CN114032496A - 一种管材溅镀设备及其方法 - Google Patents

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Abstract

本发明属于管材加工技术领域，具体的说是一种管材溅镀设备及其方法，包括筒体和控制器、靶材、电机、主动转盘、主动副转盘、夹具、从动转盘和从动副转盘；所述从动转盘的顶部固连有气泵；所述从动转盘的顶部中心固连有电动推杆，电动推杆的顶部固连有滑动盘，现有技术中，在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染，从而影响溅镀效果，影响加工效果，且人工清洁效率较低，劳动强度较大；本发明中，通过设置滑动盘，便于对管材在筒体进行清洁，清洁过程不需要人员直接参与，提高清洁效率，且降低人员劳动强度，清洁完成后直接进行溅镀，避免造成二次污染，改善溅镀效果，提高产品良率。

Description

一种管材溅镀设备及其方法
技术领域
本发明属于管材加工技术领域，具体的说是一种管材溅镀设备及其方法。
背景技术
溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。现有的管材溅镀设备还存在许多不足，需要改进。
如申请号为CN201810989043.5的一项中国专利公开了一种塑胶管材溅镀方法，包括如下步骤：开启塑件管材溅镀系统，使塑胶管材溅镀系统进行自清洗和自烘干；将已喷入底漆的塑胶管材安装到塑胶管材溅镀系统中，随后对塑胶管材溅镀系统内部抽真空，随后注入氩气；以靶材为阴极，被镀塑胶管材及工件架为阳极进行通电，进行真空溅镀；待塑胶管材真空溅镀完成后，对塑胶管材喷涂面漆，完成塑胶管材的整个溅镀过程；本发明通过使用已喷入底漆的塑胶管材进行溅镀，有利于塑胶管材溅镀均匀；通过塑胶管材溅镀系统溅镀塑胶管材使得塑胶管材被溅镀均匀，通过在塑胶管材表面喷涂面漆，增加塑胶管材溅镀层的耐磨性，有利于提高塑胶管材表面溅镀质量。
该方案中，一定程度上改善溅镀质量，但是未考虑管材和靶材洁净度的问题，在管材的溅镀时需要控制管材表面的洁净度，通常人工对其表面清洁，清洁完成后放入设备中进行溅镀加工，在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染，从而影响溅镀效果，影响加工效果，且人工清洁效率较低，劳动强度较大。
鉴于此，本发明提出了一种管材溅镀设备及其方法，解决了上述技术问题。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本发明提出的一种管材溅镀设备及其方法；通过设置滑动盘，便于对管材在筒体进行清洁，清洁过程不需要人员直接参与，提高清洁效率，且降低人员劳动强度，清洁完成后直接进行溅镀，避免造成二次污染，改善溅镀效果，提高产品良率。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种管材溅镀设备，包括筒体和控制器，筒体内部转动连接有靶材，筒体外侧的顶部固连有电机，筒体内侧顶部转动连接有主动转盘，主动转盘与电机的输出轴固连，主动转盘的底部转动连接有主动副转盘，主动副转盘与电机的输出轴通过齿轮传动连接，主动副转盘的底部固连有夹具，筒体内侧底部转动连接有从动转盘，从动转盘顶部转动连接有从动副转盘；所述从动转盘的顶部固连有气泵；所述从动转盘的顶部中心固连有电动推杆，电动推杆的顶部固连有滑动盘，滑动盘上开设有通孔，通孔与从动副转盘一一对应，通孔的内壁开设有气孔，气孔通过管道与气泵连通，管道上设置有过滤器；所述气泵的另一端与筒体的排气口连通；所述控制器用于调节管材溅镀设备的运行；
现有技术中，在管材的溅镀时需要控制管材表面的洁净度，通常人工对其表面清洁，清洁完成后放入设备中进行溅镀加工，在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染，从而影响溅镀效果，影响加工效果，且人工清洁效率较低，劳动强度较大；
而本发明中，通过设置滑动盘，通过吊机将筒体的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体的顶盖连通管材移动到筒体内部，将管材放置到从动副转盘上，此时筒体的顶盖与筒体密封，控制器控制电动推杆伸缩，电动推杆伸缩使得滑动盘上下移动，滑动盘上下时控制器驱动气泵对气孔抽气，气孔处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔吸到过滤器中进行收集，当筒体内部的真空度达到设定值时，向筒体内部泵入氩气，充入氩气后，控制器控制电机转动，电机驱动主动转盘转动，从动转盘随之转动，使得管材绕着筒体中心公转，同时电机驱动主动副转盘转动，从动副转盘随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材转动，同时对管材进行溅镀，本发明中设置滑动盘，便于对管材在筒体进行清洁，清洁过程不需要人员直接参与，提高清洁效率，且降低人员劳动强度，清洁完成后直接进行溅镀，避免造成二次污染，改善溅镀效果，提高产品良率，且通过增设气泵，加快抽真空的速度，进而提高溅镀率。
优选的，所述从动副转盘的顶部固连有气囊，气囊通过管道与气泵连通；工作时，通过设置气囊，管材放置在从动副转盘上，此时气囊处于收缩状态，管材套设在气囊外侧，气泵在对气孔抽气时，控制器控制气泵首先向气囊供气，气囊充气后膨胀，气囊与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定，气囊充气后管材内部被填充，减小筒体的内部空间，从而减少氩气的使用，节约生产成本，提高生产效率。
优选的，所述滑动盘的周向外侧固连有电动伸缩杆，电动伸缩杆的另一端固连有刮板，刮板与靶材接触的一侧固连有砂纸，刮板下方固连有集屑盒，集屑盒的排废口与过滤器连通，集屑盒与靶材卡合连接；工作时，通过设置砂纸，在清洁管材时，控制器控制电动伸缩杆伸长，此时砂纸与靶材接触，砂纸与靶材接触后控制器驱动靶材转动，同时滑动盘开始上下移动，从而对靶材表面进行打磨，打磨的碎屑落入到集屑盒中，此时过滤器处有负压，使得集屑盒中的废屑被吸入到过滤器中进行收集，溅射靶材在随着使用率的增加，表面可能会附着有残留物，如粉尘、油污、氧化物等，继而靶材表面有不同程度的结瘤，产品质量也会有所下降，导致生产成本增加，通过打磨保证靶材的清洁度，从而改善溅镀效果。
优选的，所述刮板在砂纸的上方固连有无绒软布；所述滑动盘的底部螺纹连接有酒精瓶，酒精瓶内设有棉芯，棉芯的另一端与无绒软布固连；工作时，通过设置无绒软布，在砂纸与靶材接触前，无绒软布先与靶材接触，当砂纸与靶材接触后无绒软布被压缩，并与靶材紧密贴合，在打磨后对靶材进行擦拭清洁，改善靶材的洁净度，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆收缩，此时无绒软布复位蓬松，且与靶材接触，砂纸此时与靶材不再接触，无绒软布在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘上下移动，对靶材进行进一步擦拭，从而改善靶材的洁净度，进而保证管材的溅镀效果。
优选的，所述刮板在无绒软布上方开设有气嘴，气嘴通过管道与气泵连通；工作时，通过设置气嘴，在对靶材进行清洁时，控制器控制气泵向气嘴抽气，抽到的气体通过过滤器过滤后通向气囊或排出筒体，进一步加快抽真空的速度，并将靶材表面残留的碎屑进行清理，同时加快酒精的蒸发，在溅镀完成后，控制器控制气泵将筒体内的氩气泵入到气嘴处，通过氩气冲洗靶材，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材表面的杂质微粒，进而改善管材溅镀质量。
本发明所述的一种管材溅镀方法，该方法适用于上述的管材溅镀设备，该方法步骤如下：
S1、通过吊机将筒体的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体的顶盖连通管材移动到筒体内部，将管材放置到从动副转盘上，控制器驱动气泵对气孔抽气，控制器控制气泵首先向气囊供气，气囊充气后膨胀，气囊与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定；
S2、在S1中管材被固定后，控制器控制电动推杆伸缩，电动推杆伸缩使得滑动盘上下移动，滑动盘上下时控制器驱动气泵对气孔抽气，气孔处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔吸到过滤器中进行收集，控制器控制电动伸缩杆伸长，此时砂纸与靶材接触，控制器驱动靶材转动使得砂纸对其进行打磨，集屑盒中的废屑被吸入到过滤器中进行收集，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆收缩，此时无绒软布复位蓬松，且与靶材接触，砂纸此时与靶材不再接触，无绒软布在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘上下移动，对靶材进行进一步擦拭，当筒体内部的真空度达到设定值时，向筒体内部泵入氩气；
S3、在S2中充入氩气后，控制器控制电机转动，电机驱动主动转盘转动，从动转盘随之转动，使得管材绕着筒体中心公转，同时电机驱动主动副转盘转动，从动副转盘随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材转动，同时对管材进行溅镀；
S4、在S3中溅镀完成后，控制器控制气泵将筒体内的氩气泵入到气嘴处，通过氩气冲洗靶材，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材表面的杂质微粒，完成后取出管材。
本发明的有益效果如下：
1.本发明所述的一种管材溅镀设备及其方法，通过设置滑动盘，控制器控制电动推杆伸缩，电动推杆伸缩使得滑动盘上下移动，滑动盘上下时控制器驱动气泵对气孔抽气，气孔处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔吸到过滤器中进行收集，便于对管材在筒体进行清洁，清洁过程不需要人员直接参与，提高清洁效率，且降低人员劳动强度，清洁完成后直接进行溅镀，避免造成二次污染，改善溅镀效果，提高产品良率。
2.本发明所述的一种管材溅镀设备及其方法，通过设置气囊，控制器控制气泵首先向气囊供气，气囊充气后膨胀，气囊与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定，气囊充气后管材内部被填充，减小筒体的内部空间，从而减少氩气的使用，节约生产成本，提高生产效率。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的立体图；
图2是本发明的正视图；
图3是图1中A处局部放大图；
图4是本发明的方法步骤图；
图中：1、筒体；11、靶材；12、电机；13、主动转盘；14、主动副转盘；15、夹具；2、从动转盘；21、从动副转盘；22、气泵；23、电动推杆；24、过滤器；25、气囊；3、滑动盘；31、通孔；32、气孔；33、电动伸缩杆；4、刮板；41、砂纸；42、集屑盒；43、无绒软布；44、酒精瓶；45、气嘴。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1至图4所示，本发明所述的一种管材溅镀设备，包括筒体1和控制器，筒体1内部转动连接有靶材11，筒体1外侧的顶部固连有电机12，筒体1内侧顶部转动连接有主动转盘13，主动转盘13与电机12的输出轴固连，主动转盘13的底部转动连接有主动副转盘14，主动副转盘14与电机12的输出轴通过齿轮传动连接，主动副转盘14的底部固连有夹具15，筒体1内侧底部转动连接有从动转盘2，从动转盘2顶部转动连接有从动副转盘21；所述从动转盘2的顶部固连有气泵22；所述从动转盘2的顶部中心固连有电动推杆23，电动推杆23的顶部固连有滑动盘3，滑动盘3上开设有通孔31，通孔31与从动副转盘21一一对应，通孔31的内壁开设有气孔32，气孔32通过管道与气泵22连通，管道上设置有过滤器24；所述气泵22的另一端与筒体1的排气口连通；所述控制器用于调节管材溅镀设备的运行；
现有技术中，在管材的溅镀时需要控制管材表面的洁净度，通常人工对其表面清洁，清洁完成后放入设备中进行溅镀加工，在运输与装夹的过程中可能对管材造成二次污染，从而影响溅镀效果，影响加工效果，且人工清洁效率较低，劳动强度较大；
而本发明中，通过设置滑动盘3，通过吊机将筒体1的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具15对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体1的顶盖连通管材移动到筒体1内部，将管材放置到从动副转盘21上，此时筒体1的顶盖与筒体1密封，控制器控制电动推杆23伸缩，电动推杆23伸缩使得滑动盘3上下移动，滑动盘3上下时控制器驱动气泵22对气孔32抽气，气孔32处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔32吸到过滤器24中进行收集，当筒体1内部的真空度达到设定值时，向筒体1内部泵入氩气，充入氩气后，控制器控制电机12转动，电机12驱动主动转盘13转动，从动转盘2随之转动，使得管材绕着筒体1中心公转，同时电机12驱动主动副转盘14转动，从动副转盘21随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材11转动，同时对管材进行溅镀，本发明中设置滑动盘3，便于对管材在筒体1进行清洁，清洁过程不需要人员直接参与，提高清洁效率，且降低人员劳动强度，清洁完成后直接进行溅镀，避免造成二次污染，改善溅镀效果，提高产品良率，且通过增设气泵22，加快抽真空的速度，进而提高溅镀率。
作为本发明的一种实施方式，所述从动副转盘21的顶部固连有气囊25，气囊25通过管道与气泵22连通；工作时，通过设置气囊25，管材放置在从动副转盘21上，此时气囊25处于收缩状态，管材套设在气囊25外侧，气泵22在对气孔32抽气时，控制器控制气泵22首先向气囊25供气，气囊25充气后膨胀，气囊25与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定，气囊25充气后管材内部被填充，减小筒体1的内部空间，从而减少氩气的使用，节约生产成本，提高生产效率。
作为本发明的一种实施方式，所述滑动盘3的周向外侧固连有电动伸缩杆33，电动伸缩杆33的另一端固连有刮板4，刮板4与靶材11接触的一侧固连有砂纸41，刮板4下方固连有集屑盒42，集屑盒42的排废口与过滤器24连通，集屑盒42与靶材11卡合连接；工作时，通过设置砂纸41，在清洁管材时，控制器控制电动伸缩杆33伸长，此时砂纸41与靶材11接触，砂纸41与靶材11接触后控制器驱动靶材11转动，同时滑动盘3开始上下移动，从而对靶材11表面进行打磨，打磨的碎屑落入到集屑盒42中，此时过滤器24处有负压，使得集屑盒42中的废屑被吸入到过滤器24中进行收集，溅射靶材11在随着使用率的增加，表面可能会附着有残留物，如粉尘、油污、氧化物等，继而靶材11表面有不同程度的结瘤，产品质量也会有所下降，导致生产成本增加，通过打磨保证靶材11的清洁度，从而改善溅镀效果。
作为本发明的一种实施方式，所述刮板4在砂纸41的上方固连有无绒软布43；所述滑动盘3的底部螺纹连接有酒精瓶44，酒精瓶44内设有棉芯，棉芯的另一端与无绒软布43固连；工作时，通过设置无绒软布43，在砂纸41与靶材11接触前，无绒软布43先与靶材11接触，当砂纸41与靶材11接触后无绒软布43被压缩，并与靶材11紧密贴合，在打磨后对靶材11进行擦拭清洁，改善靶材11的洁净度，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆33收缩，此时无绒软布43复位蓬松，且与靶材11接触，砂纸41此时与靶材11不再接触，无绒软布43在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘3上下移动，对靶材11进行进一步擦拭，从而改善靶材11的洁净度，进而保证管材的溅镀效果。
作为本发明的一种实施方式，所述刮板4在无绒软布43上方开设有气嘴45，气嘴45通过管道与气泵22连通；工作时，通过设置气嘴45，在对靶材11进行清洁时，控制器控制气泵22向气嘴45抽气，抽到的气体通过过滤器24过滤后通向气囊25或排出筒体1，进一步加快抽真空的速度，并将靶材11表面残留的碎屑进行清理，同时加快酒精的蒸发，在溅镀完成后，控制器控制气泵22将筒体1内的氩气泵入到气嘴45处，通过氩气冲洗靶材11，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材11表面的杂质微粒，进而改善管材溅镀质量。
本发明所述的一种管材溅镀方法，该方法适用于上述的管材溅镀设备，该方法步骤如下：
S1、通过吊机将筒体1的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具15对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体1的顶盖连通管材移动到筒体1内部，将管材放置到从动副转盘21上，控制器驱动气泵22对气孔32抽气，控制器控制气泵22首先向气囊25供气，气囊25充气后膨胀，气囊25与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定；
S2、在S1中管材被固定后，控制器控制电动推杆23伸缩，电动推杆23伸缩使得滑动盘3上下移动，滑动盘3上下时控制器驱动气泵22对气孔32抽气，气孔32处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔32吸到过滤器24中进行收集，控制器控制电动伸缩杆33伸长，此时砂纸41与靶材11接触，控制器驱动靶材11转动使得砂纸41对其进行打磨，集屑盒42中的废屑被吸入到过滤器24中进行收集，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆33收缩，此时无绒软布43复位蓬松，且与靶材11接触，砂纸41此时与靶材11不再接触，无绒软布43在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘3上下移动，对靶材11进行进一步擦拭，当筒体1内部的真空度达到设定值时，向筒体1内部泵入氩气；
S3、在S2中充入氩气后，控制器控制电机12转动，电机12驱动主动转盘13转动，从动转盘2随之转动，使得管材绕着筒体1中心公转，同时电机12驱动主动副转盘14转动，从动副转盘21随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材11转动，同时对管材进行溅镀；
S4、在S3中溅镀完成后，控制器控制气泵22将筒体1内的氩气泵入到气嘴45处，通过氩气冲洗靶材11，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材11表面的杂质微粒，完成后取出管材。
具体工作流程如下：
工作时，通过吊机将筒体1的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具15对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体1的顶盖连通管材移动到筒体1内部，将管材放置到从动副转盘21上，控制器驱动气泵22对气孔32抽气，控制器控制气泵22首先向气囊25供气，气囊25充气后膨胀，气囊25与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定，控制器控制电动推杆23伸缩，电动推杆23伸缩使得滑动盘3上下移动，滑动盘3上下时控制器驱动气泵22对气孔32抽气，气孔32处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔32吸到过滤器24中进行收集，控制器控制电动伸缩杆33伸长，此时砂纸41与靶材11接触，控制器驱动靶材11转动使得砂纸41对其进行打磨，集屑盒42中的废屑被吸入到过滤器24中进行收集，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆33收缩，此时无绒软布43复位蓬松，且与靶材11接触，砂纸41此时与靶材11不再接触，无绒软布43在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘3上下移动，对靶材11进行进一步擦拭，当筒体1内部的真空度达到设定值时，向筒体1内部泵入氩气，控制器控制电机12转动，电机12驱动主动转盘13转动，从动转盘2随之转动，使得管材绕着筒体1中心公转，同时电机12驱动主动副转盘14转动，从动副转盘21随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材11转动，同时对管材进行溅镀，控制器控制气泵22将筒体1内的氩气泵入到气嘴45处，通过氩气冲洗靶材11，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材11表面的杂质微粒，完成后取出管材。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种管材溅镀设备，包括筒体(1)和控制器，筒体(1)内部转动连接有靶材(11)，筒体(1)外侧的顶部固连有电机(12)，筒体(1)内侧顶部转动连接有主动转盘(13)，主动转盘(13)与电机(12)的输出轴固连，主动转盘(13)的底部转动连接有主动副转盘(14)，主动副转盘(14)与电机(12)的输出轴通过齿轮传动连接，主动副转盘(14)的底部固连有夹具(15)，筒体(1)内侧底部转动连接有从动转盘(2)，从动转盘(2)顶部转动连接有从动副转盘(21)；其特征在于：所述从动转盘(2)的顶部固连有气泵(22)；所述从动转盘(2)的顶部中心固连有电动推杆(23)，电动推杆(23)的顶部固连有滑动盘(3)，滑动盘(3)上开设有通孔(31)，通孔(31)与从动副转盘(21)一一对应，通孔(31)的内壁开设有气孔(32)，气孔(32)通过管道与气泵(22)连通，管道上设置有过滤器(24)；所述气泵(22)的另一端与筒体(1)的排气口连通；所述控制器用于调节管材溅镀设备的运行。
2.根据权利要求1所述的一种管材溅镀设备，其特征在于：所述从动副转盘(21)的顶部固连有气囊(25)，气囊(25)通过管道与气泵(22)连通。
3.根据权利要求1所述的一种管材溅镀设备，其特征在于：所述滑动盘(3)的周向外侧固连有电动伸缩杆(33)，电动伸缩杆(33)的另一端固连有刮板(4)，刮板(4)与靶材(11)接触的一侧固连有砂纸(41)，刮板(4)下方固连有集屑盒(42)，集屑盒(42)的排废口与过滤器(24)连通，集屑盒(42)与靶材(11)卡合连接。
4.根据权利要求3所述的一种管材溅镀设备，其特征在于：所述刮板(4)在砂纸(41)的上方固连有无绒软布(43)；所述滑动盘(3)的底部螺纹连接有酒精瓶(44)，酒精瓶(44)内设有棉芯，棉芯的另一端与无绒软布(43)固连。
5.根据权利要求4所述的一种管材溅镀设备，其特征在于：所述刮板(4)在无绒软布(43)上方开设有气嘴(45)，气嘴(45)通过管道与气泵(22)连通。
6.一种管材溅镀方法，其特征在于：该方法适用于权利要求1-5中任一项所述的管材溅镀设备，该方法步骤如下：
S1、通过吊机将筒体(1)的顶盖吊起，顶盖移动到待加工的管材上方，再将夹具(15)对准管材内孔，对管材装夹固定，接着将筒体(1)的顶盖连通管材移动到筒体(1)内部，将管材放置到从动副转盘(21)上，控制器驱动气泵(22)对气孔(32)抽气，控制器控制气泵(22)首先向气囊(25)供气，气囊(25)充气后膨胀，气囊(25)与管材内壁贴合，进而对管材底部进行固定；
S2、在S1中管材被固定后，控制器控制电动推杆(23)伸缩，电动推杆(23)伸缩使得滑动盘(3)上下移动，滑动盘(3)上下时控制器驱动气泵(22)对气孔(32)抽气，气孔(32)处形成负压，吸取管材表面的脏污，脏污从气孔(32)吸到过滤器(24)中进行收集，控制器控制电动伸缩杆(33)伸长，此时砂纸(41)与靶材(11)接触，控制器驱动靶材(11)转动使得砂纸(41)对其进行打磨，集屑盒(42)中的废屑被吸入到过滤器(24)中进行收集，打磨完成后，控制器控制电动伸缩杆(33)收缩，此时无绒软布(43)复位蓬松，且与靶材(11)接触，砂纸(41)此时与靶材(11)不再接触，无绒软布(43)在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精，同时随着滑动盘(3)上下移动，对靶材(11)进行进一步擦拭，当筒体(1)内部的真空度达到设定值时，向筒体(1)内部泵入氩气；
S3、在S2中充入氩气后，控制器控制电机(12)转动，电机(12)驱动主动转盘(13)转动，从动转盘(2)随之转动，使得管材绕着筒体(1)中心公转，同时电机(12)驱动主动副转盘(14)转动，从动副转盘(21)随之转动，使得管材绕自身轴心自转，控制器控制靶材(11)转动，同时对管材进行溅镀；
S4、在S3中溅镀完成后，控制器控制气泵(22)将筒体(1)内的氩气泵(22)入到气嘴(45)处，通过氩气冲洗靶材(11)，以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒，从而减少靶材(11)表面的杂质微粒，完成后取出管材。
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