CN113375469A - 一种扩散炉顶部集热冷却排风装置 - Google Patents

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CN113375469A CN202110801045.9A CN202110801045A CN113375469A CN 113375469 A CN113375469 A CN 113375469A CN 202110801045 A CN202110801045 A CN 202110801045A CN 113375469 A CN113375469 A CN 113375469A
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宋立禄
张海林
滕玉朋
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Sairuida intelligent electronic equipment (Wuxi) Co.,Ltd.
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Qingdao Sunred Electronic Technology Co ltd
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Abstract

本发明公开了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，包括架体，所述架体侧面外部设置有护板封闭，所述架体内部上下分布有多个工位的加热器，所述架体的顶部设置有一组翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组，翅片双冷凝器组的上部平面靠紧机架顶板。本发明的有益效果是，本发明一种扩散炉顶部集熱冷却排风装置，规划了架体内部空间的进风和循环通道和经过冷凝器冷却后再排出热风的方式，解决了设备内部温度过高的所有问题。

Description

一种扩散炉顶部集热冷却排风装置
技术领域
本发明涉及半导体和光伏领域扩散炉、氧化炉等管式设备领域，特别是一种扩散炉顶部集热冷却排风装置。
背景技术
传统方式为，设备顶部没有冷却功能，只做了几个轴流风机的布置，将热量排出，对于厂房排风系统造成不利影响；或者虽然设置了冷凝器，本意是需要将热风冷却后排出，但是没有对冷却通道进行合理规划，没有对通道外进行封闭，造成热风随意走动，大部分热风没有经过冷凝器冷却就进入了风机而排出，没有起到应有的作用。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述问题，设计了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置。
实现上述目的本发明的技术方案为，一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，包括架体，所述架体侧面外部设置有护板封闭，所述架体内部上下分布有多个工位的加热器，所述架体的顶部设置有一组翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组，翅片双冷凝器组的上部平面靠紧机架顶板。
作为对本发明的进一步说明，所述架体的底层侧面的护板上设置有进风口，所述架体的顶层设置有若干风机。
作为对本发明的进一步说明，所述冷凝器安装板包括上安装板和下安装板，所述上安装板固定在机架顶板上，所述下安装板通过连接螺栓和上安装板连接在一起。
作为对本发明的进一步说明，相邻的所述连接螺栓之间设置有抽风导流通道，所述抽风导流通道的一侧固定着翅片双冷凝器组，所述翅片双冷凝器组之间设置有冷却抽风腔。
作为对本发明的进一步说明，所述风机位于所述冷却抽风腔的上方位置。
作为对本发明的进一步说明，所述翅片冷凝器形状为一个长方形状，长度方向由数百片薄翅片穿套在冷却铜管上相隔涨紧，相邻的2片翅片有3-6mm间隙。
其有益效果在于，热风必须通过顶部两侧从翅片双冷凝器组的翅片间空隙与翅片双冷凝器组所有数百片翅片掠过而降温，降温后进入冷却后抽风腔由顶部的数个风机排出，排出的冷却后的温热风进入厂排系统，由厂排系统排出厂房；循环风道规划为，两侧底部进风口进风(为车间环境温度)，沿架体内部空间的两侧向上，汇总数个工位的加热器的所有散热汇集的热量，将热风从顶部翅片双冷凝器组两侧的翅片空隙掠过，经冷却后进入冷却后抽风腔再由顶部的数个风机排出，解决了设备内部温度过高，对车间配套的排风设施因热量产生损伤的所有问题。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明侧面视角的剖视图；
图3是图2中A部分的局部放大图结构示意图。
图中，1、架体；2、护板；3、进风口；4、加热器；5、翅片双冷凝器组；6、风机；7、上安装板；8、下安装板；9、连接螺栓；10、抽风导流通道；11、冷却抽风腔。
具体实施方式
由于现有存在设备顶部没有冷却功能，只做了几个轴流风机的布置，将热量排出，对于厂房排风系统造成不利影响；或者虽然设置了冷凝器，本意是需要将热风冷却后排出，但是没有对冷却通道进行合理规划，没有对通道外进行封闭，造成热风随意走动，大部分热风没有经过冷凝器冷却就进入了风机而排出，没有起到应有的作用等问题，因此我们设计了一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，下面将根据附图对本发明的技术方案做详细地阐述；
下面结合附图对本发明进行具体描述，如图1-3所示，本发明的一种扩散炉顶部集熱冷却排风装置，其中的加热器4设备单元中其组成为架体1，架体1侧面外部由护板2封闭，架体1长度方向的两端截面与设备其它单元对接而封闭，护板2底部设置进风口3，架体1内部上下分布多个工位的加热器4(多个炉管工位)，顶部设置一组翅片双冷凝器组5，(翅片冷凝器形状为一个长方形状，长度方向由数百片薄翅片穿套在冷却铜管上相隔涨紧，相邻的2片翅片有3-6mm间隙，热风即从翅片间的空隙经过，冷凝器的翅片是穿套在冷却铜管上的冷却片，热量传导给翅片，从而降低热风温度，翅片的热量再有冷却铜管内部的冷却水带走，循环往复，此为冷凝器的工作原理)，翅片双冷凝器组5，由两个长方形状冷凝器，中间留有风机6的工作宽度，安装在冷凝器安装板上，冷凝器安装板承托着翅片双冷凝器组5使翅片双冷凝器组5的上部平面靠紧机架顶板，在翅片双冷凝器组5外侧用连接螺栓9通过冷凝器安装板将翅片双冷凝器组5压紧安装在机架顶板上，实现上下面封闭，长度方向与架体1内部等长同样为封闭，热风必须通过顶部两侧从翅片双冷凝器组5的翅片间空隙与翅片双冷凝器组5所有数百片翅片掠过而降温，降温后进入冷却后抽风腔由顶部的数个风机6排出，排出的冷却后的温热风进入厂排系统，由厂排系统排出厂房；循环风道规划为，两侧底部进风口3进风(为车间环境温度)，沿架体1内部空间的两侧向上，汇总数个工位的加热器4的所有散热汇集的热量，将热风从顶部翅片双冷凝器组5两侧的翅片空隙掠过，经冷却后进入冷却后抽风腔再由顶部的数个风机6排出。
上述技术方案仅体现了本发明技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本发明的原理，属于本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，包括架体(1)，所述架体(1)侧面外部设置有护板(2)封闭，所述架体(1)内部上下分布有多个工位的加热器(4)，所述架体(1)的顶部设置有一组翅片双冷凝器组(5)，所述翅片双冷凝器组(5)安装在冷凝器安装板上，所述冷凝器安装板承托着所述翅片双冷凝器组(5)，翅片双冷凝器组(5)的上部平面靠紧机架顶板。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述架体(1)的底层侧面的护板(2)上设置有进风口(3)，所述架体(1)的顶层设置有若干风机(6)。
3.根据权利要求2所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述冷凝器安装板包括上安装板(7)和下安装板(8)，所述上安装板(7)固定在机架顶板上，所述下安装板(8)通过连接螺栓(9)和上安装板(7)连接在一起。
4.根据权利要求3所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，相邻的所述连接螺栓(9)之间设置有抽风导流通道(10)，所述抽风导流通道(10)的一侧固定着翅片双冷凝器组(5)，所述翅片双冷凝器组(5)之间设置有冷却抽风腔(11)。
5.根据权利要求4所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述风机(6)位于所述冷却抽风腔(11)的上方位置。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉顶部集热冷却排风装置，其特征在于，所述翅片冷凝器形状为一个长方形状，长度方向由数百片薄翅片穿套在冷却铜管上相隔涨紧，相邻的2片翅片有3-6mm间隙。
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