CN113923884B - 一种加热可分解基材的线路成型工艺 - Google Patents

一种加热可分解基材的线路成型工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN113923884B
CN113923884B CN202111381799.XA CN202111381799A CN113923884B CN 113923884 B CN113923884 B CN 113923884B CN 202111381799 A CN202111381799 A CN 202111381799A CN 113923884 B CN113923884 B CN 113923884B
Authority
CN
China
Prior art keywords
circuit
nickel
substrate
layer
chromium layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202111381799.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN113923884A (zh
Inventor
方磊
王健
古满香
杨洁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Shangda Semiconductor Co ltd
Original Assignee
Jiangsu Shangda Semiconductor Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Shangda Semiconductor Co ltd filed Critical Jiangsu Shangda Semiconductor Co ltd
Priority to CN202111381799.XA priority Critical patent/CN113923884B/zh
Publication of CN113923884A publication Critical patent/CN113923884A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113923884B publication Critical patent/CN113923884B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/26Cleaning or polishing of the conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0058Laminating printed circuit boards onto other substrates, e.g. metallic substrates
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/188Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by direct electroplating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本发明公开一种加热可分解基材的线路成型工艺,包括以下步骤:选用热分解材料作为FCCL的承载基材,在承载基材上先通过溅镀工艺制作镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作铜层;以镀铜后的材料作为柔性线路板的基底,通过涂布光刻胶、曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;通过高温热压贴合将线路转贴至一层PI材料上,在高温热压过程中,热分解材料被移除,线路间附着的90%以上的镍铬层被剥离,经过酸洗将残留的镍铬层彻底去除。本发明的线路制作呈镜像关系,将难以去除的底部镍铬层裸露在线路表面,更易于去除,提高了产品的长期信赖性。

Description

一种加热可分解基材的线路成型工艺
技术领域
本发明涉及一种加热可分解基材的线路成型工艺。
背景技术
传统处理工艺中,如图1所示,选用PI溅镀+电镀FCCL基材,通过涂布光刻胶、曝光、显影、蚀刻的方式完成铜面线路制作,然后使用镍铬层蚀刻剂将线路间裸露的镍铬层蚀刻掉,经过剥膜后得到独立的线路。线路成型后线路间的PI内还有少量残留金属粒子,为去除残留金属粒子,会进行PI蚀刻,去除表层PI层。根据金属粒子嵌入深度,PI蚀刻量一般在10~40nm。
上述工艺存在以下问题:
1、PI蚀刻量过小,会有金属粒子残留,产品信赖性较差;
2、PI蚀刻量过大,底部侧蚀影响线路与底材的接触面积,影响剥离强度;
3、PI蚀刻量在纳米级,测量及管控难度较大;
4、PI蚀刻通常使用强氧化性药液对PI进行氧化分解,废液环境污染性较强,处理成本高。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题,本发明提供一种加热可分解基材的线路成型工艺,提高铜线路与PI结合力,彻底去除线路间残留金属粒子,提高产品信赖性。
为了实现上述目的,本发明采用的一种加热可分解基材的线路成型工艺,包括以下步骤:
选用热分解材料作为FCCL的承载基材,在承载基材上先通过溅镀工艺制作镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作铜层;
以镀铜后的材料为柔性线路板的基底,通过涂布光刻胶、曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;
通过高温热压贴合将线路转贴至一层PI材料上,在高温热压过程中,热分解材料被移除,线路间附着的90%以上的镍铬层被剥离,经过酸洗将残留的镍铬层彻底去除。
作为改进,选用厚度15~50μm的热分解薄膜作为FCCL的承载基材,在承载基材上通过溅镀工艺制作20~30nm的镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作5~20μm铜层。
作为改进,所述热分解薄膜采用热分解温度在250~350℃之间的薄膜材料。
作为改进,在基底上方涂布2~5μm光刻胶。
作为改进,在350℃时通过热压贴合将线路转贴至一层厚度为15~50μm的PI材料上。
作为改进,残留于线路底部的剩余镍铬层被镜像翻转至线路表面,使用硫酸、盐酸混合强酸进行酸洗。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、相对于传统方法,本发明的线路制作呈镜像关系,将难以去除的底部镍铬层裸露在线路表面,更易于去除,提高了产品的长期信赖性。传统方法容易有镍铬残留或PI蚀刻过度,残留的话就会有离子迁移,本方法能够彻底去除,信赖性好。
2、图形转贴后的微蚀能够去除线路成型时可能存在的底部微小短路,进一步提高了线路成型的良率及制作更加精细线路的可能性。
3、相对于传统方法,本发明最终形成的产品是压合型,通过铜面粗化与胶面的压合结合力远大于溅镀的镍铬层与PI面的结合力,解决了铜面与PI结合力较差的问题。
4、相对于传统方法,本发明不使用PI蚀刻药水,减少了环境污染、节约污水处理成本。
附图说明
图1为传统线路成型工艺的流程图;
图2为本发明的线路成型工艺流程图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了,下面对本发明进行进一步详细说明。但是应该理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限制本发明的范围。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同,本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。
实施例1
如图2所示,一种加热可分解基材的线路成型工艺,包括以下步骤:
S1、选用厚度15μm的聚四氟乙烯薄膜作为FCCL的承载基材,在承载基材上通过溅镀工艺制作20nm的镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作5μm铜层;
S2、以镀铜后的材料为柔性线路板的基底,在基底上方涂布2μm光刻胶,经曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;
S3、在350℃下通过高温热压贴合将线路转贴至一层厚度为15μm的PI材料上,在高温热压过程中,热分解材料被移除,附着在该材料上的大部分(90%以上)镍铬层被剥离;
S4、残留于线路底部的少量镍铬层被镜像翻转至线路表面,使用硫酸、盐酸混合强酸(混合后硫酸浓度10%,盐酸浓度10%)进行酸洗,去除残留的少量镍铬金属及可能存在的底部微小短路。
实施例2
如图2所示,一种加热可分解基材的线路成型工艺,包括以下步骤:
S1、选用厚度20μm的聚四氟乙烯薄膜作为FCCL的承载基材,在承载基材上通过溅镀工艺制作25nm的镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作10μm铜层;
S2、以镀铜后的材料作为柔性线路板的基底,在基底上方涂布3μm光刻胶,经曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;
S3、在350℃下通过高温热压贴合将线路转贴至一层厚度为25μm的PI材料上,在高温热压过程中,热分解材料被移除,附着在该材料上的大部分(90%以上)镍铬层被剥离;
S4、残留于线路底部的少量镍铬层被镜像翻转至线路表面,使用硫酸、盐酸混合强酸(混合后硫酸浓度13%,盐酸浓度13%)进行酸洗,去除残留的少量镍铬金属及可能存在的底部微小短路。
实施例3
如图2所示,一种加热可分解基材的线路成型工艺,包括以下步骤:
S1、选用厚度50μm的聚四氟乙烯薄膜作为FCCL的承载基材,在承载基材上通过溅镀工艺制作30nm的镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作20μm铜层;
S2、以镀铜后的材料为柔性线路板的基底,在基底上方涂布5μm光刻胶,经曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;
S3、在350℃下通过高温热压贴合将线路转贴至一层厚度为50μm的PI材料上,在高温热压过程中,热分解材料被移除,附着在该材料上的大部分(90%以上)镍铬层被剥离;
S4、残留于线路底部的少量镍铬层被镜像翻转至线路表面,使用硫酸、盐酸混合强酸(混合后硫酸浓度15%,盐酸浓度15%)进行酸洗,去除残留的少量镍铬金属及可能存在的底部微小短路。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种加热可分解基材的线路成型工艺,其特征在于,包括以下步骤:
选用厚度15~50μm的热分解薄膜作为FCCL的承载基材,在承载基材上通过溅镀工艺制作20~30nm的镍铬层,然后通过电镀工艺在镍铬层上制作5~20μm铜层;所述热分解薄膜采用热分解温度在250~350℃之间的薄膜材料;
以镀铜后的材料作为柔性线路板的基底,通过涂布光刻胶、曝光、显影、蚀刻、剥膜的方式完成铜面线路制作;
在350℃时通过热压贴合将线路转贴至一层厚度为15~50μm的PI材料上,在高温热压过程中,热分解薄膜被移除,线路间附着的90%以上的镍铬层被剥离,经过酸洗将残留的镍铬层彻底去除。
2.根据权利要求1所述的一种加热可分解基材的线路成型工艺,其特征在于,在基底上方涂布2~5μm光刻胶。
3.根据权利要求1所述的一种加热可分解基材的线路成型工艺,其特征在于,残留于线路底部的剩余镍铬层被镜像翻转至线路表面,使用硫酸、盐酸混合强酸进行酸洗;
所述硫酸、盐酸混合强酸为:混合后硫酸浓度10%,盐酸浓度10%;或者混合后硫酸浓度13%,盐酸浓度13%;或者混合后硫酸浓度15%,盐酸浓度15%。
CN202111381799.XA 2021-11-22 2021-11-22 一种加热可分解基材的线路成型工艺 Active CN113923884B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111381799.XA CN113923884B (zh) 2021-11-22 2021-11-22 一种加热可分解基材的线路成型工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111381799.XA CN113923884B (zh) 2021-11-22 2021-11-22 一种加热可分解基材的线路成型工艺

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113923884A CN113923884A (zh) 2022-01-11
CN113923884B true CN113923884B (zh) 2024-03-22

Family

ID=79247717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111381799.XA Active CN113923884B (zh) 2021-11-22 2021-11-22 一种加热可分解基材的线路成型工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113923884B (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4790902A (en) * 1986-02-21 1988-12-13 Meiko Electronics Co., Ltd. Method of producing conductor circuit boards
JPH075487A (ja) * 1993-06-18 1995-01-10 Fujitsu Ltd 混成回路基板
KR20000050723A (ko) * 1999-01-14 2000-08-05 정해원 다층 피씨비의 제조방법
KR20000052162A (ko) * 1999-01-30 2000-08-16 정해원 다층 피씨비 및 그 제조방법
CN111263527A (zh) * 2020-01-21 2020-06-09 柏承科技(昆山)股份有限公司 高密度印刷电路板制造方法
CN112672529A (zh) * 2020-11-25 2021-04-16 上达电子(深圳)股份有限公司 一种适用于精密柔性线路成型的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4506550B2 (ja) * 2004-08-04 2010-07-21 株式会社デンソー 金属接続方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4790902A (en) * 1986-02-21 1988-12-13 Meiko Electronics Co., Ltd. Method of producing conductor circuit boards
JPH075487A (ja) * 1993-06-18 1995-01-10 Fujitsu Ltd 混成回路基板
KR20000050723A (ko) * 1999-01-14 2000-08-05 정해원 다층 피씨비의 제조방법
KR20000052162A (ko) * 1999-01-30 2000-08-16 정해원 다층 피씨비 및 그 제조방법
CN111263527A (zh) * 2020-01-21 2020-06-09 柏承科技(昆山)股份有限公司 高密度印刷电路板制造方法
CN112672529A (zh) * 2020-11-25 2021-04-16 上达电子(深圳)股份有限公司 一种适用于精密柔性线路成型的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN113923884A (zh) 2022-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102308367B (zh) 制造绝缘导电图形的方法和层压体
HUE028044T2 (en) A method for producing a conductive image on a non-conductive surface
CN102265712B (zh) 电子电路的形成方法
TW444526B (en) Process for the production of etched circuits
CN113923884B (zh) 一种加热可分解基材的线路成型工艺
US4699811A (en) Chromium mask for electroless nickel or copper plating
CN114096056B (zh) 使用玻璃板制作pcb板的方法
CN110139498A (zh) 柔性线路板防焊覆膜工艺
US4762595A (en) Electroforming elements
CN102771197A (zh) 柔性层压基板上的电路形成方法
CN112566373B (zh) 一种基于锡模板的粗化方法
US8227175B2 (en) Method for smoothing printed circuit boards
CN113973440A (zh) 一种线路板绝缘层处理工艺
US3945826A (en) Method of chemical machining utilizing same coating of positive photoresist to etch and electroplate
TW503170B (en) Method for producing injection molded mold with reflective light guide
CN116321770A (zh) 一种印刷电路板电路的制作方式
EP0163130B1 (en) Electroforming method and mandrel
CN112165783A (zh) 一种用减铜方式制作单面局部凸铜工艺
JPS6161489A (ja) プリント配線板の製造方法
JP3140574B2 (ja) 電着基板および電着転写方法
TWI268128B (en) PCB ultra-thin circuit forming method
CN117701158A (zh) 一种辅助粘合剂及其制备方法
CN116406094A (zh) 一种低阻值柔性电路板线路的制作方法
CN117580262A (zh) 一种异形长pth槽负片生产工艺
JPH01124286A (ja) プリント配線板の製造法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20240201

Address after: 221300 north of Liaohe Road and west of Huashan Road, Pizhou Economic Development Zone, Xuzhou City, Jiangsu Province

Applicant after: Jiangsu SHANGDA Semiconductor Co.,Ltd.

Country or region after: China

Address before: 518100 floors 1-4, 2-3, building a, Huangpu Runhe Industrial Park, South Ring Road, Huangpu Community, Shajing street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province

Applicant before: LEADER-TECH ELECTRONICS (SHENZHEN) Inc.

Country or region before: China

TA01 Transfer of patent application right
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant