CN114061647A - 一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置 - Google Patents

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陈茂雄
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Abstract

本发明公开了一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆连接，所述第一连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第二夹板与所述第一支撑杆通过第二连杆连接，所述第二连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第一夹板上设有第一通孔，所诉第一通孔与所述流量计连通，所述第二夹板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述空气泵连通。

Description

一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置
技术领域
本发明涉及静电卡盘技术领域，特别涉及一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置。
背景技术
静电卡盘上设有若干轴线方向上的通孔，由于通孔的孔径小，且通孔的长度相对较长，因此，不容易直接用眼睛观察出来该通孔是否被堵塞，若该通孔堵塞则会影响静电卡盘的使用，因此需要一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，来判断静电卡盘上的通孔是否被堵塞。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，能够对静电卡盘上的细孔进行堵塞检测。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为：
一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆连接，所述第一连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第二夹板与所述第一支撑杆通过第二连杆连接，所述第二连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第一夹板上设有第一通孔，所诉第一通孔与所述流量计连通，所述第二夹板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述空气泵连通。
优选的，所述第一夹板设置在所述第二夹板的上方，所述流量计设置在所述第一夹板的上方，所述空气泵设置在所述第二夹板的下方。
优选的，所述第一支撑杆上设有固定板，所述固定板与所述第一支撑杆固定连接，所述固定板位于所述第一夹板和第二夹板之间，所述固定板上设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一连杆上设有与所述第一固定孔的轴线重合的第一安装孔，所述第二连杆上设有与所述第二固定孔的轴线重合的第二安装孔。
优选的，所述第一安装孔中安装有第一紧固螺杆，所述第一紧固螺杆的上端部设有第一调节片，所述第二安装孔中安装有第二紧固螺杆，所述第一紧固螺杆的下端部设有第二调节片。
优选的，所述第一夹板包括第一支撑板，所述第一支撑板与所述第一支撑杆通过所述第一连杆连接，所述第一支撑板的上方设有流量计，所述第一支撑板的下方设有第一橡胶板。
优选的，所述第二夹板包括第二支撑板，所述第二支撑板与所述第一支撑杆通过所述第二连杆连接，所述第二支撑板的下方设有空气泵，所述第二支撑板的上方设有第二橡胶板。
优选的，所述静电卡盘支撑架包括第三支撑板，所述第三支撑板与所述机架通过第二支撑杆连接。
优选的，所述第三支撑板与所述第二支撑杆转动连接。
采用上述技术方案，由于设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，使得可以安装静电卡盘以及检测组件，由于设有检测组件，使得可以对静电卡盘的细孔进行堵塞检测，通过第一夹板、第二夹板将检测组件固定在静电卡盘上，第一通孔、第二通孔均与静电卡盘细孔连通，通过空气泵提供气源，通过流量计得出流过静电卡盘细孔的空气流量大小，进而判断静电卡盘上的细孔是否发生了堵塞。
附图说明
图1为本发明一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
如图1所示，为一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置的结构示意图，包括机架1，机架1上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆2，第一支撑杆2上设有检测组件，检测组件包括空气泵9、流量计10、第一夹板和第二夹板，第一夹板与第一支撑杆2通过第一连杆3连接，第一连杆3与第一支撑杆2滑动连接，第二夹板与第一支撑杆2通过第二连杆4连接，第二连杆4与第一支撑杆2滑动连接，第一夹板上设有第一通孔，所诉第一通孔与流量计10连通，第二夹板上设有第二通孔，第二通孔与空气泵9连通，第一支撑杆2可以是方形杆，第一连杆3上可以设于与方形杆配合的方形套，通过方形套的设置，使得第一连杆3可以沿着第一支撑杆2上下移动，实现第一连杆3的滑动连接，同时，由于方形套与方形杆紧密贴合，能够保证第一夹板的位置的准确性，第二支撑杆13也可以是方形杆，第二连杆4上可以设于与方形杆配合的方形套，通过方形套的设置，使得第二连杆4可以沿着第一支撑杆2上下移动，实现第二连杆4的滑动连接，同时，由于方形套与方形杆紧密贴合，能够保证第二夹板的位置的准确性；
第一夹板、第二夹板夹住静电卡盘，第一通孔和第二通孔均与静电卡盘上的细孔连通，通过空气泵9提供空气源，通过流量计10得出流过对应静电卡盘细孔的空气流量，该空气流量值可以根据多次测量的经验得出，后面测量时，这将测量出的值与根据经验得出的空气流量值进行对比，判断静电卡盘细孔是否发生了堵塞，也可以是静电卡盘上多个细孔的值进行对比，若是某一个细孔的流量值其他细孔的流量值较小，则该孔可能发生了堵塞，若某一个细孔的流量值明显小于经验得出的流量值或者其他细孔的流量值，则该孔发生了堵塞；
第一夹板设置在第二夹板的上方，流量计10设置在第一夹板的上方，空气泵9设置在第二夹板的下方，流量计10设置在第一夹板的上方，方便在测量流量时对流量计10进行读数；
第一支撑杆2上设有固定板17，固定板17与第一支撑杆2固定连接，固定板17位于第一夹板和第二夹板之间，固定板17上设有第一固定孔和第二固定孔，第一连杆3上设有与第一固定孔的轴线重合的第一安装孔，第二连杆4上设有与第二固定孔的轴线重合的第二安装孔；
第一安装孔中安装有第一紧固螺杆11，第一紧固螺杆11的上端部设有第一调节片15，第二安装孔中安装有第二紧固螺杆12，第一紧固螺杆11的下端部设有第二调节片16，第一调节片15方便对第一紧固螺杆11进行转动调节，第二调节片16方便对第二紧固螺杆12进行转动调节；
第一夹板包括第一支撑板5，第一支撑板5与第一支撑杆2通过第一连杆3连接，第一支撑板5的上方设有流量计10，第一支撑板5的下方设有第一橡胶板6；
静电卡盘位于第一夹板和第二夹板之间，第一紧固螺杆11穿过第一安装孔、第一固定孔，第二紧固螺杆12穿过第二安装孔、第二固定孔，第一安装孔、第二安装孔均可以是通孔，第一固定孔和第二固定孔均可以是螺纹孔，通过第一紧固螺杆11与第一固定孔的连接，调整第一夹板的位置，使得第一夹板与静电卡盘上端面进行贴合，同时第一通孔与静电卡盘上的细孔相通，通过第二紧固螺杆12与第二固定孔的连接，调整第二夹板的位置，使得第二夹板与静电卡盘上端面进行贴合，同时第二通孔与静电卡盘上的细孔相通；
第二夹板包括第二支撑板7，第二支撑板7与第一支撑杆2通过第二连杆4连接，第二支撑板7的下方设有空气泵9，第二支撑板7的上方设有第二橡胶板8，通过第一橡胶板6和第二橡胶板8，使得第一夹板、第二夹板与静电卡盘更好的贴合，避免对静电卡盘的表造成损伤，同时，能够更好的保证气密性，以便于获得准确的测量值；
静电卡盘支撑架包括第三支撑板14，第三支撑板14与机架1通过第二支撑杆13连接，第三支撑板14与第二支撑杆13转动连接，转动连接可以在静电卡盘上的一个孔测试完毕后转动一个角度，进而可以对下一个孔进行检测，第三支撑板14的底部与第二支撑杆13可以通过轴承实现相对转动；
采用上述技术方案，由于设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆2，使得可以安装静电卡盘以及检测组件，由于设有检测组件，使得可以对静电卡盘的细孔进行堵塞检测，通过第一夹板、第二夹板将检测组件固定在静电卡盘上，第一通孔、第二通孔均与静电卡盘细孔连通，通过空气泵9提供气源，通过流量计10得出流过静电卡盘细孔的空气流量大小，进而判断静电卡盘上的细孔是否发生了堵塞。
以上结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但本发明不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本发明原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆连接，所述第一连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第二夹板与所述第一支撑杆通过第二连杆连接，所述第二连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第一夹板上设有第一通孔，所诉第一通孔与所述流量计连通，所述第二夹板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述空气泵连通。
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一夹板设置在所述第二夹板的上方，所述流量计设置在所述第一夹板的上方，所述空气泵设置在所述第二夹板的下方。
3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一支撑杆上设有固定板，所述固定板与所述第一支撑杆固定连接，所述固定板位于所述第一夹板和第二夹板之间，所述固定板上设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一连杆上设有与所述第一固定孔的轴线重合的第一安装孔，所述第二连杆上设有与所述第二固定孔的轴线重合的第二安装孔。
4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一安装孔中安装有第一紧固螺杆，所述第一紧固螺杆的上端部设有第一调节片，所述第二安装孔中安装有第二紧固螺杆，所述第一紧固螺杆的下端部设有第二调节片。
5.根据权利要求4所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一夹板包括第一支撑板，所述第一支撑板与所述第一支撑杆通过所述第一连杆连接，所述第一支撑板的上方设有流量计，所述第一支撑板的下方设有第一橡胶板。
6.根据权利要求5所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第二夹板包括第二支撑板，所述第二支撑板与所述第一支撑杆通过所述第二连杆连接，所述第二支撑板的下方设有空气泵，所述第二支撑板的上方设有第二橡胶板。
7.根据权利要求1所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述静电卡盘支撑架包括第三支撑板，所述第三支撑板与所述机架通过第二支撑杆连接。
8.根据权利要求7所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第三支撑板与所述第二支撑杆转动连接。
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