CN113970690A - 晶圆测试用探针台 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体测试装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台，其包括机架，机架上设有测试装置和转料装置，转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，吸附板背向底座一侧开设有气孔，气孔朝向底座的一端接有气泵。本申请具有提高测试效率的效果。
Description
技术领域
本申请涉及半导体测试装置的技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试用探针台。
背景技术
集成电路的制造过程通常可分为晶圆制程、晶圆测试、封装及最后测试几个阶段。在封装之前，需要对晶圆上的集成电路进行电学性能测试（即晶圆测试），以此来判断集成电路是否良好。目前，晶圆测试通常是利用测试探针台进行测试：利用一个具有若干探针的探针卡，将探针与固定在承载台上的晶圆的集成电路进行接触，向集成电路施加测试信号，进而判断其电学性能是否良好。
公告号为CN207181558U的中国专利公开了一种全自动探针台，包括机架；设于机架上的，用于承载并调整待测件相对于机架的位置的工作台；设于机架上的，用于对待测件上的元器件进行导通测试的测试装置；设于机架上的，用于拍摄待测件的实时图片信息的摄像装置；设于机架上的，通过蘸有墨水的墨线以在不合格的元器件上打标识点的标识装置；电连接于工作台、测试装置、摄像装置及标识装置的、根据导通测试的结果判断元器件是否合格的，根据实时图片信息生成不合格的元器件的位置坐标信息的，根据位置坐标信息控制工作台动作以调整不合格的元器件的位置直至与标识装置对应的，控制标识装置进行打标识点动作的控制处理器；两组分设于机架两侧的、用于逐个输送待测件的上下料装置；以及，设于两组上下料装置之间的、输送待测件至工作台上以进行导通测试处理及打标识点处理的、将工作台上的待测件输出以收集待测件的转料装置。
其中，转料装置包括固定于机架上的转料导轨；滑动式装配于转料导轨的、往返于全自动探针台的各工位之间以转移待测件的机械手；以及，设于机架上的、驱使机械手相对于转料导轨往复运动的动力组。机械手包括若干用于承托待测件的承托板，以及，若干凸出设置于承托板上的、当待测件放置于承托板上时以限制待测件相对于承托板移动的限位销组。
这种全自动探针台工作时，先利用机械手将待测件转移到工作台上，控制处理器控制工作台移动至与测试装置对应的位置，并通过测试装置对工作台上的待测件进行检测。在控制处理器判断该待测件是否合格之后，摄像装置拍摄待测件的实时图片信息以供控制处理器生成与不合格待测件对应的坐标信息，然后控制处理器根据该坐标信息控制工作台移动。在不合格待测件与标识装置对应时，标识装置通过蘸有墨水的墨线以在不合格的所述元器件上打标识点，进而可以实现自动在不合格的元器件上打标识点的目的，无需人工操作，提升了工作效率。
针对上述中的相关技术，发明人认为存在有如下缺陷：测试装置测试完晶圆片之后，需要暂时停止工作，等待机械手将晶圆片放回原位，然后抓取新的晶圆片至工作台上，期间耗费时间较长，测试效率较低。
发明内容
为了提高测试效率，本申请提供一种晶圆测试用探针台。
本申请提供的一种晶圆测试用探针台采用如下的技术方案：
一种晶圆测试用探针台，包括机架，所述机架上设有测试装置和转料装置，所述转料装置包括机械手，还包括转动架设在机架上的旋转支架，所述机架上设有用于驱使旋转支架转动的旋转电机，所述旋转支架的旋转轴心水平，旋转支架位于测试装置下方，旋转支架上滑动设有底座，旋转支架上设有用于驱使底座滑移的驱动机构，所述底座成对设置，两个底座的滑移方向相反，底座背向旋转支架中心一侧的面上设有吸附板，底座通过横移组件和纵移组件与吸附板相连，所述吸附板背向底座一侧开设有气孔，所述气孔朝向底座的一端接有气泵。
通过采用上述技术方案，气泵抽气后，在气孔处形成负压，吸附板能够将晶圆吸附住，并带动晶圆随底座移动；在驱动机构的驱使下，位于旋转支架上部的底座将未测晶圆输送至测试装置处，进行测试，位于旋转支架下部的底座将已测晶圆输送至机械手处，并关闭气泵，不再吸附晶圆，使机械手得以将已测晶圆转移走；测试过程中，机械手将新的未测晶圆转移至旋转支架下方，未测晶圆被空置的吸附板吸附；测试结束后，驱动机构驱使两个底座靠拢，避开测试装置和机械手，然后由旋转电机驱使旋转支架旋转，使新的未测晶圆转移至旋转支架上部，进行新一轮的测试，已测晶圆则转移至旋转支架下部，重复上述过程；由于机械手放回已测晶圆和抓取未测晶圆的过程发生在测试期间，每轮测试结束后只需等待旋转支架旋转即可，等待时间大大减少，从而能够提高测试效率。
优选的，所述驱动机构包括转动架设在旋转支架上的驱动齿轮，所述旋转支架上设有第一驱动电机，所述第一驱动电机的机轴与驱动齿轮相连，两个所述底座上均设有驱动齿条，两个所述驱动齿条分别位于驱动齿轮的两侧，驱动齿条与驱动齿轮啮合，驱动齿条沿底座的滑移方向设置。
通过采用上述技术方案，第一驱动电机驱使驱动齿轮旋转，进而带动驱动齿条移动，由于驱动齿条分别位于驱动齿轮的两侧，故两个驱动齿条的移动方向相反，使两个底座相互靠拢或者相互远离。
优选的，两个所述驱动齿条背向驱动齿轮的一侧均设有限位块，所述限位块与对应的驱动齿条相抵，限位块与旋转支架相连。
通过采用上述技术方案，限位块与驱动齿条背向驱动齿轮的一侧相抵，使驱动齿条与驱动齿轮稳定啮合，不易出现跳齿的情况。
优选的，所述驱动机构包括转动架设在旋转支架上的螺杆，所述螺杆沿底座的滑移方向设置，螺杆一端设有左旋螺纹，螺杆另一端设有右旋螺纹，螺杆两端分别套设有两个螺母座，所述螺母座与螺杆螺纹配合，两个螺母座分别与两个底座相连，所述旋转支架上设有第二驱动电机，所述第二驱动电机的机轴与螺杆相连。
通过采用上述技术方案，第二驱动电机驱使螺杆旋转，进而驱使螺母座平移，由于螺杆两端的螺纹相反，故两个螺母座的移动方向相反，带动两个底座相互靠拢或者远离。
优选的，所述旋转支架通过转轴与机架相连，所述转轴上套设有正齿轮和反齿轮，所述机架上转动架设有第一传动轴和第二传动轴，所述第一传动轴和第二传动轴均与转轴平行，所述第一传动轴与旋转电机的机轴相连，第一传动轴上键连接有第一齿轮，所述第二传动轴上键连接有第二齿轮和第三齿轮，所述第一齿轮与第一传动轴滑动配合，第一齿轮在滑移至与正齿轮齐平时啮合于正齿轮上，第一齿轮在滑移至与第二齿轮齐平时啮合于第二齿轮上，所述第三齿轮与反齿轮啮合，所述机架上还架设有气缸，所述气缸与第一传动轴平行，气缸的活塞杆上连接有推块和勾块，所述推块和勾块分别与第一齿轮的两端面相抵。
通过采用上述技术方案，第一齿轮与第一传动轴滑动配合，在气缸的驱使下沿第一传动轴滑移；当第一齿轮滑移至与正齿轮齐平时，第一齿轮与正齿轮啮合，此时旋转电机驱使第一传动轴转动，带动转轴正向转动，使两个底座互换位置；当第一齿轮滑移至与第二齿轮齐平时，第一齿轮与第二齿轮啮合，此时旋转电机驱使第一传动轴转动，带动第二传动轴旋转，进而带动转轴反向转动，使两个底座再次互换位置；在旋转电机的机轴的旋转方向保持不变的情况下，旋转支架交替正反转，各种管线不易打结。
优选的，所述推块朝向第一齿轮一侧设有第一滚珠，推块通过第一滚珠与第一齿轮相抵，所述勾块朝向第一齿轮一侧设有第二滚珠，勾块通过第二滚珠与第一齿轮相抵。
通过采用上述技术方案，旋转电机开启时，第一齿轮与推块和勾块发生相对移动，设置第一滚珠和第二滚珠能够减小第一齿轮所受的摩擦力，同时使推块和勾块不易磨损。
优选的，所述旋转电机为步进电机。
通过采用上述技术方案，采用步进电机作为旋转电机，设置单次旋转角度为180度，能够准确地对旋转支架进行调整。
优选的，所述横移组件包括横移座、横移丝杆和横移电机，所述横移座与底座滑动配合，横移座的滑移方向与底座的滑移方向垂直，所述横移丝杆沿横移座的滑移方向设置，横移丝杆穿设且螺接连接于横移座上，所述横移电机与横移丝杆相连，所述纵移机构包括纵移座、纵移丝杆和纵移电机，所述纵移座与横移座滑动配合，纵移座的滑移方向与横移座的滑移方向和底座的滑移方向均垂直，所述纵移丝杆沿纵移座的滑移方向设置，纵移丝杆穿设且螺接连接于纵移座上，所述纵移电机与纵移丝杆相连。
通过采用上述技术方案，横移电机驱使横移丝杆旋转，能够带动横移座横移，进而带动横移座上的各结构移动；纵移电机驱使纵移丝杆旋转，能够带动纵移座纵移，进而带动底座和吸附板移动。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.在驱动机构的驱使下，位于旋转支架上部的底座将未测晶圆输送至测试装置处，进行测试，位于旋转支架下部的底座将已测晶圆输送至机械手处，由机械手将已测晶圆转移走；测试过程中，机械手将新的未测晶圆转移至旋转支架下方，未测晶圆被空置的吸附板吸附；测试结束后，新的未测晶圆转移至旋转支架上部，进行新一轮的测试，已测晶圆则转移至旋转支架下部，重复上述过程；由于机械手放回已测晶圆和抓取未测晶圆的过程发生在测试期间，每轮测试结束后只需等待旋转支架旋转即可，等待时间大大减少，从而能够提高测试效率；
2.通过设置限位块，驱动齿条得以与驱动齿轮稳定啮合，不易出现跳齿的情况。
附图说明
图1是本申请实施例1的整体结构示意图；
图2是本申请实施例1中旋转支架的结构示意图；
图3是本申请实施例1中转轴、第一传动轴和第二传动轴之间连接关系示意图；
图4是本申请实施例1中推块、第一齿轮、推块之间连接关系示意图；
图5是本申请实施例1中驱动机构的结构示意图；
图6是本申请实施例1中横移组件和纵移组件的结构示意图；
图7是本申请实施例1中吸附板的结构示意图；
图8是本申请实施例2中驱动机构的结构示意图。
附图标记说明：1、机架；2、测试装置；3、转料装置；4、上下料装置；5、摄像装置；6、标识装置；7、控制处理器；8、旋转支架；9、晶圆；11、旋转电机；12、第一传动轴；13、第二传动轴；14、第一齿轮；15、第二齿轮；16、第三齿轮；17、气缸；171、推块；172、勾块；173、连接块；174、第一滚珠；175、第二滚珠；21、探针卡；31、机械手；32、转料导轨；33、动力机构；41、料盒；42、升降台；43、升降机构；81、底座；82、驱动机构；83、吸附板；84、横移组件；85、纵移组件；86、转轴；87、正齿轮；88、反齿轮；89、第一滑轨；811、第二滑轨；812、支撑板；821、驱动齿轮；822、第一驱动电机；823、驱动齿条；824、限位块；825、螺杆；826、螺母座；827、第二驱动电机；831、气孔；832、气管；833、气泵；841、横移座；842、横移丝杆；843、横移电机；844、第三滑轨；851、纵移座；852、纵移丝杆；853、纵移电机。
具体实施方式
以下结合附图1-8对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种晶圆测试用探针台。
实施例1
参照图1，晶圆测试用探针台包括机架1，机架1上架设有上下料装置4、转料装置3、测试装置2、摄像装置5、标识装置6和控制处理器7。其中，上下料装置4包括料盒41、升降台42和升降机构43，转料装置3包括机械手31、转料导轨32和动力机构33，测试装置2包括探针卡21。控制处理器7与升降机构43、动力机构33、探针卡21、摄像装置5和标识装置6电性连接。
料盒41放置在升降台42上，用于存放晶圆9。升降机构43驱使升降台42升降，带动料盒41升降，以便机械手31取放晶圆9。机械手31取出晶圆9后，在动力机构33的驱动下，沿转料导轨32移动，将晶圆9转移至测试装置2处，并由探针卡21对晶圆9进行测试。
参照图2，机械手31与探针卡21之间设有旋转支架8，且探针卡21、旋转支架8和机械手31由上到下依次排列。被机械手31取出的未测晶圆9通过旋转支架8转移至探针卡21下方，已经在前一测试过程中完成测试的晶圆9则通过旋转支架8转移至机械手31上，并由机械手31放回料盒41（参见图1）。机械手31继续从料盒41（参见图1）内取出新的未测晶圆9，将其转移至旋转支架8上，以待后续测试。
参照图2和图3，机架1上转动架设有转轴86，转轴86沿水平方向设置，转轴86一端与旋转支架8中部焊接固定，旋转支架8通过转轴86与机架1转动连接。此外，机架1上还栓接有旋转电机11。旋转电机11采用步进电机，驱使转轴86旋转。
参照图3，旋转电机11与转轴86之间设有第一传动轴12和第二传动轴13等结构，第一传动轴12和第二传动轴13均平行于转轴86设置，并转动架设在机架1上。第一传动轴12、第二传动轴13和转轴86分布在等边三角形的三个顶点处，且第一传动轴12与旋转电机11的机轴通过联轴器相连。
参照图3，第一传动轴12上滑动套设有第一齿轮14，第一齿轮14与第一传动轴12键连接，二者同步转动。第二传动轴13上套设有第二齿轮15和第三齿轮16，且第二齿轮15和第三齿轮16均与第二传动轴13键连接，三者同步转动。转轴86上套设有正齿轮87和反齿轮88，正齿轮87和反齿轮88均与转轴86键连接，三者同步转动。上述第一齿轮14、第二齿轮15、第三齿轮16、正齿轮87和反齿轮88的基圆半径相等。
参照图3，沿转轴86的长度方向上，正齿轮87、第二齿轮15和第三齿轮16依次设置，第三齿轮16与反齿轮88啮合。当第一齿轮14滑移至与正齿轮87齐平时，第一齿轮14与正齿轮87啮合，此时旋转电机11可以驱使转轴86正向旋转。当第一齿轮14滑移至与第二齿轮15齐平时，第一齿轮14与第二齿轮15啮合，此时旋转电机11的机轴的旋转方向不变，驱使转轴86反向旋转。
参照图3和图4，机架1上栓接有气缸17，气缸17的轴线与转轴86平行，气缸17的活塞杆上栓接有连接块173。连接块173位于第一齿轮14侧面，连接块173朝向气缸17一端焊接有推块171，连接块173背向气缸17一端焊接有勾块172，且推块171和勾块172分别与第一齿轮14的两端面相抵。
当气缸17的活塞杆伸出时，通过推块171推动第一齿轮14，使第一齿轮14滑移至与第二齿轮15齐平。当气缸17的活塞杆缩回时，通过勾块172勾住第一齿轮14，时第一齿轮14滑移至与正齿轮87齐平。
参照图4，为了减少第一齿轮14在旋转过程中所受到的摩擦阻力，推块171朝向第一齿轮14的一侧嵌设有第一滚珠174。第一滚珠174与推块171转动配合，推块171则通过第一滚珠174与第一齿轮14相抵。
参照图4，类似地，勾块172朝向第一齿轮14的一侧嵌设有第二滚珠175，第二滚珠175与勾块172转动配合，勾块172则通过第二滚珠175与第一齿轮14相抵。
参照图5，旋转支架8静止不动时，其长边竖直。旋转支架8上架设有两条第一滑轨89，两条第一滑轨89均与旋转支架8的长边平行，且两条第一滑轨89的轴线互不重合，两条第一滑轨89关于旋转支架8的中心呈中心对称分布。
参照图2和图5，两条第一滑轨89上分别滑动设有底座81，旋转支架8上则设有驱动机构82。晶圆9可拆卸地固定在底座81上，驱动机构82能够驱使两个底座81相互靠拢或者相互远离。
驱动机构82驱使两个底座81相互靠拢，旋转支架8上部的底座81远离探针卡21，旋转支架8下部的底座81远离机械手31。此时旋转电机11接收一个电信号，其机轴旋转180°，带动旋转支架8翻转180°，旋转支架8上的两个底座81互换位置。
驱动机构82驱使两个底座81相互远离，此时位于旋转支架8上部的底座81将未测晶圆9输送至探针卡21处进行测试，位于旋转支架8下部的底座81将已测晶圆9输送至机械手31处，并释放晶圆9。
机械手31将已测晶圆9放回料盒41，然后从料盒41中取出新的未测晶圆9，并将新的未测晶圆9输送至旋转支架8下部的底座81处，晶圆9再次固定在底座81上，待当前测试过程结束后快速更换晶圆9。
参照图5，驱动机构82包括依次连接的第一驱动电机822、驱动齿轮821、驱动齿条823，其中，第一驱动电机822通过支撑板812架设在旋转支架8上，其机轴与旋转支架8垂直。驱动齿轮821转动架设在旋转支架8的中心处，并与第一驱动电机822的机轴相连。驱动齿条823成对设置在驱动齿轮821两侧，与驱动齿轮821啮合。此外，两根驱动齿条823均沿第一滑轨89的长度方向设置，并分别与两个底座81焊接固定。
第一驱动电机822驱使驱动齿轮821旋转，带动两个驱动齿条823移动，即可带动两个底座81相互靠拢或者相互远离。
参照图5，为了使驱动齿条823与驱动齿轮821稳定啮合，旋转支架8上焊接固定有两个限位块824，两个限位块824分别与两根驱动齿条823背向驱动齿轮821的一侧相抵。
参照图6，底座81上设有横移组件84，横移组件84由第二滑轨811、横移座841、横移丝杆842和横移电机843组成。
参照图6，第二滑轨811成对栓接在底座81背向驱动齿轮821（参见图5）的一侧，第二滑轨811沿旋转支架8（参见图5）的宽度方向设置，第二滑轨811的横截面呈燕尾形。
参照图6，横移丝杆842与第二滑轨811平行，横移丝杆842转动架设在底座81上，且横移丝杆842位于两根第二滑轨811之间。横移电机843栓接在底座81上，其机轴与横移丝杆842相连。
参照图6，横移座841与第二滑轨811滑动配合，横移丝杆842则穿设于横移座841上，二者螺纹配合。横移电机843驱使横移丝杆842旋转，进一步驱动横移座841在第二滑轨811上滑移。
参照图6，横移座841上设有纵移组件85，纵移组件85由第三滑轨844、纵移座851、纵移丝杆852和纵移电机853组成。
参照图6，第三滑轨844成对栓接在横移座841背向底座81的一侧，第三滑轨844沿旋转支架8（参见图5）的厚度方向设置，第三滑轨844的横截面呈燕尾形。
参照图6，纵移丝杆852与第三滑轨844平行，纵移丝杆852转动架设在横移座841上，且纵移丝杆852位于两根第三滑轨844之间。纵移电机853栓接在横移座841上，其机轴与纵移丝杆852相连。
参照图6，纵移座851与第三滑轨844滑动配合，纵移丝杆852则穿设于纵移座851上，二者螺纹配合。纵移电机853驱使纵移丝杆852旋转，进一步驱动纵移座851在第三滑轨844上滑移。
参照图6和图7，纵移座851背向横移座841的一侧栓接有吸附板83，吸附板83内部设置有空腔，且吸附板83内部的空腔连接有气管832。气管832为软管，气管832背向吸附板83一端则接有气泵833。此外，吸附板83背向纵移座851的一侧阵列开设有多个气孔831，气孔831与吸附板83内部的空腔连通。
使用时，晶圆9贴合在吸附板83表面，气泵833将吸附板83内部的空气抽出，在气孔831处形成负压，即可将晶圆9吸附固定在吸附板83上。关闭气泵833，则晶圆9不再与吸附板83保持固定。
横移组件84和纵移组件85分别驱使吸附板83横移和纵移，带动晶圆9移动，配合探针卡21完成测试。
实施例1的实施原理为：
气泵833抽气后，吸附板83将晶圆9吸附住。开启第一驱动电机822，驱使底座81带动晶圆9移动。位于旋转支架8上部的底座81将未测晶圆9输送至测试装置2处，进行测试。位于旋转支架8下部的底座81将已测晶圆9输送至机械手31处，并关闭对应的气泵833，晶圆9落在机械手31上，使机械手31得以将已测晶圆9转移走。
测试过程中，机械手31将新的未测晶圆9转移至旋转支架8下方，未测晶圆9被空置的吸附板83吸附。测试结束后，开启第一驱动电机822，驱使两个底座81靠拢，避开测试装置2和机械手31。然后由旋转电机11驱使旋转支架8旋转，使新的未测晶圆9转移至旋转支架8上部，进行新一轮的测试，已测晶圆9则转移至旋转支架8下部，重复上述过程。
实施例2
参照图8，本实施例与实施例1的不同之处在于，第一滑轨89成对设置在旋转支架8的上部和下部，且对应的第一滑轨89的轴线重合，驱动机构82则由螺杆825、螺母座826和第二驱动电机827组成。
参照图8，螺杆825平行于第一滑轨89设置，螺杆825转动架设在旋转支架8上，且螺杆825位于两条第一滑轨89之间。第二驱动电机827栓接在旋转支架8上，其机轴与螺杆825之间通过齿轮组传动。
参照图8，螺杆825一端设有左旋螺纹，另一端设有右旋螺纹。螺杆825两端分别穿设在两个螺母座826上，与螺母座826螺纹配合，两个螺母座826则分别与两个底座81焊接固定。
实施例2的实施原理为：
第二驱动电机827驱使螺杆825旋转，由于螺杆825两端的螺纹方向相反，故与螺杆825配合的两个螺母座826的移动方向相反，进而带动两个底座81相互靠拢或者相互远离。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆测试用探针台，包括机架(1)，所述机架(1)上设有测试装置(2)和转料装置(3)，所述转料装置(3)包括机械手(31)，其特征在于：还包括转动架设在机架(1)上的旋转支架(8)，所述机架(1)上设有用于驱使旋转支架(8)转动的旋转电机(11)，所述旋转支架(8)的旋转轴心水平，旋转支架(8)位于测试装置(2)下方，旋转支架(8)上滑动设有底座(81)，旋转支架(8)上设有用于驱使底座(81)滑移的驱动机构(82)，所述底座(81)成对设置，两个底座(81)的滑移方向相反，底座(81)背向旋转支架(8)中心一侧的面上设有吸附板(83)，底座(81)通过横移组件(84)和纵移组件(85)与吸附板(83)相连，所述吸附板(83)背向底座(81)一侧开设有气孔(831)，所述气孔(831)朝向底座(81)的一端接有气泵(833)。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的驱动齿轮(821)，所述旋转支架(8)上设有第一驱动电机(822)，所述第一驱动电机(822)的机轴与驱动齿轮(821)相连，两个所述底座(81)上均设有驱动齿条(823)，两个所述驱动齿条(823)分别位于驱动齿轮(821)的两侧，驱动齿条(823)与驱动齿轮(821)啮合，驱动齿条(823)沿底座(81)的滑移方向设置。
3.根据权利要求2所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：两个所述驱动齿条(823)背向驱动齿轮(821)的一侧均设有限位块(824)，所述限位块(824)与对应的驱动齿条(823)相抵，限位块(824)与旋转支架(8)相连。
4.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述驱动机构(82)包括转动架设在旋转支架(8)上的螺杆(825)，所述螺杆(825)沿底座(81)的滑移方向设置，螺杆(825)一端设有左旋螺纹，螺杆(825)另一端设有右旋螺纹，螺杆(825)两端分别套设有两个螺母座(826)，所述螺母座(826)与螺杆(825)螺纹配合，两个螺母座(826)分别与两个底座(81)相连，所述旋转支架(8)上设有第二驱动电机(827)，所述第二驱动电机(827)的机轴与螺杆(825)相连。
5.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述旋转支架(8)通过转轴(86)与机架(1)相连，所述转轴(86)上套设有正齿轮(87)和反齿轮(88)，所述机架(1)上转动架设有第一传动轴(12)和第二传动轴(13)，所述第一传动轴(12)和第二传动轴(13)均与转轴(86)平行，所述第一传动轴(12)与旋转电机(11)的机轴相连，第一传动轴(12)上键连接有第一齿轮(14)，所述第二传动轴(13)上键连接有第二齿轮(15)和第三齿轮(16)，所述第一齿轮(14)与第一传动轴(12)滑动配合，第一齿轮(14)在滑移至与正齿轮(87)齐平时啮合于正齿轮(87)上，第一齿轮(14)在滑移至与第二齿轮(15)齐平时啮合于第二齿轮(15)上，所述第三齿轮(16)与反齿轮(88)啮合，所述机架(1)上还架设有气缸(17)，所述气缸(17)与第一传动轴(12)平行，气缸(17)的活塞杆上连接有推块(171)和勾块(172)，所述推块(171)和勾块(172)分别与第一齿轮(14)的两端面相抵。
6.根据权利要求5所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述推块(171)朝向第一齿轮(14)一侧设有第一滚珠(174)，推块(171)通过第一滚珠(174)与第一齿轮(14)相抵，所述勾块(172)朝向第一齿轮(14)一侧设有第二滚珠(175)，勾块(172)通过第二滚珠(175)与第一齿轮(14)相抵。
7.根据权利要求5所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述旋转电机(11)为步进电机。
8.根据权利要求1所述的晶圆测试用探针台，其特征在于：所述横移组件(84)包括横移座(841)、横移丝杆(842)和横移电机(843)，所述横移座(841)与底座(81)滑动配合，横移座(841)的滑移方向与底座(81)的滑移方向垂直，所述横移丝杆(842)沿横移座(841)的滑移方向设置，横移丝杆(842)穿设且螺接连接于横移座(841)上，所述横移电机(843)与横移丝杆(842)相连，所述纵移机构包括纵移座(851)、纵移丝杆(852)和纵移电机(853)，所述纵移座(851)与横移座(841)滑动配合，纵移座(851)的滑移方向与横移座(841)的滑移方向和底座(81)的滑移方向均垂直，所述纵移丝杆(852)沿纵移座(851)的滑移方向设置，纵移丝杆(852)穿设且螺接连接于纵移座(851)上，所述纵移电机(853)与纵移丝杆(852)相连。
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