CN113437236B - 显示面板及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示面板及其制备方法。该显示面板包括：衬底基板；位于所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列；覆盖所述薄膜晶体管阵列的有机材料层；制作于所述有机材料层上的第一电极；所述第一电极采用氧化铟锡材料制成，且所述第一电极包括层叠的第一电极子层和第二电极子层。本发明所述显示面板，所制成的第一电极包括层叠的第一电极子层和第二电极子层，第一电极子层和第二电极子层依次制作于有机材料层上，利用靠近有机材料层的第一电极子层起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力，保证应力释放不会影响第二电极子层，以避免出现裂纹，影响显示效果。

Description

显示面板及其制备方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其是指一种显示面板及其制备方法。
背景技术
在有机电激光显示(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示产品中，树脂Resin有机材料上方为氧化铟锡ITO膜层，在后续发光层EL高温工艺过程中，Resin会进一步发生放气Outgas，导致Resin有机材料膜层应力发生变化，从而拉扯ITO膜层形变，从而进一步导致ITO出现裂纹的问题；而产生裂纹的ITO区域会形成高亮，导致产品不良。
发明内容
本发明技术方案的目的是提供一种显示面板及其制备方法，用于解决OLED显示面板制造过程中，ITO膜层容易出现裂纹的问题。
本发明提供一种显示面板，其中，包括：
衬底基板；
位于所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列；
覆盖所述薄膜晶体管阵列的有机材料层；
制作于所述有机材料层上的第一电极；
其中，所述第一电极采用氧化铟锡材料制成，且所述第一电极包括层叠的第一电极子层和第二电极子层。
可选地，所述的显示面板，其中，所述第一电极子层和所述第二电极子层的厚度相等，且分别形成为面状层。
可选地，所述的显示面板，其中，所述第一电极子层上形成有中空区域，所述第二电极子层包括填充在所述中空区域内的第一部分，以及位于所述第一电极子层上方的第二部分。
可选地，所述的显示面板，其中，所述中空区域呈长条型，且所述第一电极子层上设置有多个相互平行的所述中空区域。
可选地，所述的显示面板，其中，所述显示面板还包括位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧的发光层和第二电极，其中所述第一电极为阳极，所述第二电极为阴极。
可选地，所述的显示面板，其中，所述有机材料层为制作于薄膜晶体管阵列上的平坦层。
本发明其中一实施例还提供一种如上任一项所述显示面板的制备方法，其中，所述方法包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；
在所述薄膜晶体管阵列上制作所述有机材料层；
在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层；
在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，所述第一电极子层和所述第二电极子层相组合形成为第一电极层；
通过构图工艺，在所述第一电极层上制成多个相分离的所述第一电极。
可选地，所述的制备方法，其中，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积氧化铟锡材料，制成氧化铟锡材料层；
在所制成的氧化铟锡材料层上采用构图工艺制作预设图形的中空区域，形成第一电极子层；
其中，在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在形成有预设图形的中空区域的第一电极子层上沉积与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
可选地，所述的制备方法，其中，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积第一厚度的氧化铟锡材料，制成所述第一电极子层；
在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在所述第一电极子层上沉积第二厚度的与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：
本发明实施例所述显示面板，所制成的第一电极，包括层叠的第一电极子层和第二电极子层，第一电极子层和第二电极子层依次制作于有机材料层上，利用靠近有机材料层的第一电极子层起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力，保证应力释放不会影响第二电极子层，以避免出现裂纹，影响显示效果。
附图说明
图1为本发明实施例所述显示面板的剖面结构示意图；
图2为本发明实施例所述显示面板，其中一实施方式中，第一电极的剖面结构示意图；
图3为本发明实施例所述显示面板，其中一实施方式中，第一电极子层的平面结构示意图；
图4为图3所示实施方式中，第一电极的剖面结构示意图；
图5为本发明实施例所述显示面板的制备方法的流程示意图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
为解决OLED显示面板制造过程中，ITO膜层容易出现裂纹的问题，本发明实施例提供一种显示面板，所制成的ITO膜层，也即第一电极，包括层叠的第一电极子层和第二电极子层，第一电极子层和第二电极子层依次制作于有机材料层上，利用靠近有机材料层的第一电极子层起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力，保证应力释放不会影响第二电极子层，以避免出现裂纹，影响显示效果。
如图1所示，为本发明实施例所述显示面板的其中一实施方式的剖面结构示意图。本发明实施例中，可选地，所述显示面板为OLED显示面板。
参阅图1所示，本发明实施例所述显示面板包括衬底基板1，以及制作于衬底基板1上的多个像素重复单元100，每一像素重复单元100包括依次制作于衬底基板1上的薄膜晶体管110和OLED发光器件120，薄膜晶体管110用于驱动OLED发光器件120发射光线。多个薄膜晶体管110形成为薄膜晶体管阵列，在薄膜晶体管阵列上覆盖有有机材料层。
可选地，OLED发光器件120包括朝远离衬底基板1的方向依次设置的第一电极121、发光层122和第二电极123。可选地，第一电极121为阳极，第二电极123为阴极。
进一步地，显示面板还包括制作于薄膜晶体管110上的有机材料层，可选地，该有机材料层形成为平坦层200，其中OLED发光器件120的第一电极121制作于平坦层200上。
本发明实施例中，为防止第一电极121制作后，后续采用高温蒸镀制作发光层122时，平坦层200内应力发生变化，拉扯第一电极121产生形变造成裂纹的问题，本发明实施例中，如图1所示，第一电极121包括层叠的第一电极子层1211和第二电极子层1212。
其中一实施方式，如图2所示，第一电极子层1211和第二电极子层1212的厚度相等，且分别形成为面状层。
采用该实施方式，在第一电极121制作时，可以分两次沉积ITO材料，分别制成第一电极子层1211和第二电极子层1212，制成整体的第一电极121，也即制成为OLED发光器件120的阳极。
可选地，第一电极子层1211和第二电极子层1212的厚度可以分别等于常规阳极的厚度，例如，第一电极子层1211和第二电极子层1212的厚度可以分别为700A。采用该实施方式，由第一电极子层1211和第二电极子层1212所制成的第一电极121(也即阳极)的总厚度为1400A，使得所制成的阳极总厚度提高，一方面利用厚度增加，提高阳极的硬度，避免平坦层200内应力发生变化，拉扯阳极产生形变造成裂纹的问题；另一方面，由于所制成的阳极包括层叠的第一电极子层1211和第二电极子层1212，利用靠近平坦层200的第一电极子层1211还起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力的效果，保证应力释放不会影响第二电极子层1212，以避免出现裂纹。
经实验证明，采用第一电极子层1211和第二电极子层1212制成阳极的OLED显示面板，不会出现ITO开裂现象，能够有效改善ITO开裂产生的不良。
另一实施方式，如图3和图4所示，第一电极子层1211上形成有预设图形的中空区域12111，第二电极子层1212包括填充在中空区域12111内的第一部分，以及位于第一电极子层1211上方的第二部分。
通过将第一电极子层1211进行图案化处理，之后再进行ITO沉积，在第一电极子层1211上制成第二电极子层1212，使第二电极子层1212形成为镶嵌及交叠设置在第一电极子层1211上的结构。采用该实施方式，相较于图2所示实施方式，能够降低所制成第一电极121(也即阳极)的总厚度，使第一电极121上方的发光层122的厚度可调制作空间增加，在此基础上，由于第一电极子层1211和第二电极子层1212之间的接触面积增加，能够通过增加所制成阳极的连接性及硬度保证所制成阳极的抗开裂程度，又通过靠近平坦层200的第一电极子层1211起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力的效果，保证应力释放不会影响第二电极子层1212，避免出现裂纹。
本发明实施例中，可选地，中空区域12111呈长条型，且第一电极子层1211上设置有多个相互平行的中空区域12111。
需要说明的是，该实施方式中，第一电极子层1211上所设置中空区域12111的形状并不限于此，且本发明实施例中并不对中空区域12111的形状进行限定，任一形状均应该属于本发明实施例所述显示面板的保护范围之内。
在图3和图4所示实施方式中，可选地，制成阳极的具体过程可以为：
在制成的平坦层上沉积氧化铟锡材料，制成氧化铟锡材料层；
在所制成的氧化铟锡材料层上采用构图工艺制作预设图形的中空区域12111，形成第一电极子层1211；
在形成有预设图形的中空区域12111的第一电极子层1211上沉积与第一电极子层1211的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层1212。
本发明实施例所述显示面板，可选地，制成第一电极子层1211和第二电极子层1212的材料为透明的氧化铟锡材料，使所制成的第一电极121为透明电极。
可选地，衬底基板1形成为透明衬底，使发光层122所发出光线通过第一电极121和衬底基板1透出。
可选地，第二电极123也即为阴极，采用透光的阴极材料制备，如制成材料包括镁Mg和Ag材料的至少一种。采用该实施方式，发光层122所发出光线也可以通朝背离衬底基板1的方向，通过第二电极123透出，OLED发光器件120形成为双向发射型发光器件。
需要说明的是，本发明实施例中，多个OLED发光器件120的第二电极123为同层同材料设置。
可选地，本发明实施例所述显示面板，薄膜晶体管110从靠近衬底基板1到远离衬底基板1的方向，包括依次设置的有源层111、栅极112、源/漏极113，其中源/漏极113与第一电极121连接。
另外，显示面板还包括制作于衬底基板1上的缓冲层2以及制作于缓冲层2上的栅绝缘层3，其中有源层111制作于缓冲层2上，栅极112制作于栅绝缘层3上。
可选地，显示面板还包括制作于栅绝缘层3上的层间绝缘层4，其中源/漏极113制作于层间绝缘层4上，且源/漏极113通过穿透层间绝缘层4的过孔与有源层111连接。
本发明实施例中，平坦化层200制作于层间绝缘层4上，而第一电极121制作于平坦化层200上，且第一电极121穿透平坦化层200的过孔与源/漏极113连接，以能够使薄膜晶体管110驱动OLED发光器件120发射光线。
可选地，平坦化层200上制作有像素限定层300，其中发光层122制作于像素限定层300上，且发光层122穿透像素限定层300的过孔与第一电极121连接。在该设置结构的基础上，第二电极123制作于发光层122上。
本发明实施例所述显示面板，相现于现有技术，所制成的阳极，包括层叠的第一电极子层和第二电极子层，第一电极子层和第二电极子层依次制作于有机材料层上，利用靠近有机材料层的第一电极子层起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力，保证应力释放不会影响第二电极子层，以避免出现裂纹，影响显示效果。
本发明实施例另一方面还提供一种如上实施结构所述显示面板的制备方法，如图5所示，所述方法包括：
S510，提供衬底基板；
S520，在所述衬底基板上制作薄膜晶体管；
S530，在所述薄膜晶体管上制作所述有机材料层；
S540，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层；
S550，在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，所述第一电极子层和所述第二电极子层相组合形成为第一电极层；
S560，通过构图工艺，在所述第一电极层上制成多个相分离的所述第一电极。
其中，结合图1所示，有机材料层形成为薄膜晶体管110上的平坦层200，其中薄膜晶体管110的具体结构可以参阅图1所示，本领域技术人员应该能够了解薄膜晶体管110的具体制作过程，在此不再详细说明。
本发明实施例中，所述的制备方法，其中，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积氧化铟锡材料，制成氧化铟锡材料层；
在所制成的氧化铟锡材料层上采用构图工艺制作预设图形的中空区域，形成第一电极子层；
其中，在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在形成有预设图形的中空区域的第一电极子层上沉积与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
本发明实施例所述制备方法，通过上述的制备过程，可以制作如图4所示实施结构的第一电极，第一电极子层上形成有预设图形的中空区域，第二电极子层制作在第一电极子层上，填充中空区域且覆盖该第一电极子层。
本发明实施例所述制备方法中，另一实施方式，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积第一厚度的氧化铟锡材料，制成所述第一电极子层；
在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在所述第一电极子层上沉积第二厚度的与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
该实施方式中，可选地，第一厚度等于第二厚度。采用该实施方式，可以制作如图2所示实施结构的第一电极，第一电极子层和第二电极子层分别形成为面状层。
需要说明的是，本发明实施例所述制备方法，在步骤S560之后，还包括通过蒸镀工艺制成发光层的步骤，以及通过蒸镀工艺制成第二电极的步骤，在此不再详细说明。
采用该实施例所述制备方法，所制成的显示面板，相现于现有技术，显示面板的阳极，包括层叠的第一电极子层和第二电极子层，第一电极子层和第二电极子层依次制作于有机材料层上，利用靠近有机材料层的第一电极子层起到缓冲有机材料层在高温过程中的应力，保证应力释放不会影响第二电极子层，以避免出现裂纹，影响显示效果。
以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述原理前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：
衬底基板；
位于所述衬底基板上的薄膜晶体管阵列；
覆盖所述薄膜晶体管阵列的有机材料层；
制作于所述有机材料层上的第一电极；
其中，所述第一电极采用氧化铟锡材料制成，且所述第一电极包括层叠的第一电极子层和第二电极子层；
所述第一电极子层和所述第二电极子层的厚度相等，且分别形成为面状层；
所述有机材料层为制作于薄膜晶体管阵列上的平坦层。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一电极子层上形成有中空区域，所述第二电极子层包括填充在所述中空区域内的第一部分，以及位于所述第一电极子层上方的第二部分。
3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述中空区域呈长条型，且所述第一电极子层上设置有多个相互平行的所述中空区域。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括位于所述第一电极远离所述衬底基板的一侧的发光层和第二电极，其中所述第一电极为阳极，所述第二电极为阴极。
5.一种如权利要求1至4任一项所述显示面板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；
在所述薄膜晶体管阵列上制作所述有机材料层；
在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层；
在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，所述第一电极子层和所述第二电极子层相组合形成为第一电极层；
通过构图工艺，在所述第一电极层上制成多个相分离的所述第一电极。
6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积氧化铟锡材料，制成氧化铟锡材料层；
在所制成的氧化铟锡材料层上采用构图工艺制作预设图形的中空区域，形成第一电极子层；
其中，在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在形成有预设图形的中空区域的第一电极子层上沉积与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，在所述有机材料层上采用氧化铟锡材料制作所述第一电极子层，包括：
在所述有机材料层上沉积第一厚度的氧化铟锡材料，制成所述第一电极子层；
在所述第一电极子层上采用与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料制作第二电极子层，包括：
在所述第一电极子层上沉积第二厚度的与所述第一电极子层的氧化铟锡材料相同的材料，制成所述第二电极子层。
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