CN113964166B - 显示基板及其制备方法、显示装置 - Google Patents
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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Abstract
一种显示基板,包括:硅基衬底和设置在硅基衬底之上的第一彩色薄膜层,硅基衬底具有显示区域、位于显示区域周边的外围区域,外围区域包括位于显示区域一侧的绑定区域;第一彩色薄膜层位于外围区域,第一彩色薄膜层包括至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,第一彩色薄膜层包括至少一个第一对位标记,第一对位标记由至少一个彩胶层的镂空结构形成;第一对位标记在硅基衬底的正投影在第二方向上位于显示区域和绑定区域之间。
Description
技术领域
本公开实施例涉及但不限于显示技术领域,尤指一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
微型有机发光二极管(Micro-OLED,Micro Organic Light-Emitting Diode)是近年来发展起来的微型显示器,硅基有机发光二极管(OLED,Organic Light-EmittingDiode)为其中一种。在硅基OLED显示产品的制备过程中,常常需要将显示基板与柔性印刷线路板进行绑定连接,而显示基板与柔性印刷线路板存在着对位困难的问题,极大影响了产品的良率。
发明内容
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
本公开实施例提供了一种显示基板及其制备方法、显示装置,以解决现有显示基板与柔性印刷线路板对位困难的问题。
第一方面,本公开实施例提供了一种显示基板,包括:硅基衬底和设置在所述硅基衬底之上的第一彩色薄膜层,所述硅基衬底具有显示区域、位于所述显示区域周边的外围区域,所述外围区域包括位于所述显示区域一侧的绑定区域;所述第一彩色薄膜层位于所述外围区域,所述第一彩色薄膜层包括至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,所述第一彩色薄膜层包括至少一个第一对位标记,所述第一对位标记由至少一个彩胶层的镂空结构形成;所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影在第二方向上位于所述显示区域和所述绑定区域之间。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层包括两个第一对位标记;所述两个第一对位标记沿第一方向位于所述绑定区域的相对两侧,所述第一方向与第二方向交叉。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层包括第一彩胶层,所述第一彩胶层包括第一镂空结构,所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括与所述第一彩胶层叠设的第二彩胶层,所述第二彩胶层包括第二镂空结构,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
在一些示例性实施方式中,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层;或者,所述第一彩胶层为蓝色彩胶层,所述第二彩胶层为红色彩胶层。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括第三彩胶层,所述第三彩胶层包括第三镂空结构,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
在一些示例性实施方式中,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧,所述第三彩胶层位于所述第二彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层,所述第三彩胶层为绿色彩胶层。
在一些示例性实施方式中,所述第二镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形。
在一些示例性实施方式中,所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影为十字形状。
在一些示例性实施方式中,所述绑定区域设置有多个绑定电极,所述多个绑定电极包括沿第一方向排布的至少一个外围绑定电极、至少一个空闲绑定电极和多个工作绑定电极。
第二方面,本公开实施例提供了一种显示基板的制备方法,应用于上述显示基板,该方法包括:在硅基衬底的外围区域上形成至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,由至少一个彩胶层的镂空结构形成第一对位标记,以形成包括至少一个第一对位标记的第一彩色薄膜层;所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影在第二方向上位于显示区域和绑定区域之间。
第三方面,本公开实施例提供了一种显示装置,包括上述显示基板。
本公开实施例提供的显示基板,通过在彩色薄膜层设置第一对位标记,使得第一对位标记不容易被后续工艺覆盖,易于被绑定机台识别,有效解决了现有显示基板与柔性印刷线路板对位困难的问题。
本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本申请而了解。本申请的其他优点可通过在说明书以及附图中所描述的方案来实现和获得。
在阅读并理解了附图和详细描述后,可以明白其他方面。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案,并不构成对本申请技术方案的限制。
图1为现有硅基OLED显示基板的表面结构图;
图2为一示例中显示基板的结构示意图;
图3为一示例中显示基板连接柔性印刷线路板的示意图;
图4为一示例中显示区域的局部剖视图;
图5为一示例中显示基板的平面示意图;
图6为一示例中第一对位标记的结构示意图;
图7为一示例中第一光掩膜板的形状示意图;
图8为采用第一光掩膜板制作的彩胶层的形状示意图;
图9为采用第一光掩膜板制作彩胶层后第一对位标记处的剖视图;
图10为一示例中第二光掩膜板的形状示意图;
图11为采用第二光掩膜板制作的彩胶层的形状示意图;
图12为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的结构示意图;
图13为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的剖视图;
图14为另一光掩膜板使用顺序下双层彩胶层的结构示意图;
图15为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在净空区处的俯视图;
图16为三层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的结构示意图;
图17为三层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的剖视图;
图18为一示例性实施例中第一光掩膜板的第一对位标记图案在硅基衬底上的正投影示意图。
具体实施方式
本申请描述了多个实施例,但是该描述是示例性的,而不是限制性的,并且对于本领域的普通技术人员来说显而易见的是,在本申请所描述的实施例包含的范围内可以有更多的实施例和实现方案。尽管在附图中示出了许多可能的特征组合,并在具体实施方式中进行了讨论,但是所公开的特征的许多其它组合方式也是可能的。除非特意加以限制的情况以外,任何实施例的任何特征或元件可以与任何其它实施例中的任何其他特征或元件结合使用,或可以替代任何其它实施例中的任何其他特征或元件。
本申请包括并设想了与本领域普通技术人员已知的特征和元件的组合。本申请已经公开的实施例、特征和元件也可以与任何常规特征或元件组合,以形成由权利要求限定的独特的发明方案。任何实施例的任何特征或元件也可以与来自其它发明方案的特征或元件组合,以形成另一个由权利要求限定的独特的发明方案。因此,应当理解,在本申请中示出和/或讨论的任何特征可以单独地或以任何适当的组合来实现。因此,除了根据所附权利要求及其等同替换所做的限制以外,实施例不受其它限制。此外,可以在所附权利要求的保护范围内进行各种修改和改变。
此外,在描述具有代表性的实施例时,说明书可能已经将方法和/或过程呈现为特定的步骤序列。然而,在该方法或过程不依赖于本文所述步骤的特定顺序的程度上,该方法或过程不应限于所述的特定顺序的步骤。如本领域普通技术人员将理解的,其它的步骤顺序也是可能的。因此,说明书中阐述的步骤的特定顺序不应被解释为对权利要求的限制。此外,针对该方法和/或过程的权利要求不应限于按照所写顺序执行它们的步骤,本领域技术人员可以容易地理解,这些顺序可以变化,并且仍然保持在本申请实施例的精神和范围内。
在本公开中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,或可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或通过中间件间接相连,或两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据情况理解上述术语在本公开中的含义。其中,“电连接”包括构成要素通过具有某种电作用的元件连接在一起的情况。“具有某种电作用的元件”只要可以进行连接的构成要素间的电信号的传输,就对其没有特别的限制。“具有某种电作用的元件”的例子不仅包括电极和布线,而且还包括晶体管等开关元件、电阻器、电感器、电容器、其它具有一种或多种功能的元件等。
在附图中,有时为了明确起见,夸大表示了构成要素的大小、层的厚度或区域。因此,本公开的一个方式并不一定限定于该尺寸,附图中每个部件的形状和大小不反映真实比例。此外,附图示意性地示出了理想的例子,本公开的一个方式不局限于附图所示的形状或数值等。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明,本公开省略了部分已知功能和已知部件的详细说明。本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计。
硅基OLED广泛应用于虚拟现实、增强现实近眼显示领域中,特别是增强现实(AR,Augmented Reality)/虚拟现实(VR,Virtual Reality)头戴显示装置中,显示基板亮度的均一性决定着用户体验。硅基OLED应用在AR/VR装置中时,需要与光机结构(例如AR/VR整机结构)相匹配,而柔性印刷线路板具有可弯折性,能够在弯折后放在光机结构中,因此在AR/VR装置中常采用柔性印刷线路板来实现显示基板与外部电路的电连接,这就需要将显示基板与柔性印刷线路板在准确对位后进行绑定连接。图1为一种硅基OLED显示基板的表面结构图。如图1所示,显示基板10包括显示区1及阴极环2,在阴极环2和显示基板的边缘之间设置有对位标记3,对位标记3采用金属材料制作,在制备显示基板的衬底时即完成对位标记3的制作,对位标记3用于在显示基板与柔性印刷线路板进行绑定时进行对位。在生产过程中,采用上述方法制作的对位标记可能存在以下问题:对位标记放置的位置可能不符合绑定机台的要求,导致绑定机台无法读取到对位标记;制作对位标记后,在显示基板的衬底上进行的后续工艺可能会给对位标记带来影响,使标记不够清晰甚至被覆盖,导致绑定机台不能完成识别;由于绑定机台对对位标记的位置有一定的要求,将对位标记设置在阴极环和显示基板边缘之间,会增加阴极环和显示基板边缘之间的距离,影响母板的切割效率。
本公开实施例提供了一种显示基板,包括:硅基衬底和设置在硅基衬底之上的第一彩色薄膜层,硅基衬底具有显示区域、位于显示区域周边的外围区域,外围区域包括位于显示区域一侧的绑定区域,第一彩色薄膜层位于外围区域,第一彩色薄膜层包括至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,第一彩色薄膜层包括至少一个第一对位标记,第一对位标记由至少一个彩胶层的镂空结构形成,第一对位标记在硅基衬底的正投影在第二方向上位于显示区域和绑定区域之间。
本公开实施例中的显示基板包括位于外围区域的第一彩色薄膜层,在第一彩色薄膜层设置有第一对位标记,当对显示基板与柔性印刷线路板进行绑定连接时,该第一对位标记可以辅助绑定机台完成对位操作。本公开实施例的第一对位标记可以不受显示基板所在晶片的尺寸的影响,而将第一对位标记设置在第一彩色薄膜层,不容易被后续工艺覆盖,还能够与第一彩色薄膜层包括的至少一个彩胶层形成颜色差,使得第一对位标记更清晰,容易被绑定机台识别,有助于显示基板与柔性印刷线路板的对位和绑定连接的顺利完成。
在一些示例性实施方式中,可以在显示区域处设置第二彩色薄膜层,第二彩色薄膜层包括至少一个彩胶层。在制备时,第一彩色薄膜层的彩胶层和第二彩色薄膜层的彩胶层可以一起制备,然后分别形成各自的图案和结构;或者第一彩色薄膜层的彩胶层和第二彩色薄膜层的彩胶层可以分开制备。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层包括两个第一对位标记;所述两个第一对位标记沿第一方向位于所述绑定区域的相对两侧,所述第一方向与第二方向交叉。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层包括第一彩胶层,所述第一彩胶层包括第一镂空结构,所述第一镂结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合。
第一彩色薄膜层包括第一彩胶层,第一彩胶层可以是如红色彩胶层、绿色彩胶层或者蓝色彩胶层中的一种,将在第一彩胶层上形成的第一镂空结构作为第一对位标记。这种结构的第一彩色薄膜层的制备方法简单,易于控制第一对位标记的形状,能够得到形状标准的第一对位标记。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括与所述第一彩胶层叠设的第二彩胶层,所述第二彩胶层包括第二镂空结构,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
第一彩色薄膜层可以采用包括叠设的第一彩胶层和第二彩胶层的双层彩胶层的结构,即在硅基衬底上分别依次形成第一彩胶层和第二彩胶层,该第一彩胶层和第二彩胶层可以分别是如红色彩胶层、绿色彩胶层或者蓝色彩胶层中的任意两种。第二彩胶层的第二镂空结构在硅基衬底的正投影覆盖第一镂空结构在硅基衬底的正投影,从而使第一对位标记与其周边区域的颜色形成鲜明对比,获得的第一对位标记更清晰。
在一些示例性实施方式中,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层;或者,所述第一彩胶层为蓝色彩胶层,所述第二彩胶层为红色彩胶层。
在一些示例性实施方式中,第二彩胶层的第二镂空结构在硅基衬底的正投影可以和第一镂空结构在硅基衬底的正投影重合。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括第三彩胶层,所述第三彩胶层包括第三镂空结构,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
第一彩色薄膜层可以采用包括叠设的第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层的三层彩胶层的结构,即在硅基衬底上按照任意顺序分别依次形成第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层,该第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层可以分别是红色彩胶层、绿色彩胶层及蓝色彩胶层中的一种。第二彩胶层的第二镂空结构在硅基衬底的正投影覆盖第一镂空结构在硅基衬底的正投影、第三彩胶层的第三镂空结构在硅基衬底的正投影均覆盖第一镂空结构在硅基衬底的正投影,这种三层彩胶层的结构不仅使第一对位标记与其周边区域的颜色形成鲜明对比,获得的第一对位标记更清晰,还具有更好的遮光性,显示基板的使用体验更好。
在一些示例性实施方式中,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧,所述第三彩胶层位于所述第二彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。;
在一些示例性实施方式中,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层,所述第三彩胶层为绿色彩胶层。
在一些示例性实施方式中,所述第二镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形。
在一些示例性实施方式中,第二镂空结构和第三镂空结构在硅基衬底的正投影可以重合。第二镂空结构和第三镂空结构在硅基衬底的正投影可以是其它形状,例如圆形、梯形等形状。
在一些示例性实施方式中,所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影为十字形状。
第一对位标记也可以设置为其它形状,例如“X”形、矩形或者“回”形等形状,可以根据需要设置第一对位标记的形状,本公开实施例对此不作限制。
在一些示例性实施方式中,所述绑定区域设置有多个绑定电极,所述多个绑定电极包括沿第一方向排布的至少一个外围绑定电极、至少一个空闲绑定电极和多个工作绑定电极。
在一些示例性实施方式中,在显示基板的显示区域和绑定区域之间设置有金属走线区域,金属走线区域包括金属走线,例如用于分别将显示区域和阴极环与绑定区域相连接的多条金属走线。本公开实施例中的第一对位标记,在制备时不会受到金属走线区域的金属走线的影响。
在一些示例性实施方式中,所述绑定区域靠近所述显示区域的一侧设置有金属层,所述金属层在第二方向上的一端邻接所述多个绑定电极,所述金属层在第二方向上的另一端覆盖部分所述金属走线区域。在进行绑定连接时,金属层可以对所覆盖的金属走线形成保护,免于被激光腐蚀。可以根据需要设计金属层覆盖金属走线区域的面积。
在一些示例性实施方式中,绑定区域的多个绑定电极与柔性印刷线路板(FPC)绑定连接。FPC线路板能够实现显示基板与外部电路的电连接。
下面以一示例对本公开的显示基板进行说明。
图2为一示例中显示基板的结构示意图。如图2所示,显示基板包括:硅基衬底11和设置在硅基衬底11之上的彩色薄膜层110,硅基衬底11具有显示区域100、位于显示区域100周边的外围区域101,外围区域101包括位于显示区域100一侧的绑定区域102。彩色薄膜层110包括位于外围区域101的第一彩色薄膜层和位于显示区域100的第二彩色薄膜层,第一彩色薄膜层包括至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,第一彩色薄膜层包括至少一个第一对位标记104,第一对位标记104由至少一个彩胶层的镂空结构形成。图2中,X表示第一方向,Y表示第二方向,第一方向与第二方向相互垂直,第一对位标记104在硅基衬底11的正投影在第二方向上位于显示区域100和绑定区域102之间。本示例中,第一对位标记104可以设置为十字形状,可以在第一彩色薄膜层设置两个第一对位标记104,这两个第一对位标记104在硅基衬底11的投影沿第一方向分别位于绑定区域102的相对两侧,从而能够在绑定工艺中使显示基板与柔性印刷线路板顺利完成对位,有效提升了对位效率及绑定工艺的良率。本示例中,在柔性印刷线路板上与第一对位标记104相对应的位置也设置有相应的对位标记,位于柔性印刷线路板上的对位标记与位于显示基板上的第一对位标记104一一对应,相互配合下完成对位。本示例中,在显示区域100和绑定区域102之间设置有金属走线区域,第一对位标记104在硅基衬底11的正投影可以位于金属走线区域,通过第一对位标记104可以显露出金属走线的颜色。
图2的绑定区域102中设置了多个绑定电极103,该多个绑定电极103均能够与柔性印刷线路板相连接,可以在柔性印刷线路板上相应地设置绑定电极,与位于显示基板上的多个绑定电极103一一对应地进行连接,这种设计有效增加了显示基板与柔性印刷线路板的接触面积,提升了柔性印刷线路板的机械拉力。例如,多个绑定电极103可以包括:沿第一方向排布的外围绑定电极、空闲绑定电极和工作绑定电极。工作绑定电极的第一方向上的相对两侧各设置一个空闲绑定电极,在空闲绑定电极在第一方向上远离工作绑定电极的一侧可以设置两个外围绑定电极。换言之,在第一方向上,两个外围绑定电极、一个空闲绑定电极、多个工作绑定电极、一个空闲绑定电极以及两个外围绑定电极依次排布。在本示例的设计中,工作绑定电极用于实现驱动信号的传输。空闲绑定电极用于将工作绑定电极与外围绑定电极进行隔离。外围绑定电极可以抵抗外部恶劣环境,在外部环境的水汽从侧边进入显示基板的情况下,会先到达外围绑定电极处,对工作绑定电极形成保护,延长了水汽的进入路径,空闲绑定电极则提升了保护效果的可信赖性,通过设置外围绑定电极和空闲绑定电极对工作绑定电极进行保护,能够保证显示基板即便在高温、高湿度环境下也能够正常工作,有利于延长显示基板的使用寿命。在绑定区域102靠近显示区域100的一侧可以设置有金属层106(图2中的虚线框),该金属层106在第二方向上的一端邻接绑定电极103,另一端覆盖部分金属走线区域105,在绑定工艺中能够对所覆盖的金属走线形成保护,金属层106覆盖金属走线区域105的面积可以根据实际需要进行设计。
图2中将绑定区域102设置在显示区域100沿第二方向的一侧,而显示基板沿第一方向的长度大于沿第二方向的长度,即本示例是在显示基板的长边一侧设置绑定区域102,采用长边出PIN的布局方式,在长边一侧的面积较大,能够便于放置电路、晶圆测试结构等,有利于减小显示基板的尺寸,也有利于光机结构的匹配设计。在其它实施方式中,也可以采用短边出PIN的布局方式,将绑定区域设置在显示区域沿第一方向的一侧(即显示基板短边的一侧)。
图3为一示例中显示基板连接柔性印刷线路板的示意图。硅基衬底11通过绑定区域102上的绑定电极103与柔性印刷线路板20绑定连接,柔性印刷线路板20能够实现显示基板与外部电路的电连接。在硅基衬底11上可以设置发光结构层,发光结构层包括多个发光元件,多个发光元件在各自对应的第一电极和第二电极的驱动下发光,发光元件可以为OLED。盖板玻璃18覆盖在发光结构层上,多个发光元件发出的光线能够透过盖板玻璃18后射出,盖板玻璃18具有保护发光元件的功能。盖板玻璃18的尺寸大于显示区域100的尺寸,盖板玻璃18的尺寸小于硅基衬底11的尺寸,且盖板玻璃18的四边与硅基衬底11预留有一定的距离,以便于连接光机结构。为实现光线透过,盖板玻璃18可以采用透明材料进行制备,例如:具有高透过率的素玻璃。
在本示例中,硅基衬底11的尺寸为11.1mm*9.5mm,盖板玻璃18比硅基衬底11单边内缩0.1mm,为10.9mm*9.3mm,显示区域的尺寸比盖板玻璃18单边内缩0.5mm。
图4为一示例中显示区域的局部剖视图。如图4所示,在垂直于显示基板的平面内,显示区域100包括:依次设置在硅基衬底11上的发光结构层、第一薄膜封装层15、第二彩色薄膜层16、第二薄膜封装层17、以及盖板玻璃18。发光结构层包括多个发光元件。至少一个发光元件包括:依次设置在硅基衬底上的第一电极12、有机发光层13以及第二电极14。
发光元件的第一电极12可以采用氧化铟锡(ITO)制备,从而具有较高的透过率、高功函数等特点。有机发光层13可以采用有机材料进行制备,在发光元件的第一电极12及发光元件的第二电极14施加的电压或者电流的作用下,有机材料中激发出空穴与电子形成激子,电子与空穴复合后实现发光。发光元件的第二电极14可以采用金属材料或者合金材料进行制备,例如镁、银等金属或合金。在发光元件的第二电极14的上侧设置有第一薄膜封装层15,第二彩色薄膜层16对应于有机发光层13设置,可以包括RGB彩色薄膜,实现发射光的彩色化显示。在第二彩色薄膜层16的上侧依次设置有第二薄膜封装层17和盖板玻璃18,能够起到保护第二彩色薄膜层16的作用。第二薄膜封装层17可以采用密封性好的材料进行制备,例如有机材料,或者如氧化硅,氮化硅等一种或多种无机材料形成的组合材料。第二薄膜封装层17与第一薄膜封装层15相配合,能够实现对水汽、氧气的有效阻挡,有助于延长显示基板的使用寿命。
图5为一示例中显示基板的平面示意图,如图5所示,有机发光层13在硅基衬底11上的正投影覆盖发光元件的第一电极12在硅基衬底11上的正投影。第二彩色薄膜层16在硅基衬底11上的正投影覆盖有机发光层13在硅基衬底11上的正投影。盖板玻璃18在硅基衬底11上的正投影覆盖第二彩色薄膜层16在硅基衬底11上的正投影。从正投影的关系上也可以看出,盖板玻璃18的四边与硅基衬底11预留有一定的距离,以便于连接光机结构。如图5所示,第一对位标记104设置在第一彩色薄膜层。
图6为一示例中第一对位标记的结构示意图。本示例中,第一对位标记104为十字形状,可以看成是由两个长度为100微米,宽度为30微米的矩形交叉而成。彩色薄膜层110包括第二彩色薄膜层16和第一彩色薄膜层,第一对位标记104位于第一彩色薄膜层。第二彩色薄膜层16可以包括分别由红色彩胶、绿色彩胶和蓝色彩胶形成的颜色单元,各个颜色单元的形状和排列方式可以根据需要进行设计。第一彩色薄膜层的结构可以是单层彩胶层(如红色彩胶层、绿色彩胶层或者蓝色彩胶层中的任意一种)、双层彩胶层(如红色彩胶层、绿色彩胶层或者蓝色彩胶层中的任意两种)或者三层彩胶层(如红色彩胶层、绿色彩胶层和蓝色彩胶层)。在制备第一对位标记时,可以分别在彩色薄膜层110形成不同颜色的彩胶层,然后进行曝光、显影,使用光掩膜板获得预先设计的第一彩色薄膜层的图案和结构。可以将制备第二彩色薄膜层的光掩膜板图案与制备第一彩色薄膜层的光掩膜板图案放在同一个或多个光掩膜板上,或者可以将制备第二彩色薄膜层的光掩膜板和制备第一彩色薄膜层的光掩膜板分开使用。例如,在将第二彩色薄膜层的结构设计为单层红色彩胶层、不同颜色彩胶层的形成顺序为“红色彩胶层-绿色彩胶层-蓝色彩胶层”的情况下,在形成红色彩胶层时在非显示区域使用光掩膜板形成带有第一对位标记图案的单层红色彩胶层,而通过掩膜、曝光、显影的步骤使绿色彩胶层、蓝色彩胶层只形成在显示区域,彩色薄膜层制备完毕后,在非显示区域只有红色彩胶层。
下面分别以第一彩色薄膜层的结构为单层彩胶层、双层彩胶层以及三层彩胶层为例说明形成如图6所示的第一对位标记的过程。下面的示例中所采用的光掩膜板图案均是制备第一彩色薄膜层所使用的光掩膜板,对第二彩色薄膜层的形成过程不做过多描述。
图7为一示例中第一光掩膜板的形状示意图。图8为采用第一光掩膜板制作的彩胶层的形状示意图。图9为采用第一光掩膜板制作彩胶层后第一对位标记处的剖视图。如图7和图8所示,第一光掩膜板上设置有第一对位标记图案201,该第一对位标记图案201在硅基衬底的正投影可以分别位于金属走线区域沿第一方向的两侧。在硅基衬底上涂布彩胶后,利用该第一光掩膜板进行曝光、显影后可以在非显示区域得到包含第一对位标记202的彩胶层。还可以根据需要在第一光掩膜板上设置其它图案,如用于和其它设备进行对位的第二对位标记图案203,这样利用该第一光掩膜板进行曝光、显影后可以得到包含第一对位标记202、第二对位标记204的彩胶层,可以在一次工艺中制备多个不同功能的图案和标记,第二对位标记图案203也可以起到作为第一对位标记图案201在第一光掩膜板上的位置参考的作用。在第一彩色薄膜层为单层彩胶层结构的显示基板中,可以采用如图7所示的第一光掩膜板制备第一彩胶层,本示例以第一彩胶层为蓝色彩胶层为例进行说明。图7中的斜线部分表示第一光掩膜板的轮廓形状,在涂布蓝色彩胶并利用第一光掩膜板进行曝光、显影后,可以在硅基衬底上得到如图8中阴影部分所示的第一彩胶层,如图9所示,在硅基衬底210上形成了第一彩胶层211,第一对位标记202的位置处是没有彩胶的,即制备后得到的第一彩胶层211在第一对位标记202处存在第一镂空结构。第一对位标记202可以显露出金属走线区域中金属走线的颜色,与第一对位标记202周围蓝色彩胶的颜色差别很大,清晰度高,能够保证绑定机台完成识别。在第一光掩膜板中可以根据绑定机台的要求设置第一对位标记图案201的位置,从而在制备后使绑定机台能够准确读取到第一对位标记202。制备后得到的第一彩胶层211在第二对位标记203处也是镂空结构。
图10为一示例中第二光掩膜板的形状示意图。图11为采用第二光掩膜板制作的彩胶层的形状示意图。图10中的斜线部分表示第二光掩膜板的轮廓形状,在第二光掩膜板设置有净空区图案301,净空区图案301与第一光掩膜板的第一对位标记图案201是对应设置的,第一对位标记图案201在硅基衬底上的投影可以位于净空区图案301在硅基衬底上的投影内部。在硅基衬底上涂布彩胶后,利用该第二光掩膜板进行曝光、显影后可以在非显示区域得到包含净空区302的彩胶层,得到的彩胶层在净空区302处为镂空结构。还可以根据需要在第二光掩膜板上设置其它图案,如用于和其它设备进行对位的第三对位标记图案303。第二光掩膜板上的第三对位标记图案303可以和第一光掩膜板上的第二对位标记图案203在硅基衬底上的投影相重合。在第一彩色薄膜层为双层彩胶层结构的显示基板中,可以依次采用如图10所示的第二光掩膜板、如图7所示的第一光掩膜板分别制备两层彩胶层,这两层彩胶层可以为在硅基衬底一侧依次设置的第一彩胶层和第二彩胶层,本示例中以第一彩胶层为红色彩胶层、第二彩胶层为蓝色彩胶层为例进行说明。首先,在硅基衬底上涂布红色彩胶后,采用图10所示的第二光掩膜板进行曝光、显影后,可以得到图11中阴影部分所示的红色彩胶层,图11中的净空区302的位置处是没有彩胶的第二镂空结构;然后,继续在硅基衬底上涂布蓝色彩胶,采用图7所示的第一光掩膜板进行曝光、显影后,可以在非显示区域得到包含第一对位标记的第二彩胶层,第二彩胶层在第一对位标记处为第一镂空结构。双层彩胶层结构的彩色薄膜层,第一对位标记202位于净空区302(即第二镂空结构)内部。本示例中,净空区302可以设置为200微米*200微米的方形开孔,相比于第一对位标记202,净空区302的尺寸足够大,使得即便彩胶发生一定程度的流动,也不会影响第一对位标记的形状。
图12为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的结构示意图。图13为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的剖视图。在硅基衬底401上先用第二光掩膜板制备红色彩胶层402,红色彩胶层402包括不含彩胶的净空区302,再用第一光掩膜板制备蓝色彩胶层403,在红色彩胶层402的净空区302内存在有蓝色彩胶层403,在净空区302内的蓝色彩胶层403上存在蓝色彩胶的空缺区域,该空缺区域即为十字形的第一对位标记的形状,这种光掩膜板使用顺序使得净空区302呈现蓝色,在蓝色的净空区302内,第一对位标记可以显露出金属走线区域中金属走线的颜色。图14为另一光掩膜板使用顺序下双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的剖视图,在图14的光掩膜板使用顺序下,第一彩胶层位于第二彩胶层远离硅基衬底的一侧,第二彩胶层为红色彩胶层,第一彩胶层为蓝色彩胶层。在硅基衬底401上先用第一光掩膜板制备红色彩胶层402,在红色彩胶层402上存在第一镂空结构,再用第二光掩膜板制备蓝色彩胶层403,在蓝色彩胶层403上存在第二镂空结构。这种光掩膜板使用顺序使得净空区302呈现红色,在红色的净空区302内,第一对位标记可以显露出金属走线区域中金属走线的颜色。在其他实施方式中,可以采用其它颜色的彩胶。
图15为双层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在净空区的俯视图,第一对位标记202位于净空区302内,显露出金属走线区域中金属走线的颜色,呈现为黄色或白色;净空区302内只有蓝色彩胶(或者红色彩胶),呈现为蓝色(或者红色);净空区302的外围区域303具有红色彩胶和蓝色彩胶,呈现为黑色。本示例中,十字形第一对位标记与其周围区域形成多层次的颜色差,对比度足够大,便于绑定机台读取第一对位标记,有效地保证了绑定工艺的顺利进行。
图16为三层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的结构示意图。图17为三层彩胶层结构的第一彩色薄膜层在第一对位标记处的剖视图。该三层彩胶层可以包括沿硅基衬底的一侧依次设置的第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层,如图16和图17所示,本示例中以第一彩胶层为红色彩胶层502、第二彩胶层为蓝色彩胶层503、第三彩胶层为绿色彩胶层504为例进行说明。首先,在硅基衬底501上涂布红色彩胶后,利用第一光掩膜板制备带有第一对位标记的红色彩胶层502。随后在红色彩胶层502上继续涂布蓝色彩胶,利用第二光掩膜板制备蓝色彩胶层503,蓝色彩胶层503的净空区位置处为第二镂空结构,能够暴露出第一对位标记。最后在蓝色彩胶层503上涂布绿色彩胶,利用第二光掩膜板制备绿色彩胶层504,绿色彩胶层504的净空区位置处为第三镂空结构,能够暴露出第一对位标记。在制备完毕后得到的第一彩色薄膜层为三层彩胶层结构,第一对位标记位于红色彩胶层502,绿色彩胶层504的净空区和蓝色彩胶层503的净空区在叠加后显露出净空窗口512,绿色彩胶层504的净空区可以和蓝色彩胶层503的净空区的形状、面积相同,或者可以比蓝色彩胶层503的净空区的面积大。本示例中,第一对位标记可以显露出金属走线区域中金属走线的颜色,呈现为黄色或白色;净空窗口512内只有红色彩胶,呈现为红色,净空窗口512的外围区域具有三种颜色的彩胶,呈现为黑色,第一对位标记和周围区域的颜色差明显,有利于绑定机台读取第一对位标记。相比于采用双层彩胶层形成第一对位标记的结构,采用三层彩胶层形成第一对位标记的结构对光的遮挡性更好,在显示基板的使用过程中更加不容易发生漏光现象。在其他实施方式中,可以采用其它颜色的彩胶,可以调整彩胶层的涂布顺序以及第一光掩膜板、第二光掩膜板的使用顺序。
图18为一示例性实施例中第一光掩膜板的第一对位标记图案在硅基衬底上的正投影示意图。在一些绑定工艺中,绑定机台识别第一对位标记时,首先会识别第一对位标记具有棱角的部分,棱角越接近直角,绑定机台成功识别的概率越高,在十字形状的第一对位标记中,每个直角均能够作为绑定机台的识别依据。在将第一光掩膜板的第一对位标记图案设置为十字形状的情况下,由于彩胶具有流动性,制备后得到的第一对位标记在边角处会呈现一定的弧度,并非规则形状的直角。在此基础上,可以将第一光掩膜板的第一对位标记图案设计为如图18中所示的形状,即将十字形状的边角位置设置为自十字形状向外凸出的弧形(图18中箭头指示的为圆圈区域的放大图),从而能够对制备过程中彩胶的流动进行补偿,使获得的第一对位标记的直角形状更加标准,能够便于绑定机台更好地进行识别。这种补偿设计的形式和原理也可以应用于其它形状的对位标记。
在显示基板的制备过程中,每个芯片(chip)例如可以包含一个显示基板,每个晶圆(wafer)例如可以包含有多个芯片,采用上述方法制备第一对位标记,能够使整个晶圆上不同位置的第一对位标记具有很好的均一性,且该第一对位标记不受芯片尺寸和金属走线的影响,制备方便、对位效果好,有助于提升产品良率。
本公开实施例还提供一种显示基板的制备方法,应用于上述实施例中的显示基板,所述方法包括:在硅基衬底的外围区域上形成至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,由至少一个彩胶层的镂空结构形成第一对位标记,以形成包括至少一个第一对位标记的第一彩色薄膜层;所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影在第二方向上位于显示区域和绑定区域之间。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层包括第一彩胶层,所述方法包括:在硅基衬底的外围区域上涂布第一彩胶,采用第一光掩膜板形成第一彩胶层,所述第一光掩膜板包括至少一个第一对位标记图案,以在所述第一彩胶层上形成至少一个第一镂空结构,所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括第二彩胶层,所述方法还包括:在所述硅基衬底的外围区域上涂布第二彩胶,采用第二光掩膜板形成第二彩胶层,所述第二光掩膜板包括至少一个净空区图案,以在所述第二彩胶层上形成至少一个第二镂空结构,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
在一些示例性实施方式中,所述第一彩色薄膜层还包括第三彩胶层,所述方法还包括:在所述硅基衬底的外围区域上涂布第三彩胶,采用第二光掩膜板形成第三彩胶层,所述第三光掩膜板包括至少一个净空区图案,以在所述第三彩胶层上形成至少一个第三镂空结构,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影。
在一些示例性实施方式中,所述第一对位标记图案为十字形状,所述十字形状的边角设置为自所述十字形状向外凸出的弧形。
第一对位标记图案也可以设置为其它形状,例如“X”形、矩形或者“回”形等形状,可以根据需要设置第一对位标记图案的形状,本公开实施例对此不作限制。在第一对位标记图案设置为其它形状的情况下,第一对位标记图案的边角位置可以设置为自第一对位标记图案向外凸出的弧形。
有关制备方法的过程可以参见上述实施例的描述,这里不再赘述。
本公开实施例还提供了一种显示装置,包括上述任一实施例中的显示基板。在一些示例性实施方式中,显示装置可以为:手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框或导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。然而,本公开实施例对此并不限定。
在本公开实施例的描述中,术语“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本公开和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本公开的限制。
虽然本公开所揭露的实施方式如上,但所述的内容仅为便于理解本公开而采用的实施方式,并非用以限定本公开。任何本公开所属领域内的技术人员,在不脱离本公开所揭露的精神和范围的前提下,可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化,但本公开的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种显示基板,其特征在于,包括:硅基衬底和设置在所述硅基衬底之上的第一彩色薄膜层,所述硅基衬底具有显示区域、位于所述显示区域周边的外围区域,所述外围区域包括位于所述显示区域一侧的绑定区域;所述第一彩色薄膜层位于所述外围区域,所述第一彩色薄膜层包括至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,所述第一彩色薄膜层包括至少一个第一对位标记,所述第一对位标记由至少一个彩胶层的镂空结构形成;所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影在第二方向上位于所述显示区域和所述绑定区域之间;
所述第一彩色薄膜层包括叠设的第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层,所述第一彩胶层包括第一镂空结构,所述第二彩胶层包括第二镂空结构,所述第三彩胶层包括第三镂空结构;所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内暴露出所述第一彩胶层的颜色,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影至少覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内至少暴露出所述第一彩胶层的颜色;所述第二镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形,与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影形状不同;或者,
所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合,以使所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内暴露出所述第一对位标记及所述第二彩胶层的颜色,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影至少覆盖所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内至少暴露出所述第二彩胶层的颜色;所述第一镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形,与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影形状不同。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一彩色薄膜层包括两个第一对位标记;所述两个第一对位标记沿第一方向位于所述绑定区域的相对两侧,所述第一方向与第二方向交叉。
3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。
4.根据权利要求3所述的显示基板,其特征在于,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层;或者,所述第一彩胶层为蓝色彩胶层,所述第二彩胶层为红色彩胶层。
5.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第二彩胶层位于所述第一彩胶层远离所述硅基衬底的一侧,所述第三彩胶层位于所述第二彩胶层远离所述硅基衬底的一侧。
6.根据权利要求5所述的显示基板,其特征在于,所述第一彩胶层为红色彩胶层,所述第二彩胶层为蓝色彩胶层,所述第三彩胶层为绿色彩胶层。
7.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影为十字形状。
8.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述绑定区域设置有多个绑定电极,所述多个绑定电极包括沿第一方向排布的至少一个外围绑定电极、至少一个空闲绑定电极和多个工作绑定电极。
9.一种显示基板的制备方法,其特征在于,应用于如权利要求1至8中任一项所述的显示基板,所述方法包括:
在硅基衬底的外围区域上形成至少一个彩胶层,每个彩胶层具有镂空结构,由至少一个彩胶层的镂空结构形成第一对位标记,以形成包括至少一个第一对位标记的第一彩色薄膜层;所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影在第二方向上位于显示区域和绑定区域之间;
所述第一彩色薄膜层包括叠设的第一彩胶层、第二彩胶层和第三彩胶层,所述第一彩胶层包括第一镂空结构,所述第二彩胶层包括第二镂空结构,所述第三彩胶层包括第三镂空结构;所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内暴露出所述第一彩胶层的颜色,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影至少覆盖所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内至少暴露出所述第一彩胶层的颜色;所述第二镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形,与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影形状不同;或者,所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影覆盖所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影,所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影重合,以使所述第一镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内暴露出所述第一对位标记及所述第二彩胶层的颜色,所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影至少覆盖所述第二镂空结构在所述硅基衬底的正投影,以使所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影范围内至少暴露出所述第二彩胶层的颜色;所述第一镂空结构和所述第三镂空结构在所述硅基衬底的正投影均为矩形,与所述第一对位标记在所述硅基衬底的正投影形状不同。
10.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求1至8中任一项所述的显示基板。
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