CN113601738A - 一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 - Google Patents
一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113601738A CN113601738A CN202110807440.8A CN202110807440A CN113601738A CN 113601738 A CN113601738 A CN 113601738A CN 202110807440 A CN202110807440 A CN 202110807440A CN 113601738 A CN113601738 A CN 113601738A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon
- single crystal
- rectangular
- rod
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 210
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 201
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 201
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 75
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 78
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 53
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 7
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 5
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 239000010431 corundum Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110807440.8A CN113601738B (zh) | 2021-07-16 | 2021-07-16 | 一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110807440.8A CN113601738B (zh) | 2021-07-16 | 2021-07-16 | 一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113601738A true CN113601738A (zh) | 2021-11-05 |
CN113601738B CN113601738B (zh) | 2022-12-23 |
Family
ID=78337745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110807440.8A Active CN113601738B (zh) | 2021-07-16 | 2021-07-16 | 一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113601738B (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114227957A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-25 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅棒切割方法 |
CN114474429A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种划片机的基于图像的切割补偿方法 |
CN114603729A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-10 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 多晶硅块可视化辨性同区配刀及划域多线切割的方法 |
CN114619578A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-14 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 硅棒的加工方法、硅片、电池及电池组件 |
CN116277561A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-06-23 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 硅棒的开方方法 |
Citations (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0433956A1 (de) * | 1989-12-22 | 1991-06-26 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH | Drahtsäge zum Abtrennen von Scheiben von stab- oder blockförmigen Werkstücken und ihre Verwendung |
JP2005108964A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Matsumiya Handotai Kenkyusho:Kk | 太陽電池用基板の製造方法及びその太陽電池用基板 |
CN103341919A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-10-09 | 山东大海新能源发展有限公司 | 提高多晶硅棒切片率预处理工艺 |
TW201503249A (zh) * | 2013-07-05 | 2015-01-16 | Motech Ind Inc | 晶圓棒的裁切方法、晶磚及晶圓片 |
US20150191846A1 (en) * | 2012-08-17 | 2015-07-09 | Gtat Corporation | System and method of growing silicon ingots from seeds in a crucible and manufacture of seeds used therein |
CN105382947A (zh) * | 2015-10-19 | 2016-03-09 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种硅片的二次切割方法 |
CN107457924A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-12-12 | 宁晋松宫电子材料有限公司 | 一种多晶硅切片方法 |
CN108068221A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-05-25 | 宇泰(江西)新能源有限公司 | 一种用柱状晶体硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 |
CN108183127A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 英利能源(中国)有限公司 | 太阳能单晶硅片、加工方法及其应用 |
CN207770205U (zh) * | 2017-11-24 | 2018-08-28 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种灌胶装置 |
CN109129947A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-04 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒开方设备、硅棒开方方法及边皮卸载装置 |
CN110039669A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-07-23 | 晶科能源有限公司 | 一种硅锭开方和切片方法 |
CN110085703A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-08-02 | 西安交通大学 | 一种正六边形太阳能电池片的切片方法及拼接方法 |
CN110466082A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-19 | 扬州续笙新能源科技有限公司 | 一种适用于金刚线线网调整的切割装置及切割方法 |
CN209831329U (zh) * | 2019-04-26 | 2019-12-24 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种硅锭胶粘装置 |
CN110789011A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-14 | 北京昌日新能源科技有限公司 | 一种新型光伏用直角单晶硅片及其制造方法 |
CN110978303A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种提高单晶硅棒利用率的切割方法 |
CN111037766A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-21 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种用于光伏电池的低成本单晶硅片的制作方法 |
CN111203991A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-29 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种晶硅立式开方机及其使用方法 |
CN111361027A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-03 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅棒切割工艺 |
CN111421686A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种使用新型硅片拼成166硅片尺寸的切割方法 |
CN111745844A (zh) * | 2019-03-26 | 2020-10-09 | 赛维Ldk太阳能高科技(新余)有限公司 | 边皮籽晶及其制备方法和应用 |
CN111993615A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-11-27 | 常州时创能源股份有限公司 | 单晶小硅块的拼接切割方法 |
CN112297256A (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-02 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种大尺寸单晶圆棒切割装置和切割方法 |
CN112643910A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-13 | 天合光能股份有限公司 | 一种大尺寸硅片的切割方法 |
CN112776195A (zh) * | 2019-11-01 | 2021-05-11 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 硅片加工方法、刻槽主辊和切片设备 |
CN112809949A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-18 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种适用于单晶小硅块的拼棒方法及应用 |
CN112829094A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种利用硅棒头尾料制备单晶硅片的方法及应用 |
-
2021
- 2021-07-16 CN CN202110807440.8A patent/CN113601738B/zh active Active
Patent Citations (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0433956A1 (de) * | 1989-12-22 | 1991-06-26 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH | Drahtsäge zum Abtrennen von Scheiben von stab- oder blockförmigen Werkstücken und ihre Verwendung |
JP2005108964A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Matsumiya Handotai Kenkyusho:Kk | 太陽電池用基板の製造方法及びその太陽電池用基板 |
US20150191846A1 (en) * | 2012-08-17 | 2015-07-09 | Gtat Corporation | System and method of growing silicon ingots from seeds in a crucible and manufacture of seeds used therein |
TW201503249A (zh) * | 2013-07-05 | 2015-01-16 | Motech Ind Inc | 晶圓棒的裁切方法、晶磚及晶圓片 |
CN103341919A (zh) * | 2013-07-29 | 2013-10-09 | 山东大海新能源发展有限公司 | 提高多晶硅棒切片率预处理工艺 |
CN105382947A (zh) * | 2015-10-19 | 2016-03-09 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 一种硅片的二次切割方法 |
CN107457924A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-12-12 | 宁晋松宫电子材料有限公司 | 一种多晶硅切片方法 |
CN108068221A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-05-25 | 宇泰(江西)新能源有限公司 | 一种用柱状晶体硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 |
CN207770205U (zh) * | 2017-11-24 | 2018-08-28 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种灌胶装置 |
CN108183127A (zh) * | 2017-12-27 | 2018-06-19 | 英利能源(中国)有限公司 | 太阳能单晶硅片、加工方法及其应用 |
CN109129947A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-04 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒开方设备、硅棒开方方法及边皮卸载装置 |
CN111745844A (zh) * | 2019-03-26 | 2020-10-09 | 赛维Ldk太阳能高科技(新余)有限公司 | 边皮籽晶及其制备方法和应用 |
CN110085703A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-08-02 | 西安交通大学 | 一种正六边形太阳能电池片的切片方法及拼接方法 |
CN110039669A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-07-23 | 晶科能源有限公司 | 一种硅锭开方和切片方法 |
CN209831329U (zh) * | 2019-04-26 | 2019-12-24 | 山东大海新能源发展有限公司 | 一种硅锭胶粘装置 |
CN110466082A (zh) * | 2019-07-26 | 2019-11-19 | 扬州续笙新能源科技有限公司 | 一种适用于金刚线线网调整的切割装置及切割方法 |
CN112297256A (zh) * | 2019-07-30 | 2021-02-02 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种大尺寸单晶圆棒切割装置和切割方法 |
CN112776195A (zh) * | 2019-11-01 | 2021-05-11 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 硅片加工方法、刻槽主辊和切片设备 |
CN110789011A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-14 | 北京昌日新能源科技有限公司 | 一种新型光伏用直角单晶硅片及其制造方法 |
CN111037766A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-04-21 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种用于光伏电池的低成本单晶硅片的制作方法 |
CN110978303A (zh) * | 2019-12-20 | 2020-04-10 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种提高单晶硅棒利用率的切割方法 |
CN111203991A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-29 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种晶硅立式开方机及其使用方法 |
CN111361027A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-03 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅棒切割工艺 |
CN111421686A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-17 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种使用新型硅片拼成166硅片尺寸的切割方法 |
CN111993615A (zh) * | 2020-09-10 | 2020-11-27 | 常州时创能源股份有限公司 | 单晶小硅块的拼接切割方法 |
CN112643910A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-13 | 天合光能股份有限公司 | 一种大尺寸硅片的切割方法 |
CN112829094A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种利用硅棒头尾料制备单晶硅片的方法及应用 |
CN112809949A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-05-18 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种适用于单晶小硅块的拼棒方法及应用 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114227957A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-25 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅棒切割方法 |
CN114227957B (zh) * | 2021-12-20 | 2024-03-26 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅棒切割方法 |
CN114474429A (zh) * | 2022-02-17 | 2022-05-13 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种划片机的基于图像的切割补偿方法 |
CN114474429B (zh) * | 2022-02-17 | 2023-11-10 | 沈阳和研科技股份有限公司 | 一种划片机的基于图像的切割补偿方法 |
CN114603729A (zh) * | 2022-03-07 | 2022-06-10 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 多晶硅块可视化辨性同区配刀及划域多线切割的方法 |
CN114603729B (zh) * | 2022-03-07 | 2024-03-12 | 宜昌南玻硅材料有限公司 | 多晶硅块可视化辨性同区配刀及划域多线切割的方法 |
CN114619578A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-14 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 硅棒的加工方法、硅片、电池及电池组件 |
CN116277561A (zh) * | 2023-05-18 | 2023-06-23 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 硅棒的开方方法 |
CN116277561B (zh) * | 2023-05-18 | 2023-07-21 | 苏州晨晖智能设备有限公司 | 硅棒的开方方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113601738B (zh) | 2022-12-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN113601738B (zh) | 一种用原生单晶硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 | |
CN108068221B (zh) | 一种用柱状晶体硅棒加工矩形光伏电池硅片的加工方法 | |
CN110466083B (zh) | 硅棒边皮料的利用方法 | |
RU2558561C2 (ru) | Алмазная проволочная пила | |
CN103817811B (zh) | 一种硅棒的多线切割方法 | |
CN110039672B (zh) | 一种六边形单晶硅棒的加工工艺 | |
CN103302753B (zh) | 玻璃晶圆切割方法 | |
CN112643910A (zh) | 一种大尺寸硅片的切割方法 | |
CN111037766A (zh) | 一种用于光伏电池的低成本单晶硅片的制作方法 | |
CN110328766B (zh) | 一种磷化铟晶片加工方法 | |
CN111185625A (zh) | 一种板栅分片装置及分片方法 | |
KR20110019437A (ko) | 잉곳 슬라이싱용 프렛바, 그 프렛바를 첩착한 잉곳, 및 그 프렛바를 사용한 잉곳의 절단 방법 | |
CN114603729B (zh) | 多晶硅块可视化辨性同区配刀及划域多线切割的方法 | |
CN201552681U (zh) | 用于8英寸单晶切割的定位板 | |
US20120272943A1 (en) | Diamond wire saw device | |
CN107263749A (zh) | 一种新型的夹紧工装 | |
CN217831657U (zh) | 一种基于数控技术的高速多环连续切割装置 | |
CN103358414A (zh) | 一种单晶棒线开方固定装置及单晶棒线开方方法 | |
CN114750315A (zh) | 双线平行切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 | |
CN114589822A (zh) | 四线垂直切割硅棒的方法、切割设备及切割系统 | |
CN202480271U (zh) | 一种单晶棒线开方固定装置 | |
CN114770759A (zh) | 陶瓷绝缘子芯棒全自动切割装置及其使用方法 | |
CN207874599U (zh) | 一种分段式多晶硅开方机的切割室 | |
CN114714156A (zh) | 硅片的加工方法、控制系统、硅片、太阳能电池及其组件 | |
CN209303789U (zh) | 一种塑料板扩槽铣刀 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 675002 east of the South Gate of chufengyuan, sunshine Avenue, Lucheng Town, Chuxiong Yi Autonomous Prefecture, Yunnan Province Patentee after: Yunnan Yuze Semiconductor Co.,Ltd. Address before: 675002 east of the South Gate of chufengyuan, sunshine Avenue, Lucheng Town, Chuxiong Yi Autonomous Prefecture, Yunnan Province Patentee before: Yuze semiconductor (Yunnan) Co.,Ltd. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 69 Waizhou Road, Yihai Community, Lucheng Town, Chuxiong City, Chuxiong Yi Autonomous Prefecture, Yunnan Province, 675000 Patentee after: Yunnan Yuze New Energy Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 675002 east of the South Gate of chufengyuan, sunshine Avenue, Lucheng Town, Chuxiong Yi Autonomous Prefecture, Yunnan Province Patentee before: Yunnan Yuze Semiconductor Co.,Ltd. Country or region before: China |