极，所述辅助阴极设置在所述栅极远离所述衬底基板的一侧；
形成发光单元，所述发光单元设置在所述辅助阴极远离所述薄膜晶体管基板的一侧，
其中，所述辅助阴极与所述发光单元的阴极电连接，所述辅助阴极包括层叠设置的第一导电层和第二导电层，其中，所述第一导电层靠近所述发光单元设置，且所述第一导电层的至少一侧的边缘超出所述第二导电层的边缘。
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，包括：
所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层形成；
在所述薄膜晶体管基板的一侧形成第一平坦层；
在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成发光单元，且所述发光单元中的阳极与所述漏极或所述源极电连接。
13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，包括：
在所述薄膜晶体管基板的一侧形成第一平坦层；
在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上形成导电连接层，且所述导电连接层与所述漏极或所述源极电连接；
所述辅助阴极形成在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的表面上，或者，所述辅助阴极与所述源极和所述漏极同层形成，
在所述第一平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成第二平坦层，且所述第二平坦层覆盖所述导电连接层；
在所述第二平坦层远离所述薄膜晶体管基板的一侧形成所述发光单元，且所述发光单元中的阳极与所述导电连接层电连接。
14.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述辅助阴极的形成方法包括：
形成辅助阴极原始层，所述辅助阴极原始层包括层叠设置的第一层和第二层；
形成阳极原始层；
在所述阳极原始层的表面上形成光刻胶，利用掩模版对所述光刻胶进行曝光显影处理，曝光出所述阳极原始层的预定区域，通过对曝光的所述阳极原始层进行刻蚀处理，得到所述阳极和包括第一导电层和所述第二导电层的所述辅助阴极。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述辅助阴极原始层还包括第三层，所述第三层设置在第二层远离所述第一层的表面上，通过对曝光的所述阳极原始层和所述辅助阴极原始层进行所述刻蚀处理，得到所述阳极和包括所述第一导电层、所述第二导电层和第三导电层的所述辅助阴极。
16.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1～10中任一项所述的显示背板。
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