CN113847345A - 用于悬浮轴承的供气系统及制冷系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及制冷技术领域，公开一种用于悬浮轴承的供气系统，包括：压缩机，包括悬浮轴承；第一循环组件，包括冷凝器和连通于所述冷凝器的蒸发器；第二循环组件，包括供气罐和供气箱；所述供气罐连通于所述悬浮轴承并用以向其供气；所述供气箱包括外腔和设置于所述外腔内的内腔，且所述内腔为可形变的腔体；其中，所述蒸发器通过所述内腔连通于所述供气罐，且所述内腔从所述蒸发器取气；且所述冷凝器连通于所述外腔，且所述外腔从所述冷凝器取气；通过所述外腔内气体和所述内腔内气体的压差迫使所述内腔发生形变，以使所述内腔向所述供气罐供气。该供气系统能够更稳定地向悬浮轴承供气。本申请还公开一种制冷系统。

Description

用于悬浮轴承的供气系统及制冷系统

技术领域

本申请涉及制冷技术领域，例如涉及一种用于悬浮轴承的供气系统及制冷系统。

背景技术

目前，气悬浮压缩机采用悬浮轴承，通过供气系统向悬浮轴承内供气或供气液，从而起到支撑转子的作用。现有技术公开了一种用于悬浮轴承的供气系统，通过连通流路直接从蒸发器或冷凝器中获取气态冷媒，并将其通入压缩机的悬浮轴承内，使转子悬浮于悬浮轴承内。

在实现本公开实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：从蒸发器或冷凝器中直接获取气态冷媒并供给至悬浮轴承内，这种供气系统不稳定，影响气悬浮压缩机的可靠性。

发明内容

为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键/重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。

本公开实施例提供一种用于悬浮轴承的供气系统及制冷系统，解决了供气系统不稳定的问题。

在一些实施例中，所述用于悬浮轴承的供气系统包括：

压缩机，包括悬浮轴承；

第一循环组件，包括冷凝器和连通于所述冷凝器的蒸发器；所述冷凝器与所述压缩机的排气口相连通，所述蒸发器与所述压缩机的吸气口相连通；

第二循环组件，包括供气罐和供气箱；所述供气罐连通于所述悬浮轴承并用以向其供气；所述供气箱包括外腔和设置于所述外腔内的内腔，且所述内腔为可形变的腔体；

其中，所述蒸发器通过所述内腔连通于所述供气罐，且所述内腔从所述蒸发器取气；且所述冷凝器连通于所述外腔，且所述外腔从所述冷凝器取气；

通过所述外腔内气体和所述内腔内气体的压差迫使所述内腔发生形变，以使所述内腔向所述供气罐供气。

可选的，所述外腔连通于所述供气罐，所述外腔可向所述供气罐供气。

可选的，所述外腔通过第一调压部连通于所述供气罐，所述第一调压部用以调整所述供气罐内的气压。

可选的，所述第一调压部包括第一节流装置，所述第一节流装置通过调节所述外腔供向所述供气罐的气体的流量，调节所述供气罐内的气压。

可选的，所述外腔通过第二调压部连通于所述供气罐，所述第二调压部用以调节所述压差。

可选的，所述冷凝器通过第二节流装置连用于所述外腔；

所述第二调压部包括真空泵，所述真空泵用以在所述第二节流装置关闭时抽取所述外腔内的气体以调节所述压差。

可选的，所述第二循环组件还包括储气罐，所述真空泵通过所述储气罐连通于所述供气罐；

所述储气罐连通于所述冷凝器，用以向所述冷凝器返气。

可选的，所述储气罐通过第三节流装置连通于所述供气罐，所述储气罐通过第四节流装置连通于所述冷凝器；

所述供气罐内气压超过预设气压值时，所述第三节流装置关闭且所述第四节流装置打开，以使所述储气罐向所述冷凝器返气。

可选的，所述第一循环组件还包括经济器，所述冷凝器通过所述经济器连通于所述蒸发器，所述经济器通过补气管路连通于所述压缩机的补气口；

所述内腔连通于所述补气管路，以从所述补气管路取气。

在一些实施例中，所述制冷系统包括上述任一实施例中的用于悬浮轴承的供气系统。

本公开实施例提供的用于悬浮轴承的供气系统及制冷系统，可以实现以下技术效果：

采用本公开实施例提供的用于悬浮轴承的供气系统，内腔从蒸发器内获取低温低压的气态冷媒，内腔充入气态冷媒后形变发生膨胀。然后，外腔从冷凝器获取高温高压的气态冷媒，此时外腔和内腔产生了压差且外腔的气压大于内腔的气压，在压差的作用下迫使内腔形变发生缩小，内腔缩小的同时腔内的气态冷媒供给至供气罐，最后，供气罐将气态冷媒供给至悬浮轴承。这样，相较于直接从蒸发器或冷凝器取气至悬浮轴承的供气系统更加稳定可靠。

以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图进行示例性说明，这些示例性说明和附图并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件示为类似的元件，附图不构成比例限制，并且其中：

图1是本公开实施例提供的一种悬浮轴承的供气系统的示意图；

图2是图1的A部放大图；

图3是本公开实施例提供的供气箱结构示意图；

图4是本公开实施例提供的另一种悬浮轴承的供气系统的示意图；

图5是本公开实施例提供的另一种悬浮轴承的供气系统的示意图；

图6是本公开实施例提供的另一种悬浮轴承的供气系统的示意图。

附图标记：

100：压缩机；110：蒸发器；120：冷凝器；130：经济器；131：补气管路；200：供气罐；210：供气箱；211：内腔；212：外腔；220：储气罐；300：真空泵；

410：第一电磁阀；420：第二电磁阀；430：第三电磁阀；440：第四电磁阀；450：第五电磁阀；460：第六电磁阀；470：第七电磁阀；480：第八电磁阀；

510：第一单向阀；520：第二单向阀；530：第三单向阀；540：第四单向阀；550：第五单向阀；560：第六单向阀；570：第七单向阀；

P1：第一气压传感器；P2：第二气压传感器。

具体实施方式

为了能够更加详尽地了解本公开实施例的特点与技术内容，下面结合附图对本公开实施例的实现进行详细阐述，所附附图仅供参考说明之用，并非用来限定本公开实施例。在以下的技术描述中，为方便解释起见，通过多个细节以提供对所披露实施例的充分理解。然而，在没有这些细节的情况下，一个或多个实施例仍然可以实施。在其它情况下，为简化附图，熟知的结构和装置可以简化展示。

本公开实施例的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本公开实施例的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

本公开实施例中，术语“上”、“下”、“内”、“中”、“外”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本公开实施例及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本公开实施例中的具体含义。

另外，术语“设置”、“连接”、“固定”应做广义理解。例如，“连接”可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开实施例中的具体含义。

除非另有说明，术语“多个”表示两个或两个以上。

本公开实施例中，字符“/”表示前后对象是一种“或”的关系。例如，A/B表示：A或B。

术语“和/或”是一种描述对象的关联关系，表示可以存在三种关系。例如，A和/或B，表示：A或B，或，A和B这三种关系。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开实施例中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

压缩机制冷系统一般包括压缩机100、冷凝器120、毛细管和蒸发器110，其中冷凝器120与压缩机100的排气口相连通，冷凝器120通过毛细管连通于蒸发器110，蒸发器110与压缩机100的吸气口相连通，压缩机100的排气口排出的冷媒依次经过冷凝器120、毛细管和蒸发器110，最后返回压缩机100并重新压缩，如此进行冷媒的循环。其中，冷媒经压缩机100压缩后成为高温高压的气态冷媒，高温高压的气态冷媒进入冷凝器120后变为高温高压的液态冷媒并流向毛细管，高温高压的液态冷媒通过毛细管后变为低温低压的液态冷媒并流向蒸发器110，低温低压的液态冷媒进入蒸发器110后变为低温低压的气态冷媒并流回压缩机100，并且冷媒在蒸发器110内蒸发吸热实现制冷功能。

气悬浮压缩机采用悬浮轴承，悬浮轴承包括气悬浮轴承或气液悬浮轴承，气悬浮轴承利用气体挤压形成的气膜支撑转子达到支承与润滑作用，气液悬浮轴承利用气体和液体挤压形成的气液膜支撑转子达到支承与润滑作用，悬浮轴承不仅摩擦损耗低、耐高温性强，而且结构简单、旋转精度高，被认为是高速运行、高温工况下的理想支承部件。无论气悬浮压缩机采用气悬浮轴承还是气液悬浮轴承，都需要一套供气系统向悬浮轴承内提供气体。

结合图1所示，本公开实施例提供了一种用于悬浮轴承的供气系统，包括压缩机100、第一循环组件和第二循环组件。其中，压缩机100包括悬浮轴承；第一循环组件包括冷凝器120和蒸发器110，且冷凝器120和蒸发器110相连通；冷凝器120与压缩机100的排气口相连通，蒸发器110与压缩机100的吸气口相连通；第二循环组件包括供气罐200和供气箱210；供气罐200连通于悬浮轴承并用以向其供气；供气箱210包括外腔212和设置于外腔212内的内腔211，且内腔211为可形变的腔体；其中，蒸发器110通过内腔211连通于供气罐200，且内腔211从蒸发器110取气；且冷凝器120连通于外腔212，且外腔212从冷凝器120取气；通过外腔212内气体和内腔211内气体的压差迫使内腔211发生形变，以使内腔211向供气罐200供气。

采用本公开实施例提供的用于悬浮轴承的供气系统，内腔211从蒸发器110内获取低温低压的气态冷媒，内腔211充入气态冷媒后形变发生膨胀。然后，外腔212从冷凝器120获取高温高压的气态冷媒，此时外腔212和内腔211产生了压差且外腔212的气压大于内腔211的气压，在压差的作用下迫使内腔211形变发生缩小，内腔211缩小的同时腔内的气态冷媒供给至供气罐200，最后，供气罐200将气态冷媒供给至悬浮轴承。这样，相较于直接从蒸发器110或冷凝器120取气至悬浮轴承的供气系统更加稳定可靠。

可选的，如图3所示，内腔211采用波纹式气囊。当内腔211从蒸发器110取气时，波纹式气囊充气后逐渐膨胀；外腔212为不可形变的腔体，当外腔212中从冷凝器120取气时，外腔212中的气压逐渐增强，当外腔212中的气压大于内腔211时，压差迫使波纹式气囊逐渐缩小，同时波纹式气囊中的低压气态冷媒供给至供气罐200。

可选的，供气罐200通过第三单向阀530连通于压缩机100的悬浮轴承，第三单向阀530允许气态冷媒从供气罐200流向悬浮轴承。这样，能够防止悬浮轴承中的气态冷媒回流至供气罐200内。

可选的，蒸发器110通过第五电磁阀450连通于内腔211。这样，在第五电磁阀450在打开的状态下，内腔211可从蒸发器110获取气态冷媒。

进一步的，内腔211中设有第一气压传感器P1，第一气压传感器P1用以监测内腔211内的气压。

更进一步的，第五电磁阀450通过第五单向阀550连通于内腔211，第五单向阀550允许气态冷媒从蒸发器110流向内腔211。这样，能够防止内腔211中的气态冷媒回流至蒸发器110。

可选的，如图2所示，内腔211通过第六电磁阀460连通于供气罐200。这样，第六电磁阀460在打开的状态下，内腔211的气态冷媒可流向供气罐200。

进一步的，第六电磁阀460通第六单向阀560连通于供气罐200，第六单向阀560允许气态冷媒从内腔211流向供气罐200。这样，能够防止供气罐200的气态冷媒回流至内腔211。

在一些实施例中，第五电磁阀450、第六电磁阀460和第一气压传感器P1均电连接于供气控制器，第一气压传感器P1将监测的气压信号传递给供气控制器，供气控制器根据气压信号控制第五电磁阀450和第六电磁阀460的状态。

示例性的，当第一气压传感器P1监测到内腔211中的气压为零时，即内腔211中的气态冷媒全部排空，供气控制器控制第五电磁阀450开启且第六电磁阀460关闭，内腔211可从蒸发器110中取气；当第一气压传感器P1检测到内腔211中的气压达到内腔211的充满气压值时，供气控制器控制第五电磁阀450关闭且第六电磁阀460开启，此时可以通过外腔212内气体和内腔211内气体的压差迫使内腔211发生形变，使内腔211向供气罐200供气。

在一些实施例中，如图5所示，第一循环组件还包括经济器130，冷凝器120通过经济器130连通于蒸发器110，经济器130通过补气管路131连通于压缩机100的补气口；内腔211连通于补气管路131，以从补气管路131取气。

来自冷凝器120的高压液态冷媒进入经济器130后，其中一部分冷媒通过节流蒸发吸热使另一部分冷媒得到冷却，经过冷却的液态冷媒流向蒸发器110，未经过冷却的气态冷媒通过补气管路131从压缩机100的补气口回到压缩机100内重新压缩，补气管路131中的气态冷媒的气压小于冷凝器120中的气态冷媒。此时，内腔211可以从补气管路131中获取气态冷媒，充分利用了补气管路131中的气态冷媒。

可选的，如图6所示，补气管路131通过第七电磁阀470连通于内腔211。第七电磁阀470在打开的状态下，内腔211可从补气管路131中取气。

进一步的，第七电磁阀470通过第七单向阀570连通于内腔211，第七单向阀570允许气态冷媒从补气管路131流向内腔211。这样，能够防止内腔211的气态冷媒回流至补气管路131。

在一些实施例中，如图3所示，外腔212连通于供气罐200，外腔212可向供气罐200供气。这样，冷凝器120向外腔212内供给的高温高压的气态冷媒，除了能够与内腔211中的低温低压的气态冷媒形成压差之外，还能够供给至供气罐200，从而提高供气罐200内气态冷媒的温度和气压。

可选的，外腔212通过第一调压部连通于供气罐200，第一调压部用以调整供气罐200内的气压。由于外腔212从冷凝器120中获取的是高温高压的气态冷媒，内腔211从蒸发器110获取的是低温低压的气态冷媒，两种不同类型的冷媒分别由外腔212和内腔211供给至供气罐200内，并在供气罐200内混合，混合后的冷媒的气压发生变化，通过第一调压部能够调节供气罐200内的气压。可以理解的，第一调压部调节供气罐200内的气压的同时，供气罐200的温度也得到了调节。

进一步的，第一调压部包括第一节流装置，第一节流装置通过调节外腔212供向供气罐200的气体的流量，调节供气罐200内的气压。这样，内腔211中的低压低温的气态冷媒和外腔212中的高压高温的气态冷媒在供气罐200内形成混合气态冷媒，通过第一节流装置控制外腔212供向供气罐200的高压气态冷媒的流量，可以调节混合气态冷媒中的高压高温的气态冷媒含量，从而调节供气罐200内混合气态冷媒的气压，同时混合气态冷媒的温度也得到调节。

更进一步的，第一节流装置包括第一电磁阀410，第一电磁阀410打开的状态下，外腔212中的高温高压的气态冷媒可以流向供气罐200，并且第一电磁阀410能够通过控制自身的开度控制管路内的冷媒的流量。

更进一步的，第一电磁阀410通过第一单向阀510连通于供气罐200，第一单向阀510允许气态冷媒从外腔212流向供气罐200。这样，能够防止供气罐200的气态冷媒回流至外腔212。

更进一步的，供气罐200内设有第二气压传感器P2，第二气压传感器P2用以监测供气罐200中的气压。

在一些实施例中，第一电磁阀410和第二气压传感器P2均电连接于供气控制器，第二气压传感器P2将供气罐200内的气压信号传递至供气控制器，供气控制器根据气压信号控制第一电磁阀410的状态。

示例性的，当第二气压传感器P2检测到供气罐200内的气压低于预设气压值时，供气控制器控制第一电磁阀410的开度增大，使外腔212内更多的高压气态冷媒快速进入供气罐200，从而提高供气罐200内的气压。

在一些实施例中，如图4所示，外腔212通过第八电磁阀480连通于蒸发器110，这样外腔212中的冷媒也可通过第八电磁阀480进入蒸发器110。

在一些实施例中，冷凝器120通过第二电磁阀420连通于外腔212，这样，第二电磁阀420在打开的状态下，外腔212可从冷凝器120中取气。

进一步的，第二电磁阀420通过第二单向阀520连通于外腔212，第二单向阀520允许气态冷媒从冷凝器120流向外腔212。这样，能够防止外腔212的气态冷媒回流至冷凝器120。

在一些实施例中，第一电磁阀410、第二电磁阀420和第一气压传感器P1均电连接于供气控制器，供气控制器根据第一气压传感器P1的气压信号控制第一电磁阀410和第二电磁阀420的状态。

示例性的，当第一气压传感器P1检测到内腔211的气压为零时，供气控制器控制第二电磁阀420关闭同时第一电磁阀410开启，此时外腔212不再从冷凝器120取气，同时外腔212中的气态冷媒供给至供气罐200，这样压差逐渐消弭，内腔211不再受压迫能够继续从蒸发器110中取气。当第一气压传感器P1检测到内腔211中的气压达到内腔211的充满气压值时，供气控制器控制第二电磁阀420开启同时第一电磁阀410关闭，此时外腔212可以从冷凝器120取气，使外腔212内气压逐渐高于内腔211内气压，通过压差迫使内腔211形变缩小并向供气罐200供气。

在一些实施例中，外腔212通过第二调压部连通于供气罐200，第二调压部用以调节压差。

可选的，如图1所示，冷凝器120通过第二节流装置连用于外腔212；第二调压部包括真空泵300，真空泵300用以在第二节流装置关闭时抽取外腔212内的气体以调节压差。这样，在第二节流装置关闭的情况下外腔212不再从冷凝器120取气，此时通过真空泵300抽取外腔212中的高压气态冷媒，能够使外腔212中的气压快速降低；当外腔212中的气压低于内腔211中的气压后，内腔211不再受压差的挤迫，此时内腔211可以从蒸发器110继续取气。

进一步的，第二节流装置包括第二电磁阀420，第二电磁阀420通过第二单向阀520连通于外腔212。

更进一步的，外腔212内设有第三气压传感器，第三气压传感器用以监测外腔212内的气压。

可选的，第二循环组件还包括储气罐220，真空泵300通过储气罐220连通于供气罐200；储气罐220连通于冷凝器120，用以向冷凝器120返气。这样，储气罐220起到临时储存气态冷媒的作用，外腔212中的气态冷媒被真空泵300抽入储气罐220后，既可以进入供气罐200，又可以流回至冷凝器120。

可选的，储气罐220通过第三节流装置连通于供气罐200，储气罐220通过第四节流装置连通于冷凝器120；供气罐200内气压超过预设气压值时，第三节流装置关闭且第四节流装置打开，以使储气罐220向冷凝器120返气。

进一步的，第三节流装置包括第三电磁阀430，第四节流装置包括第四电磁阀440，供气罐200内设有第二气压传感器P2。

更进一步的，第四电磁阀440通过第四单向阀540连通于冷凝器120，第四单向阀540允许气态冷媒从放气罐流向冷凝器120。这样，能够防止冷凝器120的气态冷媒回流至放气罐。

在一些实施例中，第三电磁阀430、第四电磁阀440和第二气压传感器P2均电连接于供气控制器，供气控制器根据第二气压传感器P2的气压信号控制第三电磁阀430和第四电磁阀440的状态。

示例性的，当第二气压传感器P2检测到供气罐200的气压超过预设气压值时，控制第三电磁阀430关闭同时第四电磁阀440开启，此时储气罐220不再向供气罐200供气，仅通过第四电磁阀440向冷凝器120回气，冷凝器120和外腔212之间形成冷媒循环回路，防止供气罐200的气压值过高。当第二气压传感器P2检测到供气罐200的气压低于预设气压值时，控制第三电磁阀430开启同时第四电磁阀440关闭，此时储气罐220仅向供气罐200供气，可以提高供气罐200的补气速率。

这里，结合图1说明用于悬浮轴承的供气系统的供气控制过程：

(1)控制第五电磁阀450开启，内腔211从蒸发器110获取低压的气态冷媒，内腔211逐渐形变膨胀；

(2)内腔211中的气态冷媒充满后，控制第二电磁阀420开启且第一电磁阀410关闭，外腔212从冷凝器120获取高压的气态冷媒，内腔211和外腔212产生压差，高压的气态冷媒迫使内腔211形变缩小；

(3)控制第六电磁阀460开启，内腔211形变缩小的同时挤迫腔内的气态冷媒排向供气罐200，供气罐200向悬浮轴承供气；

(4)内腔211的气态冷媒排空后，控制第一电磁阀410开启且第二电磁阀420关闭，并且控制真空泵300启动，外腔212中的气态冷媒被抽至储气罐220内，压差逐渐消弭使得内腔211恢复至可以取气的状态；

(5)、根据供气罐200内气压的状态，控制第三电磁阀430开启使储气罐220内的冷媒流向供气罐200，或者，控制第四电磁阀440开启使供气罐200内的气态冷媒流向冷凝器120。

在一些实施例中，本公开实施例还提供了一种制冷系统，包括上述任一实施例中的用于悬浮轴承的供气系统。

以上描述和附图充分地示出了本公开的实施例，以使本领域的技术人员能够实践它们。其他实施例可以包括结构的以及其他的改变。实施例仅代表可能的变化。除非明确要求，否则单独的部件和功能是可选的，并且操作的顺序可以变化。一些实施例的部分和特征可以被包括在或替换其他实施例的部分和特征。本公开的实施例并不局限于上面已经描述并在附图中示出的结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，包括：

压缩机，包括悬浮轴承；

第一循环组件，包括冷凝器和连通于所述冷凝器的蒸发器；所述冷凝器与所述压缩机的排气口相连通，所述蒸发器与所述压缩机的吸气口相连通；

第二循环组件，包括供气罐和供气箱；所述供气罐连通于所述悬浮轴承并用以向其供气；所述供气箱包括外腔和设置于所述外腔内的内腔，且所述内腔为可形变的腔体；

其中，所述蒸发器通过所述内腔连通于所述供气罐，且所述内腔从所述蒸发器取气；且所述冷凝器连通于所述外腔，且所述外腔从所述冷凝器取气；

通过所述外腔内气体和所述内腔内气体的压差迫使所述内腔发生形变，以使所述内腔向所述供气罐供气。

2.根据权利要求1所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述外腔连通于所述供气罐，所述外腔可向所述供气罐供气。

3.根据权利要求2所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述外腔通过第一调压部连通于所述供气罐，所述第一调压部用以调整所述供气罐内的气压。

4.根据权利要求3所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述第一调压部包括第一节流装置，所述第一节流装置通过调节所述外腔供向所述供气罐的气体的流量，调节所述供气罐内的气压。

5.根据权利要求2所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述外腔通过第二调压部连通于所述供气罐，所述第二调压部用以调节所述压差。

6.根据权利要求5所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述冷凝器通过第二节流装置连用于所述外腔；

所述第二调压部包括真空泵，所述真空泵用以在所述第二节流装置关闭时抽取所述外腔内的气体以调节所述压差。

7.根据权利要求6所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述第二循环组件还包括储气罐，所述真空泵通过所述储气罐连通于所述供气罐；

所述储气罐连通于所述冷凝器，用以向所述冷凝器返气。

8.根据权利要求7所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述储气罐通过第三节流装置连通于所述供气罐，所述储气罐通过第四节流装置连通于所述冷凝器；

所述供气罐内气压超过预设气压值时，所述第三节流装置关闭且所述第四节流装置打开，以使所述储气罐向所述冷凝器返气。

9.根据权利要求1所述的用于悬浮轴承的供气系统，其特征在于，所述第一循环组件还包括经济器，所述冷凝器通过所述经济器连通于所述蒸发器，所述经济器通过补气管路连通于所述压缩机的补气口；

所述内腔连通于所述补气管路，以从所述补气管路取气。

10.一种制冷系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的用于悬浮轴承的供气系统。

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