CN113375055B - 气体供应系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及气体供应系统，涉及一种用于互补地连接相互对应的模块而更加稳定地供应供应气体的气体供应系统。根据本发明的气体供应系统包括：第一气体混合供应装置和第二气体混合供应装置，包括相互对应的多个模块，并且构成为并联连接到气体需求处而分别向所述气体需求处供应混合有多种气体的供应气体；至少一个连接管线，连接所述第一气体混合供应装置与所述第二气体混合供应装置之间，从而互补地连接所述多个模块中相互对应的模块；控制部，对是否使所述多个模块与所述至少一个连接管线相互连接进行控制而选择性地形成所述供应气体的供应流路。

Description

气体供应系统
技术领域
本发明涉及一种气体供应系统，涉及一种用于互补地连接相互对应的模块而更加稳定地供应供应气体的气体供应系统。
背景技术
通常，利用气体的装置构成为利用适合各种目的的供应气体，并且根据各种目的和供应气体的种类，要求满足预定的浓度和压力等。
尤其是，对于向执行精密作业的气体需求处(例如，半导体处理设备)供应气体的气体供应装置而言，需要使浓度、压力以及温度等满足精确的误差范围。
图1示出了向半导体处理设备供应气体的气体供应装置的现有技术的一实施例。
参照图1，根据现有技术的气体供应装置包括：混合部1，混合多种气体；罐2，储存从所述混合部1供应的混合气体；供应部3，将储存在所述罐2的气体供应到作为半导体处理设备的气体需求处S。
所述混合部1包括：多个源气体供应管线11、21，分别连接到储存有不同种类的源气体的多个源气体供应罐10、20而供应多种源气体；混合部30，混合从所述多个源气体供应管线11、21供应的多种源气体；混合气体供应管线31，使在所述混合部30混合的气体向所述罐2流动。
在所述多个源气体供应管线11、21配备有：压力调节部(PRV)12、22和流量调节部(MFC)13、23，控制沿各个流路供应的源气体的压力和流量；以及源气体阀14、24，开闭各个流路。
控制部(未示出)将通过控制所述压力调节部12、22、所述流量调节部13、23以及所述源气体阀14、24而调节沿各个流路供应的源气体的压力和流量以及是否进行供应，从而调节所述供应气体的浓度和压力。
所述供应部3包括：罐气体供应管线40，使储存在所述罐2的气体向所述气体需求处S流动；罐气体供应管线阀41，开闭所述罐气体供应管线40。
在对所述气体需求处S供应供应气体的情形下，所述控制部会打开所述罐气体供应管线阀41而向所述气体需求处S供应储存在所述罐2的气体。
在如上所述的现有技术中存在如下问题：在通过所述混合部1向所述罐2供给供应气体的初始阶段，由于所述混合部1的结构限制而发生流量振荡现象，从而使储存在所述罐2的气体的浓度变得不规则。
并且，所述气体供应装置是连接有所述混合部1、所述罐2以及所述供应部3的单个装置，通常根据设置的场所以及设置工艺，在能够容纳的容量方面存在限制，因此，在向所述气体需求处供应所述供应气体时可能会发生问题。
作为一例，在通过所述气体供应装置向所述气体需求处连续供应所述供应气体的情形下，可能会发生在将所述罐2中储存的供应气体全部消耗后，直到所述罐2被重新填满供应气体为止无法向所述气体需求处稳定地供应所述供应气体的问题。
并且，在所述混合部1、所述罐2以及所述供应部3中的一个发生异常的情形下，可能会发生直到该异常解除为止无法向所述气体需求处稳定地供应所述供应气体的问题。
因此，正在活跃地进行关于用于向所述气体需求处S稳定地供应满足预定浓度范围的供应气体的气体供应装置以及气体供应方法的讨论。
作为关于如上所述的气体供应装置的现有技术的一例，有韩国授权专利第10-1659200号。
发明内容
本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于提供一种用于恒定地维持供应气体的浓度而向气体需求处稳定地供给的气体供应系统。
为了实现如上所述的目的的本发明的气体供应系统构成为包括：第一气体混合供应装置和第二气体混合供应装置，包括相互对应的多个模块，并且构成为并联连接到气体需求处而分别向所述气体需求处供应混合有多种气体的供应气体；至少一个连接管线，连接所述第一气体混合供应装置与所述第二气体混合供应装置之间，从而互补地连接所述多个模块中相互对应的模块；控制部，对是否使所述多个模块与所述至少一个连接管线相互连接进行控制而选择性地形成所述供应气体的供应流路。
所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置可以分别构成为包括：混合模块，混合多种气体而进行供应；罐模块，储存从所述混合模块供应的供应气体；供应模块，将储存在所述罐模块的供应气体供应到所述气体需求处，在所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置分别形成有：第一连接部，连接所述混合模块和所述罐模块；第二连接部，连接所述罐模块和所述供应模块；第三连接部，连接所述供应模块和所述气体需求处，所述至少一个连接管线可以构成为包括第一连接管线、第二连接管线、第三连接管线中的至少一个，所述第一连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第一连接部和所述第二气体混合供应装置的第一连接部，所述第二连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第二连接部和所述第二气体混合供应装置的第二连接部，所述第三连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第三连接部和所述第二气体混合供应装置的第三连接部。
并且，所述控制部可以构成为根据所述多个模块中的每一个是否正常运行而分别选择分别包括于所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置而相互对应的一对混合模块中的一个、一对罐模块中的一个、一对供应模块中的一个而依次连接。
所述混合模块可以构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体浓度分析部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的浓度，所述控制部可以构成为通过比较由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述混合模块是否正常运行。
并且，所述混合模块可以构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体压力测量部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的压力，所述控制部可以构成为通过比较由所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述罐模块内部的压力而判断所述混合模块是否正常运行。
并且，所述罐模块构成为包括测量所述罐模块内部的气体压力的罐模块压力测量部，所述控制部构成为通过比较由所述罐模块压力测量部测量的供应气体的压力与预先设定的基准压力范围而判断所述罐模块是否正常运行。
并且，所述供应模块可以构成为包括：罐气体供应管线，使储存在所述罐模块的供应气体向所述气体需求处流动；罐气体浓度分析部，测量在所述罐气体供应管线中流动的供应气体的浓度，其中，所述控制部可以构成为比较由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述供应模块是否正常运行。
并且，可以构成为配备有分别开闭所述至少一个连接管线的至少一个连接管线阀，所述控制部构成为通过控制所述至少一个连接管线阀的驱动而控制是否连通所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置。
并且，可以包括：第一阀，开闭所述第一连接部的混合模块侧连接流路；第二阀，开闭所述第一连接部的罐模块侧连接流路，其中，所述控制部可以以如下方式进行控制：打开所述第一气体混合供应装置的第一阀并关闭第二阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第一阀并打开第二阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的混合模块通过所述第一连接管线向所述第二气体混合供应装置的罐模块流动。
并且，所述控制部可以以如下方式进行控制：打开所述第一气体混合供应装置的第一阀和第二阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第一阀和第二阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的混合模块向所述第一气体混合供应装置的罐模块流动。
并且，可以包括：第三阀，开闭所述第二连接部的罐模块侧连接流路；第四阀，开闭所述第二连接部的供应模块侧连接流路，其中，所述控制部可以以如下方式进行控制：打开所述第一气体混合供应装置的第三阀并关闭第四阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第三阀并打开第四阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的罐模块通过所述第二连接管线向所述第二气体混合供应装置的供应模块流动。
并且，所述控制部可以以如下方式进行控制：打开所述第一气体混合供应装置的第三阀和第四阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第三阀和第四阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的罐模块向所述第一气体混合供应装置的供应模块流动。
并且，可以包括：第五阀，开闭所述第三连接部的供应模块侧连接流路，其中，所述控制部可以以如下方式进行控制：在连接所述第一气体混合供应装置与所述气体需求处的第一气体需求处连接部关闭，连接有所述第二气体混合供应装置与所述气体需求处的第二气体需求处连接部打开的状态下，打开所述第一气体混合供应装置的第五阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第五阀，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的供应模块向所述第三连接管线流动，并通过所述第二气体需求处连接部供应到所述气体需求处。
并且，所述控制部可以以如下方式进行控制：在所述第一气体需求处连接部打开，第二气体需求处连接部关闭的状态下，打开所述第一气体混合供应装置的第五阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第五阀，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的供应模块通过所述第一气体需求处连接部供应到所述气体需求处。
并且，所述混合模块可以构成为包括：混合气体供应管线阀，开闭所述混合气体供应管线；混合气体排气管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体排气管线阀，开闭所述混合气体排气管线。
并且，所述控制部可以构成为：如果由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足预先设定的基准浓度范围，则打开所述混合气体供应管线阀，关闭所述混合气体排气管线阀；如果由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述混合气体供应管线阀，打开所述混合气体排气管线阀。
并且，所述混合模块可以构成为包括：混合气体供应管线阀，开闭所述混合气体供应管线；混合气体排气管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体排气管线阀，开闭所述混合气体排气管线。
并且，所述控制部可以构成为：如果由所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述罐模块的内部压力以上，则打开所述混合气体供应管线阀，关闭所述混合气体排气管线阀；如果在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力低于所述罐模块的内部压力，则关闭所述混合气体供应管线阀，打开所述混合气体排气管线阀。
并且，所述混合模块可以构成为包括：混合气体浓度分析管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体浓度分析管线阀，开闭所述混合气体浓度分析管线。
并且，所述混合气体浓度分析部可以配备为在所述供应气体从所述混合气体供应管线向所述混合气体浓度分析管线流动的情形下测量相应供应气体的浓度。
并且，所述控制部可以构成为通过控制所述混合气体浓度分析管线阀的驱动而控制是否向所述混合气体浓度分析管线供应所述供应气体，从而对是否通过所述混合气体浓度分析部测量所述供应气体的浓度进行控制。
并且，所述混合模块可以构成为包括：混合气体感测测量管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体感测测量管线阀，开闭所述混合气体感测测量管线。
并且，所述混合气体压力测量部可以配备为在所述供应气体从所述混合气体供应管线向所述混合气体感测测量管线流动的情形下测量相应供应气体的压力。
并且，所述控制部可以构成为通过控制所述混合气体感测测量管线阀而对是否通过所述混合气体压力测量部测量所述供应气体的压力进行控制。
并且，所述混合模块还可以包括：混合气体排气流量调节部，调节所述混合气体排气管线的开度而调节通过所述混合气体排气管线排出的所述供应气体的排出量。
并且，所述混合模块可以构成为包括：多个源气体供应管线，分别被供应多种不同的源气体；混合部，混合从所述多个源气体供应管线供应的多种不同源气体而形成所述供应气体；混合气体供应管线，连接所述混合部和所述罐模块。
并且，所述供应模块可以构成为包括测量在连接所述罐模块和所述气体需求处的罐气体供应管线中流动的供应气体的浓度的罐气体浓度分析部。
并且，所述控制部可以构成为比较由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断向所述气体需求处供应的供应气体是否适当。
并且，所述供应模块可以构成为包括：罐气体供应管线阀，开闭所述罐气体供应管线；罐气体排气管线，从所述罐气体供应管线分支并连接到外部；罐气体排气管线阀，开闭所述罐气体排气管线。
并且，所述控制部可以构成为：如果由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足预先设定的基准浓度范围，则打开所述罐气体供应管线阀，关闭所述罐气体排气管线阀；如果由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述罐气体供应管线阀，打开所述罐气体排气管线阀。
并且，所述供应模块可以构成为包括罐气体浓度分析管线和罐气体浓度分析管线阀，所述罐气体浓度分析管线从所述罐气体供应管线分支而连接到外部，所述罐气体浓度分析管线阀开闭所述罐气体浓度分析管线。
并且，所述罐气体浓度分析部可以配备为在所述供应气体从所述罐气体供应管线向所述罐气体浓度分析管线流动的情形下测量相应供应气体的浓度。
并且，所述控制部可以构成为通过控制所述罐气体浓度分析管线阀的驱动而对是否测量通过所述罐气体浓度分析部的所述供应气体的压力进行控制。
并且，所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置可以是所述混合模块、所述罐以及所述供应模块由分别独立的结构构成的同时以能够相互结合的方式构成的模块型装置。
根据本发明的气体供应系统，可以通过将多个气体混合供应装置并联连接到气体需求处而以互补的方式运行，从而更加稳定地供给供应气体。
并且，在并联连接的多个气体混合供应装置中，可以互补地连接相互对应的模块而使其选择性地连通，从而更加稳定地供给供应气体。
并且，由于混合模块、罐模块以及供应模块分别实现为独立的构成，因此能够容纳更大容量的供应气体而稳定地进行供应。
附图说明
图1是示意性地示出根据现有技术的气体供应装置的图。
图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的气体供应系统的图。
【附图标记说明】
1000：第一气体混合供应装置 2000：第二气体混合供应装置
100-1、100-2：混合模块 130-1、130-2：混合部
140-1,140-2：混合气体供应管线
141-1、141-2：混合气体供应管线阀
150-1、150-2：混合气体排气管线
151-1、140-2：混合气体排气管线阀
152-1、152-2：混合气体排气流量调节部
160-1、160-2：混合气体感测测量管线
161-1、160-2：混合气体感测测量管线阀
170-1、170-2：混合气体浓度分析部
180-1、180-2：混合气体压力测量部
200-1、200-2：罐模块 210-1、210-2：罐模块压力测量部
300-1、300-2：供应模块 310-1、310-2：罐气体浓度分析部
320-1、320-2：罐气体供应管线 321-1、321-2：罐气体供应管线阀
330-1、330-2：罐气体排气管线 331-1、331-2：罐气体排气管线阀
340-1、340-2：罐气体浓度分析管线
341-1、341-2：罐气体浓度分析管线阀
400-1：第一气体需求处连接部 400-2：第二气体需求处连接部
510：第一连接管线 511：第一连接管线阀
520：第二连接管线 521：第二连接管线阀
530：第三连接管线 531：第三连接管线阀
610-1、610-2：第一连接部 620-1、620-2：第二连接部
630-1、630-2：第三连接部 710-1、710-2：第一阀
720-1、720-2：第二阀 730-1、730-2：第三阀
740-1、740-2：第四阀 750-1、750-2：第五阀
具体实施方式
以下，参照附图详细说明根据本发明的气体供应系统的构成和作用则如下。
其中，省略关于在现有技术中说明的内容和重复的内容的详细说明，以本发明中新增加的构成要素为中心进行说明。
图2示出了根据本发明的一实施例的气体供应系统。
根据本发明的一实施例的气体供应系统包括：第一气体混合供应装置1000和第二气体混合供应装置2000，包括相互对应的多个模块100-1、200-1、300-1、100-2、200-2、300-2，并且构成为并联连接到气体需求处S而分别向所述气体需求处S供应混合有多种气体的供应气体；至少一个连接管线510、520、530，连接所述第一气体混合供应装置1000与所述第二气体混合供应装置2000之间，互补地连接所述多个模块100-1、200-1、300-1、100-2、200-2、300-2中相互对应的模块；以及控制部(未示出)，分别控制所述多个模块100-1、200-1、300-1、100-2、200-2、300-2与所述至少一个连接管线510、520、530的彼此连接与否，从而选择性地形成所述供应气体的供应流路。
所述第一气体混合供应装置1000和所述第二气体混合供应装置2000可以是分别包括混合模块100-1、100-2、罐模块200-1、200-2、供应模块300-1、300-2而构成的模块型装置，其中，所述混合模块100-1、100-2混合多种气体而进行供应，所述罐模块200-1、200-2储存从所述混合模块100-1、100-2供应的供应气体，所述供应模块300-1、300-2将储存在所述罐模块200-1、200-2的供应气体供应到所述气体需求处S。
所述混合模块100-1、100-2、所述罐模块200-1、200-2以及所述供应模块300-1、300-2分别由独立构成的单独的设备实现，并且可以依次结合而分别构成所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置。
根据如上所述的模块型气体混合供应装置，与由混合系统、罐以及供应模块相连接而成的单个装置构成的根据现有技术的一体型气体供应装置相比，能够显著缓解由于设置的场所以及设置工艺的制约。
因此，可以与需要的容量匹配地构成所述混合模块100-1、100-2、所述罐模块200-1、200-2以及所述供应模块300-1、300-2的尺寸，据此，不仅能够容纳更大容量的供应气体，还可以更加稳定地向所述气体供应处供应所述供应气体。
通过所述供应模块300-1、300-2而供应的所述供应气体可以通过气体需求处连接部400-1、400-2供应到所述气体需求处S。
在所述第一气体混合供应装置1000和所述第二气体混合供应装置2000可以分别形成有：第一连接部610-1、610-2，连接所述混合模块100-1、100-2和所述罐模块200-1、200-2；第二连接部620-1、620-2，连接所述罐模块200-1、200-2和所述供应模块300-1、300-2；第三连接部630-1、630-2，连接所述供应模块300-1、300-2和所述气体需求处连接部400-1、400-2。
所述至少一个连接管线510、520、530可以构成为包括第一连接管线510、第二连接管线520、第三连接管线530中的至少一个，所述第一连接管线510连接所述第一气体混合供应装置1000的第一连接部610-1和所述第二气体混合供应装置2000的第一连接部610-2，所述第二连接管线520连接所述第一气体混合供应装置1000的第二连接部620-1和所述第二气体混合供应装置2000的第二连接部620-2，所述第三连接管线530连接所述第一气体混合供应装置1000的第三连接部630-1和所述第二气体混合供应装置2000的第三连接部630-2。
并且，可以构成为包括：开闭所述第一连接管线510的第一连接管线阀511；开闭所述第二连接管线520的第二连接管线阀521；以及开闭所述第三连接管线530的第三连接管线阀531。
并且，可以构成为还包括：第一阀710-1、710-2，开闭所述第一连接部610-1、610-2的从所述第一连接部610-1、610-2连接到所述混合模块100-1、100-2的混合模块侧连接流路；第二阀720-1、720-2，开闭所述第一连接部610-1、610-2的从所述第一连接部610-1、610-2连接到所述罐模块200-1、200-2的罐模块侧连接流路。
所述第一阀710-1、710-2可以由后述的混合气体供应管线阀141代替。
并且，可以构成为还包括：第三阀730-1、730-2，开闭所述第二连接部620-1、620-2的从所述第二连接部620-1、620-2连接到所述罐模块200-1、200-2的罐模块侧连接流路；第四阀740-1、740-2，开闭所述第二连接部620-1、620-2的从所述第二连接部620-1、620-2连接到所述供应模块300-1、300-2的供应模块侧连接流路。
并且，可以构成为还包括：第五阀750-1、750-2，开闭所述第三连接部630-1、630-2的从所述第三连接部630-1、630-2连接到所述供应模块300-1、300-2的供应模块侧连接流路，所述第五阀750-1、750-2可以由后述的罐气体供应管线阀321-1、321-2代替。
所述控制部可以通过控制所述第一连接管线阀511、所述第二连接管线阀521、所述第三连接管线阀531以及所述第一阀710-1、710-2、所述第二阀720-1、720-2、所述第三阀730-1、730-2、所述第四阀740-1、740-2、所述第五阀750-1、750-2的驱动，从而通过至少一个所述连接管线510、520、530选择性地连通所述第一气体混合供应装置1000和所述第二气体混合供应装置2000。
作为一例，所述控制部可以控制为打开所述第一气体混合供应装置1000的第一阀710-1，关闭第二阀720-1，关闭所述第二气体混合供应装置2000的第一阀710-2，打开第二阀720-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的混合模块100-1通过所述第一连接管线510向所述第二气体混合供应装置2000的罐模块200-2流动。
并且，所述控制部可以控制为打开所述第一气体混合供应装置1000的第一阀710-1和第二阀720-1，关闭所述第二气体混合供应装置2000的第一阀710-2和第二阀720-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的混合模块100-1向所述第一气体混合供应装置1000的罐模块200-1流动。
作为又一例，所述控制部可以控制为打开所述第一气体混合供应装置1000的第三阀730-1，关闭第四阀740-1，关闭所述第二气体混合供应装置2000的第三阀730-2，打开第四阀740-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的罐模块200-1通过所述第二连接管线520向所述第二气体混合供应装置2000的供应模块300-2流动。
并且，所述控制部可以控制为打开所述第一气体混合供应装置1000的第三阀730-1和第四阀740-1，关闭所述第二气体混合供应装置2000的第三阀730-2和第四阀740-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的罐模块200-1向所述第一气体混合供应装置1000的供应模块300-1流动。
作为又一例，所述控制部可以控制为在连接所述第一气体混合供应装置1000与所述气体需求处S的第一气体需求处连接部400-1关闭且连接所述第二气体混合供应装置2000与所述气体需求处S的第二气体需求处连接部400-2打开的状态下，打开所述第一气体混合供应装置1000的第五阀750-1并关闭所述第二气体混合供应装置2000的第五阀750-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的供应模块300-1向所述第三连接管线530流动，从而通过所述第二气体需求处连接部400-2供应到所述气体需求处S。
并且，所述控制部可以控制为在所述第一气体需求处连接部400-1打开且所述第二气体需求处连接部400-2关闭的状态下，打开所述第一气体混合供应装置1000的第五阀750-1并关闭所述第二气体混合供应装置2000的第五阀750-2，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置1000的供应模块300-1通过所述第一气体需求处连接部400-1供应到所述气体需求处S。
即，所述控制部可以利用所述第一连接管线510、所述第二连接管线520以及所述第三连接管线530中的至少一个，分别选择分别包括于所述第一气体混合供应装置1000和所述第二气体混合供应装置2000而相互对应的一对模块中的一个(即，一对混合模块100-1、100-2中的一个、一对罐模块200-1、200-2中的一个、一对供应模块300-1、300-3中的一个)而依次连接，由此，可以选择性地形成向所述气体需求处S供应所述供应气体的供应流路。
此时，所述控制部可以根据所述多个模块100-1、200-1、300-1、100-2、200-2、300-2中的每一个是否正常运行来如上所述地选择相互对应的一对模块中的一个，据此可以形成由没有异常状态而正常运行的模块构成的供应流路，从而可以稳定地供应所述供应气体。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为包括：多个源气体供应管线110-1、120-1、110-2、120-2，连接到源气体供应罐101-1、102-1、101-2、102-2而分别被供应多种不同的源气体；混合部130-1、130-2，混合从所述多个源气体供应管线110-1、120-1、110-2、120-2供应的多种源气体；混合气体供应管线140-1、140-2，使在所述混合部130-1、130-2形成的供应气体向所述罐模块200流动。
在所述源气体供应管线110-1、120-1、110-2、120-2可以配备有分别调节所述多种不同源气体的供应压力的的至少一个压力调节部111-1、121-1、111-2、121-2和分别调节所述多种不同源气体的供应流量的至少一个流量调节部112-1、122-1、112-2、112-2，并且可以配备有分别开闭所述源气体供应管线110-1、120-1、110-2、120-2的源气体阀113-1、123-1、113-2、123-2，从而控制是否供应各个源气体。
所述压力调节部111-1、121-1、111-2、121-2和所述流量调节部112-1、122-1、112-2、122-2以及所述源气体阀113-1、123-1、113-2、123-2的驱动可以借由所述控制部控制。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为还包括开闭所述混合气体供应管线140-1、140-2的混合气体供应管线阀141-1、141-2。
所述控制部可以通过控制所述混合气体供应管线阀141-1、141-2的驱动而控制是否向所述罐模块200-1、200-2供应在所述混合部130-1、130-2混合而形成的供应气体。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为还包括：混合气体排气管线150-1、150-2，从所述混合气体供应管线140-1、140-2分支并连接到外部；混合气体排气管线阀151-1、151-2，开闭所述混合气体排气管线150-1、150-2。
所述控制部可以通过控制所述混合气体排气管线阀151-1、151-2的驱动，从而控制是否将在所述混合部130-1、130-2混合而形成的供应气体通过所述混合气体排气管线150-1、150-2排出到外部。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为包括以下部件中的至少一个：混合气体浓度分析部170-1、170-2，测量在所述混合气体供应管线140-1、140-2中流动的供应气体的浓度；混合气体压力测量部180-1、180-2，测量在所述混合气体供应管线140-1、140-2中流动的供应气体的压力。
所述控制部可以通过比较在所述混合气体浓度分析部170-1、170-2测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围，并比较在所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量的供应气体的压力与所述罐模块200-1、200-2内部的压力，从而判断所述混合模块100-1、100-2是否正常运行。
如果在所述混合气体浓度分析部170-1、170-2测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，在所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量的供应气体的压力为所述罐模块200-1、200-2内部的气体压力以上，则所述控制部可以判断相关混合模块100-1、100-2处于正常运行状态。
并且，如果在所述混合气体浓度分析部170-1、170-2测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，在所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量的供应气体的压力小于所述罐模块200-1、200-2内部的气体压力，则所述控制部可以判断相关混合模块100-1、100-2不在正常运行状态。
所述控制部可以根据如上所述地被判断的各混合模块100-1、100-2是否正常运行而选择相互对应的一对混合模块100-1、100-2中的一个来形成所述供应流路，从而稳定地供应所述供应气体。
并且，如果在所述混合气体浓度分析部170-1、170-2测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，在所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量的供应气体的压力为所述罐模块200-1、200-2内部的气体压力以上，则所述控制部可以控制为打开所述混合气体供应管线阀141-1、141-2且关闭所述混合气体排气管线阀151-1、151-2，以使从所述混合部130-1、130-2供应的供应气体沿所述混合气体供应管线140-1、140-2流动到所述罐模块200-1、200-2并进行储存而不排出到外部。
并且，如果在所述混合气体浓度分析部170-1、170-2测量的供应气体的浓度不满足预先设定的基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量的供应气体的压力小于所述罐模块200-1、200-2内部的气体压力，则所述控制部可以控制为关闭所述混合气体供应管线阀141-1、141-2且打开所述混合气体排气管线阀151-1、151-2，以将在所述混合气体供应管线140-1、140-2中流动的供应气体排出到外部的同时阻断向所述罐模块200-1、200-2供应供应气体。
由此，可以防止浓度和压力不满足预先设定的范围的供应气体被储存到所述罐模块200-1、200-2，并且可以在所述罐模块200-1、200-2稳定地储存具有预定范围的浓度和压力的供应气体。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为还包括：感测测量管线160-1、160-2，从所述混合气体供应管线140-1、140-2分支并连接到外部；以及感测测量管线阀161-1、161-2，开闭所述感测测量管线160-1、160-2。
在所述混合气体供应管线140-1、140-2中流动的供应气体向所述感测测量管线160-1、160-2流动的情形下，所述混合气体浓度分析部170-1、170-2和所述混合气体压力测量部180-1、180-2会分别测量相应供应气体的浓度以及压力。
因此，所述控制部可以通过控制所述感测测量管线阀161-1、161-2的驱动来控制是否向所述感测测量管线160-1、160-2供应所述供应气体，从而控制是否通过所述混合气体浓度分析部170-1、170-2以及所述混合气体压力测量部180-1、180-2测量所述供应气体的浓度以及压力。
所述感测测量管线160-1、160-2可以配备为具有小于所述混合气体排气管线150-1、150-2的截面积，所述混合气体浓度分析部170-1、170-2以及所述混合气体压力测量部180-1、180-2可以构成为使测量气体的浓度以及压力所需的最小流量的供应气体流动。
即，所述感测测量管线160-1、160-2可以实现为具有使显著小于所述混合气体供应管线140-1、140-2以及所述混合气体排气管线150-1、150-2的流量的供应气体流动的构成。
因此，相比使所述供应气体流动于所述混合气体供应管线140-1、140-2或者所述混合气体排气管线150-1、150-2而测量浓度以及压力的情形，通过使所述供应气体流动于所述感测测量管线160-1、160-2而测量浓度以及压力可以减少所需的供应气体的量，并且提高装置的效率。
所述混合模块100-1、100-2可以构成为还包括调节所述混合气体排气管线150-1、150-2的开度的混合气体排气流量调节部152-1、152-2。
所述控制部通过调节所述混合气体排气流量调节部152-1、152-2而调节通过所述混合气体排气管线150-1、150-2排出的供应气体的排出量，从而能够有效地调节通过所述混合气体供应管线140-1、140-2向所述罐模块200-1、200-2流动的供应气体的压力。
所述罐模块200-1、200-2由具有预定厚度的具有高刚性、耐热性以及耐压性的材料构成，以储存高温高压的气体，并且由具有耐化学性以及耐腐蚀性的材料构成，以防止与气体发生反应而引起变质或者腐蚀进而引发储存的气体的性质发生变化。
满足上述条件的材料有不锈钢(SUS)。不锈钢具有高刚性、耐热性、耐腐蚀性优秀、容易得到且较经济的优点，因此是广泛用于各种领域的材料之一。
所述罐模块200-1、200-2可以由以使内部压力形成在压力上限值和压力下限值之间的方式构成的分批式(Batch type)罐实现。
在所述罐模块200-1、200-2可以配备有用于测量内部的气体压力的罐压力测量部210-1、210-2。
所述控制部可以通过比较由所述罐压力测量部210-1、210-2测量的供应气体的压力和预先设定的基准压力范围来判断所述罐模块200-1、200-2是否正常运行。
如果由所述罐压力测量部210-1、210-2测量的供应气体的压力满足所述基准压力范围，则所述控制部可以判断相应罐模块200-1、200-2处于正常运行状态，如果测量的供应气体的压力不满足所述基准压力范围，则所述控制部可以判断相应罐模块200-1、200-2不处于正常运行状态。
所述控制部可以通过根据如上所述地判断的各罐模块200-1、200-2是否正常运行而选择相互对应的一对罐模块200-1、200-2中的一个来形成所述供应流路，从而稳定地供应所述供应气体。
所述供应模块300-1、300-2可以构成为包括：罐气体供应管线320-1、320-2，连接所述罐模块200-1、200-2和所述气体需求处S；罐气体排气管线330-1、330-2，从所述罐气体供应管线320-1、320-2分支并连接到外部；罐气体浓度分析部310-1、310-2，测量在所述罐气体供应管线320-1、320-2中流动的供应气体的浓度。
所述控制部构成为比较由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断向所述气体需求处S供应的供应气体是否适当。
所述供应模块300-1、300-2可以构成为还包括开闭所述罐气体供应管线320-1、320-2的罐气体供应管线阀321-1、321-2。
所述控制部可以通过控制所述罐气体供应管线阀321-1、321-2的驱动而控制是否向所述气体需求处S供应储存在所述罐模块200-1、200-2中的供应气体。
在由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的情形下，所述控制部可以控制为打开所述罐气体供应管线阀321-1、321-2而将储存在所述罐模块200-1、200-2的供应气体供应到所述气体需求处S。
并且，在由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围的情形下，所述控制部可以控制为关闭所述罐气体供应管线阀321-1、321-2而阻断针对所述气体需求处S的供应气体的供应。
所述供应模块300-1、300-2可以构成为还包括：罐气体排气管线330-1、330-2，从所述罐气体供应管线320-1、320-2分支并连接到外部；罐气体排气管线阀331-1、331-2，开闭所述罐气体排气管线330-1、330-2。
所述控制部可以通过控制所述罐气体排气管线阀331-1、331-2的驱动而控制是否将流动于所述罐气体供应管线320的供应气体通过所述罐气体排气管线330向外部排出。
如果由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部可以判断相应的供应模块300-1、300-2处于正常运行状态。
并且，在由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围的情形下，所述控制部可以判断相应供应模块300-1、300-2不处于正常运行状态。
所述控制部可以根据如上所述地判断的各供应模块300-1、300-2是否正常运行而选择相互对应的一对供应模块300-1、300-2中的一个来形成所述供应流路，从而稳定地供应所述供应气体。
并且，在由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的情形下，所述控制部可以控制为打开所述罐气体供应管线阀321-1、321-2且关闭所述罐气体排气管线阀331-1、331-2，以使从所述罐模块200-1、200-2供应的供应气体沿所述罐气体供应管线320-1、320-2向所述气体需求处S流动而不排出到外部。
并且，在由所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围的情形下，所述控制部可以控制为关闭所述罐气体供应管线阀321-1、321-2且打开所述罐气体排气管线阀331-1、331-2，以使从所述罐模块200-1、200-2供应的供应气体通过所述罐气体排气管线330-1、330-2排出到外部。
所述供应模块300-1、300-2还可以包括：罐气体浓度分析管线340-1、340-2，从所述罐气体供应管线320-1、320-2分支；罐气体浓度分析管线阀341-1、341-2，开闭所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2，所述罐气体浓度分析部310-1、310-2可以构成为测量沿所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2流动的气体的浓度。
在流过所述罐气体供应管线320-1、320-2的供应气体向所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2流动的情形下，所述罐气体浓度分析部310-1、310-2会测量相应供应气体的浓度。
因此，所述控制部可以通过控制所述罐气体浓度分析管线阀341-1、341-2的驱动而控制是否对所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2供应所述供应气体，从而控制是否通过所述罐气体浓度分析部310-1、310-2测量所述供应气体的浓度。
所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2可以配备为具有小于所述罐气体排气管线330-1、330-2的截面积，所述罐气体浓度分析部310-1、310-2可以构成为使测量气体的浓度所需的最小流量的供应气体流动。
即，所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2可以构成为使显著小于所述罐气体供应管线320-1、320-2以及所述罐气体排气管线330-1、330-2的流量的供应气体流动的构成。
因此，相比使所述供应气体流动于所述罐气体供应管线320-1、320-2或者所述罐气体排气管线330-1、330-2而测量浓度以及压力的情形，通过使所述供应气体流动于所述罐气体浓度分析管线340-1、340-2而测量浓度以及压力可以减少所需的供应气体的量，并且提高装置的效率。
如上所述，根据本发明的气体供应系统，通过对气体需求处S并联连接多个气体混合供应装置1000、2000而互补地运行，从而能够更加稳定地供给供应气体。
并且，在并联连接的多个气体混合供应装置1000、2000中，通过互补地连接相互对应的模块而使它们选择性地连通，从而能够更加稳定地供给供应气体。
并且，由于混合模块100-1、100-2、罐模块200-1、200-3以及供应模块300-1、300-2分别构成为独立的结构，因此可以收容更大容量的供应气体而稳定地进行。
本发明并不限于上述实施例，在不脱离权利要求书中请求保护的本发明的技术思想的前提下，可以由本发明所属技术领域具有普通知识的人员进行显而易见的变形实施，并且这种变形实施属于本发明的范围。

Claims (20)

1.一种气体供应系统，包括：
第一气体混合供应装置和第二气体混合供应装置，包括相互对应的多个模块，并且构成为并联连接到气体需求处而分别向所述气体需求处供应混合有多种气体的供应气体；
至少一个连接管线，连接所述第一气体混合供应装置与所述第二气体混合供应装置之间，从而互补地连接所述多个模块中相互对应的模块；
控制部，对是否使所述多个模块与所述至少一个连接管线相互连接进行控制而选择性地形成所述供应气体的供应流路，
所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置分别构成为包括：混合模块，混合多种气体而进行供应；罐模块，储存从所述混合模块供应的供应气体；供应模块，将储存在所述罐模块的供应气体供应到所述气体需求处，
在所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置分别形成有：第一连接部，连接所述混合模块和所述罐模块；第二连接部，连接所述罐模块和所述供应模块；第三连接部，连接所述供应模块和所述气体需求处，
所述至少一个连接管线构成为包括第一连接管线、第二连接管线、第三连接管线中的至少一个，所述第一连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第一连接部和所述第二气体混合供应装置的第一连接部，所述第二连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第二连接部和所述第二气体混合供应装置的第二连接部，所述第三连接管线连接所述第一气体混合供应装置的第三连接部和所述第二气体混合供应装置的第三连接部。
2.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，
所述控制部构成为根据所述多个模块中的每一个是否正常运行而分别选择分别包括于所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置而相互对应的一对混合模块中的一个、一对罐模块中的一个、一对供应模块中的一个而依次连接。
3.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体浓度分析部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的浓度，
所述控制部构成为通过比较由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述混合模块是否正常运行。
4.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线，使混合有多种气体的所述供应气体向所述罐模块流动；混合气体压力测量部，测量在所述混合气体供应管线中流动的供应气体的压力，
所述控制部构成为通过比较由所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述罐模块内部的压力而判断所述混合模块是否正常运行。
5.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，
所述罐模块构成为包括测量所述罐模块内部的气体压力的罐模块压力测量部，
所述控制部构成为通过比较由所述罐模块压力测量部测量的供应气体的压力与预先设定的基准压力范围而判断所述罐模块是否正常运行。
6.如权利要求2所述的气体供应系统，其特征在于，
所述供应模块构成为包括：罐气体供应管线，使储存在所述罐模块的供应气体向所述气体需求处流动；罐气体浓度分析部，测量在所述罐气体供应管线中流动的供应气体的浓度，
所述控制部构成为比较由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断所述供应模块是否正常运行。
7.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，
配备有分别开闭所述至少一个连接管线的至少一个连接管线阀，
所述控制部构成为通过控制所述至少一个连接管线阀的驱动而控制是否连通所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置。
8.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，包括：
第一阀，开闭所述第一连接部的混合模块侧连接流路；第二阀，开闭所述第一连接部的罐模块侧连接流路，
其中，所述控制部以如下方式进行控制：
打开所述第一气体混合供应装置的第一阀并关闭第二阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第一阀并打开第二阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的混合模块通过所述第一连接管线向所述第二气体混合供应装置的罐模块流动；
打开所述第一气体混合供应装置的第一阀和第二阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第一阀和第二阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的混合模块向所述第一气体混合供应装置的罐模块流动。
9.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，包括：
第三阀，开闭所述第二连接部的罐模块侧连接流路；第四阀，开闭所述第二连接部的供应模块侧连接流路，
其中，所述控制部以如下方式进行控制：
打开所述第一气体混合供应装置的第三阀并关闭第四阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第三阀并打开第四阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的罐模块通过所述第二连接管线向所述第二气体混合供应装置的供应模块流动；
打开所述第一气体混合供应装置的第三阀和第四阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第三阀和第四阀，使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的罐模块向所述第一气体混合供应装置的供应模块流动。
10.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，包括：
第五阀，开闭所述第三连接部的供应模块侧连接流路，
其中，所述控制部以如下方式进行控制：
在连接所述第一气体混合供应装置与所述气体需求处的第一气体需求处连接部关闭，连接所述第二气体混合供应装置与所述气体需求处的第二气体需求处连接部打开的状态下，打开所述第一气体混合供应装置的第五阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第五阀，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的供应模块向所述第三连接管线流动，并通过所述第二气体需求处连接部供应到所述气体需求处，
在所述第一气体需求处连接部打开，第二气体需求处连接部关闭的状态下，打开所述第一气体混合供应装置的第五阀，关闭所述第二气体混合供应装置的第五阀，以使所述供应气体从所述第一气体混合供应装置的供应模块通过所述第一气体需求处连接部供应到所述气体需求处。
11.如权利要求3所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线阀，开闭所述混合气体供应管线；混合气体排气管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体排气管线阀，开闭所述混合气体排气管线，
其中，所述控制部构成为：如果由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足预先设定的基准浓度范围，则打开所述混合气体供应管线阀，关闭所述混合气体排气管线阀；如果由所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述混合气体供应管线阀，打开所述混合气体排气管线阀。
12.如权利要求4所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体供应管线阀，开闭所述混合气体供应管线；混合气体排气管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体排气管线阀，开闭所述混合气体排气管线，
其中，所述控制部构成为：如果由所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述罐模块的内部压力以上，则打开所述混合气体供应管线阀，关闭所述混合气体排气管线阀；如果在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力低于所述罐模块的内部压力，则关闭所述混合气体供应管线阀，打开所述混合气体排气管线阀。
13.如权利要求3或者权利要求11所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体浓度分析管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体浓度分析管线阀，开闭所述混合气体浓度分析管线，
所述混合气体浓度分析部配备为在所述供应气体从所述混合气体供应管线向所述混合气体浓度分析管线流动的情形下测量相应供应气体的浓度，
所述控制部构成为通过控制所述混合气体浓度分析管线阀的驱动而控制是否向所述混合气体浓度分析管线供应所述供应气体，从而对是否通过所述混合气体浓度分析部测量所述供应气体的浓度进行控制。
14.如权利要求4或者权利要求12所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：混合气体感测测量管线，从所述混合气体供应管线分支而连接到外部；混合气体感测测量管线阀，开闭所述混合气体感测测量管线，
所述混合气体压力测量部配备为在所述供应气体从所述混合气体供应管线向所述混合气体感测测量管线流动的情形下测量相应供应气体的压力，
所述控制部构成为通过控制所述混合气体感测测量管线阀的驱动而对是否通过所述混合气体压力测量部测量所述供应气体的压力进行控制。
15.如权利要求11或者权利要求12所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块还包括：混合气体排气流量调节部，调节所述混合气体排气管线的开度而调节通过所述混合气体排气管线排出的所述供应气体的排出量。
16.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，
所述混合模块构成为包括：多个源气体供应管线，分别被供应多种不同的源气体；混合部，混合从所述多个源气体供应管线供应的多种不同源气体而形成所述供应气体；混合气体供应管线，连接所述混合部和所述罐模块。
17.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，
所述供应模块构成为包括测量在连接所述罐模块和所述气体需求处的罐气体供应管线中流动的供应气体的浓度的罐气体浓度分析部，
所述控制部构成为比较由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预先设定的基准浓度范围而判断向所述气体需求处供应的供应气体是否适当。
18.如权利要求6所述的气体供应系统，其特征在于，
所述供应模块构成为包括：罐气体供应管线阀，开闭所述罐气体供应管线；罐气体排气管线，从所述罐气体供应管线分支并连接到外部；罐气体排气管线阀，开闭所述罐气体排气管线，
所述控制部构成为：如果由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足预先设定的基准浓度范围，则打开所述罐气体供应管线阀，关闭所述罐气体排气管线阀；如果由所述罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述罐气体供应管线阀，打开所述罐气体排气管线阀。
19.如权利要求6或权利要求18所述的气体供应系统，其特征在于，
所述供应模块构成为包括罐气体浓度分析管线和罐气体浓度分析管线阀，所述罐气体浓度分析管线从所述罐气体供应管线分支而连接到外部，所述罐气体浓度分析管线阀开闭所述罐气体浓度分析管线，
所述罐气体浓度分析部配备为在所述供应气体从所述罐气体供应管线向所述罐气体浓度分析管线流动的情形下测量相应供应气体的浓度，
所述控制部构成为通过控制所述罐气体浓度分析管线阀的驱动而对是否测量通过所述罐气体浓度分析部的所述供应气体的浓度进行控制。
20.如权利要求1所述的气体供应系统，其特征在于，
所述第一气体混合供应装置和所述第二气体混合供应装置是所述混合模块、所述罐模块以及所述供应模块由分别独立的结构构成的同时以能够相互结合的方式构成的模块型装置。
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