CN113394146A - 一种载板传输装置 - Google Patents

一种载板传输装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113394146A
CN113394146A CN202110652670.1A CN202110652670A CN113394146A CN 113394146 A CN113394146 A CN 113394146A CN 202110652670 A CN202110652670 A CN 202110652670A CN 113394146 A CN113394146 A CN 113394146A
Authority
CN
China
Prior art keywords
carrier
conveying
sub
piece
devices
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110652670.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113394146B (zh
Inventor
谢建
余玲珑
刘永才
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Chuangyi Intelligent Equipment Co ltd
Original Assignee
Shenzhen Chuangyi Intelligent Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Chuangyi Intelligent Equipment Co ltd filed Critical Shenzhen Chuangyi Intelligent Equipment Co ltd
Priority to CN202110652670.1A priority Critical patent/CN113394146B/zh
Publication of CN113394146A publication Critical patent/CN113394146A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113394146B publication Critical patent/CN113394146B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Reciprocating Conveyors (AREA)

Abstract

本发明提供一种载板传输装置，包括多个输送装置和往复装置，每个输送装置设有两个沿相反方向运动的子输送件，往复装置沿第一方向运动并将同一输送装置的一子输送件输送的载板传送至另一子输送件，同一往复装置可连通多个所述输送装置以传送多个输送装置的载板。本发明实施例中多个输送装置可共用一个往复装置进行载板传送，多个输送装置无需配备多个往复装置，在满足较高太阳能电池片产能需求的前提下降低了载板传输装置的铺设空间和成本。

Description

一种载板传输装置
技术领域
本发明属于太阳能电池生产技术领域，更具体地，涉及一种载板传输装置。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中，通常采用载板来承载硅片，以将硅片作为载体在生产系统的各个部件之间传输，从而实现对硅片的检测、表面蚀刻、丝网印刷等部分加工工艺，最终得到在硅片表面印刷有预设电路的太阳能电池片。
为提高太阳能电池片的生产效率，相关生产设备中增加载板传输装置的数量以适应载板传输的需求，相关载板传输装置的铺设成本较高，且占用空间较大。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种载板传输装置，以解决如何在满足较高太阳能电池片产能需求的前提下减少载板传送装置的铺设空间和成本的技术问题。
本发明的技术方案是这样实现的：
本发明实施例提供一种载板传输装置，包括：多个输送装置，每个输送装置均设有两个用于输送载板的子输送件，所述子输送件沿相反方向运动，所述子输送件在第一方向上间隔设置，所述第一方向与所述子输送件的运动方向垂直；往复装置，沿所述第一方向往复移动，以将同一个所述输送装置的一子输送件输送的载板传送至另一子输送件；其中，同一个所述往复装置可连通多个输送装置以传送多个所述输送装置的载板。
进一步地，所述往复装置包括：多个承载件，在所述第一方向上间隔设置，多个所述承载件与多个所述输送装置一一对应，以承载对应的输送装置的载板；驱动装置，用于带动所述承载件沿所述第一方向往复运动，以使所述承载件交替与对应的所述输送装置中不同的所述子输送件连通。
进一步地，所述输送装置以及所述承载件均为两个，两个所述输送装置设置在所述往复装置的不同侧。
进一步地，两个所述承载件包括在所述第一方向上间隔设置的第一承载件和第二承载件，所述第一承载件和所述第二承载件可连接和脱离连接；所述驱动装置与所述第一承载件连接以带动所述第一承载件在所述第一方向上往复运动；所述第二承载件在与所述第一承载件连接的情况下随所述第一承载件运动，在与所述第一承载件脱离连接的情况下保持当前位置。
进一步地，所述第一承载件在所述第一方向上的第一位置和第二位置之间移动，所述第二承载件在所述第一方向的所述第一位置和第三位置之间移动，其中，所述第三位置到所述第一位置的距离大于所述第二位置到所述第一位置的距离。
进一步地，所述第一承载件在所述第一方向上的第一位置和第二位置之间移动，所述第二承载件在所述第一方向的第四位置和第三位置之间移动，其中，所述第三位置到所述第四位置的距离等于所述第二位置到所述第一位置的距离。
进一步地，所述载板传输装置还包括：支撑组件，可部分沿与所述第一方向垂直的方向移动，以支撑所述第二承载件保持在与对应的所述子输送件连通的位置并与所述第一承载件脱离。
进一步地，所述第二承载件设有定位槽；所述支撑组件包括：底板；导轨，设置于所述底板，且沿与所述第一方向垂直的方向延伸；托板，与所述导轨活动连接；动力源，用于带动所述托板沿所述导轨的延伸方向运动以与所述定位槽卡合连接。
进一步地，所述托板上设有锁止孔；所述支撑组件还包括：锁止件，所述锁止件设于所述底板，且所述锁止件可沿所述第一方向伸缩，以穿设或脱离所述锁止孔。
进一步地，在所述第一承载件与所述第二承载件连接的情况下，所述第一承载件与所述第二承接件之间形成预定距离的间隙。
本发明实施例的一种载板传输装置，包括多个输送装置和往复装置，每个输送装置设有两个沿相反方向运动的子输送件，往复装置沿第一方向运动并将同一输送装置的一子输送件输送的载板传送至另一子输送件，同一往复装置可传送多个输送装置的载板。本发明实施例中，同一输送装置的子输送件在第一方向间隔设置，往复装置在第一方向往复移动以在同一输送装置的子传输件之间传送载板；由于多个输送装置可共用一个往复装置，多个输送装置无需配备多个往复装置，从而能在满足较高太阳能电池片产能需求的前提下降低了载板传送装置的铺设空间和成本。
附图说明
图1为本发明第一种实施例中载板传输装置的结构示意图；
图2为本发明一实施例中输送装置与往复装置的位置示意图；
图3为本发明一实施例中往复装置的结构示意图；
图4为本发明另一实施例中输送装置与往复装置的位置示意图；
图5为本发明第二种实施例中载板传输装置的结构示意图；
图6为本发明一实施例中支撑组件与第二承载件的连接示意图；
图7为本发明一实施例中支撑组件的结构示意图；
图8为本发明第三种实施例中载板传输装置的结构示意图；
图9为本发明第四种实施例中载板传输装置的结构示意图；
图10为本发明第五种实施例中载板传输装置的结构示意图；
图11为本发明第六种实施例中载板传输装置的结构示意图。
附图标记说明：
1、输送装置；11、子输送件；2、往复装置；2a、承载件；3、载板；21、第一承载件；22、第二承载件；22a、定位槽；22b、内侧壁；23、驱动装置；24、支撑组件；24a、定位销；241、底板；242、导轨；243、托板；244、动力源；245、锁止孔；246、锁止件。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
在具体实施例中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，例如通过不同的具体技术特征的组合可以形成不同的实施例和技术方案。为了避免不必要的重复，本发明中各个具体技术特征的各种可能的组合方式不再另行说明。
在以下的描述中，所涉及的术语“第一\第二\...”仅仅是区别不同的对象，不表示各对象之间具有相同或联系之处。应该理解的是，所涉及的方位描述“上方”、“下方”、“外”、“内”均为正常使用状态时的方位，“左”、“右”方向表示在具体对应的示意图中所示意的左右方向，可以为正常使用状态的左右方向也可以不是。
需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。“多个”表示大于或等于两个。
本发明实施例提供一种载板传输装置，该载板传输装置可应用于硅片的生成过程中，具体而言，硅片生产包括多个工艺过程，例如检测、表面蚀刻、丝网印刷等，部分工艺过程需要由载板承载硅片进行对应的加工，那么需要将载板传输到预设位置；还有部分工艺过程不需要载板承载硅片，那么也需要将之前承载硅片的空载板回流传输到相关位置以用于下一次承载硅片；本发明实施例的载板传输装置用于在前后两段工艺过程之间进行载板的传输，例如，既可以用于前一个工艺过程的载板传输回流，也可以用于后一个工艺过程的载板传输回流，还可以在同一个时间段内完成两个工艺过程的载板传输回流。需要说明的是，工艺过程可以包括多种具体的类型，本发明的具体的工艺过程的类型并不对本发明的载板传输装置产生限定。
如图1所示，本发明实施例的载板传输装置包括多个输送装置1和往复装置2。每个输送装置1均设有两个用于输送载板3的子输送件11。需要说明的是，载板3可用于承载硅片并对硅片起到限位作用，不同的工艺过程中采用不同的输出装置1，子输送件11可用于载板3在对应的工艺过程中的输送，本发明实施例中的子输送件11上输送的载板3可以是空载板，也可以是排布有硅片的载板。同一载板输送装置1的子输送件11设置为两层，其目的在于可根据工艺的流程需求改变在绝对坐标系下载板传输的方向，同时能够减小载板传输装置的布设空间。同一输送装置1中两个子输送件11的运动相反，具体的，参照图1所示左侧的输送装置1，其上层的子输送件11沿箭头方向向右运动，下层的子输送件11沿箭头方向向左运动，两层子输送件在绝对坐标系下的运动方向是相反的；以子输送件11上的载板作为参照物而言，载板在子输送件11之间的运动方向一直是沿图1的顺时针方向运动，没有发生改变。两个子输送件11在第一方向(图1所示的上下方向)上间隔设置，第一方向与子输送件11的运动方向(图1所示左右方向)垂直，垂直包括子输送件运动的延伸方向与第一方向的夹角并不是严格的90度的情况，可以认为两个方向的夹角大于80度即属于基本垂直，从而可以涵盖到加工、安装及运动误差的情形。
本发明实施例中的往复装置2沿第一方向(图1所示上下方向)往复移动，即往复装置2可以将同一个输送装置1的一子输送件11输送的载板3传送至另一子输送件11。例如，参照图1所示，左侧的输送装置1中上下两层子输送件11沿顺时针方向输送载板3，往复装置2用于将左侧上层的子输送件11中传输的载板3传送至下层的子输送件11；右侧的输送装置1中上下两层子输送件11也沿顺时针方向输送载板3，往复装置2用于将右侧下层的子输送件11中传输的载板3传送至上层的子输送件11。往复装置2可以与多个输送装置1均连通，从而上述两个输送装置1无需单独设置两个往复装置2，两个输送装置1可以共用一个往复装置2；需要说明的是，往复装置与输送装置连通并不要求二者之间必须有实体的连接关系，只要能够满足载板的传输通道上的连通，可以通畅的进行载板传输即可；往复装置2可以同时用于传送两个输送装置1中的载板3，也可以分步传送两个输送装置1中的载板3。
如图2所示，本发明实施例中的同一个往复装置2可传送多个输送装置1的载板。例如，图2所示的一个往复装置2对应传送四个输送装置1的载板，四个输送装置1分别设置在同一往复装置2的四周，往复装置2可在一个周期内分别传输各个方向上的输送装置1内的载板。本发明实施例不限定同一往复装置对应的输送装置数量，只要单位周期内往复装置的传送速度与各个输送装置的输送需求匹配即可。
本发明实施例的载板传输装置，同一输送装置的子输送件在第一方向间隔设置，往复装置在第一方向往复移动以在同一输送装置的子传输件之间传送载板；由于多个输送装置可共用一个往复装置，多个输送装置无需配备多个往复装置，从而能在满足较高太阳能电池片产能需求的前提下降低了载板传送装置的铺设空间和成本。
在一些实施例中，如图3所示，往复装置2包括承载件2a和驱动装置23。承载件2a用于承载输送装置所输出的载板，并将同一输送装置中一子输送件输出的载板传送至另一子输送件。驱动装置23用于带动承载件2a沿第一方向(图3所示z方向)往复运动，以使承载件2a交替与对应的输送装置中不同的子输送件连通。需要说明的是，承载件2a交替与对应的输送装置中不同的子输送件连通是以同一个输送装置为观察对象，同一个输送装置的子输送件交替轮流与承载件连通；而不一定是以承载件为观察对象，承载件依次与所有输送装置的所有子输送件依次连通。
在本发明实施例中同一往复装置2对应多个输送装置的情况下，同一往复装置2内可设置一个承载件2a，也可设置多个承载件2a。同一往复装置2设置一个承载件2a的情况下，承载件2a可用于分时传送不同输送装置内的载板；例如，在某个时刻，承载件2a与一个输送装置上层的子输送件连通，该上层子输送件输送的载板传输到承载件2a上，然后驱动装置23驱动承载件2a运动，下一个时刻，承载件2a与同一个输送装置下层的子输送件连通，承载件2a上的载板传输到该下层子输送件，接着承载件2a可以与另一个输送装置的子输送件连通进行下一次的载板输送。同一往复装置2设置多个承载件2a的情况下，多个承载件2a在第一方向(图3所示z方向)上间隔设置，其间隔的距离大于等于单个载板的厚度，且承载件2a的设置数量可与所对应的输送装置的数量一致；例如，同一输送装置对应传输四个输送装置中的载板，该往复装置可设置四个承载件，每个承载件用于分别承载不同的输送装置中的载板，同一传送过程可最多同时传送四个输送装置中的载板。在另一实施例中也可以设置两个承载件，每个承载件对应承载两个输送装置中的载板，同一传送过程可最多同时传送两个输送装置中的载板。
本发明实施例通过在一个往复装置2中设置多个承载件2a。在同一传送过程中，可同时传送多个输送装置中的载板，可根据输送装置的数量对应设置承载件的数量，一方面提高了单次传送过程中传送载板的数量，从而提高了传送效率；另一方面可将各个输送装置的载板分离承载，便于对各承载件上载板的分离控制。
以下以同一往复装置2设置两个承载件2a为例进行大致说明。如图1所示，同一往复装置2对应设置两个输送装置1，两个输送装置1设置在往复装置2的不同侧；具体的，两个输送装置1可设置在往复装置2相对的两侧或相邻的两侧，如图1所示实施例为输送装置1分别设置在往复装置2的左右两侧，参照图4所示实施例为输送装置1设置在往复装置2的相邻两侧。本发明实施例中每个往复装置2设有两个承载件2a，每个承载件2a分别承载不同输送装置1输出的载板3。通过将两个输送装置1所输送的载板3采用不同的承载件2a传输，那么在同一个时间段内需要对两个输送装置的载板进行传送的情况下，一方面可以在同一传输过程中实现两个输送装置中载板的同步传送，另一方面还可将两个输送装置中的载板分步传送，具体传输方式以下将结合附图具体说明。
在一些实施例中，如图1和图3所示，同一往复装置2对应设置两个输送装置1，且同一往复装置2设有两个承载件2a，其中两个承载件2a包括在第一方向(图3所示z方向)上间隔设置的第一承载件21和第二承载件22，第一承载件21和第二承载件22在第一方向上间隔的距离可以等于或大于一个载板3的厚度。本发明实施例中的第一承载件21和第二承载件22可连接和脱离连接；也就是说，第一承载件21与第二承载件22在连接的情况下，驱动装置23可以带动第一承载件21和第二承载件22在第一方向上同步往复运动；具体的，驱动装置23用于驱动第一承载件21在第一方向上往复运动，第二承载件22跟随第一承载件21在第一方向上往复运动。在第一承载件21与第二承载件22脱离连接的状态在下，第二承载件22可以保持当前位置，不会跟随第一承载件21运动。本发明实施例通过将第一承载件21与第二承载件22设置为可分离式的连接关系，使得两个承载件2a在不同的传送情况下，不仅可以在同一传送过程中同步传送，还可以在同一传送过程中分步传送，适用于多种情况下的载板传送，增加了传送方式的灵活度。
在一些实施例中，如图5所示，往复装置还包括支撑组件24。在驱动装置带动第一承载件21和第二承载件22分步在第一方向上(图5所示z方向)运动的情况下，支撑组件24的部分可凸出于第一承载件21与第二承载件22之间；在驱动装置23带动第一承载件21沿z方向往下运动的过程中，第二承载件22在支撑组件24的阻挡下无法跟随第一承载件21继续运动，故第二承载件22可保持在支撑组件24所支撑的位置处，便于将第二承载件22单独滞留以等待接收相应位置处子输送件11上输出的载板。
参照图3所示，支撑组件24一部分可与驱动装置23固定在框架4上，支撑组件24另一部分可沿与第一方向垂直的方向(图3所示y方向)移动，并凸出于第一承载件21和第二承载件22之间，通过将支撑组件24设置在与输送载板相邻的两侧位置处，支撑组件24的设置位置不会对载板的传输路径(图3所示x方向的传输路径)造成干扰，支撑组件24沿y方向凸出可阻挡第二承载件22的下降。在一些实施例中，如图3所示，支撑组件24可设置为四个，分别设置在承载件2a与第一方向(图3所示x方向)平行的两侧边，可用于稳定支撑第二承载件22的两边。
在一些实施例中，如图6所示，第二承载件22设有定位槽22a，支撑组件24设有与定位槽22a适配的定位销24a，定位销24a可活动的与定位槽22a连接，以实现第二承载件22与支撑组件24的连接和脱离连接。如图7所示，支撑组件24具体包括底板241、导轨242、托板243和动力源244。底板241可固定安装在框架4(参照图3)上，导轨242设置于底板241，且沿与第一方向垂直的方向(图7所示y方向)延伸，托板243与导轨242活动连接，动力源244用于带动托板243沿导轨242的延伸方向运动以与定位槽卡合连接。具体的，托板243上还可设有沿z方向上凸起的定位销24a，结合图6和图7所示，动力源244带动托板243沿y方向运动的情况下，定位销24a跟随托板243沿y方向运动，第二承载件22上的定位槽22a为开口朝向定位销24a的凹槽，定位销24a运动至定位槽22a内，定位槽22a的周围在重力的作用下抵靠在托板243上；定位销24a对托板243的移动起到定位作用，在定位销24a完全抵靠在定位槽22a的内侧壁22b情况下，动力源244停止驱动，定位槽22a与定位销24a保持静止，第二承载件22抵靠在托板243上。
在一些实施例中，如图7所示，托板243上设有锁止孔245；支撑组件24还包括锁止件246。锁止件246部分固定于底板241，且锁止件246可沿第一方向(图7所示z方向)伸缩，在托板243到达设定位置的情况下，锁止件246沿第一方向伸出，并穿设于锁止孔245内。在一些实施例中，结合图6所示，可通过在定位销24a抵靠在定位槽22a的内侧壁22b的情况才，启动锁止件246伸出，以限定托板243与底板241的相对位置关系，提高托板243支撑第二承载件22的稳定性。在需要取消对第二承载件22支撑的情况下，锁止件246先沿第一方向缩回(图7所示沿z方向往下缩回)，动力源244再带动托板243沿y方向缩回，实现第二承载件22的释放。其中，锁止件246可设置为锁止气缸，可通过控制气缸其的启停进而控制与锁止孔的连接状态。本发明实施例通过设置锁止孔245和锁止件246的方式实现托板243与底板241的位置锁定，提高了托板243到达设定位置状态下的稳定性，降低因动力源244突变带来的托板243偏移的风险。
本发明实施例中对多个输送装置的载板通过同一个往复装置进行传送的方式可以有多种，其中，各个输送装置中子输送件设置在不同的位置可以对应有不同的传送方式。以下分别对不同布设形式的子输送件所对应的传送方式进行说明。
在一些实施例中，如图1和图8所示，在第一种布设形式中，两个输送装置1中的下层子输送件11均位于同一高度H1，两个上层子输送件11分别位于第二位置H2和第三位置H3两个不同的高度。在此情况下，同一往复装置2可设置一个承载件2a(图8所示)，也可设置为两个承载件21和22(图1所示)，。以下分别对上述条件下设置不同数量的承载件的传送原理进行大致说明。
如图8所示，以第一种布设形式中往复装置2设置一个承载件2a为例进行大致说明。左侧上层的子输送件11位于第三位置H3，左侧下层的子输送件11和右侧下层的子输送件11均位于第一位置H1，右侧上层的子输送件11位于第二位置H2。往复装置2设有一个承载件2a，承载件2a用于在不同的时间段内传送左右两侧输送装置1内所输送的载板。例如，承载件2a先到达第三位置H3处接收左侧的载板，再运动至第一位置H1处将载板输出至左侧下层的子输送件；接着承载件2a在第一位置H1接收右侧下层的子输送件11输出的载板，再运动至第二位置H2处输出载板至右侧上层的子输送件，以此类推，承载件可往复运动依次传送不同输送装置1中的载板。
如图1所示，以第一种布设形式中往复装置设置两个承载件为例进行大致说明，左侧的输送装置中上层的子输送件11位于第三位置H3，左侧下层的子输送件位11于第一位置H1，右侧上层的子输送件11位于第二位置H2，右侧下层的子输送件11位于第一位置H1。往复装置设有两个承载件，分别是第一承载件21和第二承载件22，第一承载件21用于传送右侧输送装置1内所输送的载板3，第二承载件22用于传送左侧输送装置1内所输送的载板3，两个承载件分别对应传送不同输送装置1的载板3。第一承载件21在第一方向上(图1所示上下方向)的第一位置H1和第二位置H2之间移动，第二承载件22在第一方向的第一位置H1和第三位置H3之间移动，其中，第三位置H3到第一位置H1的距离大于第二位置H2到第一位置H1的距离。在此条件下，往复装置2中的两层承载件有两种不同的运动方式，一种是第一承载件21和第二承载件22相对位置不变，另一种是第一承载件21和第二承载件22可分离。以下分别对这两种运动方式对应的载板传输方案进行说明。
参照图1所示，往复装置2中的两层承载件保持连接的状态适应于分别对两个输送装置的载板进行传送且传送时间无交叉。具体的，例如，第二承载件22运动至与第三位置H3处与左侧上层的子输送件11连通，以使第二承载件22接收左侧上层的子输送件11输出的载板3，接着第二承载件22沿z方向向下运动到达第一位置H1处，并将载板3传送至左侧下层的子输送件11，然后，第一承载件21可以传送右侧载板3，第一承载件21在第一位置H1处接收右侧下层的子输送件输11出的载板3，接着第一承载件21沿z方向向上运动达到第二位置H2处，并将载板3传送至右侧上层的子输送件11，此时，第二承载件22可以正好位于H3处，从而可以接收左侧的载板3，传送载板的过程依次类推。需要说明的是，在往复装置2的运动过程中，第二承载件22同样与第一承载件21保持相对静止，也就是说，两个承载件可以分别在不同的时间段内传送不同的输送装置1中的载板3。
参照图1所示，第一种布设形式中第一承载件21和第二承载件22可分离的状态适应于传送时间有交叉的情况下完成对两个输送装置的载板的传送。具体的，例如，第二承载件22运动至第三位置H3，第二承载件22接收左侧上层的子输送件11输出的载板3，并且支撑组件(图1中未示出)凸出于第一承载件21与第二承载件22之间，使得第二承载件22保持在第三位置H3处，然后，第一承载件21可向下运动至第一位置H1处接收右侧下层的子输送件11输出的载板3，接着，第一承载件21沿z方向向上运动达到第二位置H2处，并将载板3传送至右侧上层的子输送件11完成右侧输出装置1的载板传输，此时支撑组件的凸起缩回，第一承载件21和第二承载件22连接，然后两个承载件一起沿z方向向下运动至第二承载件22到达第一位置H1处，从而将左侧传输装置1上层子传输件的载板传送到左侧传输装置1下层子传输件，完成左侧传输装置1的载板传输。那么，在左侧输送装置1的载板由往复装置2进行传送的过程中也完成了右侧输送装置1的载板由往复装置2的传送过程，两输送装置的载板的传送时段可以有交叉。上述过程中的两个承载件可异步工作，两个承载件接收载板的动作不会相互干扰，提高了往复装置的传送的效率。
在一些实施例中，如图9和图10所示，在第二种布设形式中，两个输送装置1中的下层子输送件均位于同一高度H1，两个上层子输送件均位于同一高度H2。在此情况下，同一往复装置2可设置一个承载件2a(如图9所示)，也可设置为两个承载件21和22(图10所示)。以下分别对上述条件下设置不同数量的承载件的传送原理进行大致说明。
如图9所示，以第二种布设形式中往复装置2设置一个承载件2a为例进行大致说明。往复装置2在同一时间段内只能用于承载同一输送装置1中的载板，例如在第一时间段内，承载件2a从第二位置H2移动至第一位置H1以传送左侧输送装置1中的载板，在第二时间段内，承载件2a从第二位置H2移动至第一位置H1并传送右侧输送装置1中的载板。其传送原理与图8所示实施例类似，本实施例不再赘述。
如图10所示，以第二种布设形式中往复装置2设置两个承载件为例进行大致说明。在此条件下，往复装置2中的两层承载件有两种不同的承载方式，一种是第一承载件21和第二承载件22相对位置不变，两承载件保持连接状态，另一种是第一承载件21和第二承载件22可分离。
如图10所示，在第二种布设形式中第一承载件21和第二承载件22相对位置不变的情况下，往复装置2中的两层承载件保持连接的状态适应于分别对两个输送装置的载板进行传送且传送时间无交叉。第二种布设形式中第一承载件21和第二承载件22可分离的状态适应于传送时间有交叉的情况下完成对两个输送装置的载板的传送。其传送原理与图1所示实施例类似，本实施例不再赘述。
如图11所示，在第三种布设形式中，第一承载件21在第一方向上的第一位置H1和第二位置H2之间移动，第二承载件22在第一方向的第四位置H4和第三位置H3之间移动，其中，第三位置H3到第四位置H4的距离等于第二位置H2到第一位置H1的距离。两个输送装置1中的子输送件11均位于不同高度，左侧输送装置1中的上层子输送件11位于第四位置，左侧输送装置1中的下层子输送件11位于第三位置，右侧输送装置1中的上层子输送件11位于第二位置，右侧输送装置1中的下层子输送件11位于第一位置，第一位置到第二位置的距离等于第三位置到第四位置的距离，且第一位置与第三位置的距离等于第一承载件21与第二承载件22之间的距离。以第三种布设形式中设置往复装置设置两个承载件为例进行大致说明。
参照图11所示，第三种布设形式中第一承载件21和第二承载件22相对位置不变的情况下，往复装置2中的两层承载件始终保持连接的状态，适应于对两个输送装置的载板进行同时传送且传送时间重合的情况。第二承载件22与左侧上层子输送件11连通的情况下，第一承载件21与右侧上层的子输送件11同样处于连通状态。两个输送装置1可同步与各个承载件输送载板。例如左侧子输送件11输出载板至第二承载件22的同时，第一承载件21可将载板输入至右侧上层的子输送件11。接着往复装置2向下运动，直到第一承载件21与右侧下层的子输送件11连通，同时左侧下层的子输送件11也与第二承载件22连通。在左右两个输送装置1内的载板传输的频率一致的情况下，可采用第一承载件21和第二承载件22同时且同步传送，提高传送效率。在两侧输送装置1中载板传送频率不一致的情况下，也可以采用分步式的传送方式，利用支撑组件对第二承载件进行阻隔，实现单独传输。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种载板传输装置，其特征在于，包括：
多个输送装置，每个输送装置均设有两个用于输送载板的子输送件，所述子输送件沿相反方向运动，所述子输送件在第一方向上间隔设置，所述第一方向与所述子输送件的运动方向垂直；
往复装置，沿所述第一方向往复移动，以将同一个所述输送装置的一子输送件输送的载板传送至另一子输送件；
其中，同一个所述往复装置可连通多个所述输送装置以传送多个所述输送装置的载板。
2.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述往复装置包括：
多个承载件，在所述第一方向上间隔设置，多个所述承载件与多个所述输送装置一一对应，以承载对应的输送装置的载板；
驱动装置，用于带动所述承载件沿所述第一方向往复运动，以使所述承载件交替与对应的所述输送装置中不同的所述子输送件连通。
3.根据权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述输送装置以及所述承载件均为两个，两个所述输送装置设置在所述往复装置的不同侧。
4.根据权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，两个所述承载件包括在所述第一方向上间隔设置的第一承载件和第二承载件，所述第一承载件和所述第二承载件可连接和脱离连接；所述驱动装置与所述第一承载件连接以带动所述第一承载件在所述第一方向上往复运动；所述第二承载件在与所述第一承载件连接的情况下随所述第一承载件运动，在与所述第一承载件脱离连接的情况下保持当前位置。
5.根据权利要求4所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一承载件在所述第一方向上的第一位置和第二位置之间移动，所述第二承载件在所述第一方向的所述第一位置和第三位置之间移动，其中，所述第三位置到所述第一位置的距离大于所述第二位置到所述第一位置的距离。
6.根据权利要求4所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一承载件在所述第一方向上的第一位置和第二位置之间移动，所述第二承载件在所述第一方向的第四位置和第三位置之间移动，其中，所述第三位置到所述第四位置的距离等于所述第二位置到所述第一位置的距离。
7.根据权利要求4所述的载板传输装置，其特征在于，所述载板传输装置还包括：
支撑组件，可部分沿与所述第一方向垂直的方向移动，以支撑所述第二承载件保持在与对应的所述子输送件连通的位置并与所述第一承载件脱离。
8.根据权利要求7所述的载板传输装置，其特征在于，所述第二承载件设有定位槽；
所述支撑组件包括：
底板；
导轨，设置于所述底板，且沿与所述第一方向垂直的方向延伸；
托板，与所述导轨活动连接；
动力源，用于带动所述托板沿所述导轨的延伸方向运动以与所述定位槽卡合连接。
9.根据权利要求8所述的载板传输装置，其特征在于，所述托板上设有锁止孔；
所述支撑组件还包括：
锁止件，所述锁止件设于所述底板，且所述锁止件可沿所述第一方向伸缩，以穿设或脱离所述锁止孔。
10.根据权利要求4所述的载板传输装置，其特征在于，在所述第一承载件与所述第二承载件连接的情况下，所述第一承载件与所述第二承接件之间形成预定距离的间隙。
CN202110652670.1A 2021-06-11 2021-06-11 一种载板传输装置 Active CN113394146B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110652670.1A CN113394146B (zh) 2021-06-11 2021-06-11 一种载板传输装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110652670.1A CN113394146B (zh) 2021-06-11 2021-06-11 一种载板传输装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113394146A true CN113394146A (zh) 2021-09-14
CN113394146B CN113394146B (zh) 2022-10-21

Family

ID=77620521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110652670.1A Active CN113394146B (zh) 2021-06-11 2021-06-11 一种载板传输装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113394146B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110170991A1 (en) * 2008-09-02 2011-07-14 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Method and Device for Conveying Large-Area, Thin Glass Plates
JP2011219356A (ja) * 2010-04-08 2011-11-04 Taesung Engineering Co Ltd 板ガラス搬送装置
JP2015211954A (ja) * 2014-05-02 2015-11-26 株式会社横崎製作所 選別皿コンベアの選別皿取付装置
CN210167341U (zh) * 2019-09-29 2020-03-20 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 一种硅片传输装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110170991A1 (en) * 2008-09-02 2011-07-14 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Method and Device for Conveying Large-Area, Thin Glass Plates
JP2011219356A (ja) * 2010-04-08 2011-11-04 Taesung Engineering Co Ltd 板ガラス搬送装置
JP2015211954A (ja) * 2014-05-02 2015-11-26 株式会社横崎製作所 選別皿コンベアの選別皿取付装置
CN210167341U (zh) * 2019-09-29 2020-03-20 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 一种硅片传输装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN113394146B (zh) 2022-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6723282B2 (ja) 対基板作業システム
JP4320204B2 (ja) 対基板作業システム
KR101177964B1 (ko) 전자 부품 장착 장치
KR20120106618A (ko) 물품 반송 설비
JP2001163428A (ja) 基板搬送装置および基板作業システム
WO2013114478A1 (ja) 下受けピンの配置方法および下受けピンの返戻方法
CN108699692B (zh) 成膜装置
CN113394146B (zh) 一种载板传输装置
JP3771214B2 (ja) 電子部品の実装方法
KR20150022695A (ko) 기계를 위한 공정 스테이션뿐만 아니라 기계의 공정에서 움직임을 제어하기 위한 제어 디바이스 및 제어 방법
JP4494910B2 (ja) 表面実装装置
EP3227928A1 (en) Apparatus for printing on a substrate for the production of a solar cell, and method for transporting a substrate for the production of a solar cell
TWI717947B (zh) 一種基板交接裝置及基板交接方法
CN110678333A (zh) 印刷设备
CN210709127U (zh) 物料传送设备及具有其的物料生产线
JP2013058509A (ja) 電子部品実装装置および下受けピンの配置方法ならびに下受けピンの返戻方法
CN217213436U (zh) 用于板材曝光的移载装置
CN113211943B (zh) 一种太阳能电池的印刷装置
CN217650341U (zh) 多轨道印刷机
KR101566301B1 (ko) 전자 부품 이송 장치 및 이를 이용한 전자 부품 이송 방법
CN219800881U (zh) 电池片加工装置
CN219097966U (zh) 自动送料装置
CN220569695U (zh) 用于电池串生产的吸附机构及电池串生产设备
KR200492111Y1 (ko) 두 장의 기판이 연속 증착되는 듀얼 증착 시스템
CN110556317B (zh) 一种半导体加工系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant