CN113996130B - 存水装置及废气处理系统 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例提供一种存水装置及废气处理系统，存水装置包括：蓄水腔和进水口，所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔内具有粘性物质；导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置，所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动，移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动；水幕套壳，所述水幕套壳与所述进水口连接，所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。本发明有利于在保证浮动装置的正常运行的基础上，降低存水装置的用水需求。

Description

存水装置及废气处理系统
技术领域
本发明实施例涉及废气处理领域，特别涉及一种存水装置及废气处理系统。
背景技术
半导体炉管工艺中存在多步ALD-NIT制程，该类制程会产生大量气体副产物。目前通常通过燃烧和冷却处理该类气体副产物，使其形成固体副产物存于废气处理系统中，并通过水溶液进行冲洗处理。而用于冲洗制程副产物的水溶液在经过处理之后送入存水装置进行循环使用。当循环次数达到一定目标时，该类水溶液会直接排入到厂务端，并通过特殊处理进行排出。废气处理系统内存水装置会补充新的水溶液。
由于燃烧不充分和处理不充分等原因，送入存水装置的水溶液中通常包含有部分残余的制程副产物，这部分制程副产物可能会影响存水装置的正常运行，进而导致水循环失败，甚至导致整个废气处理系统宕机。
发明内容
本发明实施例提供一种存水装置及废气处理系统，有利于在保证浮动装置正常运行的基础上，降低存水装置的用水需求。
为解决上述问题，本发明实施例提供一种存水装置，包括：蓄水腔和进水口，所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔内具有粘性物质；导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置，所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动，移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动；水幕套壳，所述水幕套壳与所述进水口连通，所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。
另外，所述存水装置还包括第一区域和第二区域，所述水幕套壳包括第一套壳和第二套壳，所述第一套壳分流的溶液用于冲洗所述第一区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质，所述第二套壳分流的溶液用于冲洗所述第二区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。通过设置多个套壳，缩小每一套壳所需冲洗的区域，保证每一套壳能够有效冲洗指定区域，进而保证粘附于导杆上的粘性物质能够被有效冲洗。
另外，所述蓄水腔具有低水位线和高水位线，所述第一区域包括所述高水位线，所述第二区域包括所述低水位线，所述浮动装置包括第一浮动装置和第二浮动装置，所述第一浮动装置在所述第一区域内移动，所述第二浮动装置在所述第二区域内移动。设置位于不同区域的多个浮动装置，有利于保证在水位下降速率或上升速度大于浮动装置的移动速率时，浮动装置与溶液水平面到达同一水平线的时间差较短，即任一时刻浮动装置与溶液水平面的高度差较小，浮动装置的位置状态能够有效反映水位情况。
另外，存水装置还包括：警示模块，所述警示模块用于在所述浮动装置处于所述低水位线或所述高水位线时，发出警示信息。
另外，从所述水幕套壳内流出的所述溶液沿重力方向流动。由于溶液能够受重力下落，因此无需提供较大的溶液流量就能够冲洗粘性物质，如此，在进水口的流量较小时，也能够实现冲洗目的。
另外，所述水幕套壳套设于所述导杆与所述浮动装置之间，所述浮动装置沿所述水幕套壳移动，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗粘附于所述水幕套壳上的所述粘性物质。
另外，所述水幕套壳包括固定套壳和环绕套壳，所述固定套壳用于固定在所述导杆上，所述环绕套壳环绕于所述固定套壳，所述固定套壳和所述环绕套壳之间具有第一间隙，所述溶液通过所述第一间隙流出并对粘附在所述水幕套壳上的所述粘性物质进行冲洗；所述导杆固定于所述固定套壳内，所述水幕套壳相对于所述导杆可拆卸。
另外，在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上，所述水幕套壳与所述浮动装置之间具有第二间隙，所述第二间隙的宽度范围为0.5mm～1.5mm。第二间隙过小，则水幕套壳上粘附的粘性物质更容易阻碍浮动装置的移动；第二间隙过大，则经水幕套壳分流的溶液不容易流到水幕套壳的侧壁上，从而不容易冲洗掉附着在水幕套壳侧壁上的粘性物质。
另外，在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上，所述第一间隙的宽度范围为2mm～4mm。第一间隙过小，在水幕套壳分流的溶液流量一定的情况下，溶液可能是以较快速率直接喷出而并非沿水幕套壳侧壁流出，进而无法有效冲洗粘附于水幕套壳侧壁的粘性物质；第一间隙过大，则环绕套壳的半径过大，水幕套壳侧壁面积较大，更多的粘性物质可附着在水幕套壳侧壁，进而对浮动装置的移动造成更大的阻碍。
另外，所述蓄水腔具有出水口与彼此连通的第一腔室和第二腔室，所述导杆位于所述第一腔室内，所述出水口与所述第二腔室连通，所述进水口用于向所述第一腔室内送入包含所述粘性物质的所述溶液，所述出水口用于排出所述溶液；还包括：隔离板和滤网，所述隔离板隔离所述第一腔室和所述第二腔室，所述滤网用于过滤所述粘性物质。
另外，所述蓄水腔包括连通所述第一腔室和所述第二腔室的连通口，所述连通口位于所述蓄水腔底部。
相应地，本发明实施例还提供一种废气处理系统，包括：至少一台上述存水装置；废气反应腔室，所述废气反应腔室与所述存水装置连接，所述存水装置用于存储冲洗所述废气反应腔室的制程副产物的溶液，所述溶液可循环使用。
与现有技术相比，本发明实施例提供的技术方案具有以下优点：
上述技术方案中，水幕套壳与进水口连通，起到分流作用，进水口送入的溶液不仅用于蓄水，还用于通过水幕套壳冲洗位于导杆和浮动装置之间的粘性物质，无需再额外引用水源对粘性物质进行冲洗，在保证浮动装置的移动不会受到粘性物质的阻碍的情况下，有利于降低存水装置的用水需求。
附图说明
一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。
图1至图6为存水装置的结构示意图；
图7至图9为存水装置运行过程中各阶段对应的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。
参考图1，存水装置包括：蓄水腔11和进水口111，进水口111用于向蓄水腔11内送入溶液112，蓄水腔11用于存蓄或排出溶液112，蓄水腔11内具有粘性物质15；导杆12和可沿导杆12移动的浮动装置13，浮动装置13可随蓄水腔11内的水位变化移动，移动至导杆12和浮动装置13之间的粘性物质15可阻碍浮动装置13移动；水幕套壳14，水幕套壳14与进水口111连通，水幕套壳11用于分流部分由进水口111送入的溶液112，水幕套壳14分流的溶液112用于冲洗位于导杆12和浮动装置13之间的粘性物质15。
本实施例中，蓄水腔11具有出水口113和彼此连通的第一腔室116和第二腔室117，导杆12位于第一腔室116内，出水口113与第二腔室117连通，进水口111用于向第一腔室116内送入用于冲洗废气反应腔室制程副产物的溶液112，出水口113用于排出溶液112。第一腔室116和第二腔室117依靠隔离板16和滤网161进行隔离，滤网161用于过滤粘性物质15。
进水口111送入的溶液112既可以是冲洗过制程副产物的循环再利用的溶液，也可以是重新补充的溶液。若是循环再利用的溶液，在送入存水装置之前，该溶液已经冲洗过废气反应腔室内的制程副产物，而由于燃烧不充分和处理不充分等原因，循环再利用的溶液中通常包含有粘性物质15。这部分粘性物质15由于滤网161阻隔，会一直留在第一腔室116中，因此，在对存水装置进行定期维护保养之前，第一腔室116内会一直残留有粘性物质15，粘性物质15能够随着溶液112的送入，在溶液112中移动。
需要说明的是，进水口111送入的溶液112既可以是一般的城市用水，也可以经水稀释过后的清洗溶液，还可以是不包含水的清洗溶液，换句话说，进水口111、蓄水腔11以及存水装置等命名只是为了声明溶液112具有和水近似的流动特性，不代表溶液112就是水。
在一个实施例中，第二腔室117还可以具有其他进水口，以进一步加快蓄水速度，通过其他进水口送入第二腔室117的溶液112可以为为不包括粘性物质15的城市用水，避免粘性物质15影响溶液112的冲洗效果。
本实施例，蓄水腔11包括连通第一腔室116和第二腔室117的连通口163，连通口163位于蓄水腔11底部，在垂直于蓄水腔11底面的方向上，连通口163的厚度为20mm～40mm，例如为25mm、30mm、35mm。由于粘性物质大多较轻，容易漂浮在溶液112上部，因此将连通口163设置于蓄水腔11底部，有利于避免未被过滤的粘性物质15通过连通口163到达第二腔室117并被排出。
本实施例中，存水装置包括第一区域121和第二区域122，水幕套壳14包括第一套壳141和第二套壳142，第一套壳141分流的溶液112用于冲洗第一区域121内的位于导杆12和浮动装置13之间的粘性物质15，第二套壳142分流的溶液用于冲洗第二区域122内的位于导杆12和浮动装置13之间的粘性物质15。通过设置多个水幕套壳14，能够缩小每一水幕套壳14所需冲洗的区域，有利于保证每一水幕套壳14能够有效清洁指定的较小区域，进而保证浮动装置13能够随着水位变化有效移动。
本实施例中，参考图2，水幕套壳14包括固定套壳143和环绕套壳144，固定套壳143用于固定在导杆12(参考图1)上，环绕套壳144环绕于固定套壳143，固定套壳143与环绕套壳144之间具有第一间隙，溶液112通过第一间隙流出并对粘附在水幕套壳14上的粘性物质15进行冲洗，导杆12固定于固定套壳143内，水幕套壳14相对于导杆12可拆卸。
参考图3和图4，水幕套壳14具有进水端145和排水端146，排水端146位于进水端145上方，注入水幕套壳14的溶液112向上流动并从排水端146流出，且从水幕套壳14内流出的溶液112沿重力方向流动。需要说明的是，采用图3所示结构进行冲洗时，固定套壳143应该较深，以尽可能容纳导杆12，从而使得粘性物质15粘附于能够被冲洗的水幕套壳14侧壁表面。
在其他实施例中，排水端位于进水端下方，排水端的朝向与重力方向相同，注入水幕套壳的溶液向下(即沿重力方向)流出排水端，并进一步冲洗位于导杆和浮动装置之间的粘性物质。采用这一结构进行冲洗时，固定套壳的深度应该尽可能浅(或者说水幕套壳应该尽可能短)，从而使得粘性物质能够粘附于能够被冲洗的导杆侧壁。
本实施例中，在垂直于水幕套壳14侧壁的方向上，第一间隙的宽度范围为2mm～4mm，例如为2.5mm、3mm或3.5mm。第一间隙过小，在水幕套壳14分流的溶液112流量一定的情况下，溶液112可能是以较快速率直接喷出而并非沿水幕套壳14侧壁流出，进而无法有效冲洗粘附于水幕套壳14侧壁的粘性物质15；第一间隙过大，则环绕套壳142的半径过大，水幕套壳14侧壁面积较大，更多的粘性物质15可附着在水幕套壳14侧壁，进而对浮动装置13的移动造成更大的阻碍。
本实施例中，由于水幕套壳14与导杆12没有紧密连接要求，且为了便于拆卸水幕套壳14以保养存水装置，可将水幕套壳14与导杆12之间的间隙配合设置为较大间隙，例如D8/h8。
本实施例中，水幕套壳14套设于导杆12和浮动装置13之间，浮动装置13沿水幕套壳14移动。在蓄水腔11内的水位上升时，水幕套壳14侧壁与溶液112相接触，混合于溶液112内的粘性物质15粘附于水幕套壳14侧壁；在蓄水腔11内的水位下降时，水幕套壳14排出的溶液112沿侧壁流动，冲洗位于水幕套壳14侧壁的粘性物质15，以使浮动装置13能够随水位下降而向下移动。需要说明的是，由于本实施例中，溶液112依靠重力流动冲洗粘性物质15，因此，对于进水口111的流量要求不大，在进水口111的流量较小时，也能实现冲洗目的；在其他实施例中，还可以采用大流量溶液冲刷水幕套壳侧壁以冲洗粘性物质，以实现更好的冲洗效果。
本实施例中，浮动装置13的重量范围为20g-30g，例如22g、25g或28g。由于仅依靠重力流动的溶液112冲洗能力相对较弱，在水幕套壳14侧壁附着的粘性物质15较多时，水幕套壳14内流出的溶液112难以将位于侧壁的粘性物质15完全清除，为避免残余的粘性物质15影响浮动装置14向下移动，需要增大浮动装置13的重量，依靠重力克服一定的粘性物质15的阻力；同时，为避免浮动装置13浮起所需要的排水量过大，需要对浮动装置13的重量进行限定。
浮动装置13的重量与出水口113的排水速率有关。具体地，当出水口113的排水速率较快时，蓄水腔11内的水位下降速率也较快，浮动装置13在重力作用下克服粘附力之后所产生的下降速率也需要较快，即浮动装置13的自重要越大。
本实施例中，在垂直于导杆12的延伸方向上，浮动装置13横截面积为900mm2～1000mm2，例如为920mm2、950mm2或980mm2。由于与溶液112接触的水幕套壳14侧壁会粘附有粘性物质15，当蓄水腔11内的水位下降后重新上升时，会受到来自于粘性物质15的粘附力。因此，将浮动装置13的横截面积设置在上述范围，有利于保证浮动装置13在上浮时具有较大的浮力，进而克服粘性物质15的粘附力以实现与水位同步上升，从而有效反映水位变化；同时，为避免浮动装置13体积过大，需要对横截面积的大小进行限定。
浮动装置13可以是圆环体、长方体等多种形状的结构。
本实施例中，参考图4，在垂直于水幕套壳14侧壁的方向上，浮动装置13与水幕套壳14之间的具有第二间隙d，第二间隙d的宽度范围为0.5mm～1.5mm，例如为0.8mm、1mm或1.2mm。第二间隙d过小，则水幕套壳14上粘附的粘性物质15更容易阻碍浮动装置13的移动；第二间隙d过大，则经水幕套壳14分流的溶液112不容易流到水幕套壳14的侧壁上从而冲洗粘性物质15。
需要说明的是，蓄水腔11内的溶液112并非是静止不动的，而随着溶液112的流动，浮动装置13也会随之发生晃动，晃动的浮动装置13可能会对水幕套壳14和导杆12造成冲击并导致损伤。浮动装置13造成的冲击与浮动装置13的晃动速率有关，而晃动速率的大小与可加速距离有关，浮动装置13与水幕套管14之间第二间隙d越宽，浮动装置13的可加速距离就越长，在流动的溶液112的推动下，浮动装置13就可能以较大地速率撞击水幕套管14，进而造成水幕套壳14无法正常输水甚至整体结构发生坍塌。
此外，第二间隙d的最大数值与送水速率和排水速率有关，送水速率和排水速率越大，浮动装置13越容易发生晃动，第二间隙d的最大数值应当越小。
参考图2、图5和图6，水幕套壳14中固定套壳143的半径为
Figure BDA0002603172290000071
固定套壳143底面与水幕套壳14底面的距离为10mm，水幕套壳14外径为19.5mm，水幕套壳14的进水口内径为6mm，进水口外径为10mm，第一套壳141的高度为75mm，第二套壳142的高度为45mm。
本实施例中，蓄水腔11包括低水位线115和高水位线114，第一区域121包括高水位线114，第二区域122包括低水位线115，浮动装置13包括第一浮动装置131和第二浮动装置132，第一浮动装置131在第一区域121内移动，第二浮动装置132在第二区域122内移动。设置位于不同区域的多个浮动装置13，有利于保证在水位下降速率或上升速度大于浮动装置13的移动速率时，浮动装置13与溶液到达同一水平线的时间差较短，换句说说，任一时刻浮动装置13与溶液112水平面的高度差较小，浮动装置13的位置状态能够有效反映水位情况。
本实施例中，存水装置还包括：警示模块(未图示)，警示模块用于在浮动模块13处于低水位线115或高水位线114时，发出警示信息。
具体地，导杆12包括用于限制浮动装置13移动的第一挡板123和第二挡板124，第一挡板123内具有第一传感器，第二挡板124内具有第二传感器。当第一传感器检测到第一浮动装置131与第一挡板123接触时，或者第一浮动装置131到达预设位置时，认为溶液112水位到达高水位线114，发出高水位报警；当第二传感器检测到第二浮动装置132与第二挡板124接触时，或者第二浮动装置132到达预设位置时，认为溶液112水位处于低水位线115，发出低水位报警。
以下将通过水位变化，具体描述存水装置的运行原理。
参考图7，当蓄水腔11内的水位上升，且溶液112与第一套壳141侧壁表面接触时，混合于溶液112内的粘性物质15就会附着在第一套壳141侧壁。此时，第一套壳141分流的溶液112直接汇入已经积蓄的溶液112中，无法对粘附于第一套壳142侧壁的粘性物质15起到冲洗作用。
参考图8，当蓄水腔11内的水位下降时，第一套壳141排出的溶液112在重力作用下通过第一套壳141与第一浮动装置131之间的间隙与附着在第一套壳141侧壁的粘性物质15接触并进行冲洗。溶液112的冲洗能够减少粘性物质的量进而减小粘附力，如此，第一浮动装置131能够依靠自重克服粘附力向下移动。如此，有利于避免第一传感器误报高水位警示信息。
参考图9，在水位下降至低水位线115时，触发低水位警示信息。此时，第二套壳142分流的溶液冲洗粘附于第二套壳142侧壁的粘性物质15，从而保证在水位再次上升时，第二浮动装置132能够随着水位上升，避免第二传感器误报低水位警示信息。
本实施例中，水幕套壳与进水口连通，起到分流作用，进水口送入的溶液不仅用于蓄水，还用于通过水幕套壳冲洗位于导杆和浮动装置之间的粘性物质，无需再额外引用水源对粘性物质进行冲洗，在保证浮动装置的移动不会受到粘性物质的阻碍的情况下，有利于降低存水装置的用水需求。
相应地，本发明实施例还提供一种废气处理系统。废气系统包括：至少一台上述存水装置；废气反应腔室，废气反应腔室与存水装置连通，存水装置用于存储冲洗废气反应腔室的制程副产物的溶液，溶液可循环使用。
采用上述存水装置构成废气处理系统，有利于降低因存水装置发生故障而导致废气处理系统宕机的风险，进而降低产品报废的风险。
本实施例中，废气处理系统包括至少两台废气反应腔室，废气反应腔室，每一废气反应腔室与一存水装置连通。废气反应腔室可利用存水装置内的溶液冲洗废气反应腔室的制程副产物；控制装置，控制装置用于控制至少一废气反应腔室进行废气处理。由于多台废气反应腔室的运行采用反馈处理机制，当任一存水装置发生故障而导致与之相连通的废气反应腔室宕机时，控制装置能够切换另一废气反应腔室进行废气处理，如此，有利于进一步降低废弃处理系统宕机的概率，降低产品报废的风险，减少风险损失。
以废气处理系统包括两台废气反应腔室为例，具体风险损失估算如下：
现有主机台设备多为立式炉管，满载时一管平均有100片晶圆，假设每片晶圆成本为400美金，那么每管晶圆成本W＝100×400＝40000美金；在使用上述存水装置之前因存水装置故障而造成的风险损失成本Q1＝W×ξ1 2＝40000×ξ1 2，在使用上述存水装置之后因存水装置故障而造成的风险损失成本Q2＝W×ξ2 2＝40000×ξ2 2。根据经验ξ1约为0.08，ξ2约为0，那么通过调整废气处理系统可降低的风险损失Q＝256美金/100片，当每月产能为40K片时，每月可降低的风险损失约为102400美金(约72.6万人民币)。
本发明提供一种废气处理系统，有利于降低用水量需求，降低废气处理系统的宕机风险，进而降低产品报废的风险。
本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各自更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求限定的范围为准。

Claims (12)

1.一种存水装置，其特征在于，包括：
蓄水腔和进水口，所述进水口用于向所述蓄水腔内送入溶液，所述蓄水腔用于存蓄或排出所述溶液，所述蓄水腔内具有粘性物质；
导杆和可沿所述导杆移动的浮动装置，所述浮动装置可随所述蓄水腔内的水位变化移动，移动至所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质可阻碍所述浮动装置移动；
水幕套壳，所述水幕套壳与所述进水口连通，所述水幕套壳用于分流部分由所述进水口送入的所述溶液，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。
2.根据权利要求1所述的存水装置，其特征在于，还包括：第一区域和第二区域，所述水幕套壳包括第一套壳和第二套壳，所述第一套壳分流的溶液用于冲洗所述第一区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质，所述第二套壳分流的溶液用于冲洗所述第二区域内的位于所述导杆和所述浮动装置之间的所述粘性物质。
3.根据权利要求2所述的存水装置，其特征在于，所述蓄水腔具有低水位线和高水位线，所述第一区域包括所述高水位线，所述第二区域包括所述低水位线，所述浮动装置包括第一浮动装置和第二浮动装置，所述第一浮动装置在所述第一区域内移动，所述第二浮动装置在所述第二区域内移动。
4.根据权利要求3所述的存水装置，其特征在于，还包括：警示模块，所述警示模块用于在所述浮动装置处于所述低水位线或所述高水位线时，发出警示信息。
5.根据权利要求1所述的存水装置，其特征在于，从所述水幕套壳内流出的所述溶液沿重力方向流动。
6.根据权利要求1所述的存水装置，其特征在于，所述水幕套壳套设于所述导杆与所述浮动装置之间，所述浮动装置沿所述水幕套壳移动，所述水幕套壳分流的溶液用于冲洗粘附于所述水幕套壳上的所述粘性物质。
7.根据权利要求5或6所述的存水装置，其特征在于，所述水幕套壳包括固定套壳和环绕套壳，所述固定套壳用于固定在所述导杆上，所述环绕套壳环绕于所述固定套壳，所述固定套壳和所述环绕套壳之间具有第一间隙，所述溶液通过所述第一间隙流出并对粘附在所述水幕套壳上的所述粘性物质进行冲洗；所述导杆固定于所述固定套壳内，所述水幕套壳相对于所述导杆可拆卸。
8.根据权利要求6所述的存水装置，其特征在于，在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上，所述水幕套壳与所述浮动装置之间具有第二间隙，所述第二间隙的宽度范围为0.5mm～1.5mm。
9.根据权利要求7所述的存水装置，其特征在于，在垂直于所述水幕套壳侧壁的方向上，所述第一间隙的宽度范围为2mm～4mm。
10.根据权利要求1所述的存水装置，其特征在于，所述蓄水腔具有出水口与彼此连通的第一腔室和第二腔室，所述导杆位于所述第一腔室内，所述出水口与所述第二腔室连通，所述进水口用于向所述第一腔室内送入包含所述粘性物质的所述溶液，所述出水口用于排出所述溶液；还包括：隔离板和滤网，所述隔离板隔离所述第一腔室和所述第二腔室，所述滤网用于过滤所述粘性物质。
11.根据权利要求10所述的存水装置，其特征在于，所述蓄水腔包括连通所述第一腔室和所述第二腔室的连通口，所述连通口位于所述蓄水腔底部。
12.一种废气处理系统，其特征在于，包括：
至少一台如权利要求1至11中任一项所述的存水装置；
废气反应腔室，所述废气反应腔室与所述存水装置连通，所述存水装置用于存储冲洗所述废气反应腔室的制程副产物的溶液，所述溶液可循环使用。
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