CN114065465A - 仿真方法、仿真装置、膜形成装置、物品制造方法和非暂态存储介质 - Google Patents

Abstract

公开了仿真方法、仿真装置、膜形成装置、物品制造方法和非暂态存储介质。本发明提供了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为的仿真方法，该方法包括：确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测行为的第一仿真的第一范围中并且第二范围小于第一范围；在第二范围中执行第二仿真；以及显示在第二范围中执行的第二仿真的结果。

Description

仿真方法、仿真装置、膜形成装置、物品制造方法和非暂态存 储介质

技术领域

本发明涉及仿真方法、仿真装置、膜形成装置、物品制造方法和非暂态存储介质。

背景技术

提供了通过在基板上布置可固化组合物，使可固化组合物与模具接触并将可固化组合物固化来在基板上形成由可固化组合物的固化产物制成的膜的膜形成技术。这种膜形成技术被应用于压印技术和平坦化技术。在压印技术中，通过使用具有图案的模具，通过使基板上的可固化组合物与模具的图案接触并固化可固化组合物来将模具的图案转印到基板上的可固化组合物。在平坦化技术中，通过使用具有平坦表面的模具，通过使基板上的可固化组合物与平坦表面接触并固化可固化组合物来形成具有平坦上表面的膜。

可固化组合物以液滴的形式布置在基板上，并且然后将模具压靠可固化组合物的液滴。这使基板上的可固化组合物的液滴扩散，由此形成可固化组合物的膜。此时，重要的是形成具有均匀厚度的可固化组合物的膜，并且在膜中不留下气泡。为了实现这一点，调整可固化组合物的液滴的布置、用于将模具压靠可固化组合物的方法和条件等。为了通过使用装置反复试验来实现该调整操作，需要大量的时间和成本。为了应对这个问题，期望开发支持这种调整操作的仿真器。

日本专利No.5599356公开了用于预测布置在图案形成表面上的多个液滴的湿扩散(wet spreading)和聚集(液滴的合并)的仿真方法。在该仿真方法中，通过预测基板上的可固化组合物的每个液滴的扩散形状来减少计算量。

在压印处理中，当可固化组合物的液滴被湿扩散并形成膜时，如果在膜中留下气泡，则留有气泡的部分(未填充部分)成为缺陷。为了减少缺陷的出现，通过仿真来预测气泡的产生是有效的。为了预测气泡的产生，需要考虑模具和基板的局部形状并考虑液滴的相互作用的流体计算。

然而，这样的仿真需要高计算量，从而导致计算成本的增加。作为用于具有高计算成本的仿真的对策，可设想到在限制(指定)计算区域的同时执行计算，由此降低总计算成本。然而，通过限制计算区域而获得的效果大幅受到限制计算区域的用户(操作者)的能力(才能)的影响。例如，由于用户的错误，计算可能重新进行并且计算成本可能增加。

发明内容

本发明提供了可以在维持仿真精度的同时减少计算成本的仿真方法。

根据本发明的第一方面，提供了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为的仿真方法，该方法包括：确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测行为的第一仿真的第一范围中并且第二范围小于第一范围；在第二范围中执行第二仿真；以及显示在第二范围中执行的第二仿真的结果，其中，在该确定中，基于第一构件的设计信息、第二构件的设计信息、可固化组合物的多个液滴的布置信息、第二构件的与可固化组合物的多个液滴接触的接触表面的位置信息、以及关于在第一范围中执行的第一仿真的结果的信息当中的至少一条信息来确定第二范围。

根据本发明的第二方面，提供了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为的仿真方法，该方法包括：确定包括在用于执行预测行为的仿真的第一范围中的第二范围，第二范围小于第一范围；在第二范围中执行所述仿真；以及显示在第二范围中执行的仿真的结果，其中，在该确定中，基于关于通过执行处理而形成的可固化组合物的膜的测量结果的信息来确定第二范围。

根据本发明的第三方面，提供了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为的仿真装置，其中，确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测行为的第一仿真的第一范围中并且第二范围小于第一范围，在第二范围中执行第二仿真，显示在第二范围中执行的第二仿真的结果，并且当确定第二范围时，基于第一构件的设计信息、第二构件的设计信息、可固化组合物的多个液滴的布置信息、第二构件的与可固化组合物的多个液滴接触的接触表面的位置信息、以及关于在第一范围中执行的第一仿真的结果的信息当中的至少一条信息来确定第二范围。

根据本发明的第四方面，提供了一种预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为的仿真装置，其中，确定包括在用于执行预测行为的仿真的第一范围中的第二范围，第二范围小于第一范围；在第二范围中执行仿真，显示在第二范围中执行的仿真的结果，并且当确定第二范围时，基于关于通过执行处理而形成的可固化组合物的膜的测量结果的信息来确定第二范围。

根据本发明的第五方面，提供了一种包含以上仿真装置的膜形成装置，其中，基于由仿真装置执行的可固化组合物的行为的预测，控制使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理。

根据本发明的第六方面，提供了一种物品制造方法，该物品制造方法包括：在重复以上仿真方法的同时，确定使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理的条件，以及根据该条件执行该处理。

根据本发明的第七方面，提供了一种存储用于使计算机执行以上仿真方法的程序的非暂态存储介质。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的其它方面将变得清楚。

附图说明

图1是示出根据本发明的实施例的膜形成装置和仿真装置的布置的示意图。

图2是示出设置在仿真装置的显示器上的用户界面的示例的视图。

图3A至图3C是示出根据第一实施例的仿真方法的概况的视图。

图4是用于描述根据第一实施例的仿真方法的流程图。

图5是用于描述根据第二实施例的仿真方法的流程图。

图6是示出了维诺图(Voronoi Diagram)的示例的视图。

图7是用于描述根据第三实施例的仿真方法的流程图。

图8A至图8F是用于描述物品制造方法的视图。

具体实施方式

下文中，将参考附图详细地描述实施例。注意的是，以下实施例不旨在限制要求保护的本发明的范围。在实施例中描述了多个特征，但是并不限制需要所有这样的特征的发明，并且可以适当地组合多个这样的特征。此外，在附图中，相同的附图标记被赋予相同或类似的配置，并且省略其冗余描述。

图1是示出根据本发明的实施例的膜形成装置IMP和仿真装置1的布置的示意图。膜形成装置IMP执行使布置在基板S上的可固化组合物IM的多个液滴与模具M接触并在基板S与模具M之间的空间中形成可固化组合物IM的膜的处理。膜形成装置IMP可以被形成为例如压印装置或平坦化装置。基板S和模具M是可互换的，并且通过使布置在模具M上的可固化组合物IM的多个液滴与基板S接触，可以在模具M与基板S之间的空间中形成可固化组合物IM的膜。因此，膜形成装置IMP全面地是执行使布置在第一构件上的可固化组合物IM的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物IM的膜的处理的装置。该实施例通过假定第一构件作为基板S并假定第二构件作为模具M来提供描述。然而，第一构件可以被假定为模具M并且第二构件可以被假定为基板S。在这种情况下，以下描述中的基板S和模具M是互换的。

压印装置使用具有图案的模具M，以将模具M的图案转印到基板S上的可固化组合物IM。压印装置使用具有设置有图案的图案区域PR的模具M。作为压印处理，压印装置使基板S上的可固化组合物IM与模具M的图案区域PR接触，用可固化组合物IM填充模具M与要形成基板S的图案的区域之间的空间，并且然后固化可固化组合物IM。这将模具M的图案区域PR的图案转印到基板S上的可固化组合物IM。例如，压印装置在基板S的多个压射区域中的每个中形成由可固化组合物IM的固化产物制成的图案。

作为平坦化处理，使用具有平坦表面的模具M，平坦化装置使基板S上的可固化组合物IM与模具M的平坦表面接触，并固化可固化组合物IM，由此形成具有平坦上表面的膜。如果使用具有覆盖基板S的整个区域的尺寸(大小)的模具M，则平坦化装置在基板S的整个区域上形成由可固化组合物IM的固化产物制成的膜。

作为可固化组合物，使用要通过接收固化能量而固化的材料。作为固化能量，可以使用电磁波或热。电磁波包括例如从10nm(包括)至1mm(包括)的波长范围中选择的光，并且更具体地，包括红外光、可见光束或紫外光。可固化组合物是通过光照射或加热而固化的组合物。通过光照射而固化的光可固化组合物包含至少可聚合化合物和光聚合引发剂，并还可以根据需要包含不可聚合化合物或溶剂。不可聚合化合物是从由敏化剂、氢供体、内部脱模剂、表面活性剂、抗氧剂和聚合物组分组成的组中选择的至少一种材料。可固化组合物的粘度(25℃时的粘度)例如为1mPa·s(包括)至100mPa·s(包括)。

作为基板的材料，使用例如玻璃、陶瓷、金属、半导体、树脂等。根据需要，可以在基板的表面上设置由不同于基板的材料制成的构件。基板包括例如硅晶片、化合物半导体晶片或石英玻璃。

在说明书和附图中，将在XYZ坐标系上指示方向，在XYZ坐标系中与基板S的表面平行的方向被定义为X-Y平面。平行于XYZ坐标系的X轴、Y轴和Z轴的方向分别是X方向、Y方向和Z方向。绕X轴的旋转、绕Y轴的旋转和绕Z轴的旋转分别是θX、θY和θZ。关于X轴、Y轴和Z轴的控制或驱动分别是指关于平行于X轴的方向、平行于Y轴的方向和平行于Z轴的方向的控制或驱动。另外，关于θX轴、θY轴和θZ轴的控制或驱动分别是指关于绕与X轴平行的轴的旋转、绕与Y轴平行的轴的旋转以及绕与Z轴平行的轴的旋转的控制或驱动。另外，位置是基于X轴、Y轴和Z轴上的坐标指定的信息，并且取向是通过θX轴、θY轴和θZ轴上的值指定的信息。定位是指控制位置和/或取向。

膜形成装置IMP包括保持基板S的基板保持器SH、通过驱动基板保持器SH来移动基板S的基板驱动机构SD以及支撑基板驱动机构SD的基座SB。另外，膜形成装置IMP包括保持模具M的模具保持器MH以及通过驱动模具保持器MH来移动模具M的模具驱动机构MD。

基板驱动机构SD和模具驱动机构MD形成相对移动机构，该相对移动机构移动基板S和模具M中的至少一个，以便调整基板S与模具M之间的相对位置。通过相对移动机构进行的基板S与模具M之间的相对位置的调整包括使基板S上的可固化组合物IM与模具M接触的驱动以及使模具M与基板S上的固化的可固化组合物IM分开的驱动。另外，通过相对移动机构进行的基板S与模具M之间的相对位置的调整包括基板S与模具M之间的定位。基板驱动机构SD被配置为相对于多个轴(例如，包括X轴、Y轴和θZ轴的三个轴，优选地，包括X轴、Y轴、Z轴、θX轴、θY轴和θZ轴的六个轴)驱动基板S。模具驱动机构MD被配置为相对于多个轴(例如，包括Z轴、θX轴和θY轴的三个轴，优选地，包括X轴、Y轴、Z轴、θX轴、θY轴和θZ轴的六个轴)驱动模具M。

膜形成装置IMP包括用于固化用于填充基板S与模具M之间的空间的可固化组合物IM的固化单元CU。例如，固化单元CU通过经由模具M向可固化组合物IM施加固化能量来使基板S上的可固化组合物IM固化。

膜形成装置IMP包括用于在模具M的后侧(与基板S相对的表面的相对侧)形成空间SP的透射构件TR。透射构件TR由透射来自固化单元CU的固化能量的材料制成，并可以向基板S上的可固化组合物IM施加固化能量。

膜形成装置IMP包括压力控制单元PC，该压力控制单元PC通过控制空间SP的压力来控制模具M在Z轴方向上的变形。例如，当压力控制单元PC使空间SP的压力高于大气压力时，模具M朝向基板S变形成凸形。

膜形成装置IMP包括用于在基板S上布置、供应或分配可固化组合物IM的分配器DSP。然而，由其它装置布置可固化组合物IM的基板S可以被供应(装载)到膜形成装置IMP。在这种情况下，膜形成装置IMP不需要包括分配器DSP。

膜形成装置IMP可以包括用于测量基板S(或基板S的压射区域)与模具M之间的位置偏移(对准误差)的对准观察仪(alignment scope)AS。

仿真装置1执行预测在由膜形成装置IMP执行的处理中可固化组合物IM的行为的计算。更具体地，仿真装置1执行预测在使布置在基板S上的可固化组合物IM的多个液滴与模具M接触并在基板S与模具M之间的空间中形成可固化组合物IM的膜的处理中可固化组合物IM的行为的计算。

仿真装置1例如通过在通用或专用计算机中装入仿真程序(simulation program)21来形成。注意的是，仿真装置1可以由诸如FPGA(现场可编程门阵列)之类的PLD(可编程逻辑器件)形成。可替换地，仿真装置1可以由ASIC(专用集成电路)形成。

在该实施例中，仿真装置1通过将仿真程序21存储在包括处理器10、存储器20、显示器30和输入设备40的计算机中的存储器20中来形成。存储器20可以是半导体存储器、诸如硬盘之类的盘或其它形式的存储器。仿真程序21可以被存储在计算机可读存储介质中，或者经由诸如电信网络之类的通信设施提供到仿真装置1。

根据本发明的仿真方法和仿真装置涉及在基板与模具之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理(例如，压印处理)中的可固化组合物的行为的仿真。下面，将更具体地描述每个实施例中的由仿真装置1执行的仿真方法。

<第一实施例>

图2是示出与根据第一实施例的仿真方法关联的仿真装置1的显示器30上设置(显示)的用户界面的示例的视图。在该实施例中，如图2中所示，用于预测可固化组合物IM的行为的仿真是通过用户在参考设置在显示器30上的用户界面的同时经由输入设备40输入需要的信息来执行的。

例如，当输入用于仿真的条件(下文中，将被称为“仿真条件”)时，设定文件201被预先创建并被存储在存储器20中。设定文件201是整合并管理要仿真的压印处理的条件的文件。在设定文件201中，包括模具M的设计信息的模具设计文件202、包括基板S的设计信息的基板设计文件203以及指示可固化组合物IM的液滴的排出量和布置的液滴布置文件204被指定为设定条件。

注意的是，在该实施例中，为了便于描述的缘故，作为关于设定文件201中指定的压印处理的条件的设定条件，示出了三个具体文件(模具设计文件202、基板设计文件203和液滴布置文件204)。然而，该实施例中未示出的压印处理的条件也可以被设定为设定条件，并且其文件可以被创建并被存储在存储器20中以形成库(library)。

通常地，预先存储在存储器20中的文件被用作设定文件201中指定的每个文件。如上所述，通过在存储器20中存储多个文件并形成库，可以促进分析条件的设定。在设定文件201中指定的每个文件的文件名被显示在条件显示窗口205中。关于设定文件201的图像信息被显示在可视窗口206中，以防止设定文件201的错误输入。

还在设定文件201中设定仿真条件。例如，与诸如将模具M压靠布置在基板S上的可固化组合物IM的力(压力)以及将模具M压靠可固化组合物IM的时间(填充时间)之类的压印有关的信息被设定为仿真条件。

还在设定文件201中设定计算模式。计算模式确定仿真的步骤。根据计算模式，执行仿真(其每个步骤中的计算)。

在执行仿真时，用户(操作者)检查在条件显示窗口205中显示的信息以及在可视窗口206中显示的信息。例如，如果信息没有问题，则用户操作执行按钮以执行仿真。

在可视窗口206中显示仿真结果。注意的是，可视窗口206不限于图2中示出的大小、形状和数量。通过根据可视窗口206中显示的仿真结果自由地改变可视窗口206的大小、形状和数量来在显示器30上显示可视窗口206。

图3A至图3C是示出根据该实施例的仿真方法的概况的视图。参考图3A至图3C，将描述根据该实施例的仿真方法中的仿真(计算方法)。图3A示出了模具M的图案区域PR与基板S被重叠并且从+Z方向观察的状态。图3B和图3C中的每个示出了随后将描述的仿真范围306被扩大并且从-Y方向观察的状态。图3B示出了第一仿真(计算方法)的概况，并且图3C示出了第二仿真(计算方法)的概况。这里，模具M的图案区域PR是模具M的与可固化组合物IM接触的接触表面。

如图3A至图3C中所示，模具侧标记301设置在模具M的图案区域PR中。模具侧标记301是用于诸如相对于基板S定位和压印处理后的位置测量之类的多个应用的标记。例如，模具侧标记301是由TTM(通过模具)对准观察仪检测并被用于模具M与基板S之间的对准的标记。注意的是，许多标记和图案设置在模具M中，但在图3A至图3C中省略了除了模具侧标记301之外的标记和图案的图示。

基板侧标记305设置在基板S中。基板侧标记305例如经由模具M由TTM对准观察仪检测，并被用于模具M与基板S之间的对准。注意的是，许多标记和图案设置在基板S中，但在图3A至图3C中省略了除了基板侧标记305之外的标记和图案的图示。

可固化组合物IM的液滴302布置在模具M和基板S之间。为了便于描述的缘故，图3A中示出的液滴302的大小和数量被简化。实际上，大量的液滴302布置在模具M和基板S之间。

在该实施例中，使用预测可固化组合物IM的行为的精度不同的两种仿真，也就是说，第一仿真和第二仿真。第一仿真是以第一精度预测可固化组合物IM的行为的简单计算方法，而第二仿真是以比第一精度高的第二精度预测可固化组合物IM的行为的详细计算方法。如图3B中所示，第一仿真使用第一计算网格303预测(计算)可固化组合物IM的行为，并且如图3C中所示，第二仿真使用第二计算网格304预测(计算)可固化组合物IM的行为。这里，第一计算网格303和第二计算网格304中的每个是表示计算单元的计算组件的集合。在图3B和图3C中，被布置为形成网格的多个微小矩形中的每个是计算组件。在一般方法中，为了分析可固化组合物IM的液滴302的行为，定义由足够小于可固化组合物IM的每个液滴302的尺寸的计算组件形成的计算网格。然后，提取与每个计算组件对应的模具M的图案信息，并且可固化组合物IM的液滴302的行为被表示为可固化组合物IM的液滴302的体积与每个计算组件的体积之间的比率。

仿真范围306指示执行仿真的范围。在该实施例中，为了减小计算成本(计算负荷)，执行仿真的范围-即，仿真范围306被限制。在该实施例中，假定第一仿真使用模具M的整个图案区域PR作为仿真范围。然而，为了图示的方便，仿真范围306将被描述为执行第一仿真的范围。

由于第一仿真是简单计算方法，因此在仿真范围306中定义的计算网格中的计算组件的数量小于用于第二仿真的计算组件的数量。例如，当通过将液滴302视为连接模具M与基板S的一个柱(pillar)来简化和计算流体行为时，用于仿真的第一计算网格303中的计算组件的数量可以相对少。另外，在第一仿真中，为了简化计算，在计算中省略了在作为微小空间的模具侧标记301和基板侧标记305中的每个中定义的计算网格。在第一仿真中，通过将计算网格的计算组件的数量抑制为少来减小计算成本。因此，可以在将仿真范围设定为基板S上布置有可固化组合物IM的多个液滴的区域(模具M的整个图案区域PR)的同时执行计算。

第二仿真是详细计算方法，并且被假定为计算可固化组合物IM的液滴302连接的流体行为。例如，当计算模具M(其图案区域PR)与基板S之间的空间中的液滴302的流体行为时，应该在模具M与基板S之间的空间中定义相对大量的计算网格的计算组件。另外，当计算进入模具侧标记301的液滴302的行为(填充)时，还需要在模具侧标记301中定义计算网格。

模具侧标记301由凹部形成。当模具侧标记301被可固化组合物IM填充时，在压印处理之后，在可固化组合物IM的膜中形成与模具侧标记301对应的凸部。液滴302的直径约为几百微米。另一方面，模具侧标记301的线宽的范围为几微米至几十微米。因此，模具侧标记301(凹部)的空间非常小。因此，当计算模具侧标记301中的可固化组合物IM的填充性时，需要在模具侧标记301以及基板S与模具M之间的空间中定义小计算组件。换句话说，针对在第二仿真中预测可固化组合物IM的行为而定义的第二计算网格304的计算组件的数量大于针对在第一仿真中预测可固化组合物IM的行为而定义的第一计算网格303的计算组件的数量。由于计算网格的计算组件的数量增加导致计算成本升高，因此难以将仿真范围设定为基板S上布置有可固化组合物IM的多个液滴的区域(模具M的整个图案区域PR)。

根据该实施例的仿真方法通过组合第一仿真和第二仿真来预测可固化组合物IM的行为。在第一仿真中，模具M的整个图案区域PR被设定为仿真范围，并且计算液滴302的扩散、限制在液滴302之间的气体的分布、所限制的气体的压力分布等。另一方面，在第二仿真中，基于第一仿真的结果来更详细地计算可固化组合物IM的行为。

如以上已经描述的，由于第二仿真是计算成本非常高的计算方法，因此将模具M的整个图案区域PR设定为仿真范围是不实际的。因此，通过将用于执行第二仿真的仿真范围306限制为可固化组合物IM的行为(液滴302的扩散)变得特定的区域，更具体地，限制为出现填充不良的区域，计算成本降低。例如，模具侧标记301附近的区域被设定为用于执行第二仿真的仿真范围306。

可以从包括模具M的设计信息的模具设计文件202获得模具M的图案区域PR中的模具侧标记301的位置。因此，从模具设计文件202中提取模具侧标记301的位置信息，并且通过将仿真范围306限制为模具侧标记301的位置附近的区域来执行第二仿真。即使考虑布置在远离模具侧标记301的区域中的液滴302的流动性，相对于其所需的计算成本，计算精度的提高小。因此，限制用于执行第二仿真的仿真范围306导致计算成本减小。

参考图4，将描述根据第一实施例的仿真方法。在该实施例中，将描述预测模具侧标记301中可固化组合物IM的填充性作为可固化组合物IM的行为的示例。

在步骤S401中，仿真装置1确定仿真条件。这里，关于膜形成装置IMP、模具M、基板S、分配器DS等的信息被确定为仿真条件。为了在设定文件201中反映这样的信息，检查信息是否已经被存储在存储器20中。如果该信息尚未被存储在存储器20中，则经由输入设备40将信息存储在存储器20中。

在步骤S402中，仿真装置1创建设定文件201。在步骤S402中创建的设定文件201被存储在存储器20中，并且执行仿真程序21。另外，在该实施例中，在设定文件201中设定评估模具侧标记301中的可固化组合物IM的填充性的计算模式。在该计算模式下，参考模具设计文件202中包括的模具侧标记301的坐标信息(位置信息)，基于坐标信息来设定用于执行第二仿真的仿真范围。仿真程序21设置有通过设定这样的计算模式来优化仿真设定的机制。

在步骤S403中，仿真装置1执行第一仿真(第四步骤)。由于如上所述，第一仿真的计算成本低，因此在该实施例中，为了掌握模具M的整个图案区域PR中的液滴302的行为，执行第一仿真。因此，在将模具M的整个图案区域PR设定为仿真范围的同时执行第一仿真。在第一仿真中，计算(预测)液滴302的总体扩散、限制在液滴302之间的气泡的分布等。通过在第二仿真中参考第一仿真的结果，可以减小第二仿真中的计算成本。将模具M的整个图案区域PR设定为用于执行第一仿真的仿真范围的原因之一在于，此时用于执行第二仿真的仿真范围不确定。

在步骤S404中，仿真装置1确定用于执行第二仿真的仿真范围。如以上已描述的，确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测可固化组合物IM的行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测可固化组合物IM的行为的第一仿真的第一范围中(第一步骤)。在该实施例中，由于设定了评估可固化组合物IM的填充性的计算模式，因此参考模具设计文件202，在可视窗口206中显示模具侧标记301的计算目标区域(用于执行第二仿真的仿真范围)。

注意的是，在该实施例中，包括模具侧标记301的区域被确定为用于执行第二仿真的仿真范围，但也可以基于关于基板侧标记305的信息来确定用于执行第二仿真的仿真范围。通过在设定文件201中设定以基板侧标记305为目标的计算模式，可以参考基板设计文件203中包括的基板侧标记305的坐标信息(位置信息)来确定用于执行第二仿真的仿真范围。要被参考的信息不限于基板侧标记305的坐标信息，并且也可以参考关于基板设计文件203中包括的其它标记、图案等的信息。

可替换地，可以设定基于第一仿真的结果来确定用于执行第二仿真的仿真范围的计算模式。在该实施例中，通过执行第一仿真，可以计算限制在液滴302之间的气泡的分布。因此，参考第一仿真的结果，例如，气泡的数量和大小，指定异常部分，更具体地，出现填充不良的区域，并且用于执行第二仿真的仿真范围可以被确定以包括所指定的区域。

在该实施例中，仅基于关于模具侧标记301的信息来确定用于执行第二仿真的仿真范围，但本发明不限于此。例如，还可以不仅基于关于模具侧标记301的信息，而且基于关于基板侧标记305的信息或第一仿真的结果的组合来确定用于执行第二仿真的仿真范围。

注意的是，用于执行第二仿真的仿真范围可以由仿真程序21自动地确定。用于执行第二仿真的仿真范围可以通过根据用户输入调整由仿真程序21暂时确定(建议)的仿真范围来确定。如果自动地确定了用于执行第二仿真的仿真范围，则可以减少等待用户输入的时间，这导致计算成本的改进。例如，如果用户调整了用于执行第二仿真的仿真范围，则用户可以参考第一仿真的结果，使得可以确定更合适的范围。

在步骤S405中，仿真装置1在步骤S404中确定的仿真范围中执行第二仿真(第二步骤)。如果自动地确定了用于执行第二仿真的仿真范围，则不需要手动地设定和调整仿真范围，因此用户不需要关心步骤S404和S405。因此，在第二仿真的执行中，可以实现效率的进一步提高。

在步骤S406中，仿真装置1在可视窗口206中显示在步骤S403中执行的第一仿真的结果或在步骤S405中执行的第二仿真的结果(第三步骤)。在该实施例中，由于设定了评估模具侧标记301中的可固化组合物IM的填充性的计算模式，因此在可视窗口206中显示第二仿真的结果。可替换地，第一仿真的结果可以与第二仿真的结果一起被显示在可视窗口206中。

根据该实施例，可以最优地确定用于执行计算成本高的第二仿真的仿真范围。这可以在维持仿真精度的同时减少计算成本。另外，可以在最小化用户错误的同时执行仿真。以这种方式，根据该实施例的仿真方法可以实现维持仿真精度以及抑制计算成本。

注意的是，在该实施例中，已经描述了基于模具M的设计信息来确定用于执行第二仿真的仿真范围的示例，但本发明不限于此。例如，仿真范围可以基于基板S的设计信息、可固化组合物IM的多个液滴的布置信息、模具M的图案区域PR的位置信息、以及关于第一仿真的结果的信息中的至少一个来确定。

如果基于模具M的设计信息、基板S的设计信息、可固化组合物IM的多个液滴的布置信息、以及模具M的图案区域PR的位置信息中的至少一个来确定仿真范围，则步骤S404和S405可以与步骤S403并行执行。注意的是，如果步骤S403、S404和S405按此顺序执行，则可以基于上述信息来暂时确定仿真范围，并且可以基于关于第一仿真的结果的信息来调整暂时确定的仿真范围。

<第二实施例>

参考图5，将描述根据第二实施例的仿真方法。在该实施例中，将描述预测模具M的图案区域PR的边缘部分中的可固化组合物IM的渗出或未填充作为可固化组合物IM的行为的示例。在该实施例中，使用液滴布置文件204确定用于执行第二仿真的仿真范围。更具体地，从液滴布置文件204创建维诺图，并且参考可固化组合物IM的液滴(其扩散)的密度。

在步骤S601中，仿真装置1确定仿真条件。步骤S601与图4中示出的步骤S401类似，这里将省略其详细描述。

在步骤S602中，仿真装置1创建设定文件201。在该实施例中，在设定文件201中设定基于从维诺图获得的液滴面积信息和液滴位置信息来确定用于执行第二仿真的仿真范围的计算模式。在该计算模式下，在创建模具M的整个图案区域PR的维诺图之后，用于执行第二仿真的仿真范围是通过基于可固化组合物IM的液滴的位置信息将其限制于图案区域PR的边缘部分附近的液滴来确定的。

在步骤S603中，仿真装置1创建维诺图。这里，维诺图是产生点被设定在布置在模具M和基板S之间的多个液滴302的位置处，并且基于接近模具M的图案区域PR中的相应点的产生点来执行区域划分的图。另外，维诺图是由多个液滴302和与相应液滴302对应的区域形成的图。创建维诺图对应于执行第一实施例中描述的第一仿真(第四步骤)。这里，为了掌握与模具M的图案区域PR中的液滴302对应的区域的所有面积，针对整个图案区域PR创建维诺图。当创建维诺图时，布置有每个液滴302的位置的坐标信息和与每个液滴302对应的区域的面积信息被转换为数值并在存储器20中列出。坐标信息和面积信息被可视化为维诺图，以使用户更容易经由可视窗口206检查液滴布置。

图6是示出了在步骤S603中创建的维诺图501的示例的视图。基于液滴布置文件204中包括的液滴布置信息来创建维诺图501。如以上已描述的，在本实施例中创建模具M的整个图案区域PR的维诺图501，但在图6中，图案区域PR的边缘部分502(拐角部分)被提取并被示出。

边缘部分502是成为由可固化组合物IM形成的膜的端部-即，模具M的图案区域PR的最外周的部分。注意的是，边缘部分502的坐标信息可以通过参考模具设计文件202或基板设计文件203来获得。

根据维诺图501，可以预测多个液滴302中的每个的扩散区域，并掌握液滴302的密度。参考图6，液滴302的布置在大面积的区域中是稀疏的，并且液滴302的布置在小面积的区域中是密集的。通常，来自分配器DSP的液滴302的排出量是恒定的。因此，在小面积的区域中，液滴302的高度变高，而在大面积的区域中，液滴302的高度变低。另外，在大面积的区域中关注可固化组合物IM的未填充，而在小面积的区域中关注可固化组合物IM的渗出。因此，通过在液滴302的面积与其它液滴的面积非常不同的部分中执行第二仿真，可以抑制计算成本。

在步骤S604中，仿真装置1确定用于执行第二仿真的仿真范围(第一步骤)。在该实施例中，通过将在步骤S603中创建的维诺图501(液滴302的密度)与存储在存储器20中的列表进行比较，模具M的图案区域PR的端部502附近的部分被确定为用于执行第二仿真的仿真范围。在可视窗口206中显示在步骤S604中确定的仿真范围，并且用户可以经由可视窗口206检查用于执行第二仿真的仿真范围。在可视窗口206中显示的仿真范围可以是根据用户输入可调整的。

在步骤S605中，仿真装置1在步骤S604中确定的仿真范围中执行第二仿真(第二步骤)。

在步骤S606中，仿真装置1在可视窗口206中显示在步骤S605中执行的第二仿真的结果(第三步骤)。在该实施例中，在可视窗口206中显示相对于模具M的图案区域PR的边缘部分502出现了可固化组合物IM的渗出或未填充的部分。

根据该实施例，可以最优地确定用于执行计算成本高的第二仿真的仿真范围。这可以在维持仿真精度的同时减少计算成本。另外，可以在最小化用户错误的同时执行仿真。以这种方式，根据该实施例的仿真方法可以实现维持仿真精度以及抑制计算成本。

<第三实施例>

参考图7，将描述根据第三实施例的仿真方法。在该实施例中，通过使用作为外部测量装置的显微镜，指定经由压印处理形成在基板S上的可固化组合物IM的膜中产生的诸如气泡之类的缺陷的位置。然后，基于所指定的位置，在出现了许多缺陷的部分中执行第一仿真。

在步骤S701中，仿真装置1确定仿真条件。步骤S701与图4中示出的步骤S401类似，这里将省略其详细描述。

在步骤S702中，仿真装置1创建设定文件201。在该实施例中，在设定文件201中设定基于随后将描述的缺陷信息来确定用于执行第一仿真的仿真范围的计算模式。以这种方式，在该实施例中，重要的是在设定文件201中反映在基板S上形成可固化组合物IM的膜时的压印条件。

在步骤S703中，仿真装置1获得指示在形成在基板S上的可固化组合物IM的膜中出现的缺陷的位置的缺陷信息。缺陷信息是关于通过执行压印处理而形成的可固化组合物IM的膜的测量结果的信息。例如，通过使用显微镜测量形成在基板S上的可固化组合物IM的膜来获得缺陷信息。此时，缺陷的面积和坐标信息被列出并被存储在存储器20中。对模具M的整个图案区域PR执行该列出。

在步骤S704中，仿真装置1确定用于执行第一仿真的仿真范围。以这种方式，确定用于执行预测可固化组合物IM的行为的第一仿真的第二范围(包括出现了缺陷的部分的范围)，第二范围被包括在第一范围(模具M的整个图案区域PR)中并小于第一范围(第一步骤)。在该实施例中，通过将在步骤S703中获得的缺陷信息与存储在存储器20中的列表进行比较，出现了缺陷的部分被确定为用于执行第一仿真的仿真范围。在该实施例中，设定文件201被设定为使得执行第一仿真而不在可视窗口206中显示上述信息。因此，在用户不调整仿真范围的情况下根据仿真程序21自动地确定仿真范围，并且自动地开始第一仿真。因此，在第一仿真的执行中，可以实现效率的进一步提高。此外，如果出现了缺陷的部分是有限区域，则不需要在模具M的整个图案区域PR中执行第一仿真，使得仿真范围可以被限制。这可以减少计算成本。

在步骤S705中，仿真装置1在步骤S704中确定的仿真范围中执行第一仿真(第二步骤)。

在步骤S706中，仿真装置1在可视窗口206中显示在步骤S705中执行的第一仿真的结果(第三步骤)。在该实施例中，关于出现了缺陷的部分的信息被显示在可视窗口206中作为可固化组合物IM的行为。在该实施例中，可以将由显微镜获得的缺陷信息与第一仿真的结果相对比较。因此，变得较容易指定缺陷的原因。

如以上已描述的，在该实施例中，基于关于通过执行压印处理而形成的可固化组合物IM的膜的测量结果的信息，确定用于执行第一仿真的仿真范围。据此，用于执行第一仿真的仿真范围可以在适合于该目的的范围中被适当地确定。这可以在维持仿真精度的同时减少计算成本。另外，可以在最小化用户错误的同时执行仿真。以这种方式，根据该实施例的仿真方法可以实现维持仿真精度以及抑制计算成本。

本发明的(一个或多个)实施例还可以通过读出并执行记录在存储介质(也可以被更完整地称为“非瞬态计算机可读存储介质”)上的计算机可执行指令(例如，一个或多个程序)以执行上述(一个或多个)实施例中的一个或多个实施例的功能和/或包括用于执行上述(一个或多个)实施例中的一个或多个实施例的功能一个或多个电路(例如，专用集成电路(ASIC))的系统或装置的计算机来实现，以及通过例如从存储介质读出并执行计算机可执行指令以执行上述(一个或多个)实施例中的一个或多个实施例的功能和/或控制一个或多个电路以执行上述(一个或多个)实施例中的一个或多个实施例的功能而通过由系统或装置的计算机执行的方法来实现。计算机可以包括一个或多个处理器(例如，中央处理单元(CPU)、微处理单元(MPU))，并且可以包括单独计算机或单独处理器的网络，以读出并执行计算机可执行指令。计算机可执行指令可以例如从网络或存储介质提供到计算机。存储介质可以包括例如硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、分布式计算系统的存储装置、光盘(诸如紧凑盘(CD)、数字多功能盘(DVD)或蓝光盘(BD)^TM)、闪存设备、存储卡等中的一个或多个。

包含仿真装置1的膜形成装置IMP基于由仿真装置1执行的可固化组合物的行为的预测，控制使布置在第一构件上的可固化组合物与第二构件接触并形成可固化组合物的膜的处理。

根据本发明的物品制造方法包括在重复上述仿真方法的同时确定使布置在第一构件上的可固化组合物与第二构件接触并形成可固化组合物的膜的处理的条件的步骤以及根据该条件执行该处理的步骤。到目前为止，已经描述了模具包括图案的模式，但本发明也适用于基板包括图案的模式。

图8A至图8F示出了制造物品的方法的更具体示例。如图8A中图示的，准备具有诸如形成在表面上的绝缘体之类的经处理的材料的诸如硅晶片之类的基板。接下来，通过喷墨方法等将压印材料(可固化组合物)施加到经处理的材料的表面。这里示出了压印材料作为多个液滴被施加到基板上的状态。

如图8B中所示，用于压印的形成有凸起和凹槽图案的模具的一侧被使得面对基板上的压印材料。如图8C中图示的，施加有压印材料的基板与模具接触，并施加压力。模具与经处理的材料之间的间隙被用压印材料填充。在该状态下，当压印材料通过模具被用作固化能量的光照射时，压印材料被固化。

如图8D中所示，在压印材料固化之后，模具从基板脱离。因此，在基板上形成压印材料的固化产物的图案。在固化产物的图案中，模具的凹槽对应于固化产物的凸起，并且模具的凸起对应于固化产物的凹槽。即，模具的凸起和凹槽图案被转印到压印材料。

如图8E中所示，当使用固化产物的图案作为抗刻蚀掩模来执行刻蚀时，经处理的材料的表面不存在固化产物或保留薄的部分被去除以形成凹槽。如图8F中所示，当固化产物的图案被去除时，可以获得在经处理的材料的表面形成有凹槽的物品。这里固化材料的图案被去除，但是例如该图案可以被用作半导体元件等中包括的层之间的绝缘膜而不在处理后被去除，换句话说，被用作物品的组成构件。

本发明不限于以上实施例，并且可以在本发明的精神和范围内进行各种改变和修改。因此，为了使公众知道本发明的范围，提出随附的权利要求。

虽然已经参考示例性实施例描述了本发明，但要理解，本发明不限于所公开的示例性实施例。随附权利要求的范围应被赋予最宽泛的解释，以包含所有这样的修改以及等同的结构和功能。

Claims (16)

1.一种仿真方法，所述仿真方法预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为，所述方法包括：

确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测所述行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测所述行为的第一仿真的第一范围中并且第二范围小于第一范围；

在第二范围中执行第二仿真；以及

显示在第二范围中执行的第二仿真的结果，

其中，在所述确定中，基于第一构件的设计信息、第二构件的设计信息、可固化组合物的所述多个液滴的布置信息、第二构件的与可固化组合物的所述多个液滴接触的接触表面的位置信息、以及关于在第一范围中执行的第一仿真的结果的信息当中的至少一条信息来确定第二范围。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

在所述确定中，基于所述至少一条信息，指定在第一构件上布置有可固化组合物的所述多个液滴的区域中出现填充不良的区域，并且第二范围被确定以便包括出现填充不良的区域。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括

在所述确定之前，在第一范围中执行第一仿真。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，

在所述显示中，还显示在第一范围中执行的第一仿真的结果。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述确定包括基于第一构件的设计信息、第二构件的设计信息、可固化组合物的所述多个液滴的布置信息、以及第二构件的与可固化组合物的所述多个液滴接触的接触表面的位置信息当中的至少一条信息来暂时确定第二范围，并且

通过基于关于在第一范围中执行的第一仿真的结果的信息调整暂时确定的第二范围来确定第二范围。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，

所述确定包括

基于所述至少一条信息来暂时确定第二范围，并且

通过根据用户输入调整暂定确定的第二范围来确定第二范围。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，

针对在第二仿真中预测所述行为而定义的计算网格的计算组件的数量大于针对在第一仿真中预测所述行为而定义的计算网格的计算组件的数量。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，

用于在第二仿真中预测所述行为的计算负荷大于用于在第一仿真中预测所述行为的计算负荷。

9.一种仿真方法，所述仿真方法预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为，所述方法包括：

确定包括在用于执行预测所述行为的仿真的第一范围中的第二范围，第二范围小于第一范围；

在第二范围中执行所述仿真；以及

显示在第二范围中执行的所述仿真的结果，

其中，在所述确定中，基于关于通过执行所述处理而形成的可固化组合物的膜的测量结果的信息来确定第二范围。

10.一种仿真装置，所述仿真装置预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为，其中，

确定用于执行以比第一精度高的第二精度预测所述行为的第二仿真的第二范围，第二范围被包括在用于执行以第一精度预测所述行为的第一仿真的第一范围中并且第二范围小于第一范围，

在第二范围中执行第二仿真，

显示在第二范围中执行的第二仿真的结果，并且

当确定第二范围时，基于第一构件的设计信息、第二构件的设计信息、可固化组合物的所述多个液滴的布置信息、第二构件的与可固化组合物的所述多个液滴接触的接触表面的位置信息、以及关于在第一范围中执行的第一仿真的结果的信息当中的至少一条信息来确定第二范围。

11.一种仿真装置，所述仿真装置预测在使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理中可固化组合物的行为，其中，

确定包括在用于执行预测所述行为的仿真的第一范围中的第二范围，第二范围小于第一范围；

在第二范围中执行所述仿真，

显示在第二范围中执行的所述仿真的结果，并且

当确定第二范围时，基于关于通过执行所述处理而形成的可固化组合物的膜的测量结果的信息来确定第二范围。

12.一种包含权利要求10中限定的仿真装置的膜形成装置，其中，

基于由仿真装置执行的可固化组合物的行为的预测，控制使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理。

13.一种包含权利要求11中限定的仿真装置的膜形成装置，其中，

基于由仿真装置执行的可固化组合物的行为的预测，控制使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理。

14.一种物品制造方法，包括：

在重复权利要求1中限定的仿真方法的同时，确定使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理的条件，以及

根据所述条件执行所述处理。

15.一种物品制造方法，包括：

在重复权利要求9中限定的仿真方法的同时，确定使布置在第一构件上的可固化组合物的多个液滴与第二构件接触并在第一构件与第二构件之间的空间中形成可固化组合物的膜的处理的条件，以及

根据所述条件执行所述处理。

16.一种非暂态存储介质，存储用于使计算机执行权利要求1中限定的仿真方法的程序。

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