CN113883895B - 一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,包括罩炉和底台,底台上部的中心设有升降翻转机构,且罩炉套设在升降翻转机构的外部,升降翻转机构包括驱动构件、两组传动构件和两组固定构件,驱动构件与底台上部的中心固定连接,两组传动构件分别与驱动构件上部的两侧,本发明涉及热处理设备技术领域。该能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,利用环状弧型导轨与轴杆滑动,又通过限位升降槽口进行限位,使得固定板上下移动,同时轴杆连接的翻转齿轮与翻转齿轨啮合传动,使得固定板翻转,工件上下移动并翻转,充分与周围的空气接触,避免工件受热不均匀,同时提高工作效率。

Description

一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法
技术领域
本发明涉及热处理设备技术领域,具体为一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法。
背景技术
退火是一种金属热处理工艺,指的是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却,有时是自然冷却,有时是控制速度冷却的热处理方法。退火的目的有:降低硬度,软化工件,改善切削加工性;减少工件组织缺陷以及残余应力;均匀材料组织和成分,改善材料性能或为以后热处理。
但是现有的退火炉装置,无法对工件的周围循环加热,进而影响工件的产品质量,导致产品合格率低,生产成本增高,存在一定的不足,使工件受热不均匀,因此,现阶段市场上亟需设计一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置来解决上述问题。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,解决了现有的退火炉无法对工件的周围循环加热,进而影响工件的产品质量,导致产品合格率低,生产成本增高,存在一定的不足,使工件受热不均匀的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,包括罩炉和底台,所述底台上部的中心设有升降翻转机构,且罩炉套设在升降翻转机构的外部,所述升降翻转机构包括驱动构件、两组传动构件和两组固定构件,所述驱动构件与底台上部的中心固定连接,两组所述传动构件分别与驱动构件上部的两侧,所述传动构件包括传动箱和传动辊筒,所述传动辊筒与传动箱的内侧转动连接,所述传动辊筒的表面开设有两组环状弧型导轨,两组所述传动构件处传动箱相对的一侧均开设有限位升降槽口,所述传动箱内部靠近限位升降槽口的一侧固定连接有翻转齿轨;
所述固定构件包括固定板,所述固定板的两侧均固定连接有轴杆,所述轴杆远离固定板的一端贯穿于限位升降槽口处,且轴杆与环状弧型导轨滑动连接,所述轴杆的中部串接有翻转齿轮,且翻转齿轮与翻转齿轨啮合传动;
所述固定板的表面开设有多组置放口,且置放口的左上角开设有便取槽口,所述置放口处固定连接有格栅底板,所述固定板的上部转动连接有压杆,且压杆与固定板的连接处设有扭簧,所述格栅底板的前侧和压杆的后侧均固定连接有压接凸块。
优选的,所述驱动构件包括驱动箱,所述驱动箱的左右两侧均转动连接有驱动从齿轮,且驱动从齿轮的上端贯穿于传动箱并与传动辊筒的底端固定连接。
优选的,所述驱动箱的中部转动连接有驱动主齿轮,且驱动主齿轮和驱动从齿轮之间通过驱动链条传动连接,所述底台内腔的中部固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端贯穿于驱动箱并与驱动主齿轮的底部固定连接。
优选的,所述罩炉上部的两侧固定连接有龙门架,且罩炉的两侧通过滑组与龙门架的内侧滑动连接,所述龙门架的上部固定连接有蜗杆升降机构,且蜗杆升降机构处螺杆的底端与罩炉的上部固定连接。
优选的,所述罩炉内侧的前后侧壁处设有预热机构,所述罩炉内腔上部的两侧和中心分别设有热交换器和风机,所述风机的输出端设有散热管,且散热管设于罩炉内壁的四周。
优选的,所述罩炉为双层结构,且罩炉内侧之间固定连接有多组固定柱,所述罩炉的内壁处固定连接有多组加固条,所述罩炉的内腔灌注有泥沙混凝土。
优选的,所述底台底部的四角处设有移动构件,所述移动构件包括减震盒、限位滑柱和万向轮,所述减震盒与底台内侧的四角固定连接,所述限位滑柱贯穿于底台底部的四角处并与底台的底部滑动连接,所述限位滑柱的上部与减震盒之间夹设有减震弹簧。
优选的,所述限位滑柱的底部固定连接有定位垫脚,所述定位垫脚底部的中心开设有垫脚槽口,且垫脚槽口处固定连接有液压缸,所述液压缸的底端与万向轮的上部固定连接。
本发明还公开了一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置的使用方法,具体包括以下步骤:
步骤一、预热
打开预热机构开关,然后设定控制温度值,在打开风机开关,对退火炉进行预热;
步骤二、装料
预热结束后,通过蜗杆升降机构带动罩炉上升,然后使用翘杆翘起压杆,再把产品装进退火炉的置放口处,压杆压在产品的前侧,最后通过蜗杆升降机构带动罩炉盖在升降翻转机构处,装料完毕;
步骤三、工作
一切就绪后,调整温控值,热交换器和风机,对产品进行退火工序,工作过程中,驱动电机带动驱动主齿轮转动,驱动主齿轮通过驱动链条带动驱动从齿轮连接的传动辊筒转动,两组传动构件处的环状弧型导轨通过与轴杆滑动,并且通过限位升降槽口进行限位,使得固定板上下移动,同时轴杆连接的翻转齿轮与翻转齿轨啮合传动,使得固定板翻转,从而使产品均匀退热;
步骤四、结束
工作程序结束后,关闭主电源,通过蜗杆升降机构吊起罩炉,然后使用翘杆翘起压杆,在通过便取槽口处把产品取出,通过蜗杆升降机构落下罩炉,退火结束。
优选的,罩炉的内腔在灌注泥沙混凝土时,罩炉内腔的上方留有1-2cm高度的空隙。
有益效果
本发明提供了一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法。与现有技术相比具备以下有益效果:
(1)、该能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,通过在驱动构件与底台上部的中心固定连接,两组传动构件分别与驱动构件上部的两侧,传动箱内部靠近限位升降槽口的一侧固定连接有翻转齿轨,轴杆远离固定板的一端贯穿于限位升降槽口处,且轴杆与环状弧型导轨滑动连接,且翻转齿轮与翻转齿轨啮合传动,且置放口的左上角开设有便取槽口,置放口处固定连接有格栅底板,且压杆与固定板的连接处设有扭簧,格栅底板的前侧和压杆的后侧均固定连接有压接凸块,利用环状弧型导轨与轴杆滑动,又通过限位升降槽口进行限位,使得固定板上下移动,同时轴杆连接的翻转齿轮与翻转齿轨啮合传动,使得固定板翻转,工件上下移动并翻转,充分与周围的空气接触,避免工件受热不均匀,同时提高工作效率。
(2)、该能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,通过在罩炉上部的两侧固定连接有龙门架,且罩炉的两侧通过滑组与龙门架的内侧滑动连接,龙门架的上部固定连接有蜗杆升降机构,且蜗杆升降机构处螺杆的底端与罩炉的上部固定连接,罩炉套设在升降翻转机构的外部,利用蜗杆升降机构带动罩炉上升,并通过滑组对罩炉与龙门架之间进行限位,以避免罩炉空移动时出现晃动的现象,从而使罩炉出现偏移的现象。
(3)、该能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,通过在罩炉为双层结构,且罩炉内侧之间固定连接有多组固定柱,罩炉的内壁处固定连接有多组加固条,罩炉的内腔灌注有泥沙混凝土,罩炉的内腔在灌注泥沙混凝土时,罩炉内腔的上方留有1-2cm高度的空隙,避免泥沙混凝土固化膨胀使罩炉变形,利用固定柱加强罩炉的结构稳定性,又通过加固条增加罩炉与泥沙混凝土之间连接的牢固性,泥沙混凝土防止加热时热量散失,同时防止罩炉烫伤工作人员。
(4)、该能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,通过在减震盒与底台内侧的四角固定连接,限位滑柱贯穿于底台底部的四角处并与底台的底部滑动连接,限位滑柱的上部与减震盒之间夹设有减震弹簧,限位滑柱的底部固定连接有定位垫脚,定位垫脚底部的中心开设有垫脚槽口,且垫脚槽口处固定连接有液压缸,液压缸的底端与万向轮的上部固定连接,利用万向轮方便设备使用,减震弹簧可对移动的装置进行缓冲,避免设备移动时因颠簸导致内部元件受损,通过液压缸收缩万向轮,定位垫脚支撑装置,便于装置定位稳定。
附图说明
图1为本发明的结构立体图;
图2为本发明的结构剖视图;
图3为本发明图2中A处的局部放大图;
图4为本发明图2中B处的局部放大图;
图5为本发明传动辊筒的结构立体图;
图6为本发明固定构件展开状态的结构主视图;
图7为本发明固定构件闭合状态的结构主视图;
图8为本发明罩炉的结构剖视图;
图9为本发明罩炉的内层结构剖视图一;
图10为本发明罩炉的内层结构剖视图二;
图11为本发明底台的结构剖视图。
图中:1、罩炉;111、固定柱;112、加固条;113、泥沙混凝土;2、底台;3、升降翻转机构;31、驱动构件;311、驱动箱;312、驱动从齿轮;313、驱动主齿轮;314、驱动链条;32、传动构件;321、传动箱;322、传动辊筒;323、环状弧型导轨;324、限位升降槽口;325、翻转齿轨;33、固定构件;331、固定板;332、轴杆;333、翻转齿轮;334、置放口;335、格栅底板;336、压杆;337、扭簧;338、便取槽口;339、压接凸块;4、驱动电机;5、龙门架;6、滑组;7、蜗杆升降机构;8、预热机构;9、热交换器;10、风机;11、散热管;12、移动构件;121、减震盒;122、限位滑柱;123、万向轮;124、减震弹簧;125、定位垫脚;126、垫脚槽口;127、液压缸。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-7,本发明提供一种技术方案:一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置及其方法,包括罩炉1和底台2,罩炉1上部的两侧固定连接有龙门架5,且罩炉1的两侧通过滑组6与龙门架5的内侧滑动连接,龙门架5的上部固定连接有蜗杆升降机构7,且蜗杆升降机构7处螺杆的底端与罩炉1的上部固定连接,利用蜗杆升降机构7带动罩炉1上升,并通过滑组6对罩炉1与龙门架5之间进行限位,以避免罩炉1空移动时出现晃动的现象,从而使罩炉1出现偏移的现象,底台2上部的中心设有升降翻转机构3,且罩炉1套设在升降翻转机构3的外部,升降翻转机构3包括驱动构件31、两组传动构件32和两组固定构件33,驱动构件31与底台2上部的中心固定连接,两组传动构件32分别与驱动构件31上部的两侧,传动构件32包括传动箱321和传动辊筒322,传动辊筒322与传动箱321的内侧转动连接,传动辊筒322的表面开设有两组环状弧型导轨323,两组传动构件32处传动箱321相对的一侧均开设有限位升降槽口324,传动箱321内部靠近限位升降槽口324的一侧固定连接有翻转齿轨325,固定构件33包括固定板331,固定板331的两侧均固定连接有轴杆332,轴杆332远离固定板331的一端贯穿于限位升降槽口324处,且轴杆332与环状弧型导轨323滑动连接,轴杆332的中部串接有翻转齿轮333,且翻转齿轮333与翻转齿轨325啮合传动,固定板331的表面开设有多组置放口334,且置放口334的左上角开设有便取槽口338,置放口334处固定连接有格栅底板335,固定板331的上部转动连接有压杆336,且压杆336与固定板331的连接处设有扭簧337,格栅底板335的前侧和压杆336的后侧均固定连接有压接凸块339,驱动构件31包括驱动箱311,驱动箱311的左右两侧均转动连接有驱动从齿轮312,且驱动从齿轮312的上端贯穿于传动箱321并与传动辊筒322的底端固定连接,驱动箱311的中部转动连接有驱动主齿轮313,且驱动主齿轮313和驱动从齿轮312之间通过驱动链条314传动连接,底台2内腔的中部固定连接有驱动电机4,驱动电机4的输出端贯穿于驱动箱311并与驱动主齿轮313的底部固定连接,利用环状弧型导轨323与轴杆332滑动,又通过限位升降槽口324进行限位,使得固定板331上下移动,同时轴杆332连接的翻转齿轮333与翻转齿轨325啮合传动,使得固定板331翻转,工件上下移动并翻转,充分与周围的空气接触,避免工件受热不均匀,同时提高工作效率。
请参阅图8,罩炉1内侧的前后侧壁处设有预热机构8,罩炉1内腔上部的两侧和中心分别设有热交换器9和风机10,风机10的输出端设有散热管11,且散热管11设于罩炉1内壁的四周。
请参阅图9-10,罩炉1为双层结构,且罩炉1内侧之间固定连接有多组固定柱111,罩炉1的内壁处固定连接有多组加固条112,罩炉1的内腔灌注有泥沙混凝土113,罩炉1的内腔在灌注泥沙混凝土113时,罩炉1内腔的上方留有1-2cm高度的空隙,避免泥沙混凝土113固化膨胀使罩炉1变形,利用固定柱111加强罩炉1的结构稳定性,又通过加固条112增加罩炉1与泥沙混凝土113之间连接的牢固性,泥沙混凝土113防止加热时热量散失,同时防止罩炉1烫伤工作人员。
请参阅图11,底台2底部的四角处设有移动构件12,移动构件12包括减震盒121、限位滑柱122和万向轮123,减震盒121与底台2内侧的四角固定连接,限位滑柱122贯穿于底台2底部的四角处并与底台2的底部滑动连接,限位滑柱122的上部与减震盒121之间夹设有减震弹簧124,限位滑柱122的底部固定连接有定位垫脚125,定位垫脚125底部的中心开设有垫脚槽口126,且垫脚槽口126处固定连接有液压缸127,液压缸127的底端与万向轮123的上部固定连接,利用万向轮123方便设备使用,减震弹簧124可对移动的装置进行缓冲,避免设备移动时因颠簸导致内部元件受损,通过液压缸127收缩万向轮123,定位垫脚125支撑装置,便于装置定位稳定。
本发明还公开了一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置的使用方法,具体包括以下步骤:
步骤一、预热
打开预热机构8开关,然后设定控制温度值,在打开风机10开关,对退火炉进行预热;
步骤二、装料
预热结束后,通过蜗杆升降机构7带动罩炉1上升,然后使用翘杆翘起压杆336,再把产品装进退火炉的置放口334处,压杆336压在产品的前侧,最后通过蜗杆升降机构7带动罩炉1盖在升降翻转机构3处,装料完毕;
步骤三、工作
一切就绪后,调整温控值,热交换器9和风机10,对产品进行退火工序,工作过程中,驱动电机4带动驱动主齿轮313转动,驱动主齿轮313通过驱动链条314带动驱动从齿轮312连接的传动辊筒322转动,两组传动构件32处的环状弧型导轨323通过与轴杆332滑动,并且通过限位升降槽口324进行限位,使得固定板331上下移动,同时轴杆332连接的翻转齿轮333与翻转齿轨325啮合传动,使得固定板331翻转,从而使产品均匀退热;
步骤四、结束
工作程序结束后,关闭主电源,通过蜗杆升降机构7吊起罩炉1,然后使用翘杆翘起压杆336,在通过便取槽口338处把产品取出,通过蜗杆升降机构7落下罩炉1,退火结束。
同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,包括罩炉(1)和底台(2),其特征在于:所述底台(2)上部的中心设有升降翻转机构(3),且罩炉(1)套设在升降翻转机构(3)的外部,所述升降翻转机构(3)包括驱动构件(31)、两组传动构件(32)和两组固定构件(33),所述驱动构件(31)与底台(2)上部的中心固定连接,两组所述传动构件(32)分别与驱动构件(31)上部的两侧,所述传动构件(32)包括传动箱(321)和传动辊筒(322),所述传动辊筒(322)与传动箱(321)的内侧转动连接,所述传动辊筒(322)的表面开设有两组环状弧型导轨(323),两组所述传动构件(32)处传动箱(321)相对的一侧均开设有限位升降槽口(324),所述传动箱(321)内部靠近限位升降槽口(324)的一侧固定连接有翻转齿轨(325);
所述固定构件(33)包括固定板(331),所述固定板(331)的两侧均固定连接有轴杆(332),所述轴杆(332)远离固定板(331)的一端贯穿于限位升降槽口(324)处,且轴杆(332)与环状弧型导轨(323)滑动连接,所述轴杆(332)的中部串接有翻转齿轮(333),且翻转齿轮(333)与翻转齿轨(325)啮合传动;
所述固定板(331)的表面开设有多组置放口(334),且置放口(334)的左上角开设有便取槽口(338),所述置放口(334)处固定连接有格栅底板(335),所述固定板(331)的上部转动连接有压杆(336),且压杆(336)与固定板(331)的连接处设有扭簧(337),所述格栅底板(335)的前侧和压杆(336)的后侧均固定连接有压接凸块(339);
所述驱动构件(31)包括驱动箱(311),所述驱动箱(311)的左右两侧均转动连接有驱动从齿轮(312),且驱动从齿轮(312)的上端贯穿于传动箱(321)并与传动辊筒(322)的底端固定连接,所述驱动箱(311)的中部转动连接有驱动主齿轮(313),且驱动主齿轮(313)和驱动从齿轮(312)之间通过驱动链条(314)传动连接,所述底台(2)内腔的中部固定连接有驱动电机(4),所述驱动电机(4)的输出端贯穿于驱动箱(311)并与驱动主齿轮(313)的底部固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,其特征在于:所述罩炉(1)上部的两侧固定连接有龙门架(5),且罩炉(1)的两侧通过滑组(6)与龙门架(5)的内侧滑动连接,所述龙门架(5)的上部固定连接有蜗杆升降机构(7),且蜗杆升降机构(7)处螺杆的底端与罩炉(1)的上部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,其特征在于:所述罩炉(1)内侧的前后侧壁处设有预热机构(8),所述罩炉(1)内腔上部的两侧和中心分别设有热交换器(9)和风机(10),所述风机(10)的输出端设有散热管(11),且散热管(11)设于罩炉(1)内壁的四周。
4.根据权利要求1所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,其特征在于:所述罩炉(1)为双层结构,且罩炉(1)内侧之间固定连接有多组固定柱(111),所述罩炉(1)的内壁处固定连接有多组加固条(112),所述罩炉(1)的内腔灌注有泥沙混凝土(113)。
5.根据权利要求1所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,其特征在于:所述底台(2)底部的四角处设有移动构件(12),所述移动构件(12)包括减震盒(121)、限位滑柱(122)和万向轮(123),所述减震盒(121)与底台(2)内侧的四角固定连接,所述限位滑柱(122)贯穿于底台(2)底部的四角处并与底台(2)的底部滑动连接,所述限位滑柱(122)的上部与减震盒(121)之间夹设有减震弹簧(124)。
6.根据权利要求5所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置,其特征在于:所述限位滑柱(122)的底部固定连接有定位垫脚(125),所述定位垫脚(125)底部的中心开设有垫脚槽口(126),且垫脚槽口(126)处固定连接有液压缸(127),所述液压缸(127)的底端与万向轮(123)的上部固定连接。
7.一种根据权利要求1-6任意一项所述的能够最小程度增加硅片体金属的退火炉装置的使用方法,其特征在于:
步骤一、预热
打开预热机构(8)开关,然后设定控制温度值,在打开风机(10)开关,对退火炉进行预热;
步骤二、装料
预热结束后,通过蜗杆升降机构(7)带动罩炉(1)上升,然后使用翘杆翘起压杆(336),再把产品装进退火炉的置放口(334)处,压杆(336)压在产品的前侧,最后通过蜗杆升降机构(7)带动罩炉(1)盖在升降翻转机构(3)处,装料完毕;
步骤三、工作
一切就绪后,调整温控值,热交换器(9)和风机(10),对产品进行退火工序,工作过程中,驱动电机(4)带动驱动主齿轮(313)转动,驱动主齿轮(313)通过驱动链条(314)带动驱动从齿轮(312)连接的传动辊筒(322)转动,两组传动构件(32)处的环状弧型导轨(323)通过与轴杆(332)滑动,并且通过限位升降槽口(324)进行限位,使得固定板(331)上下移动,同时轴杆(332)连接的翻转齿轮(333)与翻转齿轨(325)啮合传动,使得固定板(331)翻转,从而使产品均匀退热;
步骤四、结束
工作程序结束后,关闭主电源,通过蜗杆升降机构(7)吊起罩炉(1),然后使用翘杆翘起压杆(336),在通过便取槽口(338)处把产品取出,通过蜗杆升降机构(7)落下罩炉(1),退火结束。
8.根据权利要求7所述的一种能够最小程度增加硅片体金属的退火方法,其特征在于:罩炉(1)的内腔在灌注泥沙混凝土(113)时,罩炉(1)内腔的上方留有1-2cm高度的空隙。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN207456178U (zh) * 2017-11-24 2018-06-05 廖伟彬 一种工业炉炉顶吊挂装置
CN210463995U (zh) * 2019-08-01 2020-05-05 丹阳市华信工业电炉有限公司 一种钟罩式台车电阻炉
CN111850267A (zh) * 2020-04-14 2020-10-30 丹阳市恒泰电炉有限公司 一种升降移动热处理罩式炉
CN112779387A (zh) * 2019-11-08 2021-05-11 无锡鹏丰炉业科技有限公司 全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置
CN113328026A (zh) * 2021-05-28 2021-08-31 深圳市长方集团股份有限公司 一种大功率led芯片封装装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9273373B2 (en) * 2011-03-15 2016-03-01 Neturen Co., Ltd. Heating apparatus, heat treatment apparatus, and heating method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN207456178U (zh) * 2017-11-24 2018-06-05 廖伟彬 一种工业炉炉顶吊挂装置
CN210463995U (zh) * 2019-08-01 2020-05-05 丹阳市华信工业电炉有限公司 一种钟罩式台车电阻炉
CN112779387A (zh) * 2019-11-08 2021-05-11 无锡鹏丰炉业科技有限公司 全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置
CN111850267A (zh) * 2020-04-14 2020-10-30 丹阳市恒泰电炉有限公司 一种升降移动热处理罩式炉
CN113328026A (zh) * 2021-05-28 2021-08-31 深圳市长方集团股份有限公司 一种大功率led芯片封装装置

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