CN114101725B - 散热金刚石涂层刀具及其制造方法 - Google Patents

散热金刚石涂层刀具及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本申请是关于一种散热金刚石涂层刀具及其制造方法。该刀具包括：刀具基体、金刚石涂层及散热微流道；金刚石涂层包裹在刀具基体的外表面；散热微流道设置在刀具基体与金刚石涂层的结合面上；散热微流道的外壁与金刚石涂层的外表面相离；散热微流道的进口和出口分别位于刀具基体刀刃所在面的两侧，使得散热微流道的进口和出口的轴向方向均与加工方向相垂直。本申请提供的方案，能够在进行材料的加工时，切削液通过散热微流道穿过该散热金刚石涂层刀具的内部，与刀具基体发生热交换，从而将加工时刀具表面产生的热量经由切削液这一媒介带出刀具内部，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能。

Description

散热金刚石涂层刀具及其制造方法
技术领域
本申请涉及金属加工技术领域，尤其涉及散热金刚石涂层刀具及其制造方法。
背景技术
随着我国制造业等领域工业技术的发展，需要对各种材料进行加工，如高硅铝材料、高耐磨材料等，对于刀具的性能要求也相应地提高，金刚石刀具以其高硬度、耐磨性、高热导率等被人们所关注。虽然金刚石涂层刀具已具有较好的综合性能，但其仍有较大提升空间。有研究表明，在材料表面加工微结构能显著提升材料的散热效率，但刀具表面微结构通常面临着耐磨性不佳，结构易堵塞的问题，磨损和堵塞后的微结构会导致刀具表面散热效率变低，加工质量变差。
相关技术中，公开号为CN112538612A的专利文件公开了一种涂层微结构化仿生表面金刚石刀具的加工方法，其通过在金刚石刀具表面生成一种仿生微结构和表面涂覆上一种新型薄膜，提高金刚石刀具的切削性能和使用寿命，并且该方案中将微结构设计为叶脉茎状，叶脉茎能够使刀面的传热更加均匀，从而使得刀具的散热效果更佳。
但是上述方案仍然是依靠金属刀具基体自身导热来实现散热，对刀具基体所选用的金属材料的热导率等材料性能有较高要求，散热能力有限。
发明内容
为克服相关技术中存在的问题，本申请提供一种散热金刚石涂层刀具及其制造方法，能够通过切削液这一媒介实现热量的消耗，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能。
本申请第一方面提供一种散热金刚石涂层刀具，包括：
刀具基体10、金刚石涂层20及散热微流道30；所述金刚石涂层20包裹在所述刀具基体10的外表面；
所述散热微流道30设置在所述刀具基体10与所述金刚石涂层20的结合面上；所述散热微流道30的外壁与所述金刚石涂层20的外表面相离；所述散热微流道30的进口301和出口302分别位于所述刀具基体刀刃101所在面的两侧，使得所述散热微流道30的进口301和出口302的轴向方向均与加工方向相垂直。
在一种实施方式中，所述散热金刚石涂层刀具具有若干条所述散热微流道30，所述散热微流道30呈阵列状排布。
在一种实施方式中，所述刀具基体10的外表面具有微结构。
在一种实施方式中，所述微结构为周期性纳米结构。
本申请第二方面提供一种散热金刚石涂层刀具的制造方法，用于制造如上任一项所述的散热金刚石涂层刀具，包括:
在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具；
利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，得到内流道金刚石涂层刀具；
利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，得到所述散热金刚石涂层刀具。
在一种实施方式中，所述在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具之前，包括：
利用飞秒激光直写技术对所述刀具基体的外表面进行微结构的加工。
在一种实施方式中，所述利用飞秒激光直写技术对所述刀具基体的外表面进行微结构的加工，包括：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在0.1J/mm2至20J/mm2的能流密度范围内，在所述刀具基体的外表面诱导出周期性纳米结构。
在一种实施方式中，所述在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具，包括：
利用化学气相沉积法，在氩气、甲烷和氢气形成的混合气体环境中，对所述刀具基体进行金刚石涂层沉积，得到所述金刚石涂层刀具。
在一种实施方式中，所述利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，包括：
在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，将脉宽为10fs至800fs的激光聚焦到所述金刚石涂层与所述刀具基体的结合面，进行所述散热微流道的加工。
在一种实施方式中，所述利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，包括：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，对所述散热微流道的进口与出口进行加工。
本申请提供的技术方案可以包括以下有益效果：
本申请提供了一种散热金刚石涂层刀具，该散热金刚石涂层刀具的刀具基体与金刚石涂层的结合面上具有散热微流道，在使用该散热金刚石涂层刀具进行材料的加工时，切削液能够通过散热微流道穿过该散热金刚石涂层刀具的内部，与刀具基体发生热交换，从而将加工时刀具表面产生的热量交换给切削液，经由散热微流道的出口带出刀具内部，通过切削液这一媒介实现热量的消耗，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能；同时，由于散热微流道的外壁与金刚石涂层的外表面相离，且散热微流道的进口和出口分别位于刀具基体刀刃所在面的两侧，加工时碎屑沿着刀刃的加工方向飞溅，该飞溅方向与散热微流道的进出口方向垂直，因此，加工时飞溅的碎屑不会堵塞住散热微流道，从而保证了该散热金刚石涂层刀具的散热性能。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
附图说明
通过结合附图对本申请示例性实施方式进行更详细的描述，本申请的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本申请示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。
图1是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的结构示意图；
图2是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的制造方法的流程示意图；
图3是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的制造方法的另一流程示意图。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本申请的优选实施方式。虽然附图中显示了本申请的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本申请更加透彻和完整，并且能够将本申请的范围完整地传达给本领域的技术人员。
在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
应当理解，尽管在本申请可能采用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本申请范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
实施例一
公开号为CN112538612A的专利文件公开的一种涂层微结构化仿生表面金刚石刀具的加工方法，其通过在金刚石刀具表面生成一种仿生微结构，并将微结构设计为叶脉茎状，使刀面的传热更加均匀，从而使得刀具的散热效果更佳。但是该方案仍然是依靠金属刀具基体自身导热来实现散热，对刀具基体所选用的金属材料的热导率等材料性能有较高要求，散热能力有限。
针对上述问题，本申请实施例提供一种散热金刚石涂层刀具，能够通过散热微流道中的切削液进行热交换，从而带走加工时刀具产生的热量，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能。
以下结合附图详细描述本申请实施例的技术方案。
图1是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的结构示意图。
参见图1，所述散热金刚石涂层刀具，包括：刀具基体10、金刚石涂层20及散热微流道30；
其中，刀具基体10可以采用多种材料，包括但不限于：钨钴硬质合金、氧化锆陶瓷或钨钛钴硬质合金。
可以理解的是，刀具基体10所采用的材料不构成对本申请的唯一限定，在实际应用过程中，可以根据刀具用途选用不同材料制备刀具基体。
本申请实施例对于散热微流道30的分布并没有严格的要求，在实际应用中，所述散热微流道30可以为一条直线流道，或为一条盘旋状的弯曲流道以实现更大的热交换面积。
进一步地，在实际应用中，所述散热金刚石涂层刀具可以具有若干条所述散热微流道30，所述散热微流道30呈阵列状排布。其中，阵列状排布包括但不限于：网格状排布或栅格状排布。
所述散热微流道30设置在所述刀具基体10与所述金刚石涂层20的结合面上；所述散热微流道30的外壁与所述金刚石涂层的外表面相离。即，所述散热微流道30不露出于所述金刚石涂层20，从而在利用该刀具进行加工时，飞溅的碎屑不会进入散热微流道，从而不会影响切削液在散热微流道中流动，进而影响热交换。
所述散热微流道30的进口301和出口302分别位于所述刀具基体刀刃101所在面的两侧，使得所述散热微流道30的进口301和出口302的轴向方向均与加工方向相垂直。
由于在进行材料的加工时，产生的碎屑大多沿着刀刃前进方向的反方向飞溅，因此，将散热微流道的进口和出口分别设置在刀具基体刀刃所在面的两侧，能够有效避免碎屑飞溅时，堵住散热微流道的进出口，从而影响切削液流入或流出散热微流道，进而影响刀具基体与切削液的热交换过程。
本申请提供了一种散热金刚石涂层刀具，该散热金刚石涂层刀具的刀具基体与金刚石涂层的结合面上具有散热微流道，在使用该散热金刚石涂层刀具进行材料的加工时，切削液能够通过散热微流道穿过该散热金刚石涂层刀具的内部，与刀具基体发生热交换，从而将加工时刀具表面产生的热量交换给切削液，经由散热微流道的出口带出刀具内部，通过切削液这一媒介实现热量的消耗，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能；同时，由于散热微流道的外壁与金刚石涂层的外表面相离，且散热微流道的进口和出口分别位于刀具基体刀刃所在面的两侧，加工时碎屑沿着刀刃的加工方向飞溅，该飞溅方向与散热微流道的进出口方向垂直，因此，加工时飞溅的碎屑不会堵塞住散热微流道，从而保证了该散热金刚石涂层刀具的散热性能。
实施例二
在现有技术中，金刚石涂层刀具的金刚石涂层与硬质合金基体的粘合性比较差，且在高温高速切削加工过程中金刚石涂层易软化，使得在加工过程中金刚石涂层磨粒发生脱落，会大大降低金刚石刀具的切削性能和使用寿命。
为了解决上述问题，本申请实施例在上述实施例一所示的散热金刚石涂层刀具进行了设计。
本申请实施例所示的散热金刚石涂层刀具，包括：刀具基体10、金刚石涂层20及散热微流道30。
其中，金刚石涂层20包裹在刀具基体10的外表面；散热微流道30设置在所述刀具基体10与金刚石涂层20的结合面上。在使用该散热金刚石涂层刀具进行材料的加工时，切削液能够通过散热微流道穿过该散热金刚石涂层刀具的内部，与刀具基体发生热交换，从而将加工时刀具表面产生的热量交换给切削液，并经由散热微流道的出口带出刀具内部，实现高效率散热。
在本申请实施例中，散热微流道30的外壁与金刚石涂层20的外表面相离；散热微流道30的进口301和出口302分别位于刀具基体刀刃101所在面的两侧，使得散热微流道30的进口301和出口302的轴向方向均与加工方向相垂直，从而进行加工时，有效避免飞溅的碎屑堵住散热微流道的进出口，从而影响切削液流入或流出散热微流道，进而影响刀具基体与切削液的热交换过程。
其中，所述刀具基体的外表面具有微结构；具体地，所述微结构为周期性纳米结构。
通过在刀具基体外表面设置微结构，能够有效提升金刚石涂层与刀具基体的接触面积，进而提升金刚石涂层和刀具基体之间的热交换速度。
本申请实施例提供了一种刀具基体外表面具有微结构的散热金刚石涂层刀具，通过在刀具基体外表面设置微结构，使得刀具具有减摩耐磨和抗粘黏的特性，并且能够降低刀具的切削温度，提高了该刀具的切削效率和刀具寿命。
实施例三
与前述散热金刚石涂层刀具实施例相对应的，本申请还提供了一种散热金刚石涂层刀具的制造方法，用于制造如实施例一和实施例二中任一实施例所述的刀具。
图2是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的制造方法的流程示意图。
参见图2，所述散热金刚石涂层刀具的制造方法，包括：
201、在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具；
示例性的：
利用化学气相沉积法，在氩气、甲烷和氢气形成的混合气体环境中，对所述刀具基体进行金刚石涂层沉积，得到所述金刚石涂层刀具。
在本申请实施例中，可以采用HFCVD法或MPCVD法在刀具基体外表面进行金刚石涂层的沉积，具体采用的方法可以根据是实际情况决定。即具体选用的化学气相沉积法不作为对本申请的唯一限定。
在本申请实施例中，所述金刚石涂层的厚度的取值范围为6μm至9μm，优选地，该金刚石涂层的厚度的取值为8μm。
202、利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，得到内流道金刚石涂层刀具；
示例性的：
在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，将脉宽为10fs至800fs的激光聚焦到所述金刚石涂层与所述刀具基体的结合面，进行所述散热微流道的加工。
在本申请实施例中，可以根据刀具基体所选用的材料对飞秒激光隐切技术中的各项工作参数进行调整，例如：
当刀具基体选用钨钴硬质合金材料时，在20J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对该刀具基体进行散热微流道的加工；
当刀具基体选用氧化锆陶瓷材料时，在35J/mm2能流密度下，采用波长为513nm，脉宽为500fs的激光对该刀具基体进行散热微流道的加工；
当刀具基体选用钨钛钴硬质合金材料时，在15J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对该刀具基体进行散热微流道的加工。
需要说明的是，上述对于飞秒激光隐切技术中的各项工作参数的描述仅是本申请实施例中给出的示例，不构成对本申请的唯一限定。
在本申请实施例中，飞秒激光隐切设备可以根据调用的散热微流道的设计模板生成加工路径，从而基于该加工路径在所述刀具基体上加工出对应形状的散热微流道，在实际应用中，上述散热微流道的设计模板可以为预先存储在存储单元中的设计模板，也可以为生产人员实时导入的设计模板。
203、利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，得到所述散热金刚石涂层刀具。
示例性的：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，对所述散热微流道的进口与出口进行加工。
在本申请实施中，可以根据刀具基体所选用的材料对飞秒激光加工技术中的各项工作参数进行调整，例如：
当刀具基体选用钨钴硬质合金材料时，在30J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对该刀具基体进行散热微流道进口与出口的加工；
当刀具基体选用氧化锆陶瓷材料时，在50J/mm2能流密度下，采用波长为513nm，脉宽为500fs的激光对该刀具基体进行散热微流道进口与出口的加工；
当刀具基体选用钨钛钴硬质合金材料时，在20J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对该刀具基体进行散热微流道进口与出口的加工。
需要说明的是，上述对于飞秒激光加工技术中的各项工作参数的描述仅是本申请实施例中给出的示例，不构成对本申请的唯一限定。
本申请实施例提供了一种散热金刚石涂层刀具的制造方法，利用化学气相沉积法，对刀具基体进行金刚石涂层沉积后，得到金刚石涂层刀具，继而分别利用飞秒激光隐切技术和飞秒激光加工技术在金刚石涂层刀具上加工得到散热微流道及其进口与出口，从而得到具有散热微流道的金刚石涂层刀具，使用该刀具进行材料的加工时，切削液能够通过散热微流道穿过该散热金刚石涂层刀具的内部，与刀具基体发生热交换，从而将加工时刀具表面产生的热量交换给切削液，经由散热微流道的出口带出刀具内部，通过切削液这一媒介实现热量的消耗，减轻刀具本身的散热负担，以实现更高效率的散热功能。
实施例四
本申请实施例在上述实施例三的基础上，提供了另一种散热金刚石涂层刀具的制造方法。
图3是本申请实施例示出的散热金刚石涂层刀具的制造方法的另一流程示意图。
参见图3，所述散热金刚石涂层刀具的制造方法，包括：
301、利用飞秒激光直写技术对刀具基体的外表面进行微结构的加工；
示例性的：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在0.1J/mm2至20J/mm2的能流密度范围内，在所述刀具基体的外表面诱导出周期性纳米结构；进一步地，该结构呈线阵列结构，具体的，该线阵列的周期的取值范围为400至800nm，深度的取值范围为20nm至50nm。
在本申请实施中，可以根据刀具基体所选用的材料对飞秒激光直写技术中的各项工作参数进行调整，例如：
当刀具基体选用钨钴硬质合金材料时，在5J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对刀具基体外表面进行扫描，诱导出周期为800nm，深度为50nm的线阵列结构；；
当刀具基体选用氧化锆陶瓷材料时，在7J/mm2能流密度下，采用波长为513nm，脉宽为500fs的激光对刀具基体外表面进行扫描，诱导出周期为400nm，深度为20nm的线阵列结构；
当刀具基体选用钨钛钴硬质合金材料时，在20J/mm2能流密度下，采用波长为1030nm，脉宽为200fs的激光对刀具基体外表面进行扫描，诱导出周期为800nm，深度为50nm的线阵列结构。
需要说明的是，上述对于飞秒激光直写技术中的各项工作参数的描述仅是本申请实施例中给出的示例，不构成对本申请的唯一限定。
在实际应用过程中，所述微结构还可以通过微细电火花加工技术或离子束加工技术加工得到。
302、在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具；
在本申请实施例中，步骤302的内容与上述实施例三中的步骤201一致，此处不再赘述。
303、利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，得到内流道金刚石涂层刀具；
在本申请实施例中，步骤303的内容与上述实施例三中的步骤202一致，此处不再赘述。
304、利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，得到所述散热金刚石涂层刀具。
在本申请实施例中，步骤304的内容与上述实施例三中的步骤203一致，此处不再赘述。
本申请实施例提供了一种具有微结构的散热金刚石涂层刀具的制造方法，利用飞秒激光直写技术在刀具基体的外表面加工得到微结构后，利用化学气相沉积法，对刀具基体进行金刚石涂层沉积，得到金刚石涂层刀具；继而分别利用飞秒激光隐切技术和飞秒激光加工技术在金刚石涂层刀具上加工得到散热微流道及其进口与出口，从而得到具有微结构的散热微流道金刚石涂层刀具，从而使得刀具具有减摩耐磨和抗粘黏的特性，并且能够降低刀具的切削温度，提高了该刀具的切削效率和刀具寿命。
上文中已经参考附图详细描述了本申请的方案。在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所涉及的动作和模块并不一定是本申请所必须的。另外，可以理解，本申请实施例方法中的步骤可以根据实际需要进行顺序调整、合并和删减，本申请实施例装置中的模块可以根据实际需要进行合并、划分和删减。
附图中的流程图和框图显示了根据本申请的多个实施例的系统和方法的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标记的功能也可以以不同于附图中所标记的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (10)

1.一种散热金刚石涂层刀具，其特征在于，包括：
刀具基体(10)、金刚石涂层(20)及散热微流道(30)；所述金刚石涂层(20)包裹在所述刀具基体(10)的外表面；
所述散热微流道(30)设置在所述刀具基体(10)与所述金刚石涂层(20)的结合面上；所述散热微流道(30)的外壁与所述金刚石涂层(20)的外表面相离；所述散热微流道的进口(301)和出口(302)分别位于刀具基体刀刃(101)的两个侧面上，且所述散热微流道(30)的进口(301)和出口(302)的轴向方向设为与加工方向相垂直。
2.根据权利要求1所述的散热金刚石涂层刀具，其特征在于，
所述散热金刚石涂层刀具具有若干条所述散热微流道(30)，所述散热微流道(30)呈阵列状排布。
3.根据权利要求1所述的散热金刚石涂层刀具，其特征在于，
所述刀具基体(10)的外表面具有微结构。
4.根据权利要求3所述的散热金刚石涂层刀具，其特征在于，
所述微结构为周期性纳米结构。
5.一种散热金刚石涂层刀具的制造方法，用于制造如权利要求1-4任一项所述的散热金刚石涂层刀具，其特征在于，包括:
在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具；
利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，得到内流道金刚石涂层刀具；
利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，得到所述散热金刚石涂层刀具。
6.根据权利要求5所述的散热金刚石涂层刀具的制造方法，其特征在于，所述在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具之前，包括：
利用飞秒激光直写技术对所述刀具基体的外表面进行微结构的加工。
7.根据权利要求6所述的散热金刚石涂层刀具的制造方法，其特征在于，所述利用飞秒激光直写技术对所述刀具基体的外表面进行微结构的加工，包括：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在0.1J/mm2至20J/mm2的能流密度范围内，在所述刀具基体的外表面诱导出周期性纳米结构。
8.根据权利要求5所述的散热金刚石涂层刀具的制造方法，其特征在于，所述在刀具基体的外表面制备金刚石涂层，得到金刚石涂层刀具，包括：
利用化学气相沉积法，在氩气、甲烷和氢气形成的混合气体环境中，对所述刀具基体进行金刚石涂层沉积，得到所述金刚石涂层刀具。
9.根据权利要求5所述的散热金刚石涂层刀具的制造方法，其特征在于，所述利用飞秒激光隐切技术对所述金刚石涂层刀具进行加工，包括：
在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，将脉宽为10fs至800fs的激光聚焦到所述金刚石涂层与所述刀具基体的结合面，进行所述散热微流道的加工。
10.根据权利要求5所述的散热金刚石涂层刀具的制造方法，其特征在于，所述利用飞秒激光加工技术对所述内流道金刚石涂层刀具进行所述散热微流道的进口与出口的加工，包括：
采用脉宽为10fs至800fs的激光，在10J/mm2至50J/mm2的能流密度范围内，对所述散热微流道的进口与出口进行加工。
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