CN113363306B - 一种显示面板及显示面板的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种显示面板及显示面板的制备方法,其中显示面板包括:基底和封装层;隔离柱,设置在封装层和基底之间;第一隔断层,设置在基底与封装层之间,第一隔断层用于将封装层和基底隔开。本实施例考虑到了,在基底上设置封装层时,由于封装层的有机结构可能将隔离柱隔断的水汽通道重新连通,本实施例通过第一隔断层的设置,第一隔断层可以对基底设置有隔离柱的一侧和隔离柱进行包覆,将封装层和基底隔开,封装层的有机结构不会与隔离柱产生接触,因此封装层不会重新连通水汽通道,第一隔断层可以起到有效隔断的作用,能够防止水汽侵入到显示面板内,能够降低显示面板的故障率,使得显示面板的可靠性提高。
Description
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板及显示面板的制备方法。
背景技术
目前,随着“高屏占比”概念的提出,“刘海屏”、“水滴屏”和“小孔屏”等相继出现。“刘海屏”、“水滴屏”和“小孔屏”的屏幕开孔或者开槽是应对前置摄像头等感应器件的放置需求,能够提高屏占比。但是,屏幕开孔或开槽的设计应用在目前的显示面板中时,在开孔处或开槽处容易形成水氧通道,使得外部水汽入侵到显示面板内部,从而导致显示失效,造成显示面板可靠性较低的问题。
发明内容
本申请提供了一种显示面板及显示面板的制备方法,能够改善目前显示面板中开孔处或开槽处容易形成水氧通道的技术问题,从而避免出现外部水汽入侵到显示面板内部导致显示失效的情况,解决了目前显示面板可靠性较低的问题。
本申请提供了一种显示面板,该显示面板包括:
基底和封装层;
隔离柱,设置在所述封装层和所述基底之间;
第一隔断层,设置在所述基底与所述封装层之间,所述第一隔断层用于将所述封装层和所述基底隔开。
在一种可行的实施方式中,所述第一隔断层包裹所述隔离柱。
在一种可行的实施方式中,显示面板还包括:
第二隔断层,设置在所述隔离柱和所述第一隔断层之间。
在一种可行的实施方式中,所述第二隔断层设置在所述隔离柱背离于所述基底的一端。
在一种可行的实施方式中,所述显示面板包括显示区和非显示区,所述隔离柱和所述第一隔断层位于所述非显示区内。
在一种可行的实施方式中,显示面板还包括:
止挡柱,设置在所述非显示区内,位于基底与所述封装层之间,所述止挡柱将所述非显示器分隔为第一隔离区和第二隔离区,所述第一隔离区位于所述止挡柱靠近于所述显示区的一侧;
其中,所述隔离柱为多个,多个所述隔离柱分为两组,一组所述隔离柱设置在所述第一隔离区内,另外一组所述隔离柱设置在所述第二隔离区内。
在一种可行的实施方式中,所述封装层包括:
有机封装层,连接于所述止挡柱;
第一无机封装层,设置在所述有机封装层和第一隔断层之间;
第二无机封装层,设置在所述有机封装层背离于所述基底的一侧。
在一种可行的实施方式中,显示面板还包括:
第一发光单元,所述第一发光单元设置在所述显示区内。
在一种可行的实施方式中,显示面板还包括:
第二发光单元,所述第二发光单元的发光层设置在所述非显示区内,所述第一隔断层还用于将所述第二发光单元的发光层与所述隔离柱隔开。
在一种可行的实施方式中,所述基底包括:
无机层;
第一平坦层,设置在所述无机层与所述封装层之间;
第二平坦层,设置在所述无机层与所述封装层之间,所述隔离柱是通过刻蚀部分所述第二平坦层获取的。
本申请实施例提供的显示面板,包括了基底、设置在基底上的隔离柱和覆盖在基底和隔离柱上的第一隔断层。一方面,通过隔离柱的设置可以阻断水汽进入到显示面板的路径,特别是有利于隔断显示面板的有机层,隔断水汽入侵通道;另一方面,本实施例考虑到了,在显示面板的封装层的制备过程中需要使用到有机蒸镀工艺,而正是因为有机蒸镀工艺的实施,在基底上设置封装层时,封装层的有机结构可能将隔离柱隔断的水汽通道重新连通,基于此通过第一隔断层的设置,第一隔断层可以对基底设置有隔离柱的一侧和隔离柱进行包覆,封装层的有机结构不会与隔离柱产生接触,因此封装层不会重新连通水汽通道,第一隔断层可以起到有效隔断的作用,能够防止水汽侵入到显示面板内,能够降低显示面板的故障率,使得显示面板的可靠性提高。
附图说明
图1为本申请实施例提供的一种显示面板的示意性结构图;
图2为本申请实施例提供的又一种显示面板的示意性结构图;
图3为本申请实施例提供的再一种显示面板的示意性结构图;
图4为本申请实施例提供的另一种显示面板的示意性结构图;
图5为本申请实施例提供的一种显示面板的制备方法示意性步骤流程图;
图6a为本申请实施例提供的一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图;
图6b为本申请实施例提供的另一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图;
图6c为本申请实施例提供的再一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图;
图6d为本申请实施例提供的又一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图;
图6e为本申请实施例提供的复一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图;
图6f为本申请实施例提供的再一种显示面板的制备方法的制备工艺示意图。
附图标记说明:
1基底、2封装层、3隔离柱、4第一隔断层、5第二隔断层、6止挡柱、7第一发光单元、8金属层、9像素界定层、10第二发光单元;
101无机层、102第一平坦层、103第二平坦层、104第一柔性衬底层、105第一隔断层、106第二柔性衬底层、107第二隔离层;
701发光层、702阳极;
100显示区、200非显示区、210第一隔离区、220第二隔离区、230止挡区。
具体实施方式
为了更好的理解本说明书实施例提供的技术方案,下面通过附图以及具体实施例对本说明书实施例的技术方案做详细的说明,应当理解本说明书实施例以及实施例中的具体特征是对本说明书实施例技术方案的详细的说明,而不是对本说明书技术方案的限定,在不冲突的情况下,本说明书实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。术语“两个以上”包括两个或大于两个的情况。
随着“高屏占比”概念的提出,“刘海屏”、“水滴屏”和“小孔屏”等相继出现。“刘海屏”、“水滴屏”和“小孔屏”的屏幕开孔或者开槽是应对前置摄像头等感应器件的放置需求,可以大大提高屏占比。
但是,屏幕开孔或开槽的设计应用在目前的显示面板中时,在开孔处或开槽处容易形成水氧通道,使得外部水汽入侵到显示面板内部,从而导致显示失效,造成显示面板可靠性较低的问题。
有鉴于此,如图1至图4所示,本申请实施例的第一方面,提供了一种显示面板,该显示面板包括:基底1和封装层2;隔离柱3,设置在封装层2和基底1之间;第一隔断层4,设置在基底1与封装层2之间,第一隔断层4用于将封装层2和基底1隔开。
本申请实施例提供的显示面板,包括了基底1、设置在基底1上的隔离柱3和覆盖在基底1和隔离柱3上的第一隔断层4。一方面,通过隔离柱3的设置可以阻断水汽进入到显示面板的路径,特别是有利于隔断封装层2内的有机层,隔断水汽入侵通道;另一方面,本实施例考虑到了在基底1上设置封装层2时,由于封装层2的有机结构可能将隔离柱3隔断的水汽通道重新连通,基于此通过第一隔断层4的设置,第一隔断层4可以对基底1设置有隔离柱3的一侧和隔离柱3进行包覆,第一隔断层4可以将封装层2和基底1隔开,封装层2的有机结构不会与隔离柱3产生接触,因此封装层2不会重新连通水汽通道,第一隔断层4可以起到有效隔断的作用,能够防止水汽侵入到显示面板内,能够降低显示面板的故障率,使得显示面板的可靠性提高。
如图1至4所示,示例性的,第一隔断层4包裹隔离柱3。
隔离柱3被第一隔断层4包裹,能够阻挡隔离柱3与显示面板其他层级之间的接触,特别是有利于阻断隔离柱3与有机层级之间的接触,能够确保隔离柱3隔断的水汽通道不会被有机结构重新连通,能够防止水汽侵入到显示面板内。
可以理解的是,第一隔断层4包裹隔离柱3,是指第一隔断层4包裹隔离柱3背离于基底1的端面和隔离柱3的侧面。
如图2至4所示,示例性的,第二隔断层5设置在所述隔离柱3背离于基底1的一端。
第二隔断层5设置在隔离柱3的端部,能够使得隔离柱3的端部具备第一隔断层4和第二隔断层5,一方面能够进一步地提高隔离柱3对水汽的阻断效果;另一方面在加工形成隔离柱3的过程中,可以以第二隔断层5为掩模进行刻蚀形成隔离柱3,能够简化制备工艺,降低生产成本。
如图2至图4所示,示例性的,显示面板还包括:第二隔断层5,设置在隔离柱3和第一隔断层4之间。
显示面板还包括了第二隔断层5,第二隔断层5设置在隔离柱3和第一隔断层4之间,使得隔离柱3朝向于封装层2的一侧形成了第一隔断层4和第二隔断层5,通过两个隔离层的设置可以进一步提高水汽隔断的效果。
如图6a至图6b所示,在一些示例中,隔离柱3可以是通过刻蚀工艺制备而成的,在隔离柱3加工过程中,可以在用于制备隔离柱3的平坦层上沉积第二隔断层5,而后刻蚀第二隔断层5,再将剩余的第二隔断层5作为掩模即可对平坦层进行刻蚀以加工出隔离柱3,便于隔离柱3的加工成型,同时便于第二隔断层5的设置。
可以理解的是,在形成第二隔断层5后,可以在基底1朝向于封装层2的一侧沉积第一隔断层4,即可使第二隔断层5位于第一隔断层4和隔离柱3之间。
如图3所示,示例性的,显示面板包括显示区100和非显示区200,隔离柱3和第一隔断层4位于非显示区200内。
显示面板包括显示区100和非显示区200,可以理解的是显示区100内用于设置第一发光单元7以实现显示面板的画面显示功能,而非显示区200内既可用于开设用于放置摄像头的孔或槽,而隔离柱3和第一隔断层4位于非显示区200内,可以阻断开孔处或开槽处形成的水氧通道,可以避免水汽经由显示面板的开孔或开槽处侵入到显示区100内,可以对显示区100内的第一发光单元7进行保护。
如图3所示,示例性的,显示面板还包括:止挡柱6,设置在非显示区200内,位于基底1与封装层2之间,止挡柱6将非显示器分隔为第一隔离区210和第二隔离区220,第一隔离区210位于止挡柱6靠近于显示区100的一侧;其中,隔离柱3为多个,多个隔离柱3分为两组,一组隔离柱3设置在第一隔离区210内,另外一组隔离柱3设置在第二隔离区220内。
显示面板还包括了止挡柱6,而止挡柱6设置在非显示区200内,将非显示器分隔为第一隔离区210和第二隔离区220,且第一隔离区210靠近于显示区100,可以理解的是,第二隔离区220即为靠近显示面板的开孔或开槽处,如此设置使得显示面板上的开孔或开槽处与显示区100之间形成了两个隔离区,通过两个隔离区的设置,可以起到更好地隔绝水汽的效果。可以理解的是,通过第一隔断层4可以包覆第二隔离墙内的隔离柱3和基底1,可以极大限度的杜绝水汽通过显示面板的开孔或开槽处侵入到显示区100。
示例性的,封装层2包括:有机封装层,连接于止挡柱6;第一无机封装层,设置在有机封装层和第一隔断层4之间;第二无机封装层,设置在有机封装层背离于基底1的一侧。
封装层2包括:有机封装层、第一无机封装层和第二无机封装层,而第一无机封装层和第二无机封装层分别设置在有机封装层的两侧,通过三层结构对显示面板进行封装,封装效果更加,而有机封装层连接于止挡柱6,第一无机封装层设置机封装层和第一隔断层4之间,可以避免水汽经由有机物形成的通道侵入到显示区100,能够更进一步地提高隔绝水汽的效果。
如图3所示,示例性的,显示面板还包括:第一发光单元7,第一发光单元7设置在显示区100内。
如图3所示,显示面板还包括第一发光单元7,通过第一发光单元7的设置,显示面板的显示区100即可显示画面。
如图3所示,在一些示例中,第一发光单元7可以包括:阳极702、阴极和发光层701,而阳极702可以设置在显示区100内,位于基底1设置有隔离柱3的一侧,发光层701连接于阳极702和阴极,显示面板的显示区100即可显示生成画面。
如图3所示,在一些示例中,显示面板还包括金属层8和像素界定层9,至少部分金属层8设置在基底1内,连接于阳极702,用于为阳极702进行供电,而像素界定层9设置在相邻的两个第一发光单元7之间。
如图3所示,示例性的,显示面板还包括:第二发光单元10,第二发光单元10的发光层设置在非显示区200内,第一隔断层4还用于将第二发光单元10的发光层与隔离柱隔开。
如图3所示,在制备发光单元的过程中,为了简化制备工艺,通常会在基板的一侧整面制备发光层,因此第二发光单元10的发光层会形成于相邻的两个隔离柱3之间,而第一隔断层4包覆在隔离柱3上,第一隔断层4即可将第二发光单元10的发光层与隔离柱3隔开,第二发光单元10的发光层不会与隔离柱3产生接触,能够避免因第二发光单元10的发光层的设置而影响水汽通道的阻断,进一步保障了显示面板隔绝水汽的效果。
可以理解的是,如图4所示,在一些示例中,也可以仅在显示区100内设置第一发光单元7,而在非显示区200内不设置第二发光单元10,以确保第二发光单元10不会与隔离柱3产生接触。
如图3所示,示例性的,基底1包括:无机层101;第一平坦层102,设置在无机层101与封装层2之间;第二平坦层103,设置在无机层101与封装层2之间,隔离柱3是通过刻蚀部分第二平坦层103获取的。
基底1包括了无机层101、第一平坦层102和第二平坦层103,通过无机层101利于显示面板实现有机隔离;通过第一平坦层102和第二平坦层103的设置利于显示面板实现平坦华。
如图3所示,在一些示例中,第一平坦层102和第二平坦层103形成于显示面板的显示区100内,通过在显示区100内形成第一平坦层102和第二平坦层103可以起到隔绝水汽和降低阻抗的作用,利于金属层8的布置;第一隔离区210包括第一平坦层102和设置在第一平坦层102上的隔离柱3,起到隔绝水汽的作用,同时便于在第一平坦层102和无机层101之间布置金属层8;在第二隔离区220内,包括了隔离柱3,隔离柱3直接连接到无机层101上,与第一隔断层4组合使用,利于实现隔离有机物,断开水汽通道,能够杜绝水汽侵入到显示面板的显示区100。
在一些示例中,基底1还包括:第一柔性衬底层104;第一隔离层105,设置在第一柔性衬底层104的一侧;第二柔性衬底层106,设置在第一隔离层105背离于第一柔性衬底层104的一侧;第二隔离层107,设置在第二柔性衬底层106背离于第一隔离层105的一侧;其中,无机层101设置在第二隔离层107背离于第二柔性衬底层106的一侧。通过两侧柔性衬底层的设置,并在每层柔性衬底层上设置一个隔离层,一方面能够使显示面板具备一定的柔性,另一方面能够提高水汽隔离效果。
示例性的,第一隔断层4由氮化硅和/或氧化硅材料制成;第二隔断层5由氮化硅和/或氧化硅材料制成。
第一隔断层4由氮化硅和/或氧化硅材料制成一方面可以起到很好的隔离有机物的效果,另一方面便于加工制备,利于降低生产成本。
第二隔断层5由氮化硅和/或氧化硅材料制成一方面可以起到很好的隔离有机物的效果,另一方面便于加工制备,利于降低生产成本。
如图5和图6a至图6f所示,本申请实施例的第二方面,提供了一种显示面板的制备方法,应用于制备上述任一技术方案的显示面板,制备方法包括:
步骤301:提供基底,在基底上沉积平坦层。通过在基底1上形成平坦层,一方面利于在基底1和平坦层内布置金属层8以驱动显示面板的发光单元7工作,另一方面利于显示面板的平坦化;再一方面利于隔离柱3的形成和加工。
步骤302:刻蚀部分平坦层,形成隔离柱。隔离柱3是通过刻蚀平坦层制备形成的,一方面利于加工成型;另一方面利于通过隔离柱3隔断水汽通道。
步骤303:在隔离柱和基底上沉积第一隔断层。第一隔断层4可以对基底1设置有隔离柱3的一侧和隔离柱3进行包覆,封装层2的有机结构不会与隔离柱3产生接触,因此封装层2不会重新连通水汽通道。
步骤304:在第一隔断层上设置封装层。通过封装层2的设置,可以对显示面板进行封装,可以避免外部杂质侵入或影响显示面板的工作,能够保障显示面板工作的可靠性。
其中,第一隔断层4用于将基底1和封装层2隔开。
本实施例提供的显示面板的制备方法,通过隔离柱3的设置可以阻断水汽进入到显示面板的路径,特别是有利于隔断封装层2内的有机层,隔断水汽入侵通道;另一方面,本实施例考虑到了在基底1上设置封装层2时,由于封装层2的有机结构可能将隔离柱3隔断的水汽通道重新连通,基于此通过第一隔断层4的设置,第一隔断层4可以对基底1设置有隔离柱3的一侧和隔离柱3进行包覆,第一隔断层4可以将封装层2和基底1隔开,封装层2的有机结构不会与隔离柱3产生接触,因此封装层2不会重新连通水汽通道,第一隔断层4可以起到有效隔断的作用,能够防止水汽侵入到显示面板内,能够降低显示面板的故障率,使得显示面板的可靠性提高。
如图6a所示,示例性的,提供基底1,在基底1上沉积平坦层的步骤包括:在基底1上划分出显示区100、第一隔离区210、止挡区230和第二隔离区220;在基底1的显示区100、第一隔离区210、止挡区230上沉积第一平坦层102;在第一平坦层102和第二隔离区220上沉积第二平坦层103。
在基底1的显示区100、第一隔离区210、止挡区230上沉积第一平坦层102,在第一平坦层102上沉积第二平坦层103使得基底1显示区100、第一隔离区210和止挡区230上方形成由第一平坦层102和第二平坦层103,一方面利于金属层8的布置,利于为显示面板的发光单元7的阳极702进行供电;另一方面有利于降低阻抗,并可以起到更好的切断水汽通道的技术效果。
在第一平坦层102和第二隔离区220上沉积第二平坦层103,一方面利于在第一平坦层102上和第二隔离区220内形成隔离柱3,使得在第二隔离区220内的隔离柱3可以直接连接于基底1上的无机层101,能够更好地实现有机隔离,能够完全阻断水汽通道。
如图6b所示,示例性的,刻蚀部分平坦层,形成隔离柱3的步骤包括:在第二平坦层103上沉积第二隔断层;刻蚀第二隔断层,以形成第二隔断层图案;刻蚀第二平坦层103,形成隔离柱3,第二隔断层图案覆盖在隔离柱3的一侧。
通过在第二平坦层103上沉积第二隔断层,而后在基于对隔离柱3设置数量和间距的需求对第二隔断层进行刻蚀,最后再基于剩余的第二隔断层作为掩模对第二平坦层103进行刻蚀,即可形成隔离柱3,便于第二隔断层5和隔离柱3的加工成型,以第二隔断层5为掩模进行刻蚀能够简化加工工艺。
在一些示例中,为了提高隔离柱3的隔离效果,在对第二隔断层5进行刻蚀的过程中,刻蚀宽度可以为8μm,刻蚀间距可以为7μm。
如图6c所示,示例性的,在隔离柱3和基底1上沉积第一隔断层4的步骤包括:在隔离柱3朝向于封装层2的一侧沉积第一隔断层4。
在隔离柱3朝向于封装层2的一侧沉积第一隔断层4,能够使得第一隔断层4包覆在基底1、隔离柱3和第二隔断层上,能够使得封装层2的有机结构不会与隔离柱3产生接触,因此封装层2不会重新连通水汽通道,第一隔断层4可以起到有效隔断的作用,能够防止水汽侵入到显示面板内,能够降低显示面板的故障率,使得显示面板的可靠性提高。
如图6d和图6f所示,示例性的,显示面板的制备方法还包括:刻蚀位于显示区100的第一隔断层4和第二隔断层;在显示区100内设置发光单元7。
对位于显示区100的第一隔断层4和第二隔断层进行刻蚀,利于裸露出基底1上的阳极702,便于发光单元7的设置。
在一些示例中,发光单元7可以包括:阳极702、阴极和发光层701,而阳极702可以设置在显示区100内,位于基底1设置有隔离柱3的一侧,发光层701连接于阳极702和阴极,显示面板的显示区100即可显示生成画面。
在一些示例中,显示面板还包括金属层8和像素界定层9,至少部分金属层8设置在基底1内,连接于阳极702,用于为阳极702进行供电,而像素界定层9设置在相邻的两个发光单元7之间。
尽管已描述了本说明书的优选实施例,但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念,则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以,所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本说明书范围的所有变更和修改。
显然,本领域的技术人员可以对本说明书进行各种改动和变型而不脱离本说明书的精神和范围。这样,倘若本说明书的这些修改和变型属于本说明书权利要求及其等同技术的范围之内,则本说明书也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (8)
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基底和封装层;
隔离柱,设置在所述封装层和所述基底之间;
第一隔断层,设置在所述基底与所述封装层之间,所述第一隔断层用于将所述封装层和所述基底隔开,所述第一隔断层包裹所述隔离柱;
第二隔断层,设置在所述隔离柱和所述第一隔断层之间,所述隔离柱在所述基底上的正投影全部落入所述第二隔断层在所述基底上的正投影内,且所述隔离柱在所述基底上的正投影全部边缘与所述第二隔断层在所述基底上的正投影边缘无交叠,所述第二隔断层由氮化硅和/或氧化硅材料制成;
发光层,设置于所述第一隔断层与所述封装层之间;
所述隔离柱是由所述第二隔断层作为掩膜版刻蚀形成的;
所述封装层包括:
有机封装层;
第一无机封装层,设置在所述有机封装层和所述第一隔断层之间;
第二无机封装层,设置在所述有机封装层背离于所述基底的一侧。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,
所述第二隔断层设置在所述隔离柱背离于所述基底的一端。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,
所述显示面板包括显示区和非显示区,所述隔离柱和所述第一隔断层位于所述非显示区内。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,还包括:
止挡柱,设置在所述非显示区内,位于基底与所述封装层之间,所述止挡柱将所述非显示区分隔为第一隔离区和第二隔离区,所述第一隔离区位于所述止挡柱靠近于所述显示区的一侧;
其中,所述隔离柱为多个,多个所述隔离柱分为两组,一组所述隔离柱设置在所述第一隔离区内,另外一组所述隔离柱设置在所述第二隔离区内。
5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,
所述有机封装层,连接于所述止挡柱。
6.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,还包括:
第一发光单元,所述第一发光单元设置在所述显示区内。
7.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,还包括:
第二发光单元,所述第二发光单元的发光层设置在所述非显示区内,所述第一隔断层还用于将所述第二发光单元的发光层与所述隔离柱隔开。
8.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述基底包括:
无机层;
第一平坦层,设置在所述无机层与所述封装层之间;
第二平坦层,设置在所述无机层与所述封装层之间,所述隔离柱是通过刻蚀部分所述第二平坦层获取的。
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