CN112779387A - 全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于全氢燃气罩式退火炉技术领域，尤其为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体，装置本体的左右两侧设置有升降装置，装置本体的底部安装有底座，底座的固定连接有固定柱，固定柱远离底座的一端固定连接有垫脚，升降装置的底部设置有安装板，安装板的顶部两端设置有竖板，竖板远离装置本体的一端贯穿有第一转杆。本发明通过设置的升降装置，可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率，通过设置的液压缸、伸缩杆、滚动体的相互作用，可以对装置本体进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动。

Description

全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置

技术领域

本发明涉及全氢燃气罩式退火炉技术领域，具体为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。近几年来，随着市场对黑色金属和有色金属光亮退火的板材、带材需求量的不断增加，而这些板材、带材在生产工序中常以成卷的形式传递，其热处理长期以来主要依赖罩式退火炉，目前最先进的技术是采用全氢燃气罩式退火炉进行处理，在进行退火的过程中需通入氢气对材料进行保护，使其不被氧化，表面光亮，而且提高了传热效率，从而提高了退火能力，也确保了炉温均匀性，保证了钢卷的力学性能。但是这种全氢燃气罩式退火炉在使用时存在以下问题：

1、一般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体，重量比较大，在移动时通常比较困难，同时在进行维修和安装时需要对全氢燃气罩式退火炉进行转移，灵活性比较差，使用不方便；

2、在安装和检修全氢燃气罩式退火炉的表面管道和线路时，需要借助大型的升降机进行检修人员提升，在使用时往往会造成人力物力的浪费，而且不能根据工人的身高调节其与操作台面之间的距离，实用性差。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，解决了般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体，重量比较大，在移动时通常比较困难，同时在进行维修和安装时需要对全氢燃气罩式退火炉进行转移，灵活性比较差，使用不方便和在安装和检修全氢燃气罩式退火炉的表面管道和线路时，需要借助大型的升降机进行检修人员提升，在使用时往往会造成人力物力的浪费，而且不能根据工人的身高调节其与操作台面之间的距离，实用性差的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体，所述装置本体的左右两侧设置有升降装置，所述装置本体的底部安装有底座，所述底座的固定连接有固定柱，所述固定柱远离底座的一端固定连接有垫脚，所述升降装置的底部设置有安装板，所述安装板的顶部两端设置有竖板，所述竖板远离装置本体的一端贯穿有第一转杆，所述第一转杆远离竖板的一端固定连接有摇把，所述第一转杆远离摇把的一端固定套设有第一齿轮，所述第一齿轮的下方啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮的中心固定穿设有第二转杆，所述第二转杆远离第二齿轮的一端固定套设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮上啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的中心固定穿设有螺纹杆，所述螺纹杆远离安装板的一端设置有升降板，所述升降板的左右两端分别与两块竖板的侧壁滑动连接，所述升降板的顶部固定连接有立柱，所述立柱远离升降板的一端设置踏板，所述底座的下端靠近垫脚的一侧设置滚动体，所述滚动体的上端设这样液压缸，所述液压缸的内侧贯穿设置有伸缩杆。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定柱通过螺栓与底座的底部固定连接，所述垫脚通过焊接与固定柱的一端固定。

作为本发明的一种优选技术方案，所述垫脚的数量为四组，且四组垫脚呈圆形分布在底座的底部。

作为本发明的一种优选技术方案，所述滚动体与液压缸之间设有轴承，所述滚动体通过轴承与液压缸活动连接，所述伸缩杆与液压缸之间设有活塞套，所述伸缩杆通过活塞套与液压缸活动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述竖板的内侧开设有凹槽，所述凹槽的内侧上下固定连接有滑杆，所述升降板上开设有与滑杆相适配的通孔，所述升降板通过通孔与滑杆滑动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述摇把的一端外表面套设有防滑套，且防滑套上设置有防滑纹。

作为本发明的一种优选技术方案，所述升降板靠近中心处开设有螺纹孔，所述螺纹杆通过螺纹孔与升降板螺纹连接，且螺纹杆远离升降板的一端通过轴承与安装板转动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述装置本体的前端外表面设置有操控台和散热孔，且操控台的前端外表面设置有温度表和开关调控键，温度表和开关调控键均通过内部导线与操控台的输入端电性连接。

与现有技术相比，本发明提供了全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，具备以下有益效果：

1、该全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，通过设置的升降装置、摇把、第一转杆、第一齿轮、第二齿轮、第二转杆、第一锥齿轮、第二锥齿轮、螺纹杆、升降板、螺纹孔、立柱、凹槽、滑杆、踏板的配合使用，可以转动摇把，带动第一转杆的转动，使得第一齿轮和第二齿轮的传动带动第二转杆的转动，进而带动第一锥齿轮和第二锥齿轮的传动，最后通过第二锥齿轮的转动带动螺纹杆的转动，螺纹杆与升降板通过螺纹孔螺纹连接，螺纹杆的转动带动升降板在凹槽内的滑杆上下滑动，带动踏板的上下升降，从而可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率；

2、该全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，通过设置的固定柱和垫脚，可以提高装置本体与地面之间的稳定性，防止其工作时出现不稳定的问题，通过设置的液压缸、伸缩杆、滚动体的相互作用，在进行该全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的维修和安装时，可以开启液压缸使得伸缩杆将滚动体推到与地面接触，可以对装置本体进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动，解决了一般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体，重量比较大，在移动时通常比较困难的问题。

附图说明

图1为本发明全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的正视图；

图2为本发明全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的整体结构示意图；

图3为本发明全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的底座结构示意图；

图4为本发明全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的升降板结构示意图；

图5为本发明全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的升降装置局部结构示意图。

图中：1、装置本体；2、升降装置；3、底座；4、固定柱；5、垫脚；6、安装板；7、竖板；8、摇把；9、第一转杆；10、第一齿轮；11、第二齿轮；12、第二转杆；13、第一锥齿轮；14、第二锥齿轮；15、螺纹杆；16、升降板；161、螺纹孔；162、通孔；17、立柱；18、凹槽；19、滑杆；20、踏板；21、液压缸；22、伸缩杆；23、滚动体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，本实施方案中：全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体1，装置本体1的左右两侧设置有升降装置2，可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板20上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率，装置本体1的底部安装有底座3，底座3的固定连接有固定柱4，固定柱4远离底座3的一端固定连接有垫脚5，可以提高装置本体1与地面之间的稳定性，防止其工作时出现不稳定的问题，升降装置2的底部设置有安装板6，安装板6的顶部两端设置有竖板7，竖板7远离装置本体1的一端贯穿有第一转杆9，第一转杆9远离竖板7的一端固定连接有摇把8，第一转杆9远离摇把8的一端固定套设有第一齿轮10，第一齿轮10的下方啮合连接有第二齿轮11，第二齿轮11的中心固定穿设有第二转杆12，第二转杆12远离第二齿轮11的一端固定套设有第一锥齿轮13，第一锥齿轮13上啮合连接有第二锥齿轮14，第二锥齿轮14的中心固定穿设有螺纹杆15，螺纹杆15远离安装板6的一端设置有升降板16，升降板16的左右两端分别与两块竖板7的侧壁滑动连接，升降板16的顶部固定连接有立柱17，立柱17远离升降板16的一端设置踏板20，可以转动摇把8，带动第一转杆9的转动，使得第一齿轮10和第二齿轮11的传动带动第二转杆12的转动，进而带动第一锥齿轮13和第二锥齿轮14的传动，最后通过第二锥齿轮14的转动带动螺纹杆15的转动，螺纹杆15与升降板16通过螺纹孔161螺纹连接，螺纹杆15的转动带动升降板16在凹槽18内的滑杆19上下滑动，带动踏板20的上下升降，从而可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板20上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率，底座3的下端靠近垫脚5的一侧设置滚动体23，滚动体23的上端设这样液压缸21，液压缸21的内侧贯穿设置有伸缩杆22，在进行该全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置的维修和安装时，可以开启液压缸21使得伸缩杆22将滚动体23推到与地面接触，可以对装置本体1进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动。

本实施例中，固定柱4通过螺栓与底座3的底部固定连接，垫脚5通过焊接与固定柱4的一端固定，垫脚5的数量为四组，且四组垫脚5呈圆形分布在底座3的底部，设置的垫脚5可以提高装置本体1与地面之间的稳定性，防止其工作时出现不稳定的问题；滚动体23与液压缸21之间设有轴承，滚动体23通过轴承与液压缸21活动连接，伸缩杆22与液压缸21之间设有活塞套，伸缩杆22通过活塞套与液压缸21活动连接，可以开启液压缸21使得伸缩杆22将滚动体23推到与地面接触，可以对装置本体1进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动；竖板7的内侧开设有凹槽18，凹槽18的内侧上下固定连接有滑杆19，升降板16上开设有与滑杆19相适配的通孔162，升降板16通过通孔162与滑杆19滑动连接；摇把8的一端外表面套设有防滑套，且防滑套上设置有防滑纹，防止摇动摇把8时出现手滑的现象；升降板16靠近中心处开设有螺纹孔161，螺纹杆15通过螺纹孔161与升降板16螺纹连接，且螺纹杆15远离升降板16的一端通过轴承与安装板6转动连接；装置本体1的前端外表面设置有操控台和散热孔，且操控台的前端外表面设置有温度表和开关调控键，温度表和开关调控键均通过内部导线与操控台的输入端电性连接，散热孔可以有效的散去装置本体1外部的热量，温度表和开关调控键可以便于工作人员对装置本体1的控制。

本发明的工作原理及使用流程：使用时，需要调节维修人员或者工作人员的工作高度时，可以转动摇把8，带动第一转杆9的转动，使得第一齿轮10和第二齿轮11的传动带动第二转杆12的转动，进而带动第一锥齿轮13和第二锥齿轮14的传动，最后通过第二锥齿轮14的转动带动螺纹杆15的转动，螺纹杆15与升降板16通过螺纹孔161螺纹连接，螺纹杆15的转动带动升降板16在凹槽18内的滑杆19上下滑动，带动踏板20的上下升降，从而可以调节工作人员或者检修人员的工作高度，工人在踏板20上便于进行操作工作，能够有效的提高工作效率；在需要进行装置本体1的搬运或者小范围的移动时，可以开启液压缸21使得伸缩杆22将滚动体23推到与地面接触，可以对装置本体1进行小范围的转移，达到提高其使用的灵活性，便于移动，同时设置的垫脚5可以提高装置本体1与地面之间的稳定性，防止其工作时出现不稳定的问题。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）的左右两侧设置有升降装置（2），所述装置本体（1）的底部安装有底座（3），所述底座（3）的固定连接有固定柱（4），所述固定柱（4）远离底座（3）的一端固定连接有垫脚（5），所述升降装置（2）的底部设置有安装板（6），所述安装板（6）的顶部两端设置有竖板（7），所述竖板（7）远离装置本体（1）的一端贯穿有第一转杆（9），所述第一转杆（9）远离竖板（7）的一端固定连接有摇把（8），所述第一转杆（9）远离摇把（8）的一端固定套设有第一齿轮（10），所述第一齿轮（10）的下方啮合连接有第二齿轮（11），所述第二齿轮（11）的中心固定穿设有第二转杆（12），所述第二转杆（12）远离第二齿轮（11）的一端固定套设有第一锥齿轮（13），所述第一锥齿轮（13）上啮合连接有第二锥齿轮（14），所述第二锥齿轮（14）的中心固定穿设有螺纹杆（15），所述螺纹杆（15）远离安装板（6）的一端设置有升降板（16），所述升降板（16）的左右两端分别与两块竖板（7）的侧壁滑动连接，所述升降板（16）的顶部固定连接有立柱（17），所述立柱（17）远离升降板（16）的一端设置踏板（20），所述底座（3）的下端靠近垫脚（5）的一侧设置滚动体（23），所述滚动体（23）的上端设这样液压缸（21），所述液压缸（21）的内侧贯穿设置有伸缩杆（22）。

2.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述固定柱（4）通过螺栓与底座（3）的底部固定连接，所述垫脚（5）通过焊接与固定柱（4）的一端固定。

3.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述垫脚（5）的数量为四组，且四组垫脚（5）呈圆形分布在底座（3）的底部。

4.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述滚动体（23）与液压缸（21）之间设有轴承，所述滚动体（23）通过轴承与液压缸（21）活动连接，所述伸缩杆（22）与液压缸（21）之间设有活塞套，所述伸缩杆（22）通过活塞套与液压缸（21）活动连接。

5.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述竖板（7）的内侧开设有凹槽（18），所述凹槽（18）的内侧上下固定连接有滑杆（19），所述升降板（16）上开设有与滑杆（19）相适配的通孔（162），所述升降板（16）通过通孔（162）与滑杆（19）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述摇把（8）的一端外表面套设有防滑套，且防滑套上设置有防滑纹。

7.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述升降板（16）靠近中心处开设有螺纹孔（161），所述螺纹杆（15）通过螺纹孔（161）与升降板（16）螺纹连接，且螺纹杆（15）远离升降板（16）的一端通过轴承与安装板（6）转动连接。

8.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置，其特征在于：所述装置本体（1）的前端外表面设置有操控台和散热孔，且操控台的前端外表面设置有温度表和开关调控键，温度表和开关调控键均通过内部导线与操控台的输入端电性连接。

Images