CN212082037U - 一种减压扩散炉净化台散热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种减压扩散炉净化台散热装置，包括散热盒、水冷散热器和多个散热风扇，所述散热盒的底面敞口，所述散热盒安装在减压扩散炉净化台的顶部，通过敞口与净化台腔体相通，所述水冷散热器安装于散热盒内，各散热风扇安装于散热盒的顶部，所述散热风扇的风流方向为由散热盒内至散热盒外。本实用新型的水冷散热器通过内部循环冷却水对净化台进行冷却降温，散热风扇通过引导加快净化台内部的气体对流，散热快。散热效果好，减缓了净化台内部元器件的老化速度，大大提升了设备的稳定性，提高了设备的使用寿命，降低了设备运行和维护成本。

Description

一种减压扩散炉净化台散热装置

技术领域

本实用新型涉及减压扩散炉的散热设备，尤其涉及一种减压扩散炉净化台散热装置。

背景技术

现阶段低压扩散炉正常工作时均在外围配置了热排，为了防止低压扩散炉工作时，炉体加热辐射的热量积攒在设备内部，减慢工艺后石英舟的冷却速度，加速元器件的老化，需要在设备顶部安装风冷装置和水冷散热装置。采用此装置时，一方面可以加快工艺后石英舟的冷去速度，提高产能；另一方面，此装置能够将机台内部产生的热量及时排出，提高设备的稳定性，延长元器件的使用寿命。现有技术中，热排系统多采用外围负压的方式，当厂房设备数量较多时，为满足每台设备的热排抽风需求，此类方式对外围系统要求极高，不仅提高了厂家的成本，还要求更大的占地面积，在低压扩散炉正常工作时，由于散热不及时严重影响了设备稳定性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种散热快，散热效果好的减压扩散炉净化台散热装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种减压扩散炉净化台散热装置，包括散热盒、水冷散热器和多个散热风扇，所述散热盒的底面敞口，所述散热盒安装在减压扩散炉净化台的顶部，通过敞口与净化台腔体相通，所述水冷散热器安装于散热盒内，各散热风扇安装于散热盒的顶部，所述散热风扇的风流方向为由散热盒内至散热盒外。

作为上述技术方案的进一步改进，所述散热风扇为金属风扇。

作为上述技术方案的进一步改进，所述散热风扇的风流方向与散热盒垂直且朝外。

作为上述技术方案的进一步改进，各散热风扇均匀布置于水冷散热器的上方。

作为上述技术方案的进一步改进，所述水冷散热器内均匀布置有冷却铜管，所述冷却铜管的进水端和出水端均伸出水冷散热器外，所述冷却铜管的进水端和出水端均通过不锈钢转接接头与高温水管连接。

作为上述技术方案的进一步改进，所述水冷散热器内的冷却铜管外包裹亲水铝箔。

作为上述技术方案的进一步改进，所述冷却铜管的进水端与不锈钢转接接头通过卡套连接，进水端的高温水管通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头连接；所述冷却铜管的出水端与不锈钢转接接头通过卡套连接，出水端的高温水管通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头连接。

作为上述技术方案的进一步改进，所述散热盒包括主体框架、多个侧板和多个顶板，各顶板和各侧板均卡设于主体框架的卡槽内，位于水冷散热器上方的顶板为风扇安装板，各风扇安装板上安装至少一个散热风扇。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的减压扩散炉净化台散热装置，减压扩散炉工艺结束后取料过程中，减压扩散炉净化台内部要求无尘低压环境，工艺结束后出炉的硅片温度较高，热量通过辐射和传导方式作用于水冷散热器，水冷散热器通过内部循环冷却水对净化台进行冷却降温，散热风扇通过引导加快净化台内部的气体对流，散热快。散热效果好，减缓了净化台内部元器件的老化速度，大大提升了设备的稳定性，提高了设备的使用寿命，降低了设备运行和维护成本，同时提升了设备的单位时间内的使用率，提高了生产效益。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图(去掉部分顶板)。

图3是本实用新型的主视结构示意图。

图4是图2的A处放大图。

图5是本实用新型中不锈钢转接接头与卡套的连接结构示意图。

图中各标号表示：

1、散热盒；101、卡槽；11、主体框架；12、侧板；13、顶板；2、水冷散热器；3、散热风扇；4、冷却铜管；5、不锈钢转接接头；6、高温水管；7、亲水铝箔；8、卡套。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1至图5示，本实施例的减压扩散炉净化台散热装置，包括散热盒1、水冷散热器2和多个散热风扇3，散热盒1的底面敞口，散热盒1安装在减压扩散炉净化台的顶部，通过敞口与净化台腔体相通，水冷散热器2安装于散热盒1内，各散热风扇3安装于散热盒1的顶部，散热风扇3的风流方向为由散热盒1内至散热盒1外。散热气流方向由净化台内部往设备外排送。

散热风扇3的数量与水冷散热器2的大小有关。本实施例以6个散热风扇3为例。散热风扇3均匀布置在水冷散热器2的上方。散热风扇3与水冷散热器2上表面有一定的间距形成冷却腔9，通过散热风扇3将冷却腔9内部气体外排，从而冷却腔9与净化台内部腔体形成压力差进行散热降温，散热快，散热效果好。

散热盒1安装于净化台顶部，用于安装冷却系统和外围热排，有利于整理安装和拆卸。水冷散热器2的水流方向与散热盒1和净化台的安装面平行，可增大水冷散热器2与净化台的接触面，增大扩散炉设备的冷却效率。该减压扩散炉净化台散热装置，减压扩散炉工艺结束后取料过程中，减压扩散炉净化台内部要求无尘低压环境，工艺结束后出炉的硅片温度较高，热量通过辐射和传导方式作用于水冷散热器2，水冷散热器2通过内部循环冷却水对净化台进行冷却降温，散热风扇3通过引导加快净化台内部的气体对流，散热快，散热效果好，减缓了净化台内部元器件的老化速度，大大提升了设备的稳定性，提高了设备的使用寿命，从而提高了设备的稳定性和可靠性，降低了设备运行和维护成本，同时提升了设备的单位时间内的使用率，提高了生产效益。

本实施例中，散热风扇3为金属风扇。金属风扇内高温，从而减少风扇的故障率，散热风扇3的风流方向与散热盒1垂直且朝外。需要说明的是，在其他实施例中，散热风扇3也可以散热盒1顶面倾斜一定角度，只要散热风扇3的风流方向为由内之外即可。

本实施例中，水冷散热器2内均匀布置有冷却铜管4，冷却铜管4外包裹亲水铝箔7。冷却铜管4的进水端和出水端均伸出水冷散热器2外，冷却铜管4的进水端和出水端均通过不锈钢转接接头5与高温水管6连接。

具体为冷却铜管4的进水端通过卡套8与不锈钢转接接头5连接，卡套8套住冷却铜管4，不锈钢转接接头5与卡套8螺纹连接，如图5所示。进水端的高温水管6通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头5连接；高温水管6两端配有可相对水管转动NPT 3/8内丝接头，内丝接头内配有橡胶密封圈，进水端的高温水管6通过两端接头分别与主进水管和冷却铜管4的进水端的不锈钢转接接头5连接，提高了减压扩散炉净化台散热装置的密封效果，提高了设备的温度性，此外有利于水冷散热器2拆卸检修，降低了维护成本。同理，出水端的高温水管6通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头5连接，出水端的高温水管6通过两端接头分别与主出水管和冷却铜管4出水端的不锈钢转接接头5连接。

本实施例中，散热盒1包括主体框架11、多个侧板12和多个顶板13，各顶板13和各侧板12均卡设于主体框架11的卡槽101内，位于水冷散热器2上方的顶板13为风扇安装板，各风扇安装板上安装至少一个散热风扇3。金属风扇6通过螺钉连接固定在风扇固定板5的表面。本实施例优选的，风扇安装板有4个，如图2所示，左侧的风扇安装板靠近水冷散热器2，左侧的风扇安装板上设置两个散热风扇3，右侧的仅设置一个散热风扇3。这样所有散热风扇3是均布在水冷散热器2的上方的，有利于均匀排风散热。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (8)

1.一种减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：包括散热盒(1)、水冷散热器(2)和多个散热风扇(3)，所述散热盒(1)的底面敞口，所述散热盒(1)安装在减压扩散炉净化台的顶部，通过敞口与净化台腔体相通，所述水冷散热器(2)安装于散热盒(1)内，各散热风扇(3)安装于散热盒(1)的顶部，所述散热风扇(3)的风流方向为由散热盒(1)内至散热盒(1)外。

2.根据权利要求1所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述散热风扇(3)为金属风扇。

3.根据权利要求1所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述散热风扇(3)的风流方向与散热盒(1)垂直且朝外。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：各散热风扇(3)均匀布置于水冷散热器(2)的上方。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述水冷散热器(2)内均匀布置有冷却铜管(4)，所述冷却铜管(4)的进水端和出水端均伸出水冷散热器(2)外，所述冷却铜管(4)的进水端和出水端均通过不锈钢转接接头(5)与高温水管(6)连接。

6.根据权利要求5所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述水冷散热器(2)内的冷却铜管(4)外包裹亲水铝箔(7)。

7.根据权利要求6所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述冷却铜管(4)的进水端与不锈钢转接接头(5)通过卡套(8)连接，进水端的高温水管(6)通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头(5)连接；所述冷却铜管(4)的出水端与不锈钢转接接头(5)通过卡套(8)连接，出水端的高温水管(6)通过NPT3/8内丝接头与不锈钢转接接头(5)连接。

8.根据权利要求1至3任意一项所述的减压扩散炉净化台散热装置，其特征在于：所述散热盒(1)包括主体框架(11)、多个侧板(12)和多个顶板(13)，各顶板(13)和各侧板(12)均卡设于主体框架(11)的卡槽(101)内，位于水冷散热器(2)上方的顶板(13)为风扇安装板，各风扇安装板上安装至少一个散热风扇(3)。

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