CN113719749B - 气体容器紧固连接装置 - Google Patents

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Abstract

公开了一种气体容器紧固连接装置。根据一个实施例的气体容器紧固连接装置可包括：紧固连接模块，其配置于气体容器的上侧，在相对于所述气体容器对齐的状态下，紧固连接于所述气体容器的阀门，从而用于获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，对所述紧固连接模块相对于所述气体容器的位置进行对齐；以及位置检测部，其用于感知所述紧固连接模块相对于所述气体容器的对齐状态。

Description

气体容器紧固连接装置
技术领域
下面的说明涉及一种气体容器紧固连接装置，尤其，涉及一种用于紧固连接大容量气体容器的装置。
背景技术
通常，利用气体的工艺，例如，如半导体制造工艺一样，进行精密作业的工艺的情况，要求适合各个工艺目的的种类的气体在满足一定浓度及压力后供给。
在工艺过程中，为了有效的气体供给，各种种类的气体以高压的状态保管在气体容器中，在严格的管理下，在无人状态下对用于保管含有对人体有害的成分的气体的气体容器进行保管。
保管气体的气体容器与气体供给装置相连接，如果气体容器内部的气体全部消耗掉，则将与气体供给装置相连接的连接配管从气体容器的阀门分离出来并去除气体容器，进行将新的气体容器紧固连接于气体供给装置的替换过程。
为了使得气体容器连接于气体供给装置，需要将气体容器的阀门连接器连接于气体供给装置的连接器，为了这样的连接过程，气体容器的阀门连接器和气体供给装置的连接器需要以对齐的状态设置。在现有技术中，作业者通过手动进行了气体容器的位置对齐，但是气体容器的情况，大部分具有高重量，并且在内部保管有害气体，因此，存在的问题在于，难以通过手动进行气体容器的对齐作业。
此外，在将气体容器连接于气体供给装置的过程中，当气体容器或者气体供给装置的对齐状态错位时，打开了阀门的气体容器内部的高压气体向外部喷出，从而存在造成事故隐患的问题。
由此，实情是要求相对于气体容器对齐气体供给装置的同时进行安全的紧固连接的装置。
前述的作为背景技术进行说明的内容是发明人在本发明的导出过程中掌握或者习得的，并不一定是在本发明的申请之前向一般公众公开的公知技术。
发明内容
实施例的目的在于，提供一种气体容器紧固连接装置，相对于大容量气体容器可安全地对配管进行紧固连接。
实施例的目的在于，提供一种气体容器紧固连接装置，相对于大容量气体容器的阀门连接器可精密地对齐连接配置。
在实施例中想要解决的课题并非限于以上提及的课题，从业者可以从下面的记载明确地理解未提及的其他的课题。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置，可包括：紧固连接模块，其包括连接器紧固连接部，连接器紧固连接部配置于气体容器的上部，紧固连接于所述气体容器的阀门连接器，从而获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块连接，调节所述紧固连接模块的位置，相对于所述阀门连接器进行对齐；以及位置检测部，其感知所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的对齐状态。
作为一个侧面，所述对齐模块调节所述连接器紧固连接部的中心轴相对于所述阀门连接器的中心轴所形成的角度及所述连接器紧固连接部相对于所述阀门连接器的中心轴的距离，从而使得所述紧固连接模块对齐。
作为一个侧面，在所述紧固连接模块与所述阀门连接器对齐的状态下，所述对齐模块可使得所述紧固连接模块沿着所述阀门连接器的中心轴方向移动，以便使得所述连接器紧固连接部紧固连接于所述阀门连接器。
作为一个侧面，所述对齐模块包括：倾摆部，其使得所述紧固连接模块以与地面平行的旋转轴为中心旋转；水平移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴的第一方向移动；以及竖直移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴及第一方向的第二方向移动。
作为一个侧面，所述倾摆部可对所述紧固连接模块的旋转角度进行对齐，以便使得所述阀门连接器的中心轴及连接器紧固连接部的中心轴相互平行。
作为一个侧面，以所述紧固连接模块的旋转角度对齐的状态为基准，所述第一方向可垂直于所述阀门连接器的中心轴，所述第二方向与所述阀门连接器的中心轴平行。
作为一个侧面，所述对齐模块可包括：固定板，其在与所述阀门连接器的中心轴平行的平面上配置；水平移动部，其相对于所述固定板沿着第一方向可移动地连接；以及竖直移动部，其连接所述水平移动部及所述紧固连接模块，相对于所述水平移动部沿着垂直于所述第一方向的第二方向可移动地连接。
作为一个侧面，所述对齐模块还可包括：倾摆部，其连接所述固定板及水平移动部，使得所述水平移动部以垂直于所述第一方向及第二方向的旋转轴为中心旋转。
作为一个侧面，所述对齐模块还可包括：一个以上的致动器，其用于使得所述倾摆部、水平移动部及竖直移动部移动。
作为一个侧面，所述紧固连接模块还可包括：端盖分离部，其与所述阀门连接器相连接，用于分离端盖；以及紧固连接致动器，其用于使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部运转。
作为一个侧面，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的中心轴的角度对齐的状态下，所述对齐模块可调节所述紧固连接模块的位置，以便使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部选择性地紧固连接于所述阀门连接器。
作为一个侧面，所述位置检测部可包括：传感器，其对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的相对位置信息进行检测。
作为一个侧面，所述气体容器紧固连接装置还包括：控制部，其控制所述对齐模块的运转，所述控制部可基于通过所述位置检测部检测到的信息对所述对齐模块的运转进行控制，以便使得所述紧固连接模块位于相对于所述气体容器设定的对齐位置。
作为一个侧面，所述位置检测部可包括：对准部件，其与所述气体容器相连接的同时，引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器对齐的状态下，固定于所述气体容器。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置，可包括：滑行架，其以安放的状态支撑气体容器；移送模块，其使得所述滑行架沿着与地面平行的前后方向移动，对所述气体容器的阀门连接器的前后方向上的位置进行对齐；紧固连接模块，其配置于所述气体容器的上侧，紧固连接于所述阀门连接器，用于获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，对所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的相对位置进行对齐；以及位置监测部，其用于对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的对齐状态进行检测。
作为一个侧面，所述对齐模块可包括：倾摆部，其用于使得所述紧固连接模块以与所述前后方向平行的轴为中心旋转；水平移动部，其用于使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述前后方向的第一方向移动；以及竖直移动部，其用于使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述前后方向及第一方向的第二方向移动。
作为一个侧面，所述水平移动部可包括：底板，其沿着第一方向配置有水平导轨；水平引导部件，其连接所述底板及所述紧固连接模块，可移动地连接于所述水平导轨；以及水平致动器，其用于使得所述水平引导部件移动。
作为一个侧面，所述竖直移动部可包括：竖直导轨，其沿着垂直于所述第一方向的第二方向配置于所述水平引导部件；竖直引导部件，其可移动地连接于所述竖直导轨，配置有所述紧固连接模块；以及竖直致动器，其用于使得所述竖直引导部件移动。
作为一个侧面，所述倾摆部可包括：固定板，其相对于所述底板平行地配置；旋转部件，其连接所述固定板及所述底板，相对于所述固定板以与所述前后方向平行的轴为中心进行旋转；以及旋转致动器，其用于使得所述旋转部件旋转。
作为一个侧面，所述紧固连接模块可包括：紧固连接框架，其与所述对齐模块相连接；端盖分离部，其以朝向所述气体容器的形式配置于所述紧固连接框架的下侧，与所述气体容器的阀门连接器相连接，用于去除端盖；以及连接器紧固连接部，其以朝向所述气体容器的形式配置于所述紧固连接框架的下侧，紧固连接于去除所述端盖的所述阀门连接器，从而用于获得气体的供给。
作为一个侧面，所述端盖分离部的中心轴及连接器紧固连接部的中心轴在所述前后方向上的位置可以相同。
作为一个侧面，所述位置检测部可包括：视觉传感器，其识别所述气体容器的阀门连接器。
作为一个侧面，所述移送模块可包括：移送导轨，其沿着所述前后方向配置于地面；移送引导部件，其可移动地连接于所述移送导轨，可固定地连接于所述滑行架；以及移送致动器，其用于移送所述移送引导部件。
作为一个侧面，所述移送模块还可包括：导轮，其接触地配置于所述滑行架的两侧，引导所述滑行架在前后方向上的移送。
作为一个侧面，所述移送模块还可包括：滑行架固定部件，其在所述滑行架沿着所述前后方向移动的过程中，对所述滑行架的外侧进行加压，以便防止所述滑行架向左右方向移动。
作为一个侧面，还包括：控制部，其控制所述移送模块及对齐模块的运转，所述位置检测部感知所述气体容器的阀门连接器的位置，所述控制部可基于所述位置检测部感知到的信息控制所述紧固连接模块相对于气体容器对齐。
作为一个侧面，所述控制部控制所述移送模块的运转，以便使得所述阀门连接器及连接器紧固连接部的中心轴的前后方向位置位于同一线上，在使得所述连接器紧固连接部的中心轴相对于所述阀门连接器的中心轴平行地设置后，可控制所述对齐模块的运转，以便使得所述连接器紧固连接部的中心轴与所述阀门连接器的中心轴一致。
作为一个侧面，在所述紧固连接模块相对于所述气体容器对齐的状态下，所述控制部可控制所述紧固连接模块的竖直方向上的位置，以便使得所述紧固连接模块紧固连接于所述气体容器。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置，可包括：紧固连接模块，其包括连接器紧固连接部，在连接器紧固连接部的位置相对于气体容器的阀门连接器对齐的状态下，连接器紧固连接部与所述阀门连接器相连接，从而获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，调节紧固连接模块相对于所述阀门连接器的相对位置；以及对准部件，其引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块的位置对齐的状态下，与所述气体容器相结合。
作为一个侧面，所述气体容器紧固连接装置还包括：对准块，其安装于所述气体容器，与所述对准部件相连接，所述对准部件紧固连接于所述对准块的同时，引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器对齐的状态下，可固定于所述对准块。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置，针对大容量气体容器自动地对连接配管进行紧固连接，从而可防止作业者暴露在危险中。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置，针对大容量气体容器精密地对连接配管进行对齐，从而可防止在气体容器更换过程中可能发生的气体泄漏。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置的效果并非限于以上提及的，一般的技术人员可从下面的记载明确地理解未提及的其他效果。
附图说明
本说明书中所附的下面的图例示了本发明的优选的一个实施例，与发明的详细说明一起起到了进一步理解本发明的技术思想的作用，因此不应解释为本发明仅限于这些附图中记载的事项。
图1是根据一个实施例的气体容器紧固连接装置的立体图。
图2是示出根据一个实施例的滑行架的立体图。
图3是示出根据一个实施例的移送模块的立体图。
图4及图5是示出根据一个实施例的对齐模块及紧固连接模块的立体图。
图6至图10是示出根据一个实施例的气体容器紧固连接装置的运转过程的运转图。
标号说明
G：气体容器
C：阀门连接器
10：滑行架
11：移送模块
13：对齐模块
14：紧固连接模块
15：位置检测部
具体实施方式
下面，通过示例性的图对实施例进行详细说明。值得注意的是，在对各个图的构成要素附加参照标号时，即使在不同的附图上示出，相同的构成要素也尽可能地具有相同的标号。另外，在说明实施例时，认为对相关公知构成或功能的具体说明妨碍了对实施例的理解时，省略其详细说明。
此外，在说明实施例的构成要素时，可以使用诸如第一、第二、A、B、(a)和(b)之类的术语。这些术语仅用于将该构成要素与其他构成要素区分开，并且相关构成要素的本质或次序或顺序等不受这些术语的限制。在提及某种构成要素“连接”、“结合”或“接入”至另一构成要素时，应理解为既可以是该构成要素直接连接于或接入于另一构成要素，也可以在各构成要素之间“连接”、“结合”或“接入”其他构成要素。
对于在任何一个实施例中包括的构成要素和包括共同性能的构成要素，可以在其他实施例中使用相同的名称加以说明。除非有相反的说明，否则任何一个实施例中记载的说明均可以适用于其他实施例，并且在重复范围内将省略具体说明。
图1是根据一个实施例的气体容器紧固连接装置的立体图。
参照图1，根据一个实施例的气体容器紧固连接装置1可用于将气体容器G，即重量大的大容量气体容器G紧固连接于连接配管H。在针对气体容器G紧固连接连接配管H的过程中，气体容器紧固连接装置1可将连接配管H的位置安全地对齐气体容器G。
气体容器G在内部可存储并保管工艺气体。在气体容器G的内部保管的气体可用于半导体制造工艺等各种需要气体的地方。气体容器G可包括用于排出保管在内部的气体的阀门V。阀门V可约束容器内部的气体供给。在阀门V的一侧可包括：阀门连接器C，其以朝向侧面凸出的形式连接，用于排出容器内部的气体；阀门挡板，其设置于阀门V内部，选择性地切断阀门连接器C的气体流动；阀门手柄，其配置于阀门V的端部，根据旋转运转使得所述阀门挡板移动，从而开闭阀门连接器C。用于防止气体泄漏的端盖可安装于阀门连接器C。例如，在阀门连接器C的外面形成有螺纹，端盖可螺旋结合于阀门连接器C。
另外，大容量气体容器G的情况，与一般的气体容器G相比，具有较高的重量，因此为了稳定的支撑状态，如图1所示，可以以相对于地面平放的状态紧固连接于连接配管H。此时，阀门连接器C可以以朝向上部的形式配置，以便气体容器G能够紧固连接于连接配管H。下面，通过假设气体容器G的阀门连接器C朝向上部的情况来对气体容器紧固连接装置1的构成进行说明。
根据一个实施例的气体容器紧固连接装置1可包括滑行架10、移送模块11、紧固连接模块14、对齐模块13、位置检测部15、导轨17、滑行架固定部件16及控制部(未示出)。
图2是示出根据一个实施例的滑行架的立体图。
参照图2，滑行架10可以以支撑气体容器G的状态移动。气体容器G可安装在滑行架10上。此时，气体容器G可以以平放的状态安装于滑行架10。滑行架10可以以支撑气体容器G的下侧的状态移动。在滑行架10的下侧可连接有用于移动的滚动部件101。例如，滚动部件101可包括如轮子、滚珠轴承一样使得相对于地面的摩擦力减少的部件。
图3是示出根据一个实施例的移送模块的立体图。
参照图3，移送模块11可使得滑行架10沿着与地面平行的前后方向D1移动。为了使得气体容器G紧固连接于连接配管H，需要插入至后述的紧固连接模块14所在的罩箱B内部。移送模块11沿着前后方向D1移送滑行架10，从而能够使得气体容器G位于罩箱B内部，即紧固连接模块14的下侧。在气体容器G安装于滑行架10的状态下，阀门连接器C中心轴A1可相对于前后方向垂直。
移送模块11可通过滑行架10的移送对阀门连接器C的前后方向D1上的位置进行对齐。当阀门连接器C的前后方向D1上的位置对齐时，后述的连接器紧固连接部142的中心轴A2和阀门连接器C的中心轴A1在前后方向D1上的位置可以相同。
移送模块11可包括移送导轨111、移送引导部件112、移送致动器113。
移送导轨111可沿着前后方向D1配置于地面。移送引导部件112可移动地连接于移送导轨111，固定于滑行架10，从而可引导滑行架10的移动。移送引导部件112可固定地连接于滑行架10。例如，在滑行架10形成有固定孔，在移送引导部件112可设置有插入固定于所述固定孔的固定销。在滑行架10相对于移送引导部件112对齐的状态下，移送引导部件112的固定销可插入滑行架10的固定孔。
移送致动器113与移送引导部件112相连接，并可提供驱动力，以便移送引导部件112沿着移送导轨111移动。随着移送致动器113的运转，移送引导部件112沿着移送导轨111在前后方向D1上进行并进移动的同时，可对阀门连接器C的前后方向D1上的位置进行对齐。
下面，如果没有特别提及的话，则以通过移送模块11使得阀门连接器C的前后方向D1上的位置对齐的状态为基准，对紧固连接模块14及对齐模块13的构成进行说明。
图4及图5是示出根据一个实施例的紧固连接模块14及对齐模块13的立体图。
参照图4及图5，紧固连接模块14配置于气体容器G的上侧，紧固连接于阀门连接器C，从而可获得气体的供给。紧固连接模块14配置于罩箱B内，与连接配管H相连接，从而可向连接配管H供给气体容器G内部的气体。紧固连接模块14可包括紧固连接框架141、连接器紧固连接部142、端盖分离部143及紧固连接致动器144。
紧固连接框架141可与对齐模块13相连接。此时，连接器紧固连接部142及端盖分离部143可以以朝向气体容器G的形式配置于紧固连接框架141的下侧。
在去除阀门连接器C的端盖的状态下，连接器紧固连接部142可紧固连接于阀门连接器C。连接器紧固连接部142与连接配管H相连接，在连接器紧固连接部142紧固连接于阀门连接器C的状态下，连接器紧固连接部142使得阀门连接器C及连接配管H连通，从而向连接配管H供给气体容器G内部的气体。连接器紧固连接部142可通过形成于阀门连接器C的外面的螺纹紧固连接于阀门连接器C。
为了使得连接器紧固连接部142及阀门连接器C相互紧固连接，需要对齐连接器紧固连接部142及阀门连接器C的相对位置。连接器紧固连接部142及阀门连接器C可在相互面对的状态，即连接器紧固连接部142及阀门连接器C的中心轴A1相互一致的状态下实现紧固连接。由此，为了连接器紧固连接部及阀门连接器C的紧固连接，要求调节各个中心轴所形成的角度和各个中心轴之间的距离的对齐过程。
端盖分离部143相对于阀门连接器C对齐的状态下，与阀门连接器C相连接，从而可去除端盖。如果端盖分离部143与阀门连接器C相连接，则安装于阀门连接器C的端盖可插入端盖分离部143。此时，端盖分离部143以解除端盖相对于阀门连接器C的螺旋结合的形式进行旋转运转，从而可从阀门连接器C去除端盖。
端盖分离部143需要对齐相对于阀门连接器C的位置，以便连接于阀门连接器C。具体地，端盖分离部143可在中心轴与阀门连接器C中心轴A1一致的状态下紧固连接于阀门连接器C。
端盖分离部143的中心轴A3可与连接器紧固连接部142的中心轴A2平行。此时，如果端盖分离部143的中心轴A3相对于阀门连接器C中心轴A1所形成的角度对齐，则可省略连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C中心轴A1的角度对齐过程。
另外，端盖分离部143及连接器紧固连接部142各自的中心轴在前后方向D1上的位置可以相同。根据如上所述的结构，通过移送模块11对阀门连接器C的前后方向D1的位置进行对齐，因此当通过移送模块11使得阀门连接器C的前后方向D1的位置对齐时，端盖分离部143及连接器紧固连接部142的前后方向D1上的位置可相对于阀门连接器C自动对齐。
紧固连接致动器144可提供驱动力，以便使得连接器紧固连接部142或端盖分离部143运转。
对齐模块13与紧固连接模块14相连接，可调节紧固连接模块14的位置，以便紧固连接模块14相对于阀门连接器C进行对齐。以阀门连接器C的前后方向D1位置对齐的状态为基准，对齐模块13可对紧固连接模块14相对于阀门连接器C中心轴A1的角度进行对齐。对齐模块13可调节紧固连接模块14的位置，以便能够使得端盖分离部143或者连接器紧固连接部142选择性地紧固连接于阀门连接器C。
例如，当对齐模块13相对于阀门连接器C紧固连接连接器紧固连接部142时，对齐模块13调节连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C中心轴A1所形成的角度及连接器紧固连接部142相对于阀门连接器C中心轴A1的距离，从而能够使得紧固连接模块14相对于阀门连接器C对齐。此时，在紧固连接模块14相对于阀门连接器C对齐的状态下，对齐模块13可执行使得连接器紧固连接部142沿着阀门连接器C中心轴A1方向移动的紧固连接动作，以便连接器紧固连接部142紧固连接于阀门连接器C。
对齐模块13可包括固定板131、倾摆部132、水平移动部133、竖直移动部134。
固定板131可以以位于气体容器G的上侧的形式固定设置于罩箱B(未示出)。固定板131可在垂直于前后方向D1的平面上配置。此时，固定板131可相对于阀门连接器C中心轴A1平行。
倾摆部132可以使得紧固连接模块14以与地面平行的旋转轴，例如与前后方向D1平行的旋转轴为中心旋转。此时，随着倾摆部132的运转，紧固连接模块14可沿着气体容器G的左右方向进行倾摆运动。倾摆部132可调节连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C中心轴A1所形成的角度。在对齐的状态下，阀门连接器C中心轴A1及连接器紧固连接部142的中心轴A2可相互平行。
倾摆部132可包括：旋转部件1321，其可旋转地连接于固定板131；旋转致动器1322，其使得所述旋转部件1321旋转。旋转部件1321的旋转轴可相对于固定板131垂直。
水平移动部133可使得紧固连接模块14沿着垂直于前后方向D1的第一方向D2移动。以紧固连接模块14的旋转角度对齐的状态为基准，第一方向D2可以是垂直于阀门连接器C中心轴A1的方向。水平移动部133可包括固定连接于旋转部件1321的底板1331、水平导轨1332、水平引导部件1333及水平致动器1334。
底板1331可相对于固定板131平行地配置。底板1331可借助于旋转部件1321以旋转轴为中心进行旋转。
水平导轨1332可沿着第一方向D2配置于底板1331上，水平引导部件1333以沿着第一方向D2移动的形式连接于水平导轨1332。
水平致动器1334可提供用于使得水平引导部件1333移动的驱动力。
竖直移动部134可使得紧固连接模块14沿着垂直于前后方向D1及第一方向D2的第二方向D3移动。以紧固连接模块14的旋转角度对齐的状态为准，第二方向D3可与阀门连接器C中心轴A1平行。竖直移动部134可包括竖直导轨1341、竖直引导部件1342及竖直致动器1343。
竖直导轨1341可沿着垂直于第一方向D2的第二方向D3配置于水平引导部件1333，竖直引导部件1342可以以沿着第二方向D2移动的形式连接于竖直导轨1341。此时，在竖直引导部件1342可配置有紧固连接模块14的紧固连接框架141。
竖直致动器1343可提供用于使得竖直导轨1341移动的驱动力。
水平移动部133及竖直移动部134可使得紧固连接模块14的位置沿着垂直于前后方向D1的第一方向D2及第二方向D3移动。此时，通过水平移动部133及竖直移动部134产生的紧固连接模块14的移动方向矢量可从属于倾摆部132的旋转而变化。但是因为第一方向D2及第二方向D3相互垂直，所以与倾摆部132的运转无关地，可根据第一方向D2及第二方向D3的移动自由地调节垂直于前后方向D1的平面上的紧固连接模块14的位置。当通过移送模块11使得紧固连接模块14及阀门连接器C的前后方向D1位置对齐时，通过水平移动部133及竖直移动部134调节垂直于前后方向D1的平面上的紧固连接模块14的位置，因此能够使得紧固连接模块14及阀门连接器C的三维位置对齐。
位置检测部15可引导紧固连接模块14相对于阀门连接器C的位置对齐。例如，位置检测部感知紧固连接模块14相对于阀门连接器C的相对位置信息，从而可检测紧固连接模块14是否相对于阀门连接器C对齐。位置检测部15可包括识别阀门连接器C的位置的传感器。例如，传感器可以是视觉传感器。但是，传感器的种类并非限于此，位置检测部15可包括能够检测阀门连接器及紧固连接模块14的相对位置的各种种类的传感器。
位置检测部15可配置于紧固连接模块14。例如，位置检测部15可固定设置于紧固连接框架141的一侧。此时，位置检测部15的传感区域对应于紧固连接模块14的位置变化而变化，因此可进行更加有效的对齐状态传感。
另外，位置检测部15也可以物理地引导紧固连接模块14相对于阀门连接器C的位置对齐。例如，位置检测器15可包括对准部件(未示出)，对准部件与气体容器G相连接的同时，引导阀门连接器C及紧固连接模块14的相对位置对齐。此时，在气体容器可安装有能够与对准部件紧固连接的对准块。对准部件及对准块可以在使得紧固连接模块及阀门连接器的相对位置对齐的状态下相互紧固连接。由此，对准部件相对于对准块紧固连接的同时，可物理地引导紧固连接模块相对于阀门连接器的位置对齐。例如，对准部件可包括以销形态凸出的导销，对准块可包括供所述导销插入的导孔。
在紧固连接模块相对于阀门连接器对齐的状态下，对准部件固定连接于对准块，可对紧固连接模块相对于气体容器的对齐位置进行固定。
再次参照图1，导轮17及滑行架固定部件16可引导滑行架10的前后方向D1上的移动。
导轮17接触地配置于滑行架10的两侧，当滑行架10借助于移送模块11沿着前后方向D1移动时，可以以支撑滑行架10的两侧的状态引导滑行架10的移动。
在滑行架10与移送模块11相连接的状态下，滑行架固定部件16可加压滑行架10的两外侧。滑行架固定部件16防止滑行架10向左右方向移动，从而可在滑行架10的移动过程中防止滑行架10的位置错开。
控制部可控制移送模块11及对齐模块13的运转。基于位置检测部15感知到的信息，控制部可对紧固连接模块14及阀门连接器C的相对位置进行对齐。
控制部可通过移送模块11的运转对阀门连接器C相对于紧固连接模块14的前后方向D1上的位置进行对齐，通过对齐模块13的运转对紧固连接模块14相对于阀门连接器C的角度及位置进行对齐。
例如，当连接器紧固连接部142与阀门连接器C对齐时，控制部可控制移送模块11，以便使得阀门连接器C及连接器紧固连接部142的中心轴A2的前后方向D1位置相同。之后，通过旋转紧固连接模块14而使得连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C中心轴A1以平行的形式对齐后，控制部可控制对齐模块13的运转，以便使得连接器紧固连接部142的中心轴A2与阀门连接器C中心轴A1一致。
之后，控制部可沿着阀门连接器C中心轴A1调节紧固连接模块14的位置，以便使得紧固连接模块14的连接器连接部紧固连接于气体容器G的阀门连接器C。
图6至图10是示出根据一个实施例的气体容器紧固连接装置的运转过程的运转图。
参照图6至图10，对气体容器紧固连接装置1的运转过程进行说明。
如图6所示，当借助于移送模块11使得气体容器G的阀门V插入罩箱B(未示出)时，位置检测部15可检测阀门连接器C的位置。当阀门连接器C的前后方向D1上的位置未对齐时，控制部可通过移送模块11的运转而调节滑行架10的前后方向D1的位置，从而对阀门连接器C的前后方向D1位置进行对齐。
在阀门连接器C的前后方向D1位置对齐的状态下，对齐模块13可对紧固连接模块14的位置进行对齐。如图7所示，位置检测部15可检测紧固连接模块14相对于阀门连接器C中心轴A1的角度。当检测到紧固连接模块14及阀门连接器C的角度未对齐时，对齐模块13可使得紧固连接模块14旋转，以便连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C中心轴A1平行。此时，紧固连接模块14可以以与前后方向D1平行的轴为中心旋转。
在以使得阀门连接器C中心轴A1及连接器紧固连接部142的中心轴A2平行的形式对齐的状态下，如图8所示，紧固连接模块14可使得紧固连接模块14的位置沿着垂直于阀门连接器C中心轴A1的方向，例如第一方向D2移动。可根据连接器紧固连接部142或者端盖分离部142的紧固连接与否，选择性地使得连接器紧固连接部142的中心轴A2或者端盖分离部143的中心轴A3相对于阀门连接器C中心轴A1一致。
图9示出连接器紧固连接部142的中心轴A2相对于阀门连接器C的中心轴A1一致的状态。如图9所示，在阀门连接器C及连接器紧固连接部142的中心轴A1、A2一致的状态下，连接器紧固连接部142与阀门连接器C相面对。
此时，如图10所示，对齐模块13使得紧固连接模块14沿着阀门连接器C的中心轴A1方向，即第二方向D3移动，从而可以连接阀门连接器C及连接器紧固连接部142。图9及图10示出了连接器紧固连接部142连接于阀门连接器C的过程，但是当将端盖分离部143连接于阀门连接器C时，在使得端盖分离部143的中心轴A3相对于阀门连接器C的中心轴A1一致的状态下，对齐模块13使得紧固连接模块14朝向阀门连接器C沿着第二方向D3移动，从而可将端盖分离部143紧固连接于阀门连接器C。
由此，连接器紧固连接部142或者端盖分离部143可选择性地连接于阀门连接器C。
如上所述，虽然根据限定的图对实施例进行了说明，但是如果是在所属技术领域中具有通常知识的技术人员，则可以从上述记载进行各种修改及变形。例如，即使按照与所说明的方法不同的顺序执行所说明的技术，及/或以与所说明的方法不同的形态结合或者组合所说明的结构、装置等构成要素，或通过其他构成要素或者均等物进行代替或者置换，也可以实现适当的结果。

Claims (22)

1.一种气体容器紧固连接装置，其特征在于，包括：
紧固连接模块，其包括连接器紧固连接部，连接器紧固连接部紧固连接于气体容器的阀门连接器，用于获得气体的供给；
对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，调节所述紧固连接模块的位置，从而相对于所述阀门连接器进行对齐；以及
位置检测部，其用于引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐；
所述对齐模块包括：
固定板，其在与所述阀门连接器的中心轴平行的平面上配置；
水平移动部，其相对于所述固定板沿着第一方向可移动地连接；以及
竖直移动部，其连接所述水平移动部及所述紧固连接模块，相对于所述水平移动部沿着垂直于所述第一方向的第二方向可移动地连接；
所述对齐模块还包括：
倾摆部，其连接所述固定板及水平移动部，使得所述水平移动部以垂直于所述第一方向及第二方向的旋转轴为中心旋转；
所述对齐模块还包括：
一个以上的致动器，其用于使得所述倾摆部、水平移动部及竖直移动部移动；
所述紧固连接模块还包括：
端盖分离部，其与所述阀门连接器相连接，用于分离端盖；以及
紧固连接致动器，其用于使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部运转；
在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的中心轴的角度对齐的状态下，所述端盖分离部或者连接器紧固连接部选择性地紧固连接于所述阀门连接器。
2.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
所述对齐模块调节所述连接器紧固连接部的中心轴相对于所述阀门连接器的中心轴所形成的角度及所述连接器紧固连接部相对于所述阀门连接器的中心轴的距离，从而使得所述紧固连接模块对齐。
3.根据权利要求2所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
在所述紧固连接模块与所述阀门连接器对齐的状态下，
所述对齐模块使得所述紧固连接模块沿着所述阀门连接器的中心轴方向移动，以便使得所述连接器紧固连接部紧固连接于所述阀门连接器。
4.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块包括：
倾摆部，其使得所述紧固连接模块以与地面平行的旋转轴为中心旋转；
水平移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴的第一方向移动；以及
竖直移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴及第一方向的第二方向移动。
5.根据权利要求4所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
所述倾摆部对所述紧固连接模块的旋转角度进行对齐，以便使得所述阀门连接器的中心轴及连接器紧固连接部的中心轴相互平行。
6.根据权利要求5所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
以所述紧固连接模块的旋转角度对齐的状态为基准，
所述第一方向垂直于所述阀门连接器的中心轴，所述第二方向与所述阀门连接器的中心轴平行。
7.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述位置检测部包括：
传感器，其对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的相对位置信息进行检测。
8.根据权利要求7所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，还包括：
控制部，其控制所述对齐模块的运转，
所述控制部基于通过所述位置检测部检测到的信息对所述对齐模块的运转进行控制，以便使得所述紧固连接模块位于相对于所述阀门连接器设定的对齐位置。
9.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述位置检测部包括：
对准部件，其与所述气体容器相连接的同时，引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器对齐的状态下，固定于所述气体容器。
10.一种气体容器紧固连接装置，其特征在于，包括：
滑行架，其以安放的状态支撑气体容器；
移送模块，其使得所述滑行架沿着与地面平行的前后方向移动，对所述气体容器的阀门连接器的前后方向上的位置进行对齐；
紧固连接模块，其紧固连接于所述阀门连接器，用于获得气体的供给；
对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，对所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的相对位置进行对齐；以及
位置检测部，其用于对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的对齐状态进行检测；
所述对齐模块包括：
倾摆部，其用于使得所述紧固连接模块以与所述前后方向平行的轴为中心旋转；
水平移动部，其用于使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述前后方向的第一方向移动；以及
竖直移动部，其用于使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述前后方向及第一方向的第二方向移动；
所述紧固连接模块包括：
紧固连接框架，其与所述对齐模块相连接；
端盖分离部，其以朝向所述气体容器的形式配置于所述紧固连接框架的下侧，与所述气体容器的阀门连接器相连接，用于去除端盖；以及
连接器紧固连接部，其以朝向所述气体容器的形式配置于所述紧固连接框架的下侧，紧固连接于去除所述端盖的所述阀门连接器，用于获得气体的供给。
11.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述水平移动部包括：
底板，其沿着所述第一方向配置有水平导轨；
水平引导部件，其连接所述底板及所述紧固连接模块，水平引导部件移动地连接于所述水平导轨；以及
水平致动器，其用于使得所述水平引导部件移动。
12.根据权利要求11所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述竖直移动部包括：
竖直导轨，其沿着垂直于所述第一方向的所述第二方向配置于所述水平引导部件；
竖直引导部件，其可移动地连接于所述竖直导轨，配置有所述紧固连接模块；以及
竖直致动器，其用于使得所述竖直引导部件移动。
13.根据权利要求12所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
所述对齐模块还包括固定板，固定板相对于所述底板平行地配置，
所述倾摆部包括：
旋转部件，其连接所述固定板及所述底板，相对于所述固定板以与所述前后方向平行的轴为中心进行旋转；以及
旋转致动器，其用于使得所述旋转部件旋转。
14.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
所述端盖分离部的中心轴及连接器紧固连接部的中心轴在所述前后方向上的位置相同。
15.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述位置检测部包括：
传感器，其用于识别所述气体容器的阀门连接器的位置。
16.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述移送模块包括：
移送导轨，其沿着所述前后方向配置于地面；
移送引导部件，其可移动地连接于所述移送导轨，移送引导部件固定地连接于所述滑行架；以及
移送致动器，其用于移送所述移送引导部件。
17.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，还包括：
导轮，其接触地配置于所述滑行架的两侧，引导所述滑行架在前后方向上的移送。
18.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，还包括：
滑行架固定部件，其在所述滑行架沿着所述前后方向移动的过程中，对所述滑行架的外侧进行加压，以便防止所述滑行架向左右方向移动。
19.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，还包括：
控制部，其控制所述移送模块及对齐模块的运转，
所述位置检测部感知所述气体容器的阀门连接器的位置，所述控制部基于所述位置检测部感知到的信息控制所述紧固连接模块相对于气体容器对齐。
20.根据权利要求19所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
所述控制部控制所述移送模块的运转，以便使得所述阀门连接器及连接器紧固连接部的中心轴的前后方向位置位于同一线上，
在使得所述连接器紧固连接部的中心轴相对于所述阀门连接器的中心轴平行地设置后，控制所述对齐模块的运转，以便使得所述连接器紧固连接部的中心轴与所述阀门连接器的中心轴一致。
21.根据权利要求20所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，
在所述紧固连接模块相对于所述气体容器对齐的状态下，所述控制部沿着所述阀门连接器的中心轴调节所述紧固连接模块的位置，以便使得所述紧固连接模块紧固连接于所述气体容器。
22.一种气体容器紧固连接装置，其特征在于，包括：
紧固连接模块，其包括连接器紧固连接部，在连接器紧固连接部的位置相对于气体容器的阀门连接器对齐的状态下，连接器紧固连接部与所述阀门连接器相连接，从而获得气体的供给；
对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，调节紧固连接模块相对于所述阀门连接器的相对位置；以及
对准部件，其引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块的位置对齐的状态下，与所述气体容器相结合；
所述对齐模块包括：
固定板，其在与所述阀门连接器的中心轴平行的平面上配置；
水平移动部，其相对于所述固定板沿着第一方向可移动地连接；以及
竖直移动部，其连接所述水平移动部及所述紧固连接模块，相对于所述水平移动部沿着垂直于所述第一方向的第二方向可移动地连接；
所述对齐模块还包括：
倾摆部，其连接所述固定板及水平移动部，使得所述水平移动部以垂直于所述第一方向及第二方向的旋转轴为中心旋转；
所述对齐模块还包括：
一个以上的致动器，其用于使得所述倾摆部、水平移动部及竖直移动部移动；
所述紧固连接模块还包括：
端盖分离部，其与所述阀门连接器相连接，用于分离端盖；以及
紧固连接致动器，其用于使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部运转；
在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的中心轴的角度对齐的状态下，所述端盖分离部或者连接器紧固连接部选择性地紧固连接于所述阀门连接器；
还包括：
对准块，其安装于所述气体容器，与所述对准部件相连接，
所述对准部件紧固连接于所述对准块的同时，引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器对齐的状态下，固定于所述对准块。
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