KR102440146B1 - 가스 용기 체결 장치 - Google Patents

가스 용기 체결 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102440146B1
KR102440146B1 KR1020200063234A KR20200063234A KR102440146B1 KR 102440146 B1 KR102440146 B1 KR 102440146B1 KR 1020200063234 A KR1020200063234 A KR 1020200063234A KR 20200063234 A KR20200063234 A KR 20200063234A KR 102440146 B1 KR102440146 B1 KR 102440146B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
fastening
module
gas container
valve connector
connector
Prior art date
Application number
KR1020200063234A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210146145A (ko
Inventor
박용건
이상욱
김용철
서철교
김상진
Original Assignee
주식회사 케이씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨 filed Critical 주식회사 케이씨
Priority to KR1020200063234A priority Critical patent/KR102440146B1/ko
Priority to CN202010881794.2A priority patent/CN113719749B/zh
Priority to TW109132481A priority patent/TWI821596B/zh
Publication of KR20210146145A publication Critical patent/KR20210146145A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102440146B1 publication Critical patent/KR102440146B1/ko

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/08Mounting arrangements for vessels
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/02Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/04Arrangement or mounting of valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/12Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures
    • F17C13/123Arrangements or mounting of devices for preventing or minimising the effect of explosion ; Other safety measures for gas bottles, cylinders or reservoirs for tank vehicles or for railway tank wagons
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C7/00Methods or apparatus for discharging liquefied, solidified, or compressed gases from pressure vessels, not covered by another subclass
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01Shape
    • F17C2201/0104Shape cylindrical
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/01Shape
    • F17C2201/0104Shape cylindrical
    • F17C2201/0109Shape cylindrical with exteriorly curved end-piece
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/03Orientation
    • F17C2201/035Orientation with substantially horizontal main axis
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2201/00Vessel construction, in particular geometry, arrangement or size
    • F17C2201/05Size
    • F17C2201/056Small (<1 m3)
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/01Mounting arrangements
    • F17C2205/0153Details of mounting arrangements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2205/00Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
    • F17C2205/03Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
    • F17C2205/0302Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
    • F17C2205/0323Valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/04Indicating or measuring of parameters as input values
    • F17C2250/0404Parameters indicated or measured
    • F17C2250/0478Position or presence
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2250/00Accessories; Control means; Indicating, measuring or monitoring of parameters
    • F17C2250/04Indicating or measuring of parameters as input values
    • F17C2250/0486Indicating or measuring characterised by the location
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17CVESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C2270/00Applications
    • F17C2270/05Applications for industrial use
    • F17C2270/0518Semiconductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017Apparatus for fluid treatment
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/32Hydrogen storage

Abstract

가스 용기 체결 장치를 개시한다. 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는 상기 가스용기에 대해 정렬된 상태에서 상기 가스 용기의 밸브에 체결되어 가스를 공급받기 위한 체결 모듈; 상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 가스용기에 대한 상기 체결 모듈의 위치를 정렬시키는 정렬 모듈; 및 상기 가스 용기에 대한 상기 체결 모듈의 정렬 상태를 감지하기 위한 위치 검출부를 포함할 수 있다.

Description

가스 용기 체결 장치{GAS CONTAINER CONNECTING APPARATUS}
이하의 설명은 가스 용기 체결 장치에 관한 것으로, 특히 대용량 가스 용기의 체결을 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 공정, 예를 들어, 반도체 제조 공정과 같이 정밀한 작업이 수행되는 공정의 경우, 각 공정의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도 및 압력을 만족하여 공급되는 것이 요구된다.
공정과정에서 효율적인 가스 공급을 위해 여러 종류의 가스가 고압의 상태로 가스 용기에 보관되며, 인체에 유해한 성분을 포함하는 가스가 보관된 가스 용기는 엄중한 관리하에 무인상태에서 보관된다.
가스를 보관하는 가스 용기는 가스 공급 장치에 연결되며, 가스 용기 내부의 가스가 모두 소모되면, 가스 공급 장치에 연결된 연결배관을 가스 용기의 밸브로부터 분리하여 가스 용기를 제거하고, 새로운 가스 용기를 가스 공급 장치에 체결하는 교체 과정을 수행하게 된다.
가스 용기가 가스 공급 장치에 연결되기 위해서는, 가스 용기의 밸브 커넥터를 가스 공급 장치의 커넥터에 연결해야 하며, 이러한 연결과정을 위해서는 가스 용기의 밸브 커넥터와 가스 공급 장치의 커넥터가 정렬된 상태로 위치할 필요가 있다. 종래에는 가스 용기의 위치 정렬을 작업자가 수동으로 수행했으나, 가스 용기는 높은 중량을 가지고 내부에 유해 가스를 보관하는 경우가 많으므로, 가스 용기의 정렬 작업을 수동으로 수행하기가 어려운 문제점이 있었다.
또한, 가스 용기를 가스 공급 장치에 연결하는 과정에서, 가스 용기 또는 가스 공급 장치의 정렬 상태가 틀어지는 경우, 밸브가 개방된 가스 용기 내부의 고압 가스가 외부로 분출되어 사고 위험을 야기하는 문제점이 있었다.
이에 따라, 가스 용기에 대해 가스 공급 장치를 정렬하면서도 안전한 체결을 수행하는 장치가 요구되는 실정이다.
전술한 배경기술로서 설명된 내용은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 인정하는 것이라고 할 수는 없다.
실시 예의 목적은, 대용량 가스 용기에 대해 배관을 안전하게 체결할 수 있는 가스 용기 체결 장치를 제공하는 것이다.
실시 예의 목적은, 대용량 가스 용기의 밸브 커넥터에 대해 연결배관을 정밀하게 정렬할 수 있는 가스 용기 체결 장치를 제공하는 것이다.
실시 예에서 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는, 가스용기의 상부에 배치되고, 상기 가스용기의 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받는 커넥터 체결부를 포함하는 체결 모듈; 상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 체결 모듈의 위치를 조절하여 상기 밸브 커넥터에 대해 정렬시키는 정렬 모듈; 및 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 정렬 상태를 감지하는 위치 검출부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대해 상기 커넥터 체결부의 중심축이 형성하는 각도 및, 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대한 상기 커텍터 체결부의 거리를 조절하여 상기 체결 모듈을 정렬할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결 모듈이 상기 밸브 커넥터에 정렬된 상태에서, 상기 정렬 모듈은, 상기 커넥터 체결부가 상기 밸브 커넥터에 체결되도록 상기 밸브 커넥터의 중심축 방향으로 상기 체결 모듈을 이동시킬 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은, 지면에 평행한 회전축을 중심으로 상기 체결 모듈을 회전시키는 틸팅부; 상기 회전축에 수직한 제1방향으로 상기 체결 모듈을 이동시키는 수평이동부; 및 상기 회전축 및 제1방향에 수직한 제2방향으로 상기 체결 모듈을 이동시키는 수직이동부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 틸팅부는 상기 밸브 커넥터의 중심축 및 커넥터 체결부의 중심축이 서로 평행하도록 상기 체결 모듈의 회전각도를 정렬할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결 모듈의 회전각도가 정렬된 상태를 기준으로, 상기 제1방향은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 수직하고, 상기 제2방향은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 평행할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 평행한 평면상에 배치되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트에 대해 제1방향으로 이동 가능하게 연결되는 수평이동부; 및 상기 수평 이동부 및 상기 체결 모듈을 연결하고, 상기 수평 이동부에 대해 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 이동 가능하게 연결되는 수직 이동부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 고정 플레이트 및 수평 이동부를 연결하고, 상기 제1방향 및 제2방향에 수직한 회전축을 중심으로 상기 수평 이동부를 회전시키는 틸팅부를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은 상기 틸팅부, 수평 이동부 및 수직 이동부를 이동시키기 위한 하나 이상의 액추에이터를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결 모듈은, 상기 밸브 커넥터에 연결되어 엔드캡을 분리하기 위한 엔드캡 분리부; 및 상기 엔드캡 분리부 또는 커넥터 체결부를 작동시키기 위한 체결 액추에이터를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은, 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대한 상기 체결 모듈의 각도가 정렬된 상태에서, 상기 엔드캡 분리부 또는 커넥터 체결부가 상기 밸브 커넥터에 선택적으로 체결되도록 상기 체결 모듈의 위치를 조절할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 위치 검출부는 상기 밸브 커넥터 및 상기 체결 모듈의 상대적인 위치 정보를 검출하는 센서를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 가스 용기 체결 장치는 상기 정렬 모듈의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 위치 검출부를 통해 검출된 정보에 기초하여, 상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 대해 설정된 정렬 위치에 위치하도록 상기 정렬 모듈의 작동을 제어할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 위치 검출부는 상기 가스용기에 연결되면서 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 위치 정렬을 가이드하고, 상기 밸브 커넥터에 대해 상기 체결 모듈이 정렬된 상태에서 상기 가스용기에 고정되는 얼라인부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는, 가스 용기를 안착된 상태로 지지하는 스키드; 상기 스키드를 지면에 평행한 전후 방향으로 이동시키고, 상기 가스 용기의 밸브 커넥터의 전후 방향으로의 위치를 정렬하는 이송 모듈; 상기 가스 용기의 상측에 배치되고, 상기 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 체결 모듈; 상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 상대적인 위치를 정렬하는 정렬 모듈; 및 상기 밸브 커넥터 및 상기 체결 모듈의 정렬 상태를 검출하기 위한 위치 검출부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 정렬 모듈은, 상기 전후 방향에 평행한 축을 중심으로 상기 체결 모듈을 회전시키기 위한 틸팅부; 상기 전후 방향에 수직한 제1방향을 따라 상기 체결 모듈을 이동시키기 위한 수평 이동부; 및 상기 전후 방향 및 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 상기 체결 모듈을 이동시키기 위한 수직 이동부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 수평 이동부는, 제1방향을 따라 수평 가이드레일이 배치되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 및 상기 체결 모듈을 연결하고, 상기 수평 가이드레일에 이동 가능하게 연결되는 수평 가이드부재; 및 상기 수평 가이드부재를 이동시키기 위한 수평 액추에이터를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 수직 이동부는, 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 상기 수평 가이드부재에 배치되는 수직 가이드레일; 상기 수직 가이드레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 체결 모듈이 배치되는 수직 가이드부재; 및 상기 수직 가이드부재를 이동시키기 위한 수직 액추에이터를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 틸팅부는 상기 베이스 플레이트에 대해 평행하게 배치되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트 및 상기 베이스 플레이트를 연결하고, 상기 고정 플레이트에 대해 상기 전후방향에 평행한 축을 중심으로 회전하는 회동부재; 및 상기 회동부재를 회전시키기 위한 회전 액추에이터를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 체결 모듈은 상기 정렬 모듈에 연결되는 체결 프레임; 상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 가스 용기의 밸브 커넥터에 연결되어 엔드캡을 제거하기 위한 엔드캡 분리부; 및 상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 엔드캡이 제거된 상기 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 커넥터 체결부를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 엔드캡 분리부의 중심축 및 커넥터 체결부의 중심축은 상기 전후방향의 위치가 동일할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 위치 검출부는 상기 가스 용기의 밸브 커넥터를 인식하는 비전 센서를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 이송 모듈은, 상기 전후 방향을 따라 지면에 배치되는 이송 가이드 레일; 상기 이송 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 스키드에 고정 가능하게 연결되는 이송 가이드부재; 및 상기 이송 가이드부재를 이송시키기 위한 이송 액추에이터를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 이송 모듈은 상기 스키드의 양측에 접촉되게 배치되고, 상기 스키드의 전후 방향으로의 이송을 가이드하는 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 이송 모듈은 상기 스키드가 상기 전후방향으로 이동하는 과정에서, 상기 스키드가 좌우방향으로 이동하지 않도록 상기 스키드의 외측을 가압하는 스키드 고정부재를 더 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 이송 모듈 및 정렬 모듈의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 위치 검출부는 상기 가스 용기의 밸브 커넥터의 위치를 감지하고, 상기 제어부는 상기 위치 검출부가 감지한 정보에 기초하여 상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 대해 정렬되도록 제어할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제어부는 상기 밸브 커넥터 및 커넥터 체결부의 중심축의 전후방향 위치가 동일선상에 위치하도록 상기 이송 모듈을 작동을 제어하고, 상기 커넥터 체결부의 중심축이 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대해 평행하도록 위치시킨 후, 상기 커넥터 체결부의 중심축을 상기 밸브 커넥터의 중심축에 일치되도록 상기 정렬 모듈의 작동을 제어할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 제어부는 상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 대해 정렬된 상태에서, 상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 체결되도록 상기 체결 모듈의 수직 방향으로의 위치를 제어할 수 있다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는, 가스용기의 밸브 커넥터에 대해 위치가 정렬된 상태에서, 상기 밸브 커넥터에 연결되어 가스를 공급받는 커넥터 체결부를 포함하는 체결 모듈; 상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 밸브 커넥터에 대한 체결 모듈의 상대적인 위치를 조절하는 정렬 모듈; 및 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 위치 정렬을 가이드하고, 상기 체결 모듈의 위치가 정렬된 상태에서 상기 가스 용기에 결합되는 얼라인부재를 포함할 수 있다.
일 측에 있어서, 상기 가스 용기 체결 장치는 상기 가스용기에 장착되고, 상기 얼라인부재와 연결되는 얼라인 블록을 더 포함하고, 상기 얼라인부재는 상기 얼라인 블록에 체결되면서 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 위치 정렬을 가이드하고, 상기 밸브 커넥터에 대해 상기 체결 모듈이 정렬된 상태에서, 상기 얼라인 블록에 고정될 수 있다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는 대용량 가스 용기에 대해 연결 배관을 자동으로 체결함으로써, 작업자가 위험에 노출되는 것을 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치는 대용량 가스 용기에 대해 연결 배관을 정밀하게 정렬함으로써, 가스 용기 교체 과정에서 발생할 수 있는 가스의 노출을 방지할 수 있다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치의 사시도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 스키드를 도시하는 사시도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 이송 모듈을 도시하는 사시도이다.
도 4 및 도 5는 일 실시 예에 따른 정렬 모듈 및 체결 모듈을 도시하는 사시도이다.
도 6 내지 도 10은 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치의 작동과정을 나타내는 작동도이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치(1)는 가스 용기(G), 특히 중량이 높은 대용량 가스 용기(G)를 연결배관(H)에 체결하는데 사용될 수 있다. 가스 용기 체결 장치(1)는 가스 용기(G)에 대해 연결배관(H)을 체결하는 과정에서, 연결배관(H)의 위치를 가스 용기(G)에 대해 안전하게 정렬할 수 있다.
가스 용기(G)는 내부에 공정 가스를 저장하여 보관할 수 있다. 가스 용기(G)에 내부에 보관된 가스는 반도체 제조 공정 등 다양한 가스 소요처에 사용될 수 있다. 가스 용기(G)는 내부에 보관된 가스를 배출하기 위한 밸브(V)를 구비할 수 있다. 밸브(V)는 용기 내부의 가스 공급을 단속할 수 있다. 밸브(V)의 일측에는 측면을 향해 돌출되도록 연결되고 용기 내부의 가스가 배출되는 밸브 커넥터(C)와, 밸브(V) 내부에 구비되어 밸브 커넥터(C)의 가스 유동을 선택적으로 차단하는 밸브 셔터 및, 밸브(V)의 단부에 배치되고, 회전 작동에 따라 상기 밸브 셔터를 이동시켜 밸브 커넥터(C)를 개폐하는 밸브 핸들을 포함할 수 있다. 밸브 커넥터(C)에는 가스 유출을 방지하기 위한 엔드캡이 장착될 수 있다. 예를 들어, 밸브 커넥터(C)의 외면에는 나사산이 형성되고, 엔드캡은 밸브 커넥터(C)에 나사 결합될 수 있다.
한편, 대용량 가스 용기(G)의 경우, 일반적인 가스 용기(G)에 비해 높은 중량을 가지기 때문에, 안정적인 지지상태를 위해 도 1과 같이 지면에 대해 눕혀진 상태로 연결배관(H)에 체결될 수 있다. 이 경우, 가스 용기(G)는 연결배관(H)에 체결될 수 있도록, 밸브 커넥터(C)가 상부를 향하도록 배치될 수 있다. 이하에서는, 가스 용기(G)의 밸브 커넥터(C)가 상부를 향하는 경우를 가정하여 가스 용기 체결 장치(1)의 구성을 설명하도록 한다.
일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치(1)는 스키드(10), 이송 모듈(11), 체결 모듈(14), 정렬 모듈(13), 위치 검출부(15), 가이드 롤러(17), 스키드 고정부재(16) 및, 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.
도 2는 일 실시 예에 따른 스키드를 도시하는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 스키드(10)는 가스 용기(G)를 지지한 상태로 이동할 수 있다. 스키드(10)에는 가스 용기(G)가 안착될 수 있다. 이 경우, 가스 용기(G)는 눕혀진 상태로 가스 용기(G)에 안착될 수 있다. 스키드(10)는 가스 용기(G)의 하측을 지지한 상태로 이동할 수 있다. 스키드(10)의 하측에는 이동을 위한 구름부재(101)가 연결될 수 있다. 구름부재(101)는 예를 들어, 바퀴, 볼베어링과 같이 지면에 대한 마찰력을 감소시는 부재를 포함할 수 있다.
도 3은 일 실시 예에 따른 이송 모듈을 도시하는 사시도이다.
도 3을 참조하면, 이송 모듈(11)은 스키드(10)를 지면에 평행한 전후 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 가스 용기(G)가 연결배관(H)에 체결되기 위해서는, 후술하는 체결 모듈(14)이 위치한 후드 박스(B) 내부로 삽입될 필요가 있다. 이송 모듈(11)은 전후 방향(D1)을 따라 스키드(10)를 이송함으로써, 가스 용기(G)를 후드 박스(B) 내부, 즉, 체결 모듈(14)의 하측으로 위치시킬 수 있다. 가스 용기(G)가 스키드(10)에 장착된 상태에서, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)은 전후 방향(D1)에 대해 수직할 수 있다.
이송 모듈(11)은 스키드(10)의 이송을 통해, 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치를 정렬할 수 있다. 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치가 정렬된 경우, 후술하는 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)과 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)은 전후 방향(D1)으로의 위치가 동일할 수 있다.
이송 모듈(11)은 이송 가이드 레일(111), 이송 가이드 부재(112), 이송 액추에이터(113)를 포함할 수 있다.
이송 가이드 레일(111)은 전후 방향(D1)을 따라 지면에 배치될 수 있다. 이송 가이드 부재(112)는 이송 가이드 레일(111)에 이동 가능하게 연결되고, 스키드(10)에 고정되어 스키드(10)의 이동을 가이드할 수 있다. 이송 가이드 부재(112)는 스키드(10)에 고정 가능하게 연결될 수 있다. 예를 들어, 스키드(10)에는 고정홀이 형성되고, 이송 가이드 부재(112)에는 상기 고정홀에 삽입 고정되는 고정핀이 구비될 수 있다. 스키드(10)가 이송 가이드 부재(112)에 대해 정렬된 상태에서, 이송 가이드 부재(112)의 고정핀은 스키드(10)의 고정홀에 삽입될 수 있다.
이송 액추에이터(113)는 이송 가이드 부재(112)에 연결되고, 이송 가이드 부재(112)가 이송 가이드 레일(111)을 따라 이동하도록 구동력을 제공할 수 있다. 이송 액추에이터(113)의 작동에 따라, 이송 가이드 부재(112)는 이송 가이드 레일(111)을 따라 전후 방향(D1)으로 병진 이동하면서, 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치를 정렬할 수 있다.
이하에서는, 특별한 언급이 없는 한, 이송 모듈(11)을 통해 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치가 정렬된 상태를 기준으로, 체결 모듈(14) 및 정렬 모듈(13)의 구성을 설명하도록 한다.
도 4 및 도 5는 일 실시 예에 따른 체결 모듈(14) 및 정렬 모듈(13)을 도시하는 사시도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 체결 모듈(14)은 가스 용기(G)의 상측에 배치되고, 밸브 커넥터(C)에 체결되어 가스를 공급받을 수 있다. 체결 모듈(14)은 후드 박스(B) 내에 배치되고, 연결배관(H)과 연결되어 가스 용기(G) 내부의 가스를 연결배관(H)으로 공급할 수 있다. 체결 모듈(14)은 체결 프레임(141), 커넥터 체결부(142), 엔드캡 분리부(143) 및, 체결 액추에이터(144)를 포함할 수 있다.
체결 프레임(141)은 정렬 모듈(13)에 연결될 수 있다. 이 경우, 커넥터 체결부(142) 및 엔드캡 분리부(143)는 가스 용기(G)를 향하도록 체결 프레임(141)의 하측에 배치될 수 있다.
커넥터 체결부(142)는 밸브 커넥터(C)의 엔드캡이 제거된 상태에서, 밸브 커넥터(C)에 체결될 수 있다. 커넥터 체결부(142)는 연결배관(H)과 연결되는데, 커넥터 체결부(142)가 밸브 커넥터(C)에 체결된 상태에서, 커넥터 체결부(142)는 밸브 커넥터(C) 및 연결배관(H)을 연통시켜 가스 용기(G) 내부의 가스를 연결배관(H)으로 공급할 수 있다. 커넥터 체결부(142)는 밸브 커넥터(C)의 외면에 형성된 나사산을 통해 밸브 커넥터(C)에 체결될 수 있다.
커넥터 체결부(142) 및 밸브 커넥터(C)가 서로 체결되기 위해서는, 커넥터 체결부(142) 및 밸브 커넥터(C)의 상대적인 위치가 정렬될 필요가 있다. 커넥터 체결부(142) 및 밸브 커넥터(C)는 서로 마주보는 상태, 다시 말해, 커넥터 체결부(142) 및 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)이 서로 일치한 상태에서 체결될 수 있다. 따라서, 커텍터 체결부 및 밸브 커넥터(C)의 체결을 위해서는, 각각의 중심축이 형성하는 각도와, 각각의 중심축 사이의 거리를 조절하는 정렬 과정이 요구된다.
엔드캡 분리부(143)는 밸브 커넥터(C)에 대해 정렬된 상태에서 밸브 커넥터(C)에 연결되어 엔드캡을 제거할 수 있다. 엔드캡 분리부(143)가 밸브 커넥터(C)에 연결되면, 밸브 커넥터(C)에 장착된 엔드캡은 엔드캡 분리부(143)에 삽입될 수 있다. 이 경우, 엔드캡 분리부(143)는 밸브 커넥터(C)에 대한 엔드캡의 나사결합을 해제하도록 회전작동하여, 엔드캡을 밸브 커넥터(C)로부터 제거할 수 있다.
엔드캡 분리부(143)는 밸브 커넥터(C)에 연결되기 위해, 밸브 커넥터(C)에 대한 위치가 정렬될 필요가 있다. 구체적으로, 엔드캡 분리부(143)는, 중심축이 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 일치된 상태에서 밸브 커넥터(C)에 체결될 수 있다.
엔드캡 분리부(143)의 중심축(A3)은 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)과 평행할 수 있다. 이 경우, 엔드캡 분리부(143)의 중심축(A3)이 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 형성하는 각도가 정렬되면, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대한 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)의 각도 정렬 과정을 생략할 수 있다.
한편, 엔드캡 분리부(143) 및 커넥터 체결부(142) 각각의 중심축은 전후 방향(D1)으로의 위치가 동일할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)의 위치는 이송 모듈(11)에 의해 정렬되기 때문에, 이송 모듈(11)을 통한 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1) 위치가 정렬되는 경우, 엔드캡 분리부(143) 및 커넥터 체결부(142)의 전후 방향(D1)으로의 위치는 밸브 커넥터(C)에 대해 자동으로 정렬될 수 있다.
체결 액추에이터(144)는 커넥터 체결부(142) 또는 엔드캡 분리부(143)가 작동하도록 구동력을 제공할 수 있다.
정렬 모듈(13)은 체결 모듈(14)에 연결되고, 체결 모듈(14)이 밸브 커넥터(C)에 대해 정렬되도록 체결 모듈(14)의 위치를 조절할 수 있다. 정렬 모듈(13)은 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1) 위치가 정렬된 상태를 기준으로, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대한 체결 모듈(14)의 각도를 정렬할 수 있다. 정렬 모듈(13)은 엔드캡 분리부(143) 또는 커넥터 체결부(142)가 밸브 커넥터(C)에 선택적으로 체결될 수 있도록 체결 모듈(14)의 위치를 조절할 수 있다.
예를 들어, 정렬 모듈(13)이 밸브 커넥터(C)에 대해 커넥터 체결부(142)를 체결하는 경우, 정렬 모듈(13)은 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 형성하는 각도 및, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대한 커넥터 체결부(142)의 거리를 조절하여 체결 모듈(14)을 밸브 커넥터(C)에 대해 정렬시킬 수 있다. 이 경우, 체결 모듈(14)이 밸브 커넥터(C)에 대해 정렬된 상태에서, 정렬 모듈(13)은 커넥터 체결부(142)가 밸브 커넥터(C)에 체결되도록 커넥터 체결부(142)를 밸브 커넥터(C) 중심축(A1) 방향을 따라 이동시키는 체결 동작을 수행할 수 있다.
정렬 모듈(13)은, 고정 플레이트(131), 틸팅부(132), 수평 이동부(133), 수직 이동부(134)를 포함할 수 있다.
고정 플레이트(131)는 가스 용기(G)의 상측에 위치하도록 후드 박스(B)(미도시)에 고정 설치될 수 있다. 고정 플레이트(131)는 전후 방향(D1)에 수직한 평면상에 배치될 수 있다. 이 경우, 고정 플레이트(131)는 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 평행할 수 있다.
틸팅부(132)는 지면에 평행한 회전축, 예를 들어, 전후 방향(D1)에 평행한 회전축을 중심으로 체결 모듈(14)을 회전시킬 수 있다. 이 경우, 틸팅부(132)의 작동에 따라 체결 모듈(14)은 가스 용기(G)의 좌우방향으로 틸팅 운동할 수 있다. 틸팅부(132)는 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대한 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 형성하는 각도를 조절할 수 있다. 정렬된 상태에서, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1) 및 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)은 서로 평행할 수 있다.
틸팅부(132)는 고정 플레이트(131)에 회전 가능하게 연결되는 회전부재(1321)와, 상기 회전부재(1321)를 회전시키는 회전 액추에이터(1322)를 포함할 수 있다. 회전부재(1321)의 회전축은 고정 플레이트(131)에 대해 수직할 수 있다.
수평 이동부(133)는 전후 방향(D1)에 수직한 제1방향(D2)을 따라 체결 모듈(14)을 이동시킬 수 있다. 체결 모듈(14)의 회전 각도가 정렬된 상태를 기준으로, 제1방향(D2)은 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 수직한 방향일 수 있다. 수평 이동부(133)는 회전부재(1321)에 고정 연결되는 베이스 플레이트(1331), 수평 가이드 레일(1332), 수평 가이드 부재(1333) 및 수평 액추에이터(1334)를 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(1331)는 고정 플레이트(131)에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 베이스 플레이트(1331)는 회전부재(1321)에 의해 회전축을 중심으로 회전할 수 있다.
수평 가이드 레일(1332)은 제1방향(D2)을 따라 베이스 플레이트(1331) 상에 배치되고, 수평 가이드 부재(1333)는 제1방향(D2)을 따라 이동하도록 수평 가이드 레일(1332)에 연결될 수 있다.
수평 액추에이터(1334)는 수평 가이드 부재(1333)를 이동시키기 위한 구동력을 제공할 수 있다.
수직 이동부(134)는 전후 방향(D1) 및 제1방향(D2)에 수직한 제2방향(D3)을 따라 체결 모듈(14)을 이동시킬 수 있다. 체결 모듈(14)의 회전각도가 정렬된 상태를 기준으로, 제2방향(D3)은 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 평행할 수 있다. 수직 이동부(134)는 수직 가이드 레일(1341), 수직 가이드 부재(1342) 및 수직 액추에이터(1343)를 포함할 수 있다.
수직 가이드 레일(1341)은 제1방향(D2)에 수직한 제2방향(D3)을 따라 수평 가이드 부재(1333)에 배치될 수 있고, 수직 가이드 부재(1342)는 제2방향(D3)을 따라 이동하도록 수직 가이드 레일(1341)에 연결될 수 있다. 이 경우, 수직 가이드 부재(1342)에는 체결 모듈(14)의 체결 프레임(141)이 배치될 수 있다.
수직 액추에이터(1343)는 수직 가이드 레일(1341)을 이동시키기 위한 구동력을 제공할 수 있다.
수평 이동부(133) 및 수직 이동부(134)는 전후 방향(D1)에 수직한 제1방향(D2) 및 제2방향(D3)으로 체결 모듈(14)의 위치를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 수평 이동부(133) 및 수직 이동부(134)에 의한 체결 모듈(14)의 이동 방향 벡터는 틸팅부(132)의 회전에 종속되어 변화할 수 있다. 그러나, 제1방향(D2) 및 제2방향(D3)은 서로 수직하기 때문에, 틸팅부(132)의 작동에 관계없이, 전후 방향(D1)에 수직한 평면상에서의 체결 모듈(14)의 위치는 제1방향(D2) 및 제2방향(D3)의 움직임에 따라 자유롭게 조절될 수 있다. 이송 모듈(11)에 의해 체결 모듈(14) 및 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1) 위치가 정렬된 경우, 전후 방향(D1)에 수직한 평면상에서의 체결 모듈(14)의 위치가 수평 이동부(133) 및 수직 이동부(134)에 의해 조절되기 때문에, 체결 모듈(14) 및 밸브 커넥터(C)의 3차원 위치가 정렬될 수 있다.
위치 검출부(15)는 밸브 커넥터(C)에 대한 체결 모듈(14)의 위치 정렬을 가이드할 수 있다. 예를 들어, 위치 검출부는 밸브 커넥터(C)에 대한 체결 모듈(14)의 상대적인 위치 정보를 감지함으로써, 체결 모듈(14)이 밸브 커넥터(C)에 대해 정렬되었는지 여부를 검출할 수 있다. 위치 검출부(15)는 밸브 커넥터(C)의 위치를 인식하는 센서를 포함할 수 있다. 센서는 예를 들어, 비전 센서일 수 있다. 다만, 센서의 종류가 이에 한정되는 것은 아니며, 위치 검출부(15)는 밸브 커넥터 및 체결 모듈(14)의 상대적인 위치를 검출가능한 다양한 종류의 센서를 포함할 수 있다.
위치 검출부(15)는 체결 모듈(14)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 위치 검출부(15)는 체결 프레임(141)의 일측에 고정 설치될 수 있다. 이 경우, 위치 검출부(15)의 센싱 영역은 체결 모듈(14)의 위치 변화에 대응하여 변화하기 때문에, 보다 효과적인 정렬 상태 센싱이 가능할 수 있다.
한편 위치 검출부(15)는 밸브 커넥터(C)에 대한 체결 모듈(14)의 위치 정렬을 물리적으로 가이드할 수도 있다. 예를 들어, 위치 검출부(15)는 가스 용기(G)에 연결되면서 밸브 커넥터(C) 및 체결 모듈(14)의 상대적인 위치 정렬을 가이드하는 얼라인부재(미도시)를 포함할 수 있다. 이 경우, 가스용기에는 얼라인부재와 체결 가능한 얼라인 블록이 장착될 수 있다. 얼라인부재 및 얼라인 블록은 체결 모듈 및 밸브 커넥터의 상대적인 위치가 정렬된 상태에서 서로 체결될 수 있다. 따라서, 얼라인부재는 얼라인 블록에 대해 체결되면서 밸브 커넥터에 대한 체결 모듈의 위치 정렬을 물리적으로 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 얼라인부재는 핀형태로 돌출된 가이드핀을 포함하고, 얼라인 블록은 상기 가이드핀이 삽입되는 가이드홀을 포함할 수 있다.
얼라인부재는 밸브 커넥터에 대한 체결 모듈이 정렬된 상태에서 얼라인블록에 고정 연결되어, 가스 용기에 대한 체결 모듈의 정렬 위치를 고정할 수 있다.
다시, 도 1을 참조하면, 가이드 롤러(17) 및 스키드 고정부재(16)는 스키드(10)의 전후 방향(D1)으로의 이동을 가이드할 수 있다.
가이드 롤러(17)는 스키드(10)의 양측에 접촉되게 배치되고, 스키드(10)가 이송 모듈(11)에 의해 전후 방향(D1)으로 이동하는 경우 스키드(10)의 양측을 지지한 상태로 스키드(10)의 이동을 가이드 할 수 있다.
스키드 고정부재(16)는 스키드(10)가 이송 모듈(11)에 연결된 상태에서, 스키드(10)의 양 외측을 가압할 수 있다. 스키드 고정부재(16)는 스키드(10)가 좌우방향으로 이동하는 것을 방지함으로써, 스키드(10)의 이동과정에서 스키드(10)의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있다.
제어부는 이송 모듈(11) 및 정렬 모듈(13)의 작동을 제어할 수 있다. 제어부는 위치 검출부(15)가 감지한 정보에 기초하여, 체결 모듈(14) 및 밸브 커넥터(C)의 상대적인 위치를 정렬할 수 있다.
제어부는 이송 모듈(11)의 작동을 통해 체결 모듈(14)에 대한 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치를 정렬하고, 정렬 모듈(13)의 작동을 통해 밸브 커넥터(C)에 대한 체결 모듈(14)의 각도 및 위치를 정렬할 수 있다.
예를 들어, 커넥터 체결부(142)를 밸브 커넥터(C)에 정렬하는 경우, 제어부는 밸브 커넥터(C) 및 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)의 전후 방향(D1) 위치가 동일하도록, 이송 모듈(11)을 제어할 수 있다. 이후, 제어부는 체결 모듈(14)을 회전시켜 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 평행하도록 정렬한 후, 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)과 일치하도록 정렬 모듈(13)의 작동을 제어할 수 있다.
이후, 제어부는 체결 모듈(14)의 커넥터 연결부가 가스 용기(G)의 밸브 커넥터(C)에 체결되도록 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)을 따라 체결 모듈(14)의 위치를 조절할 수 있다.
도 6 내지 도 10은 일 실시 예에 따른 가스 용기 체결 장치의 작동과정을 나타내는 작동도이다.
도 6 내지 도 10을 참조하여, 가스 용기 체결 장치(1)의 작동과정을 설명하도록 한다.
도 6과 같이, 이송 모듈(11)에 의해 가스 용기(G)의 밸브(V)가 후드 박스(B)(미도시)에 삽입되면, 위치 검출부(15)는 밸브 커넥터(C)의 위치를 검출할 수 있다. 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1)으로의 위치가 정렬되지 않은 경우, 제어부는 이송 모듈(11)의 작동을 통해 스키드(10)의 전후 방향(D1) 위치를 조절하여 밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1) 위치를 정렬할 수 있다.
밸브 커넥터(C)의 전후 방향(D1) 위치가 정렬된 상태에서, 정렬 모듈(13)은 체결 모듈(14)의 위치를 정렬할 수 있다. 도 7에 도시된 것과 같이, 위치 검출부(15)는 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대한 체결 모듈(14)의 각도를 검출할 수 있다. 체결 모듈(14) 및 밸브 커넥터(C)의 각도가 정렬되지 않은 것으로 검출되는 경우, 정렬 모듈(13)은 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 평행하도록 체결 모듈(14)을 회전시킬 수 있다. 이 경우, 체결 모듈(14)은 전후 방향(D1)에 평행한 축을 중심으로 회전할 수 있다.
밸브 커넥터(C) 중심축(A1) 및 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 평행하도록 정렬된 상태에서, 체결 모듈(14)은 도 8과 같이 체결 모듈(14)의 위치를 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 수직한 방향, 예를 들어, 제1방향(D2)으로 이동시킬 수 있다. 커넥터 체결부(142) 또는 엔드캡 분리부(143)의 체결 여부에 따라, 밸브 커넥터(C) 중심축(A1)에 대해 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2) 또는 엔드캡 분리부(143)의 중심축(A3)을 선택적으로 일치시킬 수 있다.
도 9는 밸브 커넥터(C)의 중심축(A1)에 대해 커넥터 체결부(142)의 중심축(A2)이 일치한 상태를 나타낸다. 도 9와 같이 밸브 커넥터(C) 및 커넥터 체결부(142)의 중심축(A1, A2)이 일치한 상태에서, 커넥터 체결부(142)는 밸브 커넥터(C)를 마주보게 된다.
이 경우, 정렬 모듈(13)은 도 10과 같이, 체결 모듈(14)을 밸브 커넥터(C)의 중심축(A1) 방향, 즉, 제2방향(D3)을 따라 이동시켜, 밸브 커넥터(C) 및 커넥터 체결부(142)를 연결시킬 수 있다. 도 9 및 도 10은 커넥터 체결부(142)가 밸브 커넥터(C)에 연결되는 과정을 도시하였으나, 엔드캡 분리부(143)를 밸브 커넥터(C)에 연결하는 경우, 정렬 모듈(13)은 엔드캡 분리부(143)의 중심축(A3)을 밸브 커넥터(C)의 중심축(A1)에 대해 일치시킨 상태에서 체결 모듈(14)을 밸브 커넥터(C)를 향해 제2방향(D3)으로 이동시킴으로써 엔드캡 분리부(143)를 밸브 커넥터(C)에 체결할 수 있다.
따라서, 커넥터 체결부(142) 또는 엔드캡 분리부(143)가 선택적으로 밸브 커넥터(C)에 연결될 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
G: 가스 용기
C: 밸브 커넥터
10: 스키드
11: 이송 모듈
13: 정렬 모듈
14: 체결 모듈
15: 위치 검출부

Claims (30)

  1. 가스용기의 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 커넥터 체결부를 포함하는 체결 모듈;
    상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 체결 모듈의 위치를 조절하여 상기 밸브 커넥터에 대해 정렬시키는 정렬 모듈; 및
    상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 위치 정렬을 가이드하기 위한 위치 검출부를 포함하고,
    상기 정렬 모듈은,
    지면에 평행한 회전축을 중심으로 상기 체결 모듈을 회전시키는 틸팅부;
    상기 회전축에 수직한 제1방향으로 상기 체결 모듈을 이동시키는 수평이동부; 및
    상기 회전축 및 제1방향에 수직한 제2방향으로 상기 체결 모듈을 이동시키는 수직이동부를 포함하고,
    상기 체결 모듈은,
    상기 정렬 모듈에 연결되는 체결 프레임;
    상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 가스 용기의 밸브 커넥터에 연결되어 엔드캡을 제거하기 위한 엔드캡 분리부; 및
    상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 엔드캡이 제거된 상기 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 커넥터 체결부를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 밸브 커넥터의 중심축에 대해 상기 커넥터 체결부의 중심축이 형성하는 각도 및, 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대한 상기 커넥터 체결부의 거리를 조절하여 상기 체결 모듈을 정렬시키는, 가스 용기 체결 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 체결 모듈이 상기 밸브 커넥터에 정렬된 상태에서,
    상기 정렬 모듈은, 상기 커넥터 체결부가 상기 밸브 커넥터에 체결되도록 상기 밸브 커넥터의 중심축 방향을 따라 상기 체결 모듈을 이동시키는, 가스 용기 체결 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 틸팅부는 상기 밸브 커넥터의 중심축 및 커넥터 체결부의 중심축이 서로 평행하도록 상기 체결 모듈의 회전각도를 정렬하는, 가스 용기 체결 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 체결 모듈의 회전각도가 정렬된 상태를 기준으로,
    상기 제1방향은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 수직하고, 상기 제2방향은 상기 밸브 커넥터의 중심축에 평행한, 가스 용기 체결 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 밸브 커넥터의 중심축에 평행한 평면상에 배치되는 고정 플레이트;
    상기 고정 플레이트에 대해 제1방향으로 이동 가능하게 연결되는 수평 이동부; 및
    상기 수평 이동부 및 상기 체결 모듈을 연결하고, 상기 수평 이동부에 대해 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 이동 가능하게 연결되는 수직 이동부를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 고정 플레이트 및 수평 이동부를 연결하고, 상기 제1방향 및 제2방향에 수직한 회전축을 중심으로 상기 수평 이동부를 회전시키는 틸팅부를 더 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 틸팅부, 수평 이동부 및 수직 이동부를 이동시키기 위한 하나 이상의 액추에이터를 더 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 체결 모듈은,
    상기 엔드캡 분리부 또는 커넥터 체결부를 작동시키기 위한 체결 액추에이터를 더 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 밸브 커넥터의 중심축에 대한 상기 체결 모듈의 각도가 정렬된 상태에서, 상기 엔드캡 분리부 또는 커넥터 체결부가 상기 밸브 커넥터에 선택적으로 체결되도록 상기 체결 모듈의 위치를 조절하는, 가스 용기 체결 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 위치 검출부는 상기 밸브 커넥터 및 상기 체결 모듈의 상대적인 위치 정보를 검출하는 센서를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 정렬 모듈의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 위치 검출부를 통해 검출된 정보에 기초하여, 상기 체결 모듈이 상기 밸브 커넥터에 대해 설정된 정렬 위치에 위치하도록 상기 정렬 모듈의 작동을 제어하는, 가스 용기 체결 장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 위치 검출부는 상기 가스용기에 연결되면서 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 위치 정렬을 가이드하고, 상기 밸브 커넥터에 대해 상기 체결 모듈이 정렬된 상태에서 상기 가스용기에 고정되는 얼라인부재를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.

  15. 가스 용기를 안착된 상태로 지지하는 스키드;
    상기 스키드를 지면에 평행한 전후 방향으로 이동시키고, 상기 가스 용기의 밸브 커넥터의 전후 방향으로의 위치를 정렬하는 이송 모듈;
    상기 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 체결 모듈;
    상기 체결 모듈에 연결되고, 상기 밸브 커넥터에 대한 상기 체결 모듈의 상대적인 위치를 정렬하는 정렬 모듈; 및
    상기 밸브 커넥터 및 상기 체결 모듈의 정렬 상태를 검출하기 위한 위치 검출부를 포함하고,
    상기 정렬 모듈은,
    상기 전후 방향에 평행한 축을 중심으로 상기 체결 모듈을 회전시키기 위한 틸팅부; 및
    상기 전후 방향에 수직한 제1방향을 따라 상기 체결 모듈을 이동시키기 위한 수평 이동부; 및
    상기 전후 방향 및 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 상기 체결 모듈을 이동시키기 위한 수직 이동부를 포함하고,
    상기 체결 모듈은,
    상기 정렬 모듈에 연결되는 체결 프레임;
    상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 가스 용기의 밸브 커넥터에 연결되어 엔드캡을 제거하기 위한 엔드캡 분리부; 및
    상기 가스 용기를 향하도록 상기 체결 프레임의 하측에 배치되고, 상기 엔드캡이 제거된 상기 밸브 커넥터에 체결되어 가스를 공급받기 위한 커넥터 체결부를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  16. 삭제
  17. 제15항에 있어서,
    상기 수평 이동부는,
    상기 제1방향을 따라 수평 가이드레일이 배치되는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트 및 상기 체결 모듈을 연결하고, 상기 수평 가이드레일에 이동 가능하게 연결되는 수평 가이드부재; 및
    상기 수평 가이드부재를 이동시키기 위한 수평 액추에이터를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 수직 이동부는,
    상기 제1방향에 수직한 상기 제2방향을 따라 상기 수평 가이드부재에 배치되는 수직 가이드레일;
    상기 수직 가이드레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 체결 모듈이 배치되는 수직 가이드부재; 및
    상기 수직 가이드부재를 이동시키기 위한 수직 액추에이터를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 정렬 모듈은 상기 베이스 플레이트에 대해 평행하게 배치되는 고정 플레이트를 더 포함하고,
    상기 틸팅부는,
    상기 고정 플레이트 및 상기 베이스 플레이트를 연결하고, 상기 고정 플레이트에 대해 상기 전후 방향에 평행한 축을 중심으로 회전하는 회동부재; 및
    상기 회동부재를 회전시키기 위한 회전 액추에이터를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  20. 삭제
  21. 제15항에 있어서,
    상기 엔드캡 분리부의 중심축 및 커넥터 체결부의 중심축은 상기 전후 방향의 위치가 동일한, 가스 용기 체결 장치.
  22. 제15항에 있어서,
    상기 위치 검출부는 상기 가스 용기의 밸브 커넥터의 위치를 인식하는 센서를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  23. 제15항에 있어서,
    상기 이송 모듈은,
    상기 전후 방향을 따라 지면에 배치되는 이송 가이드 레일;
    상기 이송 가이드 레일에 이동 가능하게 연결되고, 상기 스키드에 고정 가능하게 연결되는 이송 가이드 부재; 및
    상기 이송 가이드 부재를 이송시키기 위한 이송 액추에이터를 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  24. 제15항에 있어서,
    상기 스키드의 양측에 접촉되게 배치되고, 상기 스키드의 전후 방향으로의 이송을 가이드하는 가이드 롤러를 더 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  25. 제15항에 있어서,
    상기 스키드가 상기 전후 방향으로 이동하는 과정에서, 상기 스키드가 좌우방향으로 이동하지 않도록 상기 스키드의 외측을 가압하는 스키드 고정부재를 더 포함하는, 가스 용기 체결 장치.
  26. 제15항에 있어서,
    상기 이송 모듈 및 정렬 모듈의 작동을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 위치 검출부는 상기 가스 용기의 밸브 커넥터의 위치를 감지하고, 상기 제어부는 상기 위치 검출부가 감지한 정보에 기초하여 상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 대해 정렬되도록 제어하는, 가스 용기 체결 장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 밸브 커넥터 및 커넥터 체결부의 중심축의 전후방향 위치가 동일선상에 위치하도록 상기 이송 모듈을 작동을 제어하고,
    상기 커넥터 체결부의 중심축이 상기 밸브 커넥터의 중심축에 대해 평행하도록 위치시킨 후, 상기 커넥터 체결부의 중심축을 상기 밸브 커넥터의 중심축에 일치되도록 상기 정렬 모듈의 작동을 제어하는, 가스 용기 체결 장치.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 대해 정렬된 상태에서,
    상기 체결 모듈이 상기 가스 용기에 체결되도록 상기 밸브 커넥터의 중심축을 따라 상기 체결 모듈의 위치를 조절하는, 가스 용기 체결 장치.
  29. 삭제
  30. 삭제
KR1020200063234A 2020-05-26 2020-05-26 가스 용기 체결 장치 KR102440146B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200063234A KR102440146B1 (ko) 2020-05-26 2020-05-26 가스 용기 체결 장치
CN202010881794.2A CN113719749B (zh) 2020-05-26 2020-08-28 气体容器紧固连接装置
TW109132481A TWI821596B (zh) 2020-05-26 2020-09-18 氣體容器緊固連接裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200063234A KR102440146B1 (ko) 2020-05-26 2020-05-26 가스 용기 체결 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210146145A KR20210146145A (ko) 2021-12-03
KR102440146B1 true KR102440146B1 (ko) 2022-09-05

Family

ID=78672265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200063234A KR102440146B1 (ko) 2020-05-26 2020-05-26 가스 용기 체결 장치

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102440146B1 (ko)
CN (1) CN113719749B (ko)
TW (1) TWI821596B (ko)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3388422B2 (ja) 1997-08-19 2003-03-24 本田技研工業株式会社 台車段積装置
US20040194853A1 (en) 2003-04-02 2004-10-07 Frederick Cuffari Two part docking and filling station for pressurized containers
KR101980045B1 (ko) * 2018-07-03 2019-05-17 주식회사 유니락 가스 실린더 자동 결합 시스템 및 방법
KR102035697B1 (ko) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법
KR102049326B1 (ko) 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 커넥터 체결장치
KR102112762B1 (ko) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 자동화 가스공급장치
KR102248100B1 (ko) * 2019-11-25 2021-05-04 주식회사 씨케이피 수평식 가스실린더의 가스자동공급시스템

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0799238B2 (ja) * 1992-06-29 1995-10-25 明光産業株式会社 Lpガス充填装置
NO337059B1 (no) * 2009-05-25 2016-01-11 Aker Pusnes As Koblingsinnretning
CN107237977B (zh) * 2017-07-27 2019-08-06 济宁协力特种气体有限公司 气瓶自动充装装置及其充装方法
CN110370008B (zh) * 2019-08-15 2024-03-15 东莞市承威机电科技有限公司 一种水泵芯部自动装配设备

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3388422B2 (ja) 1997-08-19 2003-03-24 本田技研工業株式会社 台車段積装置
US20040194853A1 (en) 2003-04-02 2004-10-07 Frederick Cuffari Two part docking and filling station for pressurized containers
KR102035697B1 (ko) * 2017-08-02 2019-10-23 에이엠티 주식회사 가스통 밸브 자동 개폐장치 및 그 방법
KR101980045B1 (ko) * 2018-07-03 2019-05-17 주식회사 유니락 가스 실린더 자동 결합 시스템 및 방법
KR102049326B1 (ko) 2018-07-20 2019-11-27 주식회사 케이씨 커넥터 체결장치
KR102112762B1 (ko) * 2019-02-01 2020-05-19 주식회사 케이씨 자동화 가스공급장치
KR102248100B1 (ko) * 2019-11-25 2021-05-04 주식회사 씨케이피 수평식 가스실린더의 가스자동공급시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210146145A (ko) 2021-12-03
TW202144701A (zh) 2021-12-01
TWI821596B (zh) 2023-11-11
CN113719749B (zh) 2023-05-12
CN113719749A (zh) 2021-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5343583B2 (ja) バッテリ搭載装置
US8348588B2 (en) Article transport facility
US8382417B2 (en) Article transport facility
WO2012108114A1 (ja) ロール体搬送装置
CN112455276B (zh) Agv的电池更换方法及电池更换装置
JP2000137523A (ja) 可動性対象物の少なくとも部分的な範囲を目的地に位置合わせし連結するための装置
EP2402113B1 (en) Turnover apparatus
KR102022804B1 (ko) 웨이퍼 이송용 로봇 감지장치
KR102440146B1 (ko) 가스 용기 체결 장치
CN114962998A (zh) 传送机器人、气体供应柜和包括其的气体供应系统
CN112455274B (zh) Agv的电池拆装机构及电池拆卸方法
US10976673B2 (en) Levellable mask repository device
KR20210151481A (ko) 가스실린더의 가스자동공급시스템 및 제어방법
US6883770B1 (en) Load port mounting mechanism
KR102326021B1 (ko) 도어 이송 장치
KR102513311B1 (ko) 복수의 모듈을 독립적으로 이송할 수 있는 가스공급장치
KR102345571B1 (ko) 가스실린더의 가스자동공급장치용 엔드캡 분리/체결모듈
CN108907694A (zh) 螺母安装设备
KR102581564B1 (ko) 가스 캐비넷 장치
JP2022119283A (ja) 無人作業車
JP3738366B2 (ja) 自動給油装置
JP5762347B2 (ja) ロール体搬送装置
KR102345572B1 (ko) 커넥터플러그모듈을 적용한 가스실린더의 가스자동공급장치
KR102439359B1 (ko) 자동화 가스 공급장치 및 가스통 밸브의 엔드캡 제거 방법
KR102228698B1 (ko) 가스 공급 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant