CN1138631C - 丝网印刷装置 - Google Patents

Abstract

一种丝网印刷装置，第2上下底板上的移动板用X方向驱动销和施力销在X方向上夹持，用第1Y方向驱动销和施力销以及第2Y方向驱动销和施力销在Y方向上夹持，使X方向驱动销移动，可在X方向上调节衬底相对于制版的位置，使第1Y方向驱动销和第2Y方向驱动销移动相同的距离，可在Y方向上调节衬底相对于制版的位置，使第1Y方向驱动销和第2Y方向驱动销移动不同的距离或向不同方向移动，可调节衬底相对于制版的回转位置θ。

Description

丝网印刷装置

本发明涉及丝网印刷装置，特别是涉及用简单且小型的机构，对需印刷的衬底相对于位置固定的制版在X方向、Y方向、回转方向上的位置进行定位的技术。

在丝网印刷装置中，在其印刷位置上制版和印刷衬底之间仅设有很小的间隙，另一方面，更换衬底用的装卸装置需要规定的空间，因此一般在离开该印刷位置一定距离的位置上设衬底更换位置，并且设置可往复驱动的衬底搬运台，用于将该衬底从衬底更换位置搬运到印刷位置。并且，在这种丝网印刷装置上，在衬底搬运台上设置X、Y、θ调节机构，用于对衬底相对于制版的位置进行定位。在进行丝网印刷之前，利用该X、Y、θ调节机构，调节衬底相对于制版的X方向位置、垂直于该X方向的Y方向位置及回转角度位置θ，这样，便可对于衬底确定需印刷的图像的位置。

但是，上述以往的X、Y、θ调节机构例如具有下述部分：在底板上被导向，可在X方向上移动的X方向移动板；使该X方向移动板在X方向上微动的X方向微动调节机构；对X方向移动板进行固定用的X方向固定装置；在该X方向移动板上在Y方向上被导向，可以移动的Y方向移动板；使该Y方向移动板在Y方向上微动的Y方向微动调节装置；对Y方向移动板进行固定用的Y方向固定装置；在该Y方向移动板上可围绕其中心回转的回转板；对该回转板的回转角度位置进行微动调节用的回转微动调节装置；对回转板进行固定用的回转固定装置等，在该回转板上放置衬底，由于上述这样地构成X、Y、θ调节机构，因此存在以下问题：即X、Y、θ调节机构的体积大，所占的空间大，故丝网印刷装置也成为大型的装置，并且X、Y、θ调节机构的重量大，使其往复移动的机构也大。另外，需要的部件数量多，故丝网印刷装置的价格高。

本发明是以上述情况作为背景而进行研究的，其目的在于提供一种结构简单、具有小型且廉价的X、Y、θ调节机构的丝网印刷装置。

为达到上述目的，本发明的丝网印刷装置的要点在于，它设有制版和衬底搬运台，其中制版设在衬底印刷位置，衬底搬运台具有下述部分：搬运台主体，它在预先设定的衬底更换位置和衬底印刷位置之间进行导向；上下工作台，它是这样设置的，即在该搬运台主体上可以接近或离开上述制版，该衬底搬运台用于将在该衬底更换位置上放置在上下工作台上面的衬底搬运到该衬底印刷位置，在进行丝网印刷时使上述衬底位于制版的正下方，在上述形式的丝网印刷装置中，上述上下工作台包括以下部分：(a)上下底板；(b)移动板，它放置在该上下底板的上面，可在平行于该上下底板的方向上进行相对移动，该移动板用于支承上述衬底；(c)X方向驱动部件和X方向施力部件，它们是设在上述上下底板上的1对部件，其作用是在X方向上夹持该移动板，根据电信号X方向驱动部件在该X方向上进行驱动，X方向施力部件向该X方向驱动部件施加规定的力；(d)第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件，以及第1Y方向施力部件和第2Y方向施力部件，它们是设在上述上下底板上的2对部件，其作用是在X方向上离开规定距离的状态下、在垂直于该X方向的Y方向上夹持上述移动板，根据电信号第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件在Y方向上进行驱动，第1Y方向施力部件和第2Y方向施力部件向该第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件施加规定的力。

根据本发明，放置在上下底板上面的移动板由X方向驱动部件和X方向施力部件在X方向上以规定的施力进行夹持，同时，由第1Y方向驱动部件和第1Y方向施力部件，以及第2Y方向驱动部件和第2Y方向施力部件在Y方向上分别以规定的施力进行夹持，因此，通过使X方向驱动部件移动，便可以在X方向上调节被支承在移动板上的衬底相对于制版的位置，通过使第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件移动相同的距离，便可以在Y方向上调节被支承在移动板上的衬底相对于制版的位置，通过使第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件移动不同的距离或向不同方向移动，便可以调节被支承在移动板上的衬底相对于制版的回转位置θ。因此，根据本发明，可以不使用下述装置而构成X、Y、θ调节机构，即不使用在底板上由导向轨道导向可在X方向上移动的X方向移动板、使该X方向移动板在X方向上微动的X方向微动调节装置、对X方向移动板进行固定用的X方向固定装置、在该X方向移动板上由导向轨道导向可在Y方向上移动的Y方向移动板、使该Y方向移动板在Y方向上微动的Y方向微动调节装置、对Y方向移动板进行固定用的Y方向固定装置、在该Y方向移动板上可围绕其中心回转地设置的回转板、对该回转板的回转角度位置进行微调用的回转微调装置、对回转板进行固定用的回转固定装置等，由于上述这样地构成X、Y、θ调节机构，因此其体积小，所占的空间小，故使丝网印刷装置也小型化，同时减轻了X、Y、θ调节机构的重量，还缩小了使其往复移动用的机构，并且零部件数量减少，因此丝网印刷装置的价格便宜。

在这里，较理想的丝网印刷装置包括以下部分：(e)数个气孔，它设在上下底板的顶面上；(f)压缩气体供给装置，它用于从该上下底板的数个气孔中排放出压缩气体；(g)负压供给装置，它用于使上述上下底板的数个气孔内成为负压状态，将上述移动板吸在该上下底板上；(h)转换控制阀，其作用是在上述移动板移动期间内，从上述压缩气体供给装置将压缩气体供给上述上下底板，在该移动板定位完毕后，从上述负压供给装置将负压供给该上下底板，将该移动板固定在该上下底板上。根据这样的结构，在移动板移动期间内，通过转换控制阀，从压缩气体供给装置向上下底板供给压缩气体，故从上述上下底板的数个气孔内排放出压缩空气，便在移动板和支承该移动板的上下底板之间形成空气膜，因此可以以极小的力使移动板移动。另外，在该移动板定位完毕后，通过转换控制阀从上述负压供给装置向该上下底板供给负压，故上述上下底板的数个气孔内成为负压状态，移动板便被吸在支承它的上下底板上，因此移动板可确实地被固定住。因此，这种结构具有下述优点：不需要设置使移动板在X、Y方向及回转方向上移动用的导向轨道，装置简单且体积小。

另外，较理想的丝网印刷装置还包括(i)定位控制装置，该定位控制装置通过变更上述X方向驱动部件的X方向位置，对上述衬底相对于上述制版的X方向位置进行定位，通过使上述第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件的Y方向位置变更相同的距离，对该衬底相对于该制版的Y方向位置进行定位，通过使第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件的Y方向位置变更不同的距离，对该衬底相对于制版的回转位置进行定位。根据这样的结构，通过对小型的X方向驱动部件、第1Y方向驱动部件及第2Y方向驱动部件进行控制，便可以对衬底进行定位，因此，其优点是：不需采用X方向工作台导向装置、X方向工作台送进螺旋装置、Y方向工作台导向装置、Y方向工作台送进螺旋装置、工作台回转机构及回转送进装置，用小型且重量轻的送进螺旋机构便可调节移动板的X方向位置、Y方向位置、回转角度位置θ。

另外，较理想的丝网印刷装置还包括固定装置，该固定装置具有以下部分：(j)带台阶的孔，它由小直径孔和与其相连的大直径孔构成，贯通上述移动板；(k)固定板，它的直径比上述大直径孔要小；(l)固定汽缸，它设在上述上下底板上，该固定汽缸具有输出杆，该输出杆的直径比上述小直径孔要小，输出杆贯通小直径孔，输出杆的前端固定有固定板。根据这样的结构，其优点是，即使上下底板的数个气孔内不成为负压状态，也可以将移动板固定在上下底板上。

又，较理想的丝网印刷装置上，(m)上述移动板是矩形的，(n)上述X方向驱动部件和X方向施力部件是断面为圆形的销，它们与该移动板的平行于Y方向的2个边相卡合，在X方向上夹持该移动板，(o)上述第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件，以及第1Y方向施力部件和第2Y方向施力部件是断面为圆形的销，它们分别与上述移动板的平行于X方向的2个边相卡合，在Y方向上夹持该移动板。根据这样的结构，移动板的相互平行的2个边在X方向和Y方向上由断面为圆形的销分别以规定的力进行夹持，因此具有以下优点：即使X方向驱动部件、X方向施力部件、第1Y方向驱动部件、第2Y方向驱动部件、第1Y方向施力部件、第2Y方向施力部件与移动板的接触位置有错动，也不会影响移动板的调节位置。

图1是本发明的1个实施即丝网印刷装置的侧视图，

图2是用于说明图1的印刷装置中的框架的，是去除了定位装置、涂刷器驱动装置、衬底搬运装置等后的正视图，

图3是详细表示图2的制版保持装置之图，是实施例的III-III方向的断面图，

图4是表示图2的制版保持装置的平面图，

图5是表示图2的制版保持装置的正视图，

图6是用于说明图1的衬底搬运台所包括的上下工作台的正视图，

图7是表示图6的上下工作台的仰视图，

图8是表示图6的上下工作台的侧视图，

图9是表示图6中去除了移动板的状态的上下工作台之正视图，

图10是表示图6中去除了移动板及第2上下板的状态的上下工作台之正视图，

图11是表示图6的X方向位置移动装置的侧视图，

图12是表示图6的X方向位置移动装置的平面图，

图13是表示图6的X方向施力装置的侧视图，

图14是表示图6的X方向施力装置的平面图，

图15是表示图6的X方向施力装置的正视图，

图16是说明图6的固定装置用的重要部分断面图，

图17是将图1的衬底搬运台所包括的上下工作台的第1上下板放大后表示的图，

图18是将图17的扩径销及内插销的形状放大而进行说明用的图，

图19是将图17的扩径销的形状放大而进行说明用的正视图，

图20是对图17的块部件及制动部件的其它例子进行说明用的图，

图21是对图1的涂刷器驱动装置进行说明用的正视图，

图22是将图21的涂刷器支承板及刮板支承板的重要部分放大而表示的图，

图23是将图21的涂刷器支承板的重要部分放大而表示的，一部分剖开而表示的侧视图，

图24是对设在图21的涂刷器支承板及刮板支承板上的板连接装置、卡合装置、涂刷器、刮板等进行说明用的重要部分断面图，

图25是表示可装卸地将图21的空压配管连接起来的涂刷器侧联接器及刮板侧联接器之图，

图26是对设在图1的丝网印刷装置上的控制装置的构成进行说明用的方框图。

以下，根据附图对本发明的一实施例大型衬底用的丝网印刷装置10进行详细说明。图1是丝网印刷装置10的侧视图，图2是正视图。在图1中，涂刷器驱动装置12是用覆盖它的盖子表示的，在图2中，取掉了定位用衬底位置检测装置13和后面将述的涂刷器驱动装置12等。另外，图2中右侧部分R是在上述的衬底42上进行丝网印刷的印刷位置，左侧部分L是该衬底42通过未图示的装卸装置进行更换的更换位置，在所更换的新衬底42印刷之前通过一对上述定位用衬底位置检测装置13所检测的该衬底42上的一对位置标记，也是通过后述的上下工作台114的X-Y-θ位置调节功能按预先设定的印刷位置进行定位的位置。

丝网印刷装置10设有机框即框架14，它从正面看是横向长的矩形框状，从侧面看是直角三角形框状。该框架14由以下部分构成：矩形框状的底框18，它设有数个与水平的安装面即地面相接触的底座16；1对垂直柱22，它从底框18的非作业者(背面)一侧的1对角部起沿垂直方向进行设置的，并且其上端通过水平的连接梁20相互连接起来；1对斜柱24，它从框18的作业者(前面)一侧的1对角部起以例如60度左右的倾斜状态进行设置的，并与上述垂直柱22的上端相连接；上部水平框架26和下部水平框架28，它们固定在上述1对斜柱24的上端部和下端部，分别水平地架设在上端部间和下端部间。另外，上部水平框架26和下部水平框架28通过与其中间部相连接加强部件30、32、34来提高刚性。

如图3所示，上述丝网印刷装置10所用的制版36是具有例如1500(纵)mm×1800(横)mm左右的外形的极大型的厚膜印刷用制版，由铝合金等轻合金制的矩形框38和设在该矩形框38的一面上的丝网40构成，在该丝网40上涂敷规定厚度的由光硬化性树脂构成的乳胶之后，曝光时即乳胶硬化时遮光的未硬化部分被去除掉，便形成需印刷图像的负片。丝网40之中只有被去除上述光硬化性树脂涂层的部分可通过胶，因此在例如40英寸等离子显示装置用的大型衬底42上可进行所需要图形的厚膜印刷。在上述上部水平框架26和下部水平框架28上设有数个(本实施例为6个)制版保持装置44，用于以60度左右的倾斜状态保持或夹持上述制版36，并将其固定在框架14上。上述上部水平框架26和下部水平框架28作为制版固定框架使用，即用于以60度左右倾斜状态固定制版。

在上部水平框架26和下部水平框架28上分别水平地固定设置长形的1对第1导向板46和长形的1对第2导向板48，其中第1导向板46具有与制版36的一面即矩形框38的丝网40一侧的面相对的导向面；第2导向板48具有与制版36的端面相对的导向面，制版36通过第1导向板46和第2导向板48而在水平方向导向。另外，以比各第1导向板46的导向面稍突出的状态分别设置数个球状回转体50，同时通过汽缸52设置从固定在下部水平框架28上的第2导向板48的导向面上突出的1对尼龙树脂、氟化乙烯树脂等树脂制的搬运辊54，在更换比较重的制版36时，使原来的制版36或新制版36向水平方向即图2正视图的左右方向移动时，由于上述球状回转体50和树脂制的搬运辊54的回转，可减小其移动阻力。上述和1导向板46和第2导向板48通过规定的隔板部件固定在上部水平框架26和下部水平框架28上。例如，在下部水平框架28上，如图3和图4所示，通过固定在下部水平框架28的上面的断面为正方形的长形部件56及固定在该长形部件56的前面的隔板部件58来固定第1导向板46。

上述制版保持装置44如图3至图5详细地所示，它具有以下部分：碰触板62，它在各第1导向板46的长度方向的3个位置上所设的缺口59内，通过固定在上述隔板部件58上的导向轨60，在垂直于第1导向板46的导向面的方向上被导向，可沿着该第1导向板46或制版36的厚度方向移动；碰触板驱动汽缸64，它固定在长形部件56上，用于在上述厚度方向上驱动碰触板62，使其移动；版间隔规66，它是板状厚度规，用于设定丝网印刷时的制版36的丝网40与衬底42之间的版间隔D1；规保持部件76，它在底面上具有用于吸住版间隔规66的永久磁铁68，在前面的上半部设有嵌合孔70，该嵌合孔用于可装卸地嵌入版间隔规66，该规保持部件与固定在长形部件56上的滑动汽缸72的可动部74连接成一体，并位于与制版36的丝网40相平行的上下方向的2个位置上；固定部件78，它以可滑动地与上述规保持部件76的背面相接触的状态固定在长形部件56上，以承受夹压负荷；夹持汽缸86，在它的前端固定有推压衬垫80，并设有可朝着上述碰触板62的方向突出的输出杆82，该夹持汽缸通过托架84固定在下部水平框架28上。

制版36的丝网40与丝网印刷时上升的衬底42(图3的点划线)之间的版间隔D1是丝网印刷的设定条件之一，必须根据丝网40的网目、印刷图形线的微细度、胶的粘度等进行变化。在本实施例的丝网印刷装置10上，通过上述构成的制版保持装置44，版间隔D1为零的确认、印刷状态的版间隔D1的设定是用可靠性高的构造简单的装置高精度地进行的。即，在制版36被导向规定的印刷位置的状态下，如图3、图4、图5的实线所示，通过夹持汽缸86使输出杆82处于被拉入的非夹压位置，通过滑动汽缸72使可动部74处于上升侧位置，版间隔规66从与碰触板62的背面相对的位置变成离开此位置向上方的位置，同时如图4双点划线所示，通过碰触板驱动汽缸64，碰触板62被拉入非操作人员侧，便使制版36也向第1导向板46侧下降，因此，根据上升到印刷位置的衬底42与上述丝网40之间的间隙状态及相互的接触状态，操作人员容易地进行版间隔D1为零的确认。

接着，通过碰触板驱动汽缸64，使碰触板62向操作人员一侧突出，使制版36向夹持汽缸86一侧即操作人员一侧上升并离开第1导向板46，在这种状态下，用于形成适合印刷条件的版间隔D1的版间隔规66替换原有的版间隔规而装入规保持部件76的嵌合孔70，该版间隔规66大致具有将版间隔D1和嵌合孔70的深度相加起来的厚度。然后，通过滑动汽缸72，使可动部74处于下降侧位置，并使版间隔规66处于与碰触板62的背面相对的位置，同时，通过碰触板驱动汽缸64，碰触板62被拉入非操作人员一侧时，在碰触板62和固定部件78之间共同夹压版间隔规66和规保持部件76，因此只形成版间隔D1，而碰触板62的前面向夹持汽缸86一侧突出。在这种状态下，夹持汽缸86的输出杆82突出，并在其前端的推压衬垫80与碰触板62之间夹压矩形框38，于是便在确实形成板间隔D1的状态下固定制版36。

因此，与为了可以连续地改变版间隔D1而设置复杂的机构的情况相比较，这种结构不但简单、体积小、安装空间小，而且容易维修，同时所设定的板间隔D1的可靠性提高。即，由于是通过碰触板驱动汽缸64和夹持汽缸86夹压版间隔规66的结构，因此所设定的版间隔D1不产生变化，可靠性提高。并且，版间隔规66的更换也简单，故还具有设定版间隔的工时数减少的优点。

另外，版间隔规保持装置88由规保持部件76和滑动汽缸72构成，其中规保持部件76设在制版36的外周部即矩形框38和位置固定部件即固定部件78之间，在它的前面的上部具有嵌合孔70，该嵌合孔用于可装卸地嵌入上述版间隔规66；滑动汽缸72作为作动器使用，它使版间隔规66在插入固定部件78和制版36之间的位置和不插入的位置之间移动，在通过该版间隔规保持装置使版间隔规66处于不插入状态的状态下，利用夹持汽缸86的推压衬垫80推压制版36时，由于版间隔规66不处于该推压衬垫80和固定部件78之间，因此可以确认版间隔D1为零的状态，同时由于嵌合孔70设在规保持部件76的上部，因此具有容易更换版间隔规66的优点。

此外，还设有碰触板62和碰触板驱动汽缸64，其中碰触板62这样进行设置，在制版36的外周部即矩形框38和版间隔规66之间，与推压衬垫80相对，并且可在其推压方向和反推压方向上移动；碰触板驱动汽缸64，它作为作动器使用，它将碰触板62向推压方向驱动，便在碰触板的背面与固定部件78之间夹压版间隔规66，或者将碰触板向反推压方向驱动，便可使规保持部件76在上下方向上移动，因此通过碰触板62将制版36向上方举起来，并使规保持部件76向上方移动，这样具有不管制版36的负荷大小都可以容易地更换版间隔规66的优点。

另外，由推压衬垫80和夹持汽缸86构成固定装置90，其中推压衬垫80作为推压部件使用；夹持汽缸86具有输出杆82，该输出杆的前端固定着推压衬垫80，该夹持汽缸通过托架84固定在框架14上。该推压衬垫80向位置固定部件即固定部件78推出，便在其间夹持制版36，因此具有不管制版36的厚度大小都容易进行固定的优点。

另外，上述碰触板62的厚度比通过将版间隔规66插入固定部件78和制版36之间增加的厚度更大，因此即使在版间隔零确认状态下，也与丝网40和版间隔规66分离开，而且上述嵌合孔70的周缘的一部分被切去，以便于嵌入其内的版间隔规66可向丝网40的中央部侧拉出，因此具有可容易更换嵌入规保持部件76的嵌合孔70内的版间隔规66的优点。

回到图1，在框架14上设有衬底搬运装置100，它用于将印刷前的衬底42从衬底更换位置L搬运到印刷位置R，或者将印刷后的衬底42从印刷R搬运到衬底更换位置L。该衬底搬运装置100具有衬底搬运台104和搬运驱动装置106，其中衬底搬运台104在上述衬底更换位置L和印刷位置R之间通过2根搬运轨道102并以与上述制版36相平行的倾斜状态进行导向，2根搬运轨道分别固定在框架14的上部水平框架26和下部水平框架28上，向水平方向即后述的X方向延伸；搬运驱动装置106用于在衬底更换位置L和印刷位置R之间往复驱动衬底搬运台104。

如图1所示，上述衬底搬运台104具有以下部分：板状搬运台主体110，它由上述搬运轨道102进行导向；板状上下工作台114，它设在搬运台主体110上，通过导向杆112在垂直于搬运台主体110的方向上进行导向，可接近或离开制版36；上下工作台驱动汽缸116，它作为驱动装置使用，用于驱动上下工作台114。另外，上述搬运驱动装置106具有以下部分：1对无接头皮带120，它的一部分固定在上述搬运台主体110的上端部和下端部；回转轴124，它在与包括2根搬运轨道102的平面即制版36的丝网面相平行的平面内，与搬运台主体110的搬运方向相垂直，以这种姿势通过轴承122可回转地支承在框架14上；1对皮带轮126，它固定在回转轴124的两端部，在该皮带轮上卷挂着1对无接头皮带120；皮带轮134，它固定在回转轴124的中央部，与固定在驱动马达128的输出轴上的皮带轮130一起卷挂着无接头皮带132。这样，上述衬底搬运台104在衬底更换位置L和印刷位置R之间被驱动马达128往复驱动。

图6是表示上述衬底搬运台104的上下工作中114的正视图，图7和图8是其仰视图和侧视图，图9是表示取掉移动板146后的状态之上下工作台114的正视图，图10是表示取掉移动板146和第2上下底板144后的状态之上下工作台114的正视图。

如上面附图详细所示，上述衬底搬运台104的上下工作台114也具有作为XYθ工作台的功能，用于在衬底更换位置L或印刷位置R通过自动和手动操作，微调衬底42相对于制版36的X方向位置、Y方向位置、回转角度位置θ，该上下工作台114具有以下部件：矩形的第1上下底板138，它用于固定上述导向杆112；矩形的第2上下底板144，它是在第1上下底板138的中央部通过数个板状隔板140被固定在第1上下底板138的上面；移动板146，它放置在第2上下底板144上，可在与第2上下底板144相平行的方向上进行相对移动，它的作用是在通过未图示的定位部件定位后的状态下放置或支持衬底42；X方向驱动销148和X方向施力销150，它们是设在第1上下底板138和第2上下底板144上的1对部件，其作用是为了在X方向(在本实施例中从操作人员一侧看为左右方向)上对移动板146进行夹持，根据电信号，X方向驱动销148在X方向上进行驱动，X方向施力销150向X方向驱动销148施加规定的力；第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154，以及第1Y方向施力销156和第2Y方向施力销158，它们是设在第1上下底板138和第2上下底板144上的2对部件，其作用是为了在X方向上仅隔开规定距离A的状态下，在垂直于该X方向的Y方向(在本实施例中从操作人员一侧看为上下方向)上对移动板146进行夹持，根据电信号第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154在Y方向上进行驱动，第1Y方向施力销156和第2Y方向施力销158向第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154施加规定的力。

这样，放置在第2上下底板144上的移动板146由X方向驱动销148和X方向施力销150以规定的施力在X方向上进行夹持，同时，由第1Y方向驱动销152和第1Y方向施力销156以及第2Y方向驱动销154和第2Y方向施力销158，分别以规定的施力在Y方向上进行夹持，故通过使X方向驱动销148移动，便可以在X方向上调节被支承在移动板146上的衬底42相对于制版36的位置，通过使第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154仅移动相同量距离，便可以在Y方向上调节被支承在移动板146上的衬底42相对于制版36的位置，通过使第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154移动不同量的距离或向不同方向移动，便可以调节被支承在移动板146上的衬底42相对于制版36的回转位置θ。因此，可以在不使用下述装置的条件下构成X、Y、θ调节机构：即在上述第2上下底板144上通过导向轨道导向、可向X方向移动的X方向移动板；使该X方向移动板在X方向上微动的X方向微动调节装置；用于固定X方向移动板的X方向固定装置；在X方向移动板上通过导向轨道导向可向Y方向移动的Y方向移动板；使该Y方向移动板在Y方向上微动的Y方向微动调节装置；用于固定Y方向移动板的Y方向固定装置；在Y方向移动板上可围绕其中心回转地设置回转板；微调该回转板的回转角度位置的回转微动调节装置；用于固定回转板的回转固定装置等。因此调节机构的体积小，所占的空间少，故丝网印刷装置10可以做成薄形，同时X、Y、θ调节机构的重量小，使其往复移动的机构也小，另外由于零部件数少，故丝网印刷装置重量轻，价格便宜。

上述第2上下底板144的宽度与第1上下底板138的相同，但其纵向尺寸比第1上下底板138的要小得多，例如为1/2以下，如图11详细所示，该第2上下底板144具有以下部分：下侧板160，它通过板状隔板140固定在第1上下底板138的上面；上侧板162，它以粘附的状态固定在下侧板160的上面；直径较小的数个气孔164，它贯通上侧板162，以规定的间隔配在该上侧板的一面上；连通凹部166，它是在下侧板160的上面形成的，它使数个气孔164在上侧板162的背面相互连通，该第2上下底板144成为在其顶面上设有数个气孔164的状态。该连通凹部166通过转换控制阀168有选择地与负压供给装置170和压缩气体供给装置172相连接，该负压供给装置170的作用是使气孔164内成为负压，而将移动板146吸在第2上下底板144上，该压缩气体供给装置172的作用是使压缩气体从气孔164放出。该转换控制阀168在移动板146移动期间内从压缩气体供给装置172将压缩气体供给第2上下底板144的连通凹部166，该移动板146定位完毕后从负压供给装置170将负压供给第2上下底板144的连通凹部166，将该移动板146固定在第2上下底板144上。上述负压供给装置170例如由输出负压的真空泵构成，上述压缩气体供给装置172例如由输出压缩空气的空压机构成。

这样，在移动板146移动期间内，通过作为转换控制装置使用的转换控制阀168，从压缩气体供给装置172向第2上下底板144供给压缩气体，于是从第2上下底板144的数个气孔164内排出压缩空气，便在移动板146和支承它的第2上下底板144之间形成压缩气体层或压缩气体膜，因此，根据电信号进行驱动的X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152、第2Y方向驱动销154以极小的力使移动板146移动，另一方面，在该移动板146定位完毕以后，通过转换控制阀168由负压供给装置170向第2上下底板144供给负压，故第2上下底板144的数个气孔164内成为负压状态，移动板146便被吸在支承它的第2上下底板144上，因此移动板146确实地被固定住。为此，不需要使移动板146向X、Y方向和回转方向θ移动用的导向轨道，具有丝网印刷装置10简单且小型的优点。另外，由于移动板146移动时通过压缩气体层而支承地第2上下底板144上，因此还具有的优点是使X方向位置移动装置180、第1Y方向位置移动装置182及第2Y方向位置移动装置184的马达和螺旋轴大幅度小型化。

与上述移动板146的平行于Y方向的边的端面相结合的X方向驱动销148、与移动板146的平行于X方向的边的端面相结合的第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154，分别作为X方向驱动部件和Y方向驱动部件使用，例如由微型轴承或小直径轴承构成，断面为圆形。这些X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154分别设在X方向位置移动装置180、第1Y方向位置移动装置182和第2Y方向位置移动装置184上。这些X方向位置移动装置180、第1Y方向位置移动装置182和第2Y方向位置移动装置184的构成如图11和图12所示。以下，以X方向位置移动装置180为代表对这些装置的构成进行说明。

在图11和图12中，X方向位置移动装置180具有以下部件：螺旋轴188，它与X方向相平行，它在第1上下底板138上通过轴承186可回转地支承着；X方向脉冲马达190，它与螺旋轴188相连接，作为回转驱动装置使用，用于回转驱动螺旋轴188；导向轨道192，它固定在第1上下底板138上，与X方向相平行；移动块194，它通过导向轨道192在X方向上进行导向，并且与上述螺旋轴188以螺纹结合起来，根据该螺旋轴188的回转角度而移动相应的距离；臂198，它从移动块194向X方向切口196内突出，并收容在该切口内，该X方向切口196是在第2上下底板144上从端缘向X方向切入形成的；断面为圆形的X方向驱动销148，它这样地安装在臂198的前端部，即它的圆筒状的外周面与移动板146的平行于Y方向的端面相接触，且外周面的曲率中心线与第2上下底板144相垂直。

另外，X方向施力销150、第1Y方向施力销156和第2Y方向施力销158分别设在X方向施力装置200、第1Y方向施力装置202和第2Y方向施力装置204上，其中X方向施力销150与移动板146的平行于Y方向的边的端面相结合，与X方向驱动销148一起夹持移动板146；第1Y方向施力销156和第2Y方向施力销158与移动板146的平行于X方向的边的端面相结合，并与第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154一起夹持移动板146。这些X方向施力装置200、第1Y方向施力装置202及第2Y方向施力装置204的构成如图13至图15所示。以下以X方向施力装置200为代表对这些装置的构成进行说明。

在图13至图15中，X方向施力装置具有以下部件：施力汽缸206，它固定在第2上下底板144的背面；输出板212，它固定在施力汽缸206的输出杆208的前端，并且通过与输出杆208相平行的导向杆210而被固定在输出杆208的一端上，其作用是防止围绕其轴心进行回转；臂216，它从输出板212向X方向切口214内突出，并收容在该切口内，该X方向切口214是在第2上下底板214上从端缘向X方向切入形成的；断面为圆形的X方向施力销150，它这样安装在臂216的前端部，即它的圆筒形外周面与移动板146的平行于Y方向的端面相接触，并且其外周面的曲率中心线与第2上下底板144相垂直，因此，根据施力汽缸206所供给的压力，由X方向施力销150向移动板146施加力。

如上所述，X方向驱动销148、X方向施力销150、第1Y方向驱动销152、第1Y方向施力销156、第2Y方向驱动销154、第2Y方向施力销158的断面是圆形的，通过与矩形的移动板146的平行于Y方向的2个边及平行于X方向的两个边相结合，分别以规定的施力夹持移动板146，因此这些销与移动板146的碰触位置即使有偏差，对移动板146的调节位置也没有影响，而且不产生间隙，因此具有定位精度高的优点。

另外，如图16详细地所示，在第2上下底板144上设有固定装置220，用于适当固定上述移动板146。在上述移动板146上，在其第1上下底板138一侧设有小直径孔222，同时与其相连接的在大直径孔224设在衬底42一侧，由该小直径孔222和大直径孔224构成的带台阶的孔贯通该移动板146。上述固定装置220具有固定在第2上下底板144背面的固定汽缸226圆形的固定板228，该固定板嵌入大直径孔224内，其外径比大直径孔224的内周面仅小规定的间隙D2，从该固定汽缸226通过小直径孔222而突出的输出杆230的前端部上固定着固定板228。输出杆230的外周面与小直径孔224的内周面之间的间隔设定为与上述间隙D2相等或比其大，移动板146在平行于第2上下底板144的面内、可在上述间隙D2的范围内移动，同时通过将固定汽缸226的输出杆230拉入，即使第2上下底板144的数个气孔164内不成为负压状态，移动板146也可固定在第2上下底板144上。

图17、图18、图19是详细说明定位装置240的图，该定位装置设在第1上下底板138和位置固定部件即隔板部件58之间，用于在包括第1上下底板138等的上下工作台114通过上下工作台驱动汽缸116而上升到接近于制版36一侧进行印刷时，提高衬底42相对于制版36的反复定位精度。在图17中，隔板部件58如图3和图5所示，它是固定在下部水平框架28和上部水平框架26上的位置固定部件，上述定位装置240包括1对嵌合部件246和1对嵌合销装置248，其中1对嵌合部件246是这样形成的，它的轴心贯通垂直于第1上下底板138的嵌合孔242，该嵌合部件通过圆筒状的安装部件244固定在上述隔板部件58的上部侧两角部上(参看图6、图9、图10等)；1对嵌合销装置248设在第1上下底板138上，在第1上下底板138上升时它嵌入嵌合部件246的嵌合孔242内。

上述嵌合销装置248具有以下部分：圆筒状的扩径销250，它的外径比上述嵌合孔242稍小，在与该嵌合孔242成为同心的位置上从第1上下底板138向隔板部件58一侧即制版36一侧突出；内插销252，它嵌入扩径销250的内侧；内插销驱动汽缸254，它固定设在第1上下底板138的背面，作为内插销驱动装置使用，用于沿着轴向驱动内插销252。

如图18和图19详细所示，在上述圆筒形的扩径销250上形成数个(在本实施例中是8个)切口256和圆锥形内周面，该切口256是沿着通过其中心轴的平面从前端切入的，在周向上等间隔地配置，该圆锥形内周面258是在内周面上越向前端直径越小，另外，上述内插销252的外周面也形成圆锥形外周面260，越向前端直径越小。因此，在使第1上下底板138接近制版36一侧直至图17的双点划线所示的位置、上述扩径销250嵌入嵌合部件246的嵌合孔242内的状态下，当通过内插销驱动汽缸254将内插销252向前端侧驱动时，上述锥形外周面260被锥形内周面258胀开，扩径销250的外形被扩径，嵌合部件246和嵌合销装置248对中心，上下工作台114和放置在其上的衬底42可相对于制版36高精度地进行定位。另外，通过嵌入嵌合孔242内的扩径销250被扩径而进行定位，因此嵌合孔242内不需设锥形面，不易受装配调整和随时间变化的影响，具有保持定位精度的优点。

另外，上述衬底搬运台104是具有搬运台主体110和上下工作台114的装置，其中搬运台主体110在衬底印刷位置R和衬底更换位置L之间由搬运轨道102进行导向；上下工作台114设在搬运台主体110上，它可接近或离开制版36。上述嵌合孔242设在位置固定的隔板部件58之中的与衬底印刷位置R相对应的部分上，上述嵌合销装置248设在上下工作台114上，因此可以消除可使上下机构动作的间隙所造成的定位偏差，该上下机构用于使上下工作台114进行上下动作，这样便可进一步提高衬底42的定位精度。根据本发明者的实验，采用以往的装置，衬底42的定位精度为±15-20μm左右，而采用本实施例丝网印刷装置10，其定位精度达±3μm左右。另外，在本实施例丝网印刷装置10上不需在由搬运轨道102和导向杆112导向的直线滑动部分上设置滑动轴承及对它进行预压的机构，故具有维修保养工时数减少以及装置价格低的优点。

另外，由于由上述扩径销250、内插销252、内插销驱动汽缸254构成的嵌合销装置248设在上下工作台114的第1上下底板138上，故与设在隔板部件58等的制版一侧部件上的情况相比，具有涂刷器驱动装置12易于设计的优点。

回到图17，在上下工作台114的第1上下底板138上设有制动部件264，其作用是使固定在隔板部件58上的块部件262与第1上下底板138侧的一面相碰触，可正确地确定上下工作台114向制版36一侧的移动位置。也可以设置数组块部件262和制动部件264，但设置1组也可以。另外，266是缓冲装置，其作用是抑制因第1上下底板138的上升端和下降端的碰触而产生的振动。

另外，例如如图20所示，在上述块部件262上设有V形槽268，上述制动部件264上也可设有锥形部270，该锥形部越向前端宽度越小，以便于嵌入V形槽268内。这样，可进一步提高定位精度。为了获得足够高的定位精度，上述定位装置240至少设在2个部位即设2个以上，或者可以设1个定位装置240及设上述图20所示的块部件262和与其嵌合用的制动部件264。在后者的情况下，最好定位装置240的轴芯在V形槽268的延长线上。

下面用图21至图25对上述图1的涂刷器驱动装置12进行说明。图21是表示涂刷器驱动装置12的正视图，图22是将涂刷器驱动装置12的主要部分放大表示的图，图23是图22的XXIII-XXIII方向的断面图，是将涂刷器驱动装置12的主要部分放大后表示的图，图24是表示钩搭刮板368的状态之断面图，图25是表示涂刷器一侧联接器392和刮板一侧联接器394安装在涂刷器支承板290和刮板支承板292上的安装状态之断面图。

涂刷器驱动装置12用于在进行丝网印刷时效地放在制版36的丝网40上的胶(示图示)沿着该丝网40向上个方向(图21的向上方向)推开，在其返回路上将向一个方向侧移动的胶向另一方向(图21的向下方向)侧推回来。在图21中涂刷器驱动装置12具有矩形框体284，该框体通过分别设在上部水平框架26和下部水平框架28上的2对导向轨280在平行于制版36的状态下，在与制版36相垂直的方向上进行导向，并且通过分别设在上部水平框架26和下部水平框架28上的2对汽缸282接近或离开制版36。在该矩形框体284的上端部通过数根(本实施例为4根)连接杆286与驱动底板288相连接。

在上述矩形框体284的左右边上沿着其长度方向固定1对导向轨道289，涂刷器支承板290和刮板支承板292是这样设置的，即其左右两端部被1对导向轨道289导向，因此在制版36的丝网40距操作人员一侧规定距离的位置上，它们沿制版36可独立地往复移动。在上述矩形框体284的左右边的下部和上述驱动底板288上设有2对轴承294，上端部和下端部通过这些轴承可回转地支承着的1对螺旋轴296，与上述导向轨道289相平行地设置。在驱动底板288上固定减速机298和驱动马达300，上述1对螺旋轴296的一方通过连接在其上端部的减速机298与驱动马达300相连接，同时，1对螺旋轴296通过皮带304动作性地相连接，该皮带304卷挂在分别固定在螺旋轴上端部的皮带轮302上。这样，两端部以螺纹配合在1对螺旋轴296上的涂刷器支承板290和与其相连接的刮板支承板292，在离制版36的丝网40规定距离的位置上，通过驱动马达300沿制版36一体地被往复驱动。在本实施例中，上述涂刷器支承板290和刮板支承板292作为第1往复移动部件和第2往复移动部件使用。

上述涂刷器支承板290和刮板支承板292通过设在涂刷器支承板290两端部的左右1对板连接装置306连接起来，该板连接装置可以装上或拆下。板连接装置306如图24详细所示，它具有以下部件：连接板308，它从涂刷器支承板290向刮板支承板292的上侧突出；连接销312，它设在连接板308的前端，可以接近或离开刮板支承板292侧，并且通过未图示的弹簧，向刮板支承板292侧施力，使该连接销卡合在刮板支承板292的上面形成的卡合孔310内。

如图22和图23详细所示，在上述涂刷器支承板290上设有以下装置：涂刷器上下汽缸322，它用于驱动涂刷器320，使涂刷器与制版36的丝网40相接触，并在将涂刷器压下位置和离丝网40规定距离的位置上进行驱动；中间高度位置限制汽缸324，它作为中间高度限制器使用，它用于使涂刷器320移动到中间高度，即涂刷器的前端正好与丝网40相接触的高度；上升高度位置限制器326，它用于设定涂刷器320的上升高度位置。上述涂刷器320呈长形，比制版36的宽度稍小，它由聚氨酯橡胶之类合成橡胶或天然橡胶等制的弹性体做的长带状涂刷主体328及夹持该涂刷器主体328的金属制的涂刷器保持部件330构成。另外，在上述涂刷器上下汽缸322上设有带定位功能的调节螺栓332，它用于设定其输出杆的突出高度即涂刷器320的下限位置。上述中间高度位置限制器汽缸324上设有带定位功能的调节螺栓334，它用于设定其输出杆的突出长度即涂刷器320的中间高度限制器位置。在上升高度位置限制器326上设有带定位功能的调节螺栓336，它用于设定涂刷器下端的高度位置即涂刷器320的上升限度位置。

保持上述涂刷器320的涂刷器保持装置340与涂刷器上下汽缸322的输出杆338的前端部相连接。该涂刷器保持装置340具有以下部件：长形的上下部件346，它的形状为两端部向下方突出的长形板状，长度方向的两端部由朝向下方固定在涂刷器支承板290下面的1对导向轨道342导向，这样，上下部件便在垂直于丝网40的方向上被导向，并且长度方向的中央部通过摇动联接器344而与上述输出杆338相连接；上下位置调节部件352，通过调节螺栓348可调节该上下位置调节部件相对于上下部件346的上下方向的相对位置，并且用上下动固定螺栓350进行固定；长形的位置调节杆356，它可围绕轴心相对于上下位置调节部件352回转，并可用回转固定螺栓354进行固定；数个固定部件364，它是由断面为U字形的卡合部件360及固定螺栓362构成的，其中U字形卡合部件360是在回转位置调节杆360的长度方向上等间隔地设置的，它与设在上述涂刷器320的涂刷器保持部件330的外面上的1对卡合槽358相卡合，将其夹持住；固定螺栓362，它与卡合部件360以螺纹配合，它用于将卡合部件360固定在回转位置调节杆356上。

这样，通过涂刷器上下汽缸322，对涂刷器320在涂刷器主体328离开丝网40的位置上及将丝网40压下的位置上进行上下驱动，同时当中间高度位置限制器汽缸324的输出杆向下方突出时，通过涂刷器上下汽缸322向上方驱动，这样涂刷器主体328便位于正好接触丝网40、或轻轻接触丝网40的位置上。此外，涂刷器320通过改变上述回转位置调节杆356的回转角度，便可调节该涂刷器主体328与丝网40的接触角度α，用调节螺栓348改变上下位置调节部件352的位置，便可调节该涂刷器主体328压下丝网40的位置或压下力的强弱。

如图22详细所示，上述刮板支承板292由以下几部分构成：刮板上下汽缸370，它的作用是使刮板368与制版36的丝网40接触，并在将该刮板368压下的位置上，及离丝网40规定距离的位置上进行驱动；上下部件374，它通过固定在刮板支承板292上的导向轨道372进行导向而在上下方向上可以移动，并且可由刮板上下汽缸370在上下方向上进行驱动；长形上下位置调节部件378，它对上下部件374的上下方向的相对位置可以调节，并且还可用上下动固定螺栓376进行固定；长形回转位置调节杆380，它可围绕轴心，相对于上下位置调节部件378进行回转，并且可用图中未示出的回转固定螺栓进行固定；数个固定部件382，它等间隔地设在回转位置调节杆380的长度方向上，用于固定刮板368。该刮板368如图24所示，它是由刮板主体384和刮板连接部件386构成的，其中刮板主体384是用不锈钢等金属材料制成的，其形状为板状，两端部弯同涂刷器320一侧；刮板连接部件386，它一体地连接在刮板主体384的上端部上。上述固定部件382是由卡合部件388和固定螺栓390构成的，该卡合部件388与刮板连接部件386卡合，该固定螺栓与上述卡合部件388以螺纹配合，以将它固定在回转位置调节杆380上。

上述刮板上下汽缸370和涂刷器上下汽缸322固定在涂刷器支承板290及刮板支承板292上，且当它们相互靠近时，通过1对空压配管396及398连接起来，这对空压配管在中间部分别设有连接着的、可装卸的涂刷器侧联接器392及刮板侧联接器394，刮板上下汽缸370的1对压力室中、当涂刷器320上升时成为高压状态的压力室，和涂刷器上下汽缸322的1对压力室中、当刮板368下降时成为高压状态的压力室相互连接，同时，刮板上下汽缸370的1对压力室中、当涂刷器320下降时成为高压状态的压力室，和涂刷器上下汽缸322的1对压力室中、当刮板368上升时成为高压状态时压力室相互连接。因此，刮板368在涂刷器320下降时，通过刮板上下汽缸370，使其下端(前端)处于离开丝网40的位置上，当涂刷器320上升时，通过刮板上下汽缸370，使其下端(前端)位于与丝网40接触的位置上。

这样，由于涂刷器320及刮板368分别设在可沿着制版36的丝网40往复驱动的、相互独立的涂刷器支承板290及刮板支承板292上，因此通过作为往复移动部件连接装置使用的板连接装置306，这些涂刷器支承板290及刮板支承板292便在连接状态下相互一体地往复驱动，因此与以往一样，使涂刷器320在与36投入的丝网40接触的状态下前进，于是制版36的丝网40上的胶被推向一个方向，进行丝网印刷，使刮板368在与制版36的丝网40接触的状态下后退，于是被上述涂刷器320推向一个方向侧的胶又被推回到另一个方向。

此外，在更换胶时，由操作人员将上述板连接装置306的连接销312从卡合机310中拔出，于是涂刷器支承板290和刮板支承板292的连接状态被解除，这些涂刷器支承板290及刮板支承板292便相互离开足够大的距离。因此，设在涂刷器支承板290上的涂刷器和设在刮板支承板292上的刮板368之间的间隔足够大，故可高效率地对主要存在于涂刷器320和刮板368的相对一侧的胶进行回收作业，而且附着在这些涂刷器320和刮板368上的胶也容易清扫，使作业时间缩短，并可充分地进行清扫。又如图25详细所示，与涂刷器支承板290及刮板支承板292的相互连接或分开有关，设在将涂刷器上下汽缸322的压力室和刮板上下汽缸370的压力室连通起来的空气配管396、398的中间部上、并固定在这些涂刷器支承板290及刮板支承板292上的涂刷器侧联接器392及刮板侧联接器394可相互连接、脱开，因此这种结构具有如下优点：设在涂刷器支承板290上的涂刷器320和设在刮板支承板292上的刮板368之间的间隔可不受涂刷器上下汽缸322和刮板上下汽缸370之间的空压配管396、398的限制，可自由增大，而且可以在不妨碍空压配管396、398的情况下进行清扫胶的作业。此外，还设有涂刷器驱动装置的举起装置，其作用是使涂刷器支承板290、刮板支承板292及支承它们的矩形框体284通过汽缸282而远离制版36，该装置是在更换或维修制版36时用的专用装置，在包括上述换胶作业在内的通常作业中不使用。

在此，用于在丝网40倾斜状态下将制版36固定的、作为制版固定框架使用的上部水平框架26和下部水平框架28之中，在位于上侧的上部水平框架26和刮板支承板292之间设有卡合装置410，该卡合装置410通过涂刷器支承板290将刮板支承板292推上去，达到其固定位置时自动卡合，将刮板支承板202卡在其固定位置上。如图24详细所示，该卡合装置410设有以下部件：卡合部件418，它通过托架412固定在上部水平框架26上，它具有卡合槽414和倾斜导向面416，该卡合槽414与上部水平框架26及刮板支承板292的移动方向平行，上侧敞开且下侧封闭，上述倾斜导向面416与卡合槽414的下侧相邻接，它越离开上部水平框架26便越向卡合槽414的深度方向延伸，卡合销422，它通过托架420安装在刮板支承板292上，通过未图示的弹簧向卡合槽419的深度方向施力，外于制版36侧的卡合销422的前端便嵌入卡合槽414内。因此，当刮板支承板292接近上部水平框架26时，卡合销422的前端便被倾斜导向面416推入，然后，当达到卡合槽414时其前端突出到该卡合槽内，于是自动卡住，操作人员从卡合槽414中将上述卡合销422拔出时，卡合销422与卡合槽414的卡合便被解除，使刮板支承板292可相对于制版36和框架14自动移动。

此外，在上述涂刷器支承板290上固定设置有推上汽缸430，在解除通过上述板连接装置306而相应连接的涂刷器支承板290及刮板支承板292的连接状态时，该推上汽缸将刮板支承板292推上去，并推到规定距离以上。同时，还在刮板支承板292上固定设置了碰触板434，它与推上汽缸430的输出杆432的前端接触，而且，该推上汽缸430根据设在涂刷器支承板290上的转换开关436的操作，将输出杆432转换为拉入状态或突出状态。

采用上述卡合装置410，就不需进行下述固定操作，即在清扫胶之前，驱动涂刷器支承板290使其向斜上方前进，当把刮板支承板292上推到其卡合位置时，刮板支承板292便自动卡住，从而防止刮板支承板292掉落下来。此外，像这样地把刮板支承板292卡在卡合装置410上之后，驱动涂刷器支承板290使其向倾斜下方后退，这样便易于将涂刷器支承板290和刮板支承板292分开。又，用推上汽缸410使刮板支承板292突出，便使刮板支承板292容易脱离涂刷器支承板290，同时，由于利用空气而动作的推上汽缸410的缓冲作用，可减轻刮板支承板292与上述卡合装置410碰触时的冲击程度。

如上述那样构成的丝网印刷装置10，例如用图26的控制装置进行控制。图中，电子控制装置440是包括CPU、ROM、RAM、输出输入接口等的微机，CPU根据预先存储在ROM内的程序来处理输入信号，它对下述部件进行控制：使搬运辊上下移动用的汽缸52动作的电磁阀442，使碰触板驱动汽缸64动作的电磁阀444，使滑动汽缸72动作的电磁阀446，使夹持汽缸86动作的电磁阀448，对移动板146在X方向上驱动的X方向脉冲电动机190，对移动板146在Y方向或θ方向上进行驱动的第1Y方向位置移动装置182的第1Y方向脉冲电动机450及第2Y方向位置移动装置184的第2Y方向脉冲电动机452，使固定装置220的固定汽缸226动作的电磁阀453，用于在衬底更换位置L和印刷位置R之间驱动搬运台主体110的驱动电动机128，使上下工作台驱动汽缸116动作的电磁阀454，使内插销驱动汽缸254动作的电磁阀456，用于驱动涂刷器320的驱动电动机300，使涂刷器上下汽缸322动作的电磁阀458，使中间高度位置限制器汽缸324动作的电磁阀460，使推上汽缸430动作的电磁阀462，使涂刷器驱动装置12靠近或离开制版36的汽缸282动作的电磁阀464。

在操作箱466中分别设有下述各种开关：手动自动转换开关468，它用于转换手动模式和自动模式，该手动模式即用手动操作使各作动器单独地动作的模式，该自动模式即自动地使各作动器动作的模式；印刷起动停止开关470，它用于起动或停止自动的丝网印刷；搬运辊上下开关472，它用于将搬运辊54转换到上升位置或下降位置；碰触板驱动开关474，它用于转换下述两种状态，即使碰触板62离开固定部件78、将制版36举起的状态，以及使碰触板62向固定部件78一侧移动的状态；版间隔规滑动开关476，它用于转换下述两个位置，即在制版36和固定部件78之间插入版间隔规66的位置及不插入版间隔规的位置；固定开关478，它用于将制版36固定在框架14上；X方向开关480，它用于对移动板146在X方向上进行驱动操作；第1Y方向开关482和第2Y方向开关484，它用于对移动板146在Y方向或θ方向上进行驱动操作；移动板固定开关485，它用于使固定装置220动作，以便简易地固定移动板146；工作台驱动开关486，它用于在衬底更换位置L和印刷位置R之间对搬运台主体110进行驱动；工作台上下开关488，它用于使上下工作台114上下移动；定位开关490，它用于驱动内插销252即嵌合销装置248；涂刷器驱动开关492，它用于驱动涂刷器320，使其沿着丝网40前进或后退；涂刷器上下开关494，它用于使涂刷器320上下移动；中间高度开关496，它用于使涂刷器320在其前进限度内上升到中间高度；涂刷器驱动装置上下开关498，它用于使涂刷器驱动装置12靠近或离开制版36。这些开关所发出的操作信号被传送给电子控制装置440。另外，使推上汽缸430动作的转换开关436的操作信号也被输送到电子控制装置440内。

通过操作上述手动自动转换开关486而选择手动模式时，上述搬运辊上下开关472、碰触板驱动开关474、版间隔规滑动开关476、固定开关478、X方向开关480、第1Y方向开关482及第2Y方向开关484、移动板固定开关485、工作台驱动开关486、工作台上下开关488、定位开关490、涂刷器驱动开关494、涂刷器上下开关494、中间高度开关496、刮板驱动装置上下开关498、转换开关436等的手动开关操作有效，单独地进行与这些开关相对应的动作。

例如，更换制版36时，通过操作手动自动转换开关468，选择手动模式之后，通过操作固定开关478，解除由夹持汽缸86进行的固定状态，操作碰触板驱动开关474，便将制版36向涂刷器驱动装置12一侧上推，同时操作版间隔规滑动开关476，使版间隔规66上升到不插入的位置后，再操作碰触板驱动开关474，便将碰触板62拉向固定部件78一侧，并使制版36下降到与第1导向板46相碰触。在这种状态下，操作搬运辊上下开关472，使搬运辊54上升时，使原来所用的制版36可通过搬运辊54和球状回转体50轻轻地移动，拉到丝网印刷装置10的外面。与此动作相反，新的制版36通过上述搬运辊54和球状回转体50被轻轻地插入规定的安装位置，通过操作搬运辊上下开关472，搬运辊54便下降。这时，在预先进行版间隔零确认的情况下，通过操作固定开关478，用夹持汽缸86进行夹持，制版36被夹压在夹持汽缸86的推压衬垫80与碰触板62之间。这时，由于版间隔规66处于不插入的状态，因此，通过操作工作台上下开关488，使放置衬底42的上下工作台114上升，这样便可以进行丝网40与衬底42之间的版间隔D1为零的确认。接着，操作固定开关478，解除由夹持汽缸86进行的夹持，再操作碰触板驱动开关474，将制版36向涂刷器驱动装置12一侧上推，与此同时，操作版间隔规滑动开关476，使版间隔规66下降到插入位置后，再操作碰触板驱动开关474，将碰触板62拉入，与此同时操作固定开关478，于是由夹持汽缸86进行夹持，制版36被固定后，便形成与版间隔规66相对应的版间隔D1。另外，通过操作版间隔规滑动开关476，在规保持部件76上升期间，可以根据需要，将该版间隔规66更换成适合于新的制版36的版间隔规。

另外，在更换胶时，通过操作手动自动转换开关468而选择手动模式之后，通过板连接装置306，解除涂刷器支承板290和刮板支承板292的连接，并且通过操作转换开关436，由推上汽缸430的输出杆432将刮板支承板292从涂刷器支承板290上推一段规定距离，在这种状态下，操作涂刷器驱动开关492，使涂刷器支承板290前进，当刮板支承板292被驱动到其上升最高点(卡合)位置时，通过卡合位置410使刮板支承板292自动地被卡合在该位置。接着，操作涂刷器驱动开关492，使涂刷器支承板290后退，于是刮板支承板292和涂刷器支承板290之间拉开很大距离，易于对涂刷器320、刮板368和丝网40进行清扫作用。当该清扫作业完毕后，再操作涂刷器驱动开关492，使涂刷器支承板290前进，与此同时，进行拔出卡合装置410的卡合销422的操作，于是刮板支承板292的卡合状态被解除，并被推上汽缸430的输出杆432挡住，通过操作转换开关436，在将推上汽缸430的输出杆432拉入的状态下，通过操作板连接装置306的连接销312，使刮板支承板292与涂刷器支承板290相连接。

但是，操作手动自动转换开关468而选择自动模式的情况下，上述手动开关的操作无效，同时根据印刷起动停止开关的操作，自动地进行丝网印刷。即，和未图示的装卸装置将新的衬底42放置在位于衬底更换位置L的衬底搬运台104的移动板146上时，通过定位用衬底位置检测装置13检测被打在该衬底42上的1对位置标记，进行定位动作。即，使X方向位置移动装置180，第1Y方向位置移动装置182、第2Y方向位置移动装置184动作，以使这一对位置标记与预先设定的位置自动地吻合。接着，利用驱动马达128将衬底搬运台104驱动到印刷位置后，使上下工作台114接近制版36一侧，同时，嵌合销装置248的扩径销250被扩径，于是固定在框架14上的制版36和放置在上下工作台114上的衬底42相互定位。这时，在前进(上升)位置上，使位于中间高度位置的涂刷器320上升到其上限高度位置，与此同时，使刮板368下降到与丝网40相接触的位置，在这种状态下使涂刷器320和刮板368一旦后退到其后退(下降)位置后，使涂刷器320下降到推压丝网40的位置，同时使刮板368上升，在这种状态下，再使其前进，丝网40上的胶便以规定的图像复制到衬底42上。接着，使涂刷器320位于其中间位置，同时使上下工作台114向离开丝网40的方向下降后，用驱动马达128将衬底搬运台104驱动到衬底更换位置L，在这里，利用装卸装置将印刷后的衬底42更换成新的衬底42。

在进行上述定位动作时，电子控制装置440作为定位控制装置发挥作用，即它通过变更X方向驱动销148的X方向位置，对衬底42相对于制版36的X方向位置进行定位，通过使第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154的Y方向位置变更相同的距离，便对衬底42相对于制版36的Y方向位置进行定位，通过使第1Y方向驱动销152和第2Y方向驱动销154的Y方向位置变更不同的距离，便对该衬底42相对于制版36的回转位置θ进行定位。因此，不使用下述装置就可以调节移动板的X方向位置、Y方向位置、回转角度位置θ，这些装置是对X方向工作台进行导向用的X方向导向装置，对X方向工作台进行送进用的X方向工作台送进螺旋机构，对Y方向工作台进行导向用的Y方向导向装置，对Y方向工作台进行送进用的Y方向送进螺旋机构，在回转方向上对工作台进行导向用的回转方向导向装置、使工作台沿着回转方向回转的回转方向导向装置。

另外，上述电子控制装置440在进行定位动作时，在移动板146移动期间内，通过转换转换控制阀168，从压缩气体供给装置172向第2上下底板144供给压缩气体，在移动板146和支承该移动板的第2上下底板144之间形成压缩气体层，根据电信号而驱动的X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152、第2Y方向驱动销154，便可以以极小的力使移动板146移动。另一方面，该移动板146定位完毕后，通过转换转换阀168，从负压供给装置170向第2上下底板144供给负压，便将移动板146吸在第2上下底板144上而固定住。这样，具有的优点是X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152、第2Y方向驱动销154的驱动机构和固定机构极为小型。

以上，用附图对本发明的一个实施例进行了说明，但本发明也可适用于其它式样的丝网印刷装置。

例如，在上述实施例的丝网印刷装置10上，制版36以倾斜的状态固定在框架10上，但也可以是以水平的状态进行固定的形式。这样，也可以得到与上述实施例同样的效果。

另外，在上述实施例中，将衬底42直接支承在移动板146上，但通过其它部件间接地进行支承也无影响。

又，在上述实施例中采用第1上下底板138和第2上下底板144，它们互相成一体地被固定在上下工作台114上，但也可以采用单一的上下底板138。

还有，在上述实施例中，X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152、第2Y方向驱动销154安装在第1上下底板138上，X方向施力销150、第1Y方向施力销156、第2Y方向施力销158安装在第2上下底板144上，但也可以固定在第1上下底板138和第2上下底板144之中的任何1个上。

又，在上述实施例中，X方向施力销150、第1Y方向施力销156、第2Y方向施力销158根据气压进行施力，但也可以是根据弹簧的弹力进行施力的结构。

另外，例如在上述X方向位置移动装置180上，在驱动X方向驱动销148用的螺旋轴188上也可以采用通过数个滚珠进行配合的球形螺栓。在这种情况下，可进一步提高定位精度。

又，上述实施例的X方向驱动销148、第1Y方向驱动销152、第2Y方向驱动销154以及X方向施力销150、第1Y方向施力销156、第2Y方向施力销158，其断面为圆形，但例如断面为三角形或椭圆形也可以。

总之，上面所述的是本发明的一个实施例，本发明在不脱离其宗旨的范围内可以进行各种变更。

Claims (5)

1.一种丝网印刷装置，它设有制版和衬底搬运台，其中制版设在衬底印刷位置，衬底搬运台具有下述部分：搬运台主体，它在预先设定的衬底更换位置和该衬底印刷位置之间进行导向；上下工作台，它是这样设置的，即在该搬运台主体上可以接近或离开上述制版，该衬底搬运台用于将在该衬底更换位置上放置在上下工作台上面的衬底搬运到该衬底印刷位置，在进行丝网印刷时，使上述衬底位于制版的正下方，其特征在于，上述上下工作台包括以下部分：

上下底板；

移动板，它放置在该上下底板的上面，可在平行于该上下底板的方向上进行相对移动，该移动板用于支承上述衬底；

X方向驱动部件和X方向施力部件，它们是设在上述上下底板上的1对部件，其作用是在X方向上夹持该移动板，根据电信号，X方向驱动部件在该X方向上被驱动，X方向施力部件向该X方向驱动部件施加规定的力；

第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件，以及第1Y方向施力部件和第2Y方向施加部件，它们是设在上述上下底板上的2对部件，其作用是在X方向上离开规定距离的状态下，在垂直于该X方向的Y方向上夹持上述移动板，根据电信号，第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件在该Y方向上被驱动，第1Y方向施力部件和第2Y方向施力部件向该第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件施加规定的力。

2.根据权利要求1所述的丝网印刷装置，它包括下述部分：

数个气孔，它设在上述上下底板的顶面上；

压缩气体供给装置，它用于使压缩气体从该上下底板的数个气孔中排放出来；

负压供给装置，它用于使上述上下底板的数个气孔内成为负压状态，使上述移动板吸在该上下底板上；

转换控制阀，它用于在上述移动板移动期间内，从上述压缩气体供给装置将压缩气体供给上述上下底板，在该移动板定位完毕后，从上述负压供给装置将负压供给该上下底板，将该移动板固定在该上下底板上。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的丝网印刷装置，它还包括定位控制装置，该定位控制装置通过变更上述X方向驱动部件的X方向位置，便对上述衬底相对于上述制版的X方向位置进行定位，通过使上述第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件的Y方向位置变更相同的距离，便可对该衬底相对于该制版的Y方向位置进行定位，通过使该第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件的Y方向位置变更不同的距离，便可对该衬底相对于制版的回转位置进行定位。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的丝网印刷装置，它还包括固定装置，该固定装置具有带台阶的孔，小直径的固定板和固定汽缸，其中带台阶的孔由小直径孔及与其相连的大直径孔构成，该孔贯通上述移动板；固定板，其直径比上述大直径孔小；固定汽缸设在上述上下底板上，该固定汽缸具有输出杆，该输出杆的直径比上述小直径孔更小，该输出杆贯通小直径孔，在该输出杆的前端部固定有该固定板。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的丝网印刷装置，

上述移动板是矩形的，

上述X方向驱动部件和X方向施力部件是断面为圆形的销，它们与该移动板的平行于Y方向的2个边相卡合，在X方向上夹持该移动板；

上述第1Y方向驱动部件和第2Y方向驱动部件，以及第1Y方向施力部件和第2Y方向施力部件是断面为圆形的销，它们分别与上述移动板的平行于X方向的2个边相卡合，在Y方向上夹持该移动板。

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