CN113410419A - 显示面板的制作方法以及干燥设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种显示面板的制作方法以及干燥设备。本申请提供的显示面板的制作方法通过在像素电极层上形成干燥阶段电场，在干燥阶段电场作用下干燥发光功能层溶液。以像素电极层上的干燥阶段电场固定发光功能层溶液中的带电基团，由此抑制溶剂挥发时溶剂带动带电基团运动，从而得到膜厚均匀的发光功能层，避免咖啡环现象的产生，可得到高品质的薄膜。并且，利用干燥阶段电场固定带电基团，则在溶剂挥发的过程中不需要严格的抽气控制，进行干燥处理，极大的简化了真空干燥工艺，提升了加工效率。

Description

显示面板的制作方法以及干燥设备

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板的制作方法以及干燥设备。

背景技术

喷墨打印技术制备的有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode, OLED）显示器，已经在中尺寸OLED领域实现了小规模商品化。在对现有技术的研究和实践过程中，本申请的发明人发现，喷墨打印时，需要将溶剂挥发掉。这就需要用到真空干燥和加热等方法去除溶剂。为了得到品质良好的薄膜，则需要复杂的程序式的抽气工艺，且需要选择特殊的溶剂来抑制溶剂挥发时的咖啡环效应。

发明内容

本申请实施例提供一种显示面板的制作方法以及干燥设备，可以实现电场辅助发光功能层干燥，避免发光功能层中出现咖啡环。

本申请实施例提供一种显示面板的制作方法，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上设置像素电极层；

在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，以形成待干燥基板；

转移所述待干燥基板至腔室内；

在所述像素电极层上形成干燥阶段电场；

干燥所述待干燥基板；

在所述干燥阶段电场下，对所述腔室抽气，以排出所述发光功能层溶液中的溶剂，形成发光功能层。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述腔室内设置有导电部件，所述导电部件包括第一导电部和第二导电部，所述像素电极层包括分隔设置的第一电极部和第二电极部；

所述在所述像素电极层上形成干燥阶段电场，包括以下步骤：

连接所述第一导电部与所述第一电极部，连接所述第二导电部与所述第二电极部；

施加第一电压于第一导电部，并施加第二电压于第二导电部，所述第一电极部与所述第二电极部之间形成电压差，以使所述第一电极部和所述第二电极部之间形成所述干燥阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述电压差为1伏特至500伏特。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述干燥阶段电场的电场强度为0.01伏特/微米至100伏特/微米。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述像素电极层包括多个像素电极，所述在所述像素电极层上打印发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述像素电极层之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极层打印发光功能层溶液。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述像素电极层包括多个像素电极，所述像素电极包括m行×n列子像素电极，两个相邻的所述子像素电极之间具有间隙；其中，m和n为大于或等于1的正整数，且m和n的值不同时等于1；

所在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述子像素电极之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极打印发光功能层溶液。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述提供一衬底之后，还包括以下步骤：

在所述衬底上设置多个薄膜晶体管器件，所述薄膜晶体管器件电性连接所述像素电极层；

其中，每个所述薄膜晶体管器件对应控制一行所述子像素电极的电压，或，每个所述薄膜晶体管器件对应控制一列所述子像素电极的电压，或，每个所述薄膜晶体管器件对应控制一个所述子像素电极的电压，所述薄膜晶体管器件控制所述子像素电极之间形成电压差，以在所述子像素电极之间形成打印阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述在所述像素电极层上打印发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述衬底上设置电场电极层，所述电场电极层与所述像素电极层绝缘设置；

在所述像素电极层与所述电场电极层之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极层打印发光功能层溶液。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述在所述像素电极层与所述电极层之间形成打印阶段电场，包括以下步骤：

施加第一电压于所述像素电极层，施加第二电压于所述电极层，所述像素电极层与所述电极层之间形成电压差，以在所述像素电极层与所述电极层之间形成打印阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述像素电极层包括多个像素电极，所述在所述衬底上设置多个像素电极层之后，还包括以下步骤：

在所述像素电极层远离所述衬底的一侧设置像素定义层；所述像素定义层上设置有多个开口，所述开口与所述像素电极一一对应。

相应的，本申请实施例还提供一种干燥设备，用于待干燥基板的干燥处理，所述待干燥基板包括衬底、像素电极层以及发光功能层溶液；所述像素电极层设置在所述衬底上，所述发光功能层溶液设置在像素电极层上，所述干燥设备包括：

腔室；

抽气部件，所述抽气部件设置在所述腔室上，所述抽气部件用于对所述腔室抽气；

导电部件，所述导电部件设置在所述腔室内，所述导电部件用于电性连接所述像素电极层，以在所述像素电极层上形成干燥阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述导电部件至少包括第一导电部和第二导电部，所述像素电极层包括分隔设置的第一电极部和第二电极部，所述第一导电部连接所述第一电极部，所述第二导电部连接所述第二电极部，以在所述像素电极层上形成干燥阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述导电部件上设置有电连接件，所述导电部件与所述电连接件活动连接，所述导电部件通过所电连接件接触所述像素电极层。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述干燥设备还包括干燥部件，所述干燥部件用于对所述待干燥基板加热。可选的，在本申请的一些实施例中，所述干燥部件包括加热部件。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述加热部件为加热板，所述加热板设置在所述腔室的底部，所述加热板设置在所述导电部件的下方。

本申请提供的显示面板的制作方法通过在像素电极层上形成干燥阶段电场，在干燥阶段电场作用下干燥发光功能层溶液。以像素电极层上的干燥阶段电场固定发光功能层溶液中的带电基团，由此抑制溶剂挥发时溶剂带动带电基团运动，从而得到膜厚均匀的发光功能层，避免咖啡环现象的产生，可得到高品质的薄膜。并且，利用干燥阶段电场固定带电基团，则在溶剂挥发的过程中不需要严格的抽气控制，进行干燥处理，极大的简化了真空干燥工艺，提升了加工效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的显示面板的制作方法的一种流程示意图；

图2是本申请实施例提供的显示面板的制作方法中形成的像素电路的一种示意图；

图3是本申请实施例提供的显示面板的制作方法中像素电极层之间产生电场的示意图；

图4是实施例提供的显示面板的制作方法中像素电极层与电极层之间产生电场的示意图；

图5是本申请实施例提供的显示面板的制作方法中干燥时形成电场的示意图；

图6是本申请实施例提供的干燥设备的一种结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。此外，应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本申请，并不用于限制本申请。在本申请中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上”和“下”通常是指装置实际使用或工作状态下的上和下，具体为附图中的图面方向；而“内”和“外”则是针对装置的轮廓而言的。

本申请实施例提供一种显示面板的制作方法及干燥设备。以下分别进行详细说明。需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。

请参阅图1，图1是本申请实施例提供的显示面板的制作方法的一种流程示意图。本申请提供的显示面板的制作方法，具体包括如下步骤：

步骤11、提供一衬底。

其中，衬底指的是用于承载该触控电极结构的基体构件。例如，衬底可以为玻璃、有机玻璃、功能玻璃（sensor glass）、硬质绝缘膜材、软质绝缘膜材或柔性衬底。

其中，功能玻璃是在超薄玻璃上溅射透明金属氧化物导电薄膜镀层，并经过高温退火处理得到的。柔性衬底采用的材料为聚合物材料。具体地，柔性衬底采用的材料可以为聚酰亚胺（PI）、聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚苯乙烯（PS）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）或聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）。聚合物材料的柔韧性好、质量轻、耐冲击，适用于柔性显示面板。其中，聚酰亚胺还能够实现良好的耐热性和稳定性。

可选的，提供一衬底之后，还包括在衬底上设置多个薄膜晶体管器件，薄膜晶体管器件电性连接像素电极层。薄膜晶体管器件可用于控制像素电极层的电压。

步骤12、在衬底上设置像素电极层。

具体来说，可以采用沉积工艺在衬底上设置像素电极层，像素电极层可以采用透明金属氧化物或金属与透明金属氧化物的叠层进行设置。像素电极层还可以采用石墨烯材料、金属材料以及过渡金属硫属化合物等材料。

具体的，过渡金属硫化物包括硫化钼（MoS2）、硒化钼（MoSe2）、硫化钨（WS2）或硒化钨（WSe2）。

透明金属氧化物层采用的材料包括铟镓锌氧化物、铟锌锡氧化物、铟镓锌锡氧化物、铟锡氧化物、铟锌氧化物、铟铝锌氧化物、铟镓锡氧化物或锑锡氧化物中的任一种。以上材料具有很好的导电性和透明性，并且厚度较小，不会影响显示面板的整体厚度。同时，还可以减少对人体有害的电子辐射及紫外、红外光。

金属层采用的材料为银、铝、镍、铬、钼、铜、钨或钛中的任一种。金属的导电性好，成本较低，在保证阳极的导电性的同时可以降低生产成本。

在一种实施例中，像素电极层沉积为铟锡氧化物/银/铟锡氧化物的叠层。

可以理解的是，像素电极层可以为发光器件的阳极或阴极。在本申请中，以像素电极层为阳极作为示例进行说明。

可选的，像素电极层包括多个像素电极，在衬底上设置多个像素电极层之后，还包括如下步骤：

在像素电极层远离衬底的一侧设置像素定义层。

可选的，在本申请的一些实施例中，像素定义层靠近衬底的一侧具有亲液性，像素定义层远离衬底的一侧具有疏液性。

亲液性是指材料表面易被液体介质润湿或溶化。疏液性（也可称为憎液性）与亲液性相反，疏液性是指材料表面不易被液体介质润湿或溶化。材料表面的亲液和憎液性质主要由其表面结构或官能团的性质所决定。本申请中可以通过调节制程工艺参数对像素定义层的亲疏液性进行改变和调整。例如，调整显影工艺和固化工艺的参数。对像素定义层的亲疏液性进行改变和调整。这样设置的像素定义层可以适配不同打印工艺、墨水的种类以及膜层的厚度，使像素定义层更容易适应不同显示面板的要求。

具体地，像素定义层的厚度会影响材料的亲疏液性，例如，当疏液材料很薄的情况下，则不具有疏液性。另外，对材料进行氧气（O2）或氮气（N2）等离子体处理可以使疏液性变为亲液性，对材料进行氟气（F）等离子体处理可以使亲液性变为疏液性。

像素定义层上设置有多个开口，开口与像素电极一一对应。

在像素定义层上设置开口可以采用刻蚀的方法。具体来说，可以采用湿法刻蚀或干法刻蚀。进一步的，可采用化学刻蚀、电解刻蚀、离子束溅射刻蚀、等离子体刻蚀或反应粒子刻蚀等方法。具体的设置方法为本领域常用技术手段，在此不再赘述。

步骤13、在像素电极层上形成发光功能层溶液，以形成待干燥基板。

需要说明的是，发光功能层可以包括向远离衬底方向层叠设置的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层及电子注入层。空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层及其叠构是本领域技术人员所熟知的技术特征，在此不再赘述。在一些实施例中，发光功能层还可以包括空穴阻挡层和电子阻挡层。因此，本申请中的发光功能层溶液可以是以上任一膜层的打印溶液。

具体的，向像素电极层打印空穴注入层溶液、空穴传输层溶液、发光功能层溶液、电子传输层溶液或电子注入层溶液。打印发光功能层的方法可以精确控制成膜区域，能够节约材料，降低成本，提高产品良率。

可选的，像素电极层包括多个像素电极，在像素电极层上形成发光功能层溶液，包括如下步骤：

步骤131、在像素电极之间形成打印阶段电场。

具体的，对像素电极层通电，使像素电极层之间形成电压差，在像素电极层之间形成打印阶段电场。

在显示面板中，通常是先制作像素电路，再制作发光器件。下面以图2所示的像素电路为例进行说明。像素电路中包括驱动晶体管T1、开关晶体管T2以及存储电容器C。驱动晶体管T1的输入端连接电源电压VDD。驱动晶体管T1的输出端连接像素电极层，也就是图2中发光器件OLED的阳极。驱动晶体管T1的控制端连接第一节点Q。开关晶体管T2的输入端连接数据信号Data。开关晶体管T2的输出端连接第一节点Q。开关晶体管的控制端连接扫描信号Scan。存储电容器C的第一端连接第一节点Q，存储电容器C的第二端接地。

本申请通过向不同的像素电极输入不同的数据信号Data，可以使像素电极处于不同的电位。从而使得像素电极之间形成电压差，进而在像素电极之间形成打印阶段电场。

步骤132、在打印阶段电场作用下，向像素电极打印发光功能层溶液。

具体的，请参阅图3，图3是本申请实施例提供的像素电极之间产生打印阶段电场的示意图。本实施例中，发光功能层3是在打印阶段电场作用下进行打印的。像素电极层2中，像素电极之间形成的打印阶段电场具有一个水平分量和一个垂直分量。打印阶段电场的垂直分量向发光功能层3溶液中的带电基团3a提供了往像素电极层2沉积的作用力，可以在打印时，促进发光功能层3溶液中的带电基团3a向像素电极层2沉积。

需要说明的是，以上空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层及电子注入层均可在电场下进行打印。在打印过程中，通过调节像素电极层与像素电极层之间的电压差即可适应不同膜层的打印需求。

可选的，像素电极层2上可以设置像素定义层4和开口4a，更好的防止发光功能层3溶液溢流。或者，将像素电极层2划分为两个电极，再在像素电极层2上设置像素定义层4用于容纳发光功能层3。当然，也可以在打印阶段电场作用下打印发光功能层3溶液时不设置像素定义层4和开口4a。由于打印发光功能层3溶液时，打印阶段电场是形成在像素电极层2之间。即，形成打印阶段电场的正负两极在像素电极层2上，则打印阶段电场的作用可以使发光功能层3溶液准确沉积到图案化像素电极层2上。因此，可省去像素定义层4的制作，简化工艺。需要说明的是，当发光功能层3溶液中的带电基团带正电时，需要沉积发光功能层3的像素电极层2应为负极，反之亦然。

可选的，像素电极层包括多个像素电极，像素电极包括m行×n列子像素电极，两个相邻的子像素电极之间具有间隙。其中，m和n为大于或等于1的正整数，且m和n的值不同时等于1。

需要说明的是，对像素电极进行适当的分割，分割区域面积在整个子像素面积中的占比是可控的。因此，将一像素电极分为m行×n列子像素电极，对发光效果不会产生影响。例如，以m等于2、n等于2为示例，将像素电极分为2×2四个子像素电极。

具体来说，可以采用刻蚀的方式对像素电极进行分割。在工艺允许的情况下，也可以采用激光切割等方法。可选的，将像素电极层分割后，通过光刻胶或钝化层材料填充，也可以利用上层的沉积薄膜在整面沉积时填充。

其中，子像素电极与子像素电极之间的间隙距离为1μm至10μm。具体的，子像素电极与子像素电极之间的间隙距离为1μm、2μm、3μm、5μm、7μm、8μm、9μm或10μm。将子像素电极的间隙距离设置为1μm至10μm可兼顾制程工艺的精度要求以及发光效果。

可选的，在像素电极层上形成发光功能层溶液包括在子像素电极与子像素电极之间形成打印阶段电场。

其中，每个薄膜晶体管器件对应控制一行子像素电极的电压。或，每个薄膜晶体管器件对应控制一列子像素电极的电压。或，每个薄膜晶体管器件对应控制一个子像素电极的电压。以使子像素电极与子像素电极之间形成电压差。

每个薄膜晶体管器件控制一行子像素电极的电压或对应控制一列子像素电极的电压，可以在子像素中形成高低电位。行列之间的高低电位使子像素电极与子像素电极之间形成电压差，进一步形成了电场。子像素电极之间的电场强度较大，能够提供足够的电场作用力辅助发光功能层3的打印制程。并且，这种方式需要的薄膜晶体管器件较少，能够降低制程难度和精度。

其中，每个薄膜晶体管器件对应控制一行子像素电极的电压，或，每个薄膜晶体管器件对应控制一列子像素电极的电压，或，每个薄膜晶体管器件对应控制一个子像素电极的电压。

每个薄膜晶体管器件控制一行子像素电极的电压或对应控制一列子像素电极的电压，已经可以在子像素中形成高低电位。行列之间的高低电位使子像素电极与子像素电极之间形成电压差，进一步形成了打印阶段电场。子像素电极之间的电场强度较大，能够提供足够的电场作用力辅助发光功能层的打印制程。并且，这种方式需要的薄膜晶体管器件较少，能够降低制程难度和精度。

这种方式可以在子像素中形成高低电位。行列之间的高低电位使子像素电极与子像素电极之间形成电压差，进一步形成了电场。子像素电极之间的电场强度较大，能够提供足够的电场作用力辅助发光功能层的打印制程。并且，这种方式需要的薄膜晶体管器件较少，能够降低制程难度和精度。

每个薄膜晶体管器件对应控制一个子像素电极的电压，以使子像素电极与子像素电极之间形成电压差。这种设置方式能够精细调控子像素内的电位差以及打印阶段电场。

可选的，向像素电极层打印发光功能层溶液包括如下步骤：

步骤13A、在衬底上设置电场电极层，电场电极层与像素电极层绝缘设置。

其中，绝缘设置是指像素电极层与电场电极层之间具有间隔。在一些实施例中，像素电极层与电场电极层之间设置有钝化层、层间绝缘层或缓冲层等无机膜层进行绝缘。具体的设置方式可以根据具体的显示面板进行适应性改动，在此不再赘述。

需要说明的是，本申请所述像素电极层和电场电极层设置在衬底上，是指像素电极层和电场电极层设置在衬底的同一侧。并不是限定像素电极层和电场电极层紧挨衬底表面设置。

步骤13B、在像素电极层与电场电极层之间形成打印阶段电场。

请参阅图4，图4是实施例提供的像素电极层与电场电极层之间产生打印阶段电场的示意图。打印阶段电场以图中虚线示意。对像素电极层2与电场电极层5通电，使像素电极层2与电场电极层5之间形成电压差，进而在像素电极层2与电场电极层5之间形成打印阶段电场。具体的，施加第一电压于像素电极层2，施加第二电压于电场电极层5。像素电极层2与电场电极层5之间形成电压差，以在像素电极层2与电场电极层5之间形成打印阶段电场。

具体的，电场电极层5可以为信号走线层或辅助电极层。信号走线层可以为数据信号走线层，用于向像素电路输入数据信号。信号走线层还可以为像素电路中的任何其他走线，只要能够与像素电极层形成电压差即可。辅助电极层可用于连接面阴极，以减小面阴极的电压降现象。

步骤13C、在打印阶段电场作用下，向像素电极层打印发光功能层溶液。

打印发光功能层溶液的方法在此不再赘述。

步骤14、转移待干燥基板至腔室内。

在打印发光功能层溶液之后，对发光功能层溶液进行平坦化处理。并将待干燥基板转移至腔室内。

步骤15、在像素电极层上形成干燥阶段电场。

具体的，请参阅图5，图5是本申请实施例提供的干燥时形成干燥阶段电场的示意图。像素电极层2设置在衬底1上。在待干燥基板的像素电极层2两端通电，使像素电极层2两端形成电压差，进而在像素电极层2上形成水平电场。干燥阶段电场以图中虚线示意。像素电极层2上形成的干燥阶段电场具有一个水平分量和一个垂直分量。电场的垂直分量向发光功能层3溶液中的带电基团提供了往像素电极层2沉积的作用力。

可选的，腔室内设置有导电部件。在像素电极层上形成干燥阶段电场，包括连接导电部件与像素电极层。向导电部件通电，以在像素电极层上形成干燥阶段电场。

可选的，导电部件包括第一导电部和第二导电部，像素电极层包括分隔设置的第一电极部和第二电极部。在像素电极层上形成干燥阶段电场，具体包括以下步骤：

步骤151、连接所述第一导电部与所述第一电极部。连接所述第二导电部与所述第二电极部。

步骤152、施加第一电压于第一导电部，并施加第二电压于第二导电部。第一电极部与第二电极部之间形成电压差，以在像素电极层上形成干燥阶段电场。

可选的，在本申请的一些实施例中，电压差为1伏特至500伏特（V）。进一步的，电压差为5V至200V。电压差可以为1V、5V、10V、15V、20V、25V、50V、100V、150V、200V、300V、400V、450V或500V。相应的，本申请的一些实施例中，干燥阶段电场的电场强度为0.01伏特/微米至100伏特/微米（V/μm）。具体的，干燥阶段电场的电场强度可以为0.01V/μm、0.05V/μm、0.1V/μm、0.5V/μm、1V/μm、5V/μm、10V/μm、15V/μm、20V/μm、25V/μm、50V/μm、55V/μm、60V/μm、75V/μm、80V/μm、85V/μm、90V/μm、95V/μm或100V/μm。当然，干燥阶段的电场强度不限于上述列举数值。同样，打印阶段电场的电压差和电场强度也可采用以上数值范围，在此不再赘述。

过大的电压差可能导致静电炸伤。而电压差过小的话可能会导致产生的干燥阶段电场较弱，无法提供足够的电场作用力，无法使发光功能层溶液中的带电粒子固定在像素电极层上，影响溶剂分离后发光功能层的膜层均匀性。因此，合适的电场强度介于0.01伏特/微米至100伏特/微米（V/μm）。

需要说明的是，上述实施例说明了以像素电极层为电极，在像素电极层上产生干燥阶段电场的方法。在一些实施例中，还可以采用外加电场的方法在像素电极层上产生电场。例如，在像素电极层的左右两侧外加电极形成水平电场。或者，在像素电极层的上下两侧外加电极形成垂直电场。本申请对干燥阶段电场的产生方式不做限制。

步骤16、干燥待干燥基板。

具体的，干燥待干燥基板的方法包括在腔室内形成负压环境。或者，对待干燥基板加热。

液体化合物的沸点与压力密切相关。当压力降低时，液体沸腾温度就会降低，即沸点下降。因此，在负压环境在能够使发光功能层溶液中溶剂的沸点降低。当打印的发光层溶液沸点较高时，溶剂挥发较慢。因此需要利用真空干燥方法去除大部分溶剂。因此，利用真空干燥的方法能够更好的去处发光功能层溶液中的溶剂。

对待干燥基板加热可以使溶剂蒸发。又或者，在降低腔室内压强的同时，对待干燥基板加热。对于沸点较高的溶剂，仅进行抽气处理无法使溶剂彻底挥发并抽走。因此，可以在抽气的同时对待干燥基板进行加热。这种方法是采用减压蒸馏的原理分离溶剂，尤其适用于溶质热稳定性差的发光功能层溶液。具体的，在抽气同时加热腔体，能够在较低的温度下即可将溶剂蒸发，对溶质的影响小。在本申请中，发光功能层中的材料不适于长时间处于高温下。因此，采用这种减压蒸馏的方法在低温下分离溶剂，还能够避免发光功能层材料受损。

步骤17、在干燥阶段电场下，对腔室抽气，以排出发光功能层溶液中的溶剂，形成发光功能层。

本申请中，在干燥阶段电场下对腔室抽气。如上所述，干燥阶段电场的垂直分量向发光功能层溶液中的带电基团提供了往像素电极层沉积的作用力。因此，在真空干燥时，能够利用干燥阶段电场固定发光功能层中的带电基团，从而抑制溶剂挥发时溶剂运动带动带电基团运动，进而得到膜厚均匀的发光功能层薄膜，避免出现咖啡环。

本申请提供的显示面板的制作方法通过在像素电极层上形成干燥阶段电场，在干燥阶段电场作用下干燥发光功能层溶液。以像素电极层上的干燥阶段电场固定发光功能层溶液中的带电基团，由此抑制溶剂挥发时溶剂带动带电基团运动，从而得到膜厚均匀的发光功能层，避免咖啡环现象的产生，进而得到高品质的薄膜。并且，利用干燥阶段电场固定带电基团，则在溶剂挥发的过程中不需要严格的抽气控制，进行干燥处理，极大的简化了真空干燥工艺，提升了加工效率。

另外，本申请提供的显示面板的制作方法还可以在打印发光功能层时施加打印阶段电场，能够在打印阶段电场的作用下，辅助发光功能层的沉积，使发光功能层沉积更均匀，避免咖啡环现象。

请参阅图6，图6是本申请实施例提供的干燥设备的一种结构示意图。本申请提供一种干燥设备100，用于待干燥基板的干燥处理。干燥设备100可用于打印发光功能层3后的干燥处理，则待干燥基板包括衬底1、像素电极层2以及发光功能层3溶液。像素电极层2设置在衬底上。发光功能层3溶液设置在像素电极层2上。需要说明的是，干燥设备100还可用于其他打印的膜层干燥。

干燥设备100包括腔室101、抽气部件102以及导电部件103。抽气部件102设置在腔室101上。抽气部件102用于对腔室101抽气。导电部件103设置在腔室101内。导电部件103用于电性连接像素电极层2，以在像素电极层2上形成干燥阶段电场。

本申请提供的干燥设备100用于各种纳米膜层的干燥。具体的，包括溶质为无机纳米颗粒、贵金属纳米粒子、胶体纳米片以及胶体纳米棒纳米膜层中的一种或多种组合。进一步的，纳米颗粒可以为硫酸钡（BaSO4）、碳酸钙（CaCO3）、铯化锌（ZnSe）、硫化镉（CdS）、二氧化钛（TiO2）、钛酸钡（BaTiO3）、硫化锌（ZnS）、氧化锆（ZrO2）、氮化硅（Si3N4）、氧化锡（SnO）以及氧化锌（ZnO）中的一种或多种组合。

本申请中发光功能层3溶液中的溶质可以为量子点材料。具体的，量子点材料的发光核材料为ZnCdSe2、InP、Cd2SSe、CdSe、Cd2SeTe以及InAs中一种或多种组合。量子点材料的无机保护壳层材料为CdS、ZnSe、ZnCdS2、ZnS、ZnO中一种或多种的组合。量子点材料还可以包括水凝胶装载量子点结构、CdSe-SiO2量子点以及钙钛矿量子点。量子点材料的表面配体包括胺、酸、巯醇以及有机磷中一种或多种的组合。发光功能层3溶液中的溶剂可以为无色透明低沸点的有机或无机溶剂。例如，溶剂可以为去离子水、甲醇、乙醇、乙二醇、丙二醇、乙酸乙酯、石油醚或正己烷中的一种或多种的组合。

需要说明的是，本申请中的腔室101为封闭腔体，仅在底部设置开口，并在顶部设置抽气部件102。设置腔室101可在干燥过程对像素电极层2以及发光功能层3溶液进行保护，防尘防灰，避免杂质粒子进入。可以理解的是，本申请中的腔室101也可设置为不封闭的腔体，本申请对此不做限制。可选的，腔室101为透明腔室，方便在干燥过程中监控溶剂的挥发情况。

可选的，抽气部件102设置在腔室101的顶部。或者，抽气部件102还可以设置在腔室101的侧壁或底部。本申请中的抽气部件102是用于抽走发光功能层3溶液中蒸发的溶剂。在加热的条件下蒸发溶剂时，蒸发的溶剂受热会向上排出。因此，将抽气部件102设置在腔室101的顶部能够更好的抽空蒸发的溶剂。抽气部件102设置于腔室101的侧壁或底部，能够更靠近溶剂蒸发的位置进行抽气，则能够降低对抽气部件102的功率和抽气强度要求。

可选的，请同时参阅图5和图6。导电部件103至少包括第一导电部103a和第二导电部103b。像素电极层2包括分隔设置的第一电极部21和第二电极部22。第一导电部103a和第二导电部103b分别连接在像素电极层的两端，以在像素电极层上形成电场。可以理解的是，第一导电部103a和第二导电部103b可以均设置有多个。并且，第一导电部103a和第二导电部103b的数量可以相同或不相同。如图6中所示，第一导电部103a和第二导电部103b的数量相同，且第一导电部103a和第二导电部103b对称设置。

本申请提供的像素电极层2可以进行特殊图案化设计。即，像素电极层2在未设置发光功能层3的两端区域设计为对称结构。第一导电部103a和第二导电部103b分别连接于像素电极层2两端的对称结构上，形成水平对电极，进而在像素电极层2上形成均匀的水平电场。像素电极层2还可以设置为两个互相绝缘的叉指形电极，然后在叉指形电极上设置像素定义层4使像素电极层2图案化。另外，像素电极层2也可以为整面图案化电极。本申请对像素电极层2的图案化不做限制。

本申请中的导电部件103可以连通腔室101内部和外部。通过外部的控制装置（图中未示出）控制对导电部件103施加的电压大小。其中，分别对第一导电部103a和第二导电部103b施加高电平和低电平，使像素电极层2的两端产生电压差。或者，导电部件103设置在腔室101内部，连接导电部件103的导线连通腔室的内外部。

导电部件103可以为导电柱。导电柱设置在腔室101的底部，并连通腔室101外的电路。外接电路可控制导电柱传输给像素电极层2的电压。采用柱体做导电部件103可以使导电部件103更稳固，且传输电流更均匀。当然，导电部件103还可以为其他的形状，对此不做限制。

可选的，导电部件103上设置有电连接件104。导电部件103是固定于腔室上的，不同尺寸大小的待干燥基板难以适应导电部件103的位置，因此，导电部件103与电连接件104活动连接，并通过电连接件104接触像素电极层2。电连接件104的设置能够使像素电极层2上电场更可控。一方面，可以在干燥过程中，调节多个第一导电部103a与第二导电部103b与像素电极层2的电连接，以便于调节电场方向以及电场强度。另一方面，在抽完一个待干燥基板中发光功能层3溶液的溶剂之后，可通过控制装置断开电连接件104与像素电极层2的连接，并控制干燥后的基板移出腔室101。然后再转移下一待干燥基板进入腔室101，并通过控制装置控制电连接件104与像素电极层2电连接。

具体的，电连接件104可以为探针。首先控制探针抬起，转移待干燥基板进入腔室101后，落下探针，使导电部件103通过探针与像素电极层2电性连接。当发光功能层3溶液中的溶剂干燥完成，再次抬起探针，然后将基板转移出腔室101，如此往复。由于导电部件103是固定的，无法适应各种像素电极层2的尺寸，通过设置探针可以连接不同大小、不同形状的像素电极层2，有利于干燥设备100的应用。

具体的，探针可以在导电部件103上伸缩，以适应导电部件103与像素电极层2的不同间距。

可选的，干燥设备100还包括干燥部件105。干燥部件105用于对腔室101干燥。可选的，干燥部件105可以为风力干燥部件或加热部件，当然，干燥部件105不仅限于上述示例。例如，对于沸点较高的溶剂，仅进行抽气处理无法使其彻底挥发并抽走。因此，可以在抽气的同时对腔室101进行加热。这种方法是采用减压蒸馏的原理分离溶剂，尤其适用于溶质热稳定性差的发光功能层3溶液。在抽气同时加热腔室101，在较低的温度下即可将溶剂蒸发，对溶质的影响小。在本申请中，发光功能层3中的材料不适于长时间处于高温下。因此，采用这种减压蒸馏的方法在低温下分离溶剂，还能够避免发光功能层材料受损。

具体的，加热部件为加热板，加热板设置在腔室101的底部。选用加热板设置在腔室101底部对腔室101加热，加热板的位置靠近发光功能层3溶液，能够更好的进行热传导。另外，加热板能够对发光功能层3溶液均匀的加热，使像素电极层2上各处的发光功能层3溶液同时挥发。加热板可设置在腔室101外，或直接制作为腔室101的底板。加热板的温度可调，能够适应不同沸点的溶剂。可以理解的是，加热部件还可以为水浴加热部件、油浴加热部件或加热丝等，加热部件可以设置于腔室101底部、侧壁或环绕腔室101设置，本申请对此不作限制。

具体的，加热板可以设置在腔室101底部的外侧，或者加热板直接作为腔室101的底部，与其他侧壁和顶盖共同形成腔室101。当加热板直接作为腔室101底部时，加热板与导电部件103间隔设置。例如，将导电部件103设置在腔室101侧壁。又或者，在腔室101中设置一隔热板，隔热板设置在加热板上方。然后将导电部件103设置在隔热板上，导电部件103通过电连接件与像素电极层2连接。

本申请提供的干燥设备100包括腔室101、抽气部件102以及导电部件103。通过导电部件103连接像素电极层2，在像素电极层2上形成电场。对腔室101抽气，以干燥发光功能层3溶液时，像素电极层2上的电场固定发光功能层3溶液中的带电基团。由此抑制溶剂挥发时溶剂带动带电基团运动，从而得到膜厚均匀的发光功能层3，避免咖啡环现象的产生。并且，利用电场固定带电基团，则在溶剂挥发的过程中不需要严格的抽气控制。采用干燥设备100进行干燥处理，极大的简化了真空干燥工艺，提升了加工效率。

以上对本申请实施例所提供的一种显示面板的制作方法及干燥设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (16)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上设置像素电极层；

在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，以形成待干燥基板；

转移所述待干燥基板至腔室内；

在所述像素电极层上形成干燥阶段电场；

干燥所述待干燥基板；

在所述干燥阶段电场下，对所述腔室抽气，以排出所述发光功能层溶液中的溶剂，形成发光功能层。

2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述腔室内设置有导电部件，所述导电部件包括第一导电部和第二导电部，所述像素电极层包括分隔设置的第一电极部和第二电极部；

所述在所述像素电极层上形成干燥阶段电场，包括以下步骤：

连接所述第一导电部与所述第一电极部，连接所述第二导电部与所述第二电极部；

施加第一电压于第一导电部，并施加第二电压于第二导电部，所述第一电极部与所述第二电极部之间形成电压差，以使所述第一电极部和所述第二电极部之间形成所述干燥阶段电场。

3.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述电压差为1伏特至500伏特。

4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述干燥阶段电场的电场强度为0.01伏特/微米至100伏特/微米。

5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述像素电极层包括多个像素电极，所述在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述像素电极之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极打印发光功能层溶液。

6.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述像素电极层包括多个像素电极，所述像素电极包括m行×n列子像素电极，两个相邻的所述子像素电极之间具有间隙；其中，m和n为大于或等于1的正整数，且m和n的值不同时等于1；

所述在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述子像素电极之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极打印发光功能层溶液。

7.根据权利要求6所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述提供一衬底之后，还包括以下步骤：

在所述衬底上设置多个薄膜晶体管，所述薄膜晶体管电性连接所述子像素电极；

其中，每个所述薄膜晶体管对应控制一行所述子像素电极的电压，或，每个所述薄膜晶体管对应控制一列所述子像素电极的电压，或，每个所述薄膜晶体管对应控制一个所述子像素电极的电压，所述薄膜晶体管控制所述子像素电极之间形成电压差，以在所述子像素电极之间形成打印阶段电场。

8.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述像素电极层上形成发光功能层溶液，包括以下步骤：

在所述衬底上设置电场电极层，所述电场电极层与所述像素电极层绝缘设置；

在所述像素电极层与所述电场电极层之间形成打印阶段电场；

在所述打印阶段电场作用下，向所述像素电极层打印发光功能层溶液。

9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述像素电极层与所述电场电极层之间形成打印阶段电场，包括以下步骤：

施加第一电压于所述像素电极层，施加第二电压于所述电场电极层，所述像素电极层与所述电场电极层之间形成电压差，以在所述像素电极层与所述电场电极层之间形成打印阶段电场。

10.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述像素电极层包括多个像素电极，所述在所述衬底上设置像素电极层之后，还包括以下步骤：

在所述像素电极层远离所述衬底的一侧设置像素定义层；所述像素定义层上设置有多个开口，所述开口与所述像素电极一一对应。

11.一种干燥设备，用于待干燥基板的干燥处理，所述待干燥基板包括衬底、像素电极层以及发光功能层溶液；所述像素电极层设置在所述衬底上，所述发光功能层溶液设置在像素电极层上，其特征在于，所述干燥设备包括：

腔室；

抽气部件，所述抽气部件设置在所述腔室上，所述抽气部件用于对所述腔室抽气；

导电部件，所述导电部件设置在所述腔室内，所述导电部件用于电性连接所述像素电极层，以在所述像素电极层上形成干燥阶段电场。

12.根据权利要求11所述的干燥设备，其特征在于，所述导电部件至少包括第一导电部和第二导电部，所述像素电极层包括分隔设置的第一电极部和第二电极部，所述第一导电部连接所述第一电极部，所述第二导电部连接所述第二电极部，以在所述像素电极层上形成干燥阶段电场。

13.根据权利要求12所述的干燥设备，其特征在于，所述导电部件上设置有电连接件，所述导电部件与所述电连接件活动连接，所述导电部件通过所电连接件接触所述像素电极层。

14.根据权利要求12所述的干燥设备，其特征在于，所述干燥设备还包括干燥部件，所述干燥部件用于对所述待干燥基板加热。

15.根据权利要求14所述的干燥设备，其特征在于，所述干燥部件包括加热部件。

16.根据权利要求15所述的干燥设备，其特征在于，所述加热部件为加热板，所述加热板设置在所述腔室的底部，所述加热板设置在所述导电部件的下方。

Images