CN113390478A

CN113390478A - 流量测定装置

Info

Publication number: CN113390478A
Application number: CN202110180233.4A
Authority: CN
Inventors: 中尾秀之; 山本克行
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2020-03-13
Filing date: 2021-02-08
Publication date: 2021-09-14
Also published as: JP2021144011A; DE102021103500A1

Abstract

本发明一个侧面的流量测定装置具备：加热部，其配置于流路，对在流路中流动的流体进行加热；温度输出部，其在流体流动的方向上跨过加热部排列配置，输出与加热部的上游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第一信息和与加热部的下游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第二信息；流量测定部，其切换对测定对象的流体的流量进行测定的测定方式，以使得在测定对象的流体的流量为规定的阈值以上的情况下，通过基于第一信息对流体的流量进行测定的第一测定方式对测定对象的流体的流量进行测定，在测定对象的流体的流量低于规定的阈值的情况下，通过基于第一信息与第二信息的输出差对流体的流量进行测定的第二测定方式对测定对象的流体的流量进行测定。

Description

流量测定装置

技术领域

本发明涉及流量测定装置。

背景技术

公开了一种通过热式的流量传感器对流体的流量进行测定的技术(例如专利文献1)。更详细地说，在专利文献1中公开了一种具有加热器和跨过加热器而在流体的流动方向上排列设置的两个热电堆的流量传感器。而且，公开了一种通过从两个热电堆的输出的差求出流体的流量，从而提高流量传感器的灵敏度的技术。作为其理由，能够举出在来自热电堆的输出中包含在流路中传导的噪声成分，但是如专利文献1所述，通过求出两个热电堆的输出差，能够使噪声成分抵消。这样，通过根据输出差求出流体的流量，能够提高流量测定的精度。并且，也公开了在大范围内使流体的流量的测定精度提高的各种技术(例如专利文献2～3)。

专利文献1：日本特许第3658321号公报

专利文献2：日本特开2003-247876号公报

专利文献3：日本特开2002-277483号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在流体的流量为高流量的情况下，能够看到上游侧的热电堆的输出按照理论相对于流量线性地减少，但下游侧的热电堆的输出与理论不同而没有相对于流量线性地增加。认为这是由于在高流量的情况下，加热器的热分布和下游侧的热电堆的位置关系没有处于最佳的状态。在这样的情况下，即使根据两个热电堆的输出的差求出流量，相对于实际的流量值也包含误差。因此，认为流体的流量测定的精度降低。

于是，考虑扩大供流体流通的主流路的流路截面积，使通过流路的流体的流量降低而进行测定的方法。但是，在这样的情况下，认为测定装置会大型化。也就是说，认为为了在高流量区域抑制流量测定精度的降低，难以通过构造上的改变来应对。

本发明在一个方面中是鉴于这样的实际情况而做出的，其目的在于提供一种能够在大范围内高精度地测定流体的流量且使装置小型化的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明为了解决上述技术问题而采用以下结构。

即，本发明一个方面的流量测定装置具备：加热部，其配置于流路，对在流路中流动的流体进行加热；温度输出部，其在流体流动的方向上跨过所述加热部地排列配置，并且输出与所述加热部的上游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第一信息和与所述加热部的下游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第二信息；流量测定部，其切换对测定对象的流体的流量进行测定的测定方式，以使得在所述测定对象的流体的流量为规定的阈值以上的情况下，通过基于所述第一信息对流体的流量进行测定的第一测定方式来测定所述测定对象的流体的流量，在所述测定对象的流体的流量低于所述规定的阈值的情况下，通过基于所述第一信息与所述第二信息的输出差对流体的流量进行测定的第二测定方式来测定所述测定对象的流体的流量。

根据该结构，在测定对象流体的流量为低流量的情况下，通过第二测定方式基于第一信息与第二信息的输出差来对流量进行测定。因此，输出在流路中传导的噪声成分相抵消的流量。因此，流量测定精度得以提高。另一方面，在测定对象流体的流量为高流量的情况下，通过第一测定方式而基于第一信息来测定流量。因此，与通过输出差来测定流量的情况相比，测定精度得以提高。这种结构能够在大范围内高精度地测定流体的流量。并且，不需要扩大流路截面积。因此，能够不使输出装置大型化而在大范围内高精度地测定流体的流量。

在上述一个方面的流量测定装置中，可以是，所述温度输出部在切换所述测定方式的所述规定的阈值的附近，输出所述第一信息与所述第二信息的差以及所述第二信息这两者。

根据该结构，在切换测定方式的情况下，能够抑制抑制在切换后的测定方式中使用的信息没有从温度输出部输出的情况。因此，在切换测定方式的规定的阈值的附近，能够确保流量测定的连续性。

在上述一个方面的输出装置中，可以是，所述流路是从主流路分出的支流路，所述支流路具有：高流量用流路，其为从所述支流路自身进一步分出的流路，配置有所述加热部和所述温度输出部，并且对高流量的流体的流量进行测定；低流量用流路，其为从所述支流路自身进一步分出的流路，配置有所述加热部和所述温度输出部，并且对低流量的流体的流量进行测定；所述低流量用流路的流路截面积大于所述高流量用流路的流路截面积，所述加热部和所述温度输出部配置于所述低流量用流路和所述高流量用流路中的各个流路，所述流量测定部根据在所述高流量用流路配置的所述温度输出部的输出而通过所述第一测定方式对流量进行测定，所述流量测定部根据在所述低流量用流路配置的所述温度输出部的输出而通过所述第二测定方式对流量进行测定。

根据该结构，在高流量用流路中，流路宽度相对较小地设置。因此，在高流量用流路中流动的流体的流量收到限制。因此，能够抑制超过在高流量用流路配置的温度输出部能够输出的范围的流量的流体流入高流量用流路。因此，能够抑制高流量情况下的流量测定精度的降低。

并且，根据该结构，在低流量用流路中，流路宽度相对较大地设置。因此，流体从低流量用流路的流路壁受到的压力损失的影响降低。因此，能够抑制低流量的情况下的流量测定精度的降低。因此，能够抑制在大范围内对流体的流量进行测定的测定精度的降低。并且，由于通过第二测定方式输出低流量、通过第一测定方式输出高流量，因而流量测定的精度得以提高。

在上述一个方面的输出装置中，可以是，所述支流路进一步具有从其自身进一步分出的流路、即对流体的特性进行检测的特性检测用流路，并且进一步具备：第二加热部，其配置于所述特性检测用流路；第二温度输出部，其在与所述特性检测用流路的流体流动方向正交的方向上跨过所述第二加热部地排列配置，输出与在所述正交的方向上从所述第二加热部扩散的热的分布相关的第三信息。

向与流体流动的方向正交方向扩散的热的分布取决于流体的特性。因此，根据该结构，除了流体的流量之外，能够对流体的特性进行测定。因此，能够基于所测定的流体的特性对测定流量进行修正。因此，能够使流量的测定精度进一步提高。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种能够在大范围内高精度地测定流体的流量且使装置小型化的技术。

附图说明

图1示意性地例示了实施方式的流量测定装置的一个例子。

图2的(A)和(B)是在副流路上配置的检测元件的详细图的一个例子。

图3的(A)～(C)表示的是与流速相对应的热电堆的输出变化的一个例子。

图4表示的是流量测定装置的电路构成的一个例子。

图5表示的是流量测定装置的MCU执行的流量测定的流程图的一个例子。

图6例示的是配置有变形例的流量测定装置的副流路的俯视图。

附图标记说明

1,1A,1B,1C：检测元件；

3：基板；

4：主流路；

5,5A：副流路；

6：微加热器；

7A,7B：热电堆；

8：绝缘薄膜；

9：凹腔；

34A：流入孔；

35A：流出孔；

71：流路；

81：流路；

91：流路；

100,100A：流量测定装置。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明一个方面的实施的方式(以下，表述为“本实施方式”)进行说明。但是，以下所说明的本实施方式在所有的点只不过是本发明的示例。只要不超出本发明的范围，能够进行各种改良和变形。也就是说，在实施本发明时，可以适当地采用与实施方式对应的具体结构。

§1应用例

使用图1，对应用本发明情况的一个例子进行说明。图1示意性地表示本实施方式的流量测定装置100的一个例子。如图1所示，流量测定装置100具备在从主流路4分出的副流路5配置的检测元件1。检测元件1是所谓的热式流量传感器，具备微加热器和在气体的流通方向上以跨过微加热器的方式设置的两个热电堆。而且，流量测定装置100在流经副流路5的气体为高流量的情况下，基于上游侧的热电堆的输出来测定流量。另一方面，流量测定装置100在流经副流路5的气体为低流量的情况下，基于上游侧的热电堆的输出与下游侧的热电堆的输出的差来测定流量。即，对于流量测定装置100来说，在气体为高流量的情况和低流量的情况下对测定方式进行切换。

根据上述流量测定装置100，在气体的流量为低流量的情况下，输出在流路中传导的噪声成分相抵消的流量。因此，流量测定精度得以提高。另一方面，在气体的流量为高流量的情况下，基于即使为高流量也与气体的流量变化强相关的上游侧的热电堆的输出来测定流量。因此，流量测定精度得以提高。因此，根据这样的流量测定装置100，能够在大范围内高精度地测定气体的流量。并且，不扩大副流路5的截面积就能够解决。因此，能够不使装置大型化地、在大范围内高精度地测定气体的流量。

§2构成例

[硬件构成]

接下来，对本实施方式的流量测定装置的一个例子进行说明。如图1所示，本实施方式的流量测定装置100具备检测元件1、MCU(Micro Controller Unit；微控制单元)2、安装有检测元件1和MCU2的基板3以及ADC(A/D转换器)30。而且，该流量测定装置100的检测元件1配置在从主流路4分流的副流路5上。需要说明的是，在主流路4中，气体如图1的箭头所示地流通。然后，通过主流路4的气体中的一部分分流而流入副流路5。

图2的(A)和(B)是在副流路5配置的检测元件1的详细图的一个例子。图2的(A)例示的是气体未在副流路5中流动的状态。另一方面，图2的(B)例示的是气体在副流路5中流动的状态。

检测元件1具备微加热器6(本发明的“加热部”的一个例子)和以跨过微加热器6的方式设置的两个热电堆7A,7B(本发明的“温度输出部”的一个例子)。而且，检测元件1在副流路5中配置为热电堆7A在副流路5中相对于微加热器6处于上游侧、热电堆7B在副流路5中相对于微加热器6处于下游侧。并且，检测元件1具备绝缘薄膜8。而且，微加热器6和热电堆7A,7B形成在绝缘薄膜8上。并且，在配置有微加热器6和热电堆7A,7B的基板3的中央部分设有凹腔9。

[流量检测原理]

接下来，对使用检测元件1的流量检测的原理进行说明。如图2的(A)所示，在气体不在副流路5中流动的情况下，从微加热器6发出的热以微加热器6为中心对称地扩散。因此，来自热电堆7A,7B的输出不会产生差异。另一方面，如图2的(B)所示，在气体在副流路5中流动的情况下，从微加热器6发出的热受到气体的流动的影响，在副流路5中向下游的热电堆7B侧扩散。并且，从微加热器6发出的热受到气体的流动的影响而在绝缘薄膜8中也向下游的热电堆7B侧扩散。因此，从微加热器6发出的热不以微加热器6为中心对称地扩散，而是向下游的热电堆7B侧扩散。并且，从微加热器6发出的热向下游扩散的程度与气体的流量对应。因此，热电堆7A或热电堆7B的输出理论上相对于气体的流量线性地减少或增加。利用这样的现象，能够根据热电堆7A或热电堆7B的输出来测定在副流路5中流动的气体的流量。

然而，认为在副流路5中例如有尘埃等通过。因此，认为在热电堆7A或者热电堆7B的输出中包含噪声成分。因此，认为在测定的气体的流量中包含由噪声成分引起的误差。于是，为了提高流量测定的精度，能够想到利用热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差来测定气体的流量(本发明的“第二测定方式”的一个例子)。根据这样的测定方式，热电堆7A的输出与热电堆7B的输出所包含的噪声由于取得两热电堆7A,7B的输出差分而相互抵消。因此，气体的流量测定精度得以提高。

然而，在副流路5中流动的气体的流量为高流量的情况下，在配置于上游侧的热电堆7A附近，热的分布相对于流速单调地变化，但在配置于下游侧的热电堆7B附近，热的分布没有相对于流速单调地变化。图3的(A)～(C)表示的是与流速相应的热电堆7A或热电堆7B的输出变化的一个例子。图3的(A)是热电堆7A的输出的一个例子。图3的(B)是热电堆7B的输出的一个例子。并且，图3的(C)是热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的差的一个例子。如图3的(A)所示，在高流量区域热电堆7A的输出按照理论相对于流速线性地减少。也就是说，在高流量区域，流量与热电堆7A的输出之间有强相关关系。认为其原因在于，对于上游侧的热电堆7A，即使在高流量的情况下，微加热器6的热分布的变化的影响也较小，热与流体的流动相应地被夺取，因而能够维持与流量变化的相关性高的状态。另一方面，如图3的(B)所示，在高流量区域，热电堆7B的输出与理论不同而没有相对于流速线性地增加，输出的斜率减小。因此，如图3的(C)所示，热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的差在高流量区域不相对于流速线性地增加，输出差的斜率减小。也就是说，在高流量区域，利用热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的差求出的流量相对于通过副流路5的实际流量包含误差。

于是，在本实施方式中，在低流量区域，利用热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的差来测定气体的流量，在高流量区域，利用上游侧的热电堆7A的输出来测定气体的流量(本发明的“第一测定方式”的一个例子)。通过这样的测定方式，在大范围的流量区域内，流量测定的精度得以提高。

图4表示的是流量测定装置100的电路构成的一个例子。如图4所示，在流量测定装置100中，热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差作为模拟信息输入到ADC30。并且，热电堆7A单体的输出同样作为模拟信息输出到ADC30。并且，在ADC30中，输入的模拟信息被转换为数字信息。接下来，被转换的数字信息输入到MCU2。

图5表示的是流量测定装置100的MCU2执行的流量测定的流程图的一个例子。在图5所示的流程图中例示的是在副流路5中流动的气体的流量是高流量还是低流量的判定以及测定方式的切换。需要说明的是，在副流路5中，通过的是例如0.216～200L/min程度的流量的气体。

(S101)

在步骤S101中，测量相对于微加热器6配置在上游侧的热电堆7A的输出与相对于微加热器6配置在下游侧的热电堆7B的输出的输出差。然后，测量到的输出差输入到MCU2。顺便，从热电堆7A输出的电压与从热电堆7B输出的电压的输出差ΔV如以下式(1)所示。

在这里，Th表示微加热器6的温度、Ta表示检测元件1的周围温度。并且，vf是气体的流速，A和b是常数。

(S102)

在步骤S102中，对相对于微加热器6配置在上游侧的热电堆7A的输出进行测量。

(S103)

在步骤S103中，执行在步骤S101中测量的、热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差是否在规定的阈值(本发明的“规定的阈值”的一个例子)以上的判定处理。

(S104)

在步骤S104中，在步骤S103中判定为热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差为规定的阈值以上的情况下，根据在步骤S102中测量的、热电堆7A的输出计算气体的流量。

(S105)

在步骤S105中，在步骤S103中判定为热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差为规定的阈值以下的情况下，根据在步骤S101中测量的、热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差计算气体的流量。

需要说明的是，在图5所示的流程图中，虽然在步骤S102中一直对相对于微加热器6配置在上游侧的热电堆7A的输出进行测量，但也可以在步骤S101中测量的热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差为规定的阈值(步骤S103)以下的第二规定阈值以上的情况下，执行步骤S102。根据这样的流量测定装置100，在第二规定阈值以下的低流量的情况下能够省略步骤S102中的热电堆7A的输出测量，因而能够简化测定流程。

[作用·效果]

根据上述流量测定装置100，在气体的流量为低流量的情况下，基于热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差来测定流量。因此，输出在副流路5中传导的噪声成分相抵消的流量。因此，流量测定精度得以提高。另一方面，在气体的流量为高流量的情况下，基于即使在高流量下也认为与流量具有强相关关系的(图3的(A))上游侧的热电堆7A的输出来测定流量。因此，与通过输出差来测定流量的情况相比测定精度得以提高。根据这样的流量测定装置100，能够在大范围内高精度地测定气体的流量。并且，不扩大副流路5的截面积就能够解决。因此，能够不使装置大型化而在大范围内高精度地测定气体的流量。

并且，根据上述流量测定装置100，在步骤S101和步骤S102中，对热电堆7A的输出与热电堆7B的输出的输出差以及热电堆7A单体的输出进行测量。因此，例如在步骤S103中之前被判定为高流量的流量被判定为低流量而测定方式从步骤S104的通过热电堆7A的输出来计算流量值的方式切换为步骤S105的通过输出差来计算流量值的方式的情况下，能够对没有测量输出差而难以计算流量值的情况进行抑制。因此，在切换测定方式的步骤S103的阈值附近，能够确保流量测定的连续性。

§3变形例

以上，对本发明的实施方式详细地进行了说明，但前述说明的所有点只不过是本发明的示例。显然能够不超出本发明范围地进行各种改良和变形。例如，能够进行以下变更。需要说明的是，以下对于与上述实施方式同样的构成要素使用同样的附图标记，对于与上述实施方式同样的点，适当地省略说明。以下的变形例能够适当地进行组合。

＜3.1＞

图6例示的是配置有变形例的流量测定装置100A的副流路5A(本发明的“支流路”的一个例子)的俯视图。如图6所示，副流路5A的两个流路71,81排列设置。而且，在副流路5A中设有供气体从主流路4流入的流入孔34A，流入孔34A和流路71,81分别连通。通过这样的构造，气体能够从主流路4经由流入孔34A分别流入流路71,81。并且，在副流路5A设有使气体向主流路4流出的流出孔35A，流出孔35A和流路71,81分别连通。根据这样的构造，分别通过了流路71,81的气体经由流出孔35A向主流路4流出。在这里，流路81设置为与配置检测元件1B(后述)的场所相比位于上游侧的流路截面积大于流路71的流路截面积、即与配置有检测元件1A(后述)的场所相比位于上游侧的流路截面积。

并且，在流路71,81分别设有检测元件1A,1B。检测元件1A,1B是与检测元件1相同类型的元件。而且，检测元件1A,1B与检测元件1同样地以两个热电堆相对于气体的流通方向平行地排列的方式设置。因此，能够利用检测元件1A,1B所具有的热电堆的输出来测定在各个流路71,81中流动的气体的流量。

在这里，在主流路4中流动的气体的流量为低流量的情况下，在流路截面积相对较小的流路71中流动的气体很大程度地受到从流路壁面带来的摩擦的影响。因此，认为在流路71中流动的气体从流路71的壁面受到的压力损失增大。因此，认为在流路71中配置的检测元件1A的流量测定值相对于在流路中流动的实际的流量包含很大误差。于是，在气体的流量为低流量的情况下，流量测定装置100A将在流路截面积相对较大的流路81中配置的检测元件1B所测定的气体的流量作为在主流路4中流动的气体的流量输出。通过采用这样的结构，在流路截面积大的流路81中流动的低流量的气体从流路壁面受到的压力损失较小，能够高精度地测定流量。

另一方面，在主流路4中流动的气体的流量为高流量的情况下，在流路截面积相对较大的流路81中流入有超过在流路81中配置的检测元件1B的测定范围的流量的气体。因此，在流路81中配置的检测元件1B难以准确地测定流量。于是，在气体的流量为高流量的情况下，流量测定装置100A将在流路截面积相对较小的流路71中配置的检测元件1A所测定的气体的流量作为在主流路4中流动的气体的流量在输出。通过采用这样的结构，能够抑制流量测定精度的降低。

另外，在流量测定装置100A中，由于在高流量的情况下将检测元件1A的测定值作为气体的流量测定值输出，从而根据检测元件1A的上游侧的热电堆的输出来计算流量值。另一方面，流量测定装置100A在低流量的情况下将检测元件1B的测定值作为气体的流量测定值输出，因而根据检测元件1B的上游侧的热电堆的输出与下游侧的热电堆的输出的输出差来计算流量值。通过采用这样的测定方法，各个检测元件1A,1B的流量测定精度进一步提高。

并且，流量为高流量还是低流量的判定以及基于判定结果的上述的流量测定方法的切换与图5所示的流程图同样地执行。即，首先在检测元件1B中，测量上游侧的热电堆的输出与下游侧的热电堆的输出的输出差。接下来，在检测元件1A中测量上游侧的热电堆的输出。然后，在通过检测元件1B测量的输出差在阈值以上的情况下，判定流量为高流量，根据检测元件1A的上游侧的热电堆的输出计算的流量值作为测定流量从流量测定装置100A输出。另一方面，在通过检测元件1B测量的输出差低于阈值的情况下，判定流量为低流量，将根据检测元件1A的上游侧的热电堆的输出与下游侧的热电堆的输出的输出差而计算的流量值作为测定流量从流量测定装置100A输出。

并且，在流量测定装置100A的副流路5A中，如图6所示，流路91(本发明的“特性检测用流路”的一个例子)以与流路71和流路81连通的方式设置。而且，在流路91中配置有检测元件1C。检测元件1C是与检测元件1相同类型的元件。但是，检测元件1C以两个热电堆在相对于气体的流通方向正交的方向上排列的方式配置(本发明的“第二温度输出部”的一个例子)。通过这样地配置检测元件1C，能够根据两个热电堆的输出来检测以检测元件1C的微加热器(本发明的“第二加热部”的一个例子)为中心相对于气体的流通方向向正交方向扩散的热分布。在这里，这样的热分布随着所谓的气体温度或浓度的特性而变化。因此，能够根据检测元件1C的两个热电堆的输出来求出与气体的特性相关的信息。

[作用·效果]

根据上述流量测定装置100A，对于流路71来说，流路截面积相对较小地设置。因此，在流路71中流动的气体的流量受到限制。因此，能够抑制超出在流路71中配置的检测元件1A能够输出范围的流量的气体流入流路71。因此，能够抑制高流量的情况下的流量测定精度的降低。

并且，根据上述流量测定装置100A，对于流路81来说，流路截面积相对较大地设置。因此，能够降低气体从流路81的流路壁受到的压力损失的影响。因此，能够抑制检测元件1B所测定的低流量的情况下的流量测定精度的降低。因此，能够在大范围内抑制气体的流量的测定精度降低。并且，通过检测元件1A的上游侧的热电堆的输出来测定气体为高流量的情况下的流量，根据检测元件1B的上游侧的热电堆的输出与下游侧的热电堆的输出的输出差来测定气体为低流量的情况下的流量。从这一点也能够提高流量测定的精度。

并且，根据上述流量测定装置100A，除了气体的流量之外，能够通过检测元件1C测定气体的特性。因此，能够根据气体的特性来修正测定流量。因此，流量测定的精度得以进一步提高。

能够分别对以上公开的实施方式和变形例进行组合。

需要说明的是，以下为了能够将本发明的构成要件与实施例的构成进行对比，将本发明的构成要件附上附图标记表示。

＜附记1＞

一种流量测定装置(100,100A)，具备：

加热部(6)，其配置于流路(5,5A)，对在流路(5,5A)中流动的流体进行加热；

温度输出部(7A,7B)，其在流体流动的方向上跨过所述加热部(6)地排列配置，并且输出与所述加热部(6)的上游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第一信息和与所述加热部(6)的下游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第二信息；

流量测定部，其切换对测定对象的流体的流量进行测定的测定方式，以使得在所述测定对象的流体的流量为规定的阈值以上的情况下，通过基于所述第一信息对流体的流量进行测定的第一测定方式来测定所述测定对象的流体的流量，在所述测定对象的流体的流量低于所述规定的阈值的情况下，通过基于所述第一信息与所述第二信息的输出差对流体的流量进行测定的第二测定方式来测定所述测定对象的流体的流量。

＜附记2＞

根据附记1所述的流量测定装置(100,100A)，所述温度输出部(7A,7B)在切换所述测定方式的所述规定的阈值的附近，输出所述第一信息与所述第二信息的差以及所述第二信息这两者。

＜附记3＞

根据附记1或2所述的流量测定装置(100A)，所述流路(5,5A)是从主流路(4)分出的支流路(5A)，

所述支流路(5A)具有：

高流量用流路(71)，其为从所述支流路自身进一步分出的流路(71)，配置有所述加热部(6)和所述温度输出部(7A,7B)，对高流量的流体的流量进行测定；

低流量用流路(81)，其为从所述支流路自身进一步分出的流路(81)，配置有所述加热部(6)和所述温度输出部(7A,7B)，对低流量的流体的流量进行测定；

所述低流量用流路(81)的流路截面积大于所述高流量用流路(71)的流路截面积，

所述加热部(6)和所述温度输出部(7A,7B)配置于所述低流量用流路(81)和所述高流量用流路(71)中的各个流路，

所述流量测定部根据在所述高流量用流路(71)配置的所述温度输出部(7A,7B)的输出而通过所述第一测定方式对流量进行测定，

所述流量测定部根据在所述低流量用流路(81)配置的所述温度输出部(7A,7B)的输出而通过所述第二测定方式对流量进行测定。

＜附记4＞

根据附记3所述的流量测定装置(100A)，所述支流路(5A)进一步具有从其自身进一步分出的流路(91)、即对流体的特性进行检测的特性检测用流路(91)，并且进一步具备：

第二加热部(6)，其配置于所述特性检测用流路(91)；

第二温度输出部(7A,7B)，其在与所述特性检测用流路(91)的流体流动方向正交的方向上跨过所述第二加热部(6)地排列配置，输出与在所述正交的方向上从所述第二加热部(6)扩散的热的分布相关的第三信息。

Claims

1.一种流量测定装置，其特征在于，具备：

加热部，其配置于流路，对在流路中流动的流体进行加热；

温度输出部，其在流体流动的方向上跨过所述加热部地排列配置，并且输出与所述加热部的上游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第一信息和与所述加热部的下游侧的配置场所附近的流体的温度相关的第二信息；

2.根据权利要求1所述的流量测定装置，

所述温度输出部在切换所述测定方式的所述规定的阈值的附近，输出所述第一信息与所述第二信息的差以及所述第二信息这两者。

3.根据权利要求1或2所述的流量测定装置，

所述流路是从主流路分出的支流路，

所述支流路具有：

高流量用流路，其为从所述支流路自身进一步分出的流路，配置有所述加热部和所述温度输出部，并且对高流量的流体的流量进行测定；

低流量用流路，其为从所述支流路自身进一步分出的流路，配置有所述加热部和所述温度输出部，并且对低流量的流体的流量进行测定；

所述低流量用流路的流路截面积大于所述高流量用流路的流路截面积，

所述加热部和所述温度输出部配置于所述低流量用流路和所述高流量用流路中的各个流路，

所述流量测定部根据在所述高流量用流路配置的所述温度输出部的输出而通过所述第一测定方式对流量进行测定，

所述流量测定部根据在所述低流量用流路配置的所述温度输出部的输出而通过所述第二测定方式对流量进行测定。

4.根据权利要求3所述的流量测定装置，

所述支流路进一步具有从其自身进一步分出的流路、即对流体的特性进行检测的特性检测用流路，并且进一步具备：

第二加热部，其配置于所述特性检测用流路；

第二温度输出部，其在与所述特性检测用流路的流体流动方向正交的方向上跨过所述第二加热部地排列配置，输出与在所述正交的方向上从所述第二加热部扩散的热的分布相关的第三信息。