CN113358292B - 泄漏检查装置以及泄漏检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及泄漏检查装置以及泄漏检查方法。本发明的泄漏检查装置具备：检查机构，实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；第一预压阀，对第一预压路进行开闭；以及控制装置，在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序。

Description

泄漏检查装置以及泄漏检查方法

技术领域

本发明涉及泄漏检查装置以及泄漏检查方法。

背景技术

已知检查多个被检查室的压力泄漏的泄漏检查装置。例如在日本特开2000－205991的技术中，同时对第一被检查室内和第二被检查室内以及基准室内进行加压，基于第一被检查室内和基准室内的压差来检查第一被检查室的压力泄漏，接着基于第二被检查室内和基准室内的压差来检查第二被检查室的压力泄漏。

在日本特开2000－205991的技术中，第一被检查室与第二被检查室经由共同的通路彼此连接。计测该共同的通路内与连接于基准室的通路内的压差作为第一被检查室内和基准室内的压差来检查第一被检查室的压力泄漏，之后计测该共同的通路内与连接于基准室的通路内的压差作为第二被检查室内和基准室内的压差来检查第二被检查室的压力泄漏。例如当第一被检查室有压力泄漏时，第一被检查室内的压力会降低，并且上述的共同的通路内的压力也会降低，在第一被检查室内没有压力泄漏的情况下，第一被检查室内的压力和共同的通路内的压力不会降低。此外，根据第一被检查室的压力泄漏的程度，共同的通路内的压力也会变动。因此，根据第一被检查室的压力泄漏的有无、程度，在第二被检查室的检查开始时的共同的通路内的压力会不同。其结果是，第二被检查室的检查精度可能会降低。

例如，可以想到在对第一被检查室和基准室进行加压来检查第一被检查室之后，对第二被检查室和基准室进行加压来检查第二被检查室。然而，在该情况下，当按顺序对第一被检查室和第二被检查室进行加压时，直到这些被检查室的检查完成为止需要时间。

发明内容

本发明提供一种能在短时间内高精度地检查多个被检查室的压力泄漏的泄漏检查装置以及泄漏检查方法。

本发明的第一方案的泄漏检查装置包括：检查机构，被配置为实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是通过加压气体对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于所述第一被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是在所述第一检查工序结束后通过加压气体对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第二被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；第一预压路，被配置为通过加压气体对所述第二被检查室内进行预压；第一预压阀，被配置为对所述第一预压路进行开闭；以及控制装置，被配置为对所述检查机构和所述第一预压阀进行控制，所述控制装置在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一检查工序包括：第一加压工序，对所述第一被检查室内和所述基准室内进行加压；第一平衡工序，在所述第一加压工序结束后使所述第一被检查室内的压力和所述基准室内的压力平衡；以及第一计测工序，在所述第一平衡工序结束后计测所述第一被检查室内和所述基准室内的压差，所述控制装置在所述第一加压工序和所述第一计测工序中的至少任一个的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

在上述第一方案中，也可以是，所述控制装置在所述第一加压工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

在上述第一方案中，也可以是，所述检查机构包括：供给路，连接于加压气体的供给源；基准路，连接于所述供给路和所述基准室；共同检查路，连接于所述供给路；第一检查路，连接于所述共同检查路和所述第一被检查室；第二检查路，连接于所述共同检查路和所述第二被检查室；供给阀、基准阀、共同检查阀、第一检查阀以及第二检查阀，其中，所述供给阀对所述供给路进行开闭，所述基准阀对所述基准路进行开闭，所述共同检查阀对所述共同检查路进行开闭，所述第一检查阀对所述第一检查路进行开闭，所述第二检查阀对所述第二检查路进行开闭；以及计测部，计测所述基准路内与比所述共同检查阀靠下游侧的所述共同检查路内的压差，所述控制装置对所述供给阀、所述基准阀、所述共同检查阀、所述第一检查阀以及所述第二检查阀进行控制来实施所述第一检查工序和所述第二检查工序。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一预压路连接于所述供给路，使得从所述供给源被供给加压气体。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一预压路在比所述第二检查阀靠下游侧连接于所述第二检查路。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一预压路未连接于所述第二检查路而是连接于所述第二被检查室。

在上述第一方案中，也可以是，所述第二检查工序包括对所述第二被检查室内和所述基准室内进行加压的第二加压工序，在所述第二加压工序中，所述控制装置打开所述供给阀、所述基准阀以及所述共同检查阀并关闭所述第一检查阀和所述第二检查阀来开始所述基准室内的加压，然后打开所述第二检查阀来对所述第二被检查室内进行加压。

在上述第一方案中，也可以是，所述检查机构包括加压调整部，所述加压调整部设于所述供给路的比所述供给阀靠下游侧，对被供给的加压气体的输出压力进行调整，所述控制装置在所述加压调整部设定第一加压目标值，所述第一加压目标值是通过所述第一检查工序中的加压得到的所述第一被检查室内和所述基准室内的压力的目标值，所述控制装置在所述加压调整部设定第二加压目标值，所述第二加压目标值是通过所述第二检查工序中的加压得到的所述第二被检查室内和所述基准室内的压力的目标值，所述第一加压目标值和所述第二加压目标值是彼此不同的值。

在上述第一方案中，也可以是，上述泄漏检查装置具备：第二预压路，被配置为对第三被检查室内进行预压；以及第二预压阀，被配置为对所述第二预压路进行开闭，所述检查机构实施第三检查工序，所述第三检查工序是在所述第二检查工序结束后通过加压气体对所述第三被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第三被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第三被检查室的压力泄漏的工序，所述控制装置在所述第二检查工序的实施过程中打开所述第二预压阀来对所述第三被检查室内进行预压，在所述第三被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第三检查工序。

在上述第一方案中，也可以是，所述第一预压路和所述第二预压路包括共用的共同预压路，所述第一预压路包括从所述共同预压路分支出的第一分支预压路，所述第二预压路包括从所述共同预压路分支出的第二分支预压路，所述第一预压阀对所述第一分支预压路进行开闭，所述第二预压阀对所述第二分支预压路进行开闭。

在上述第一方案中，也可以是，上述泄漏检查装置具备预压调整部，所述预压调整部设于所述共同预压路，对被供给的加压气体的输出压力进行调整，所述控制装置在所述预压调整部设定第一预压目标值，所述第一预压目标值是通过预压得到的所述第二被检查室内的压力的目标值，所述控制装置在所述预压调整部设定第二预压目标值，所述第二预压目标值是通过预压得到的所述第三被检查室内的压力的目标值，所述第一预压目标值和所述第二预压目标值是彼此不同的值。

此外，涉及本发明的第二方案的泄漏检查方法包括：第一检查工序，通过加压气体对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于所述第一被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏；以及第二检查工序，在所述第一检查工序结束后通过加压气体对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第二被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏，在所述第一检查工序的实施过程中对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下实施所述第二检查工序。

在上述第二方案中，也可以是，第一加压目标值和第二加压目标值彼此不同，所述第一加压目标值是通过所述第一检查工序中的加压得到的所述第一被检查室内和所述基准室内的压力的目标值，所述第二加压目标值是通过所述第二检查工序中的加压得到的所述第二被检查室内和所述基准室内的压力的目标值。

在上述第二方案中，也可以是，所述第一被检查室的容积和所述第二被检查室的容积彼此不同。

根据本发明的各方案，能提供一种能在短时间内高精度地检查多个被检查室的压力泄漏的泄漏检查装置以及泄漏检查方法。

附图说明

以下，参照附图，对本发明的示例性实施例的特征、优点以及技术和工业意义进行说明，其中，相同的附图标记表示相同的元件，其中：

图1是泄漏检查装置的概略构成图。

图2是示出控制装置所实施的工序的一个例子的流程图。

图3示出了第一加压工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图4示出了第一平衡工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图5示出了第一计测工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图6示出了第一排气工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图7示出了第二加压工序的前半部分和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图8示出了第二加压工序的后半部分和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图9示出了第二平衡工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图10示出了第二计测工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图11示出了第二排气工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图12示出了第三加压工序的前半部分的阀的开闭状态。

图13示出了第三加压工序的后半部分的阀的开闭状态。

图14示出了第三平衡工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图15示出了第三计测工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图16示出了第三排气工序的实施过程中的阀的开闭状态。

图17A是示出在第二加压工序中的基准室内和共同检查路内的加压开始前打开了检查阀的情况下的由压差传感器计测的压差的曲线图。

图17B是示出在第二加压工序的后半部分打开了检查阀的情况下的由压差传感器计测的压差的曲线图。

图18是第一变形例的泄漏检查装置的概略构成图。

图19是第二变形例的泄漏检查装置的概略构成图。

具体实施方式

[泄漏检查装置1的概略构成]

图1是泄漏检查装置1的概略构成图。泄漏检查装置1具备供给源A、供给路P1、基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P41～P43、共同预压路P5、分支预压路P61～P63、供给阀V1、基准阀V2、共同检查阀V3、检查阀V41～V43、预压阀V61～V63、排气阀Ve、电－气调节器R1和R5、校对部(master)M、压差传感器S以及控制装置100。

供给源A例如是气泵。供给路P1、基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P41～P43、共同预压路P5以及分支预压路P61～P63通过多个配管被连接而构成。供给阀V1、基准阀V2以及共同检查阀V3分别设于供给路P1、基准路P2以及共同检查路P3来对供给路P1、基准路P2以及共同检查路P3进行开闭。检查阀V41～V43分别设于分支检查路P41～P43来对分支检查路P41～P43进行开闭。预压阀V61～V63分别设于分支预压路P61～P63来对分支预压路P61～P63进行开闭。电－气调节器R1和R5分别设于供给路P1和共同预压路P5。电－气调节器R1设于比供给阀V1靠下游侧。

供给阀V1、基准阀V2、共同检查阀V3、检查阀V41～V43、预压阀V61～V63、排气阀Ve以及电－气调节器R1和R5与控制装置100电连接，它们的动作由控制装置100控制。电－气调节器R1和R5分别将被供给的加压气体的压力调整为由控制装置100设定的目标值并输出。电－气调节器R1和R5分别是加压调整部和预压调整部的一个例子。

供给路P1的上游端连接于供给源A。供给路P1的下游端与基准路P2和共同检查路P3的各上游端连接。基准路P2的下游端与作为形成于校对部M的密闭空间的基准室m连接。共同检查路P3的下游端与分支检查路P41～P43的各上游端连接。分支检查路P41～P43的下游端分别与作为形成于工件W的密闭空间的被检查室w1～w3连接。共同预压路P5的上游端连接于供给路P1的比供给阀V1靠上游侧。共同预压路P5的下游端与从共同预压路P5分支出的分支预压路P61～P63连接。分支预压路P61～P63的下游端分别连接于分支检查路P41～P43的比检查阀V41～V43靠下游侧。

将在后文详细说明，压差传感器S计测比基准阀V2靠下游侧的基准路P2内与比共同检查阀V3靠下游侧的共同检查路P3内的压差。压差传感器S根据基准阀V2、共同检查阀V3、检查阀V41～V43、预压阀V61～V63的开闭状态来计测基准室m与被检查室w1～w3中的任一个的压差。压差传感器S是计测部的一个例子。控制装置100获取压差传感器S的计测值，并基于该计测值来检查成为检查对象的被检查室w1～w3中的任一个是否有压力泄漏。这样能通过单个压差传感器S来检查多个被检查室w1～w3，因此，例如与在被检查室w1～w3中的每一个设有专用的压差传感器的情况相比，能抑制压差传感器的计测精度的不均所引起的检查精度的降低。需要说明的是，在图1所示的例子中，被检查室w1～w3在单个工件W中分别形成为不同的密闭空间，容积可以彼此相同也可以彼此不同。

[检查方法]

接着，对检查方法进行说明。图2是示出控制装置100所实施的工序的一个例子的流程图。最初，控制装置100实施用于检查被检查室w1的第一检查工序。第一检查工序包括以下说明的第一加压工序(步骤S1)、第一平衡工序(步骤S3)以及第一计测工序(步骤S4)。此外，在第一检查工序的实施过程中实施以下说明的第一预压工序(步骤S2)。接着，控制装置100实施用于检查被检查室w2的第二检查工序。第二检查工序也与第一检查工序同样地包括第二加压工序(步骤S6)、第二平衡工序(步骤S9)以及第二计测工序(步骤S10)。此外，在第二检查工序的实施过程中实施以下说明的第二预压工序(步骤S8)。之后，控制装置100实施用于检查被检查室w3的第三检查工序。第三检查工序也与第一检查工序同样地包括第三加压工序(步骤S12)、第三平衡工序(步骤S14)以及第三计测工序(步骤S15)。以下具体地进行说明。

[第一加压工序、第一预压工序]

最初，控制装置100实施对被检查室w1内和基准室m内进行加压的第一加压工序(步骤S1)，并且与第一加压工序几乎同时地实施对被检查室w2内进行预压的第一预压工序(步骤S2)。图3示出了第一加压工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第一加压工序中，打开供给阀V1、基准阀V2、共同检查阀V3以及检查阀V41，关闭检查阀V42和V43以及排气阀Ve。由此，加压气体从供给源A经由供给路P1、基准路P2、共同检查路P3以及分支检查路P41被供给至基准室m和被检查室w1。此外，在第一加压工序中，控制装置100将电－气调节器R1的目标值设定为第一加压目标值。当在该状态下经过规定时间时，比电－气调节器R1靠下游侧的基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P41、基准室m以及被检查室w1内的压力被维持为第一加压目标值。

在第一预压工序中，打开预压阀V62，关闭预压阀V61和V63。在此，如上所述，检查阀V42一直关闭。由此，加压气体从供给源A经由共同预压路P5、分支预压路P62以及分支检查路P42的比检查阀V42靠下游侧被供给至被检查室w2。在第一预压工序中，控制装置100将电－气调节器R5的目标值设定为第一预压目标值。当在该状态下经过规定时间时，比电－气调节器R5靠下游侧的分支预压路P62、分支检查路P42的比检查阀V42靠下游侧以及被检查室w2内的压力被维持为第一预压目标值。这样，能同时进行被检查室w1和基准室m内的加压以及被检查室w2内的预压。

[第一平衡工序]

接着，控制装置100实施使被检查室w1内的压力和基准室m内的压力平衡的第一平衡工序(步骤S3)。图4示出了第一平衡工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第一平衡工序中，关闭在第一加压工序中一直打开的供给阀V1。由此，被检查室w1和基准室m内被从供给源A断开，被检查室w1内的压力和基准室m内的压力成为大致相同的值。在此，第一平衡工序实施于在第一加压工序中比电－气调节器R1靠下游侧的压力达到了第一加压目标值之后。为了判定比电－气调节器R1靠下游侧的压力是否达到了第一加压目标值，预先通过实验等来计测从实施第一加压工序起至上述的压力达到第一加压目标值为止的所需时间，在从实施第一加压工序起的时间超过上述的所需时间的情况下，可以判定为比电－气调节器R1靠下游侧的压力达到了第一加压目标值。此外，也可以将例如检测比电－气调节器R1靠下游侧的压力的压力传感器设于例如基准路P2、共同检查路P3或供给路P1的比电－气调节器R1靠下游侧，并基于该压力传感器的检测值来判定比电－气调节器R1靠下游侧的压力是否达到了第一加压目标值。需要说明的是，在图4中，举例示出了在第一平衡工序实施过程中第一预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w2内的压力已经被维持为第一预压目标值的情况下也可以关闭预压阀V62来结束第一预压工序。

[第一计测工序]

接着，控制装置100实施通过压差传感器S来计测被检查室w1内与基准室m内的压差的第一计测工序(步骤S4)。图5示出了第一计测工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第一计测工序中，关闭在第一平衡工序中一直打开的基准阀V2和共同检查阀V3。由此，被检查室w1和基准室m内被彼此断开。在该状态下，比基准阀V2靠下游侧的基准路P2内的压力与基准室m内的压力相同，比共同检查阀V3靠下游侧的共同检查路P3内的压力、分支检查路P41内的压力以及被检查室w1内的压力相同，因此，通过由压差传感器S计测基准路P2内与共同检查路P3内的压差，能计测基准室m内与被检查室w1内的压差。在被检查室w1没有压力泄漏的情况下，压差几乎不会变化。在被检查室w1有压力泄漏的情况下，被检查室w1内的压力随着时间经过而逐渐降低，因此基准室m内与被检查室w1内的压差的绝对值逐渐增大。控制装置100能基于这样的压差的变化来判定被检查室w1是否有压力泄漏。需要说明的是，在图5中，举例示出了在第一计测工序实施过程中第一预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w2内的压力已经被维持为第一预压目标值的情况下也可以结束第一预压工序。

[第一排气工序]

接着，控制装置100实施从被检查室w1和基准室m内排出加压气体的第一排气工序(步骤S5)。图6示出了第一排气工序和第一预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第一排气工序中，打开在第一计测工序中一直关闭的基准阀V2、共同检查阀V3以及排气阀Ve。由此，基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P41、基准室m以及被检查室w1内的加压气体被排出至外部。需要说明的是，在图6中，举例示出了在第一排气工序实施过程中第一预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w2内的压力已经被维持为第一预压目标值的情况下也可以结束第一预压工序。

[第二加压工序、第二预压工序]

接着，控制装置100实施对被检查室w2内和基准室m内进行加压的第二加压工序(步骤S6)，并且与第二加压工序几乎同时地停止第一预压工序(步骤S7)，并实施对被检查室w3内进行预压的第二预压工序(步骤S8)。第一预压工序的停止通过关闭预压阀V62来进行。图7示出了第二加压工序的前半部分和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第二加压工序的前半部分，关闭在第一排气工序中一直打开的排气阀Ve和检查阀V41，打开在第一排气工序中一直关闭的供给阀V1。在此，由于检查阀V42一直关闭，因此加压气体不会被供给至被检查室w2，但由于基准阀V2和共同检查阀V3一直打开，因此加压气体会被供给至基准路P2、共同检查路P3以及基准室m。此外，在第二加压工序中，控制装置100将电－气调节器R1的目标值设定为第二加压目标值。当在该状态下经过规定时间时，比电－气调节器R1靠下游侧的基准路P2、共同检查路P3以及基准室m内的压力被维持为第二加压目标值。需要说明的是，第二加压目标值可以与第一加压目标值不同，也可以与第一加压目标值相同。

在第二预压工序中，关闭在第一预压工序中一直打开的预压阀V62，打开在第一预压工序中一直关闭的预压阀V63。由此，加压气体从供给源A经由共同预压路P5和分支预压路P63以及分支检查路P43的比检查阀V43靠下游侧被供给至被检查室w3。此外，在第二预压工序中，控制装置100将电－气调节器R5的目标值设定为第二预压目标值。当经过规定时间时，比电－气调节器R5靠下游侧的分支预压路P63和被检查室w3内的压力被维持为第二预压目标值。需要说明的是，第二预压目标值可以与第一预压目标值不同，也可以与第一预压目标值相同。

图8示出了第二加压工序的后半部分和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第二加压工序的后半部分，打开在第二加压工序的前半部分一直关闭的检查阀V42。在此，由于被检查室w2内通过上述的第一预压工序已经被进行了预压，因此从实施第二加压工序起至基准室m和被检查室w2成为所希望的压力而结束第二加压工序为止的时间被削减。需要说明的是，在上述的说明中，将从第二加压工序开始起至第二加压工序实施过程中的任意的时间点为止的期间称为第二加压工序的前半部分，将从该任意的时间点起至第二加压工序结束为止的期间称为第二加压工序的后半部分，该任意的时间点不限定于第二加压工序实施过程中的期间的中间时间点。

[第二平衡工序]

接着，控制装置100实施使被检查室w2内的压力和基准室m内的压力平衡的第二平衡工序(步骤S9)。图9示出了第二平衡工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第二平衡工序中，关闭在第二加压工序一直打开的供给阀V1。由此，被检查室w2和基准室m内被从供给源A断开，被检查室w2内的压力和基准室m内的压力成为大致相同的值。在此，第二平衡工序实施于在第二加压工序中比电－气调节器R1靠下游侧的压力达到了第二加压目标值之后。关于比电－气调节器R1靠下游侧的压力是否达到了第二加压目标值的判定，与上述的情况同样地，可以基于从实施第二加压工序起的经过时间来进行判定，也可以基于设于基准路P2、共同检查路P3或供给路P1的比电－气调节器R1靠下游侧的压力传感器的检测值来进行判定。需要说明的是，在图9中，举例示出了在第二平衡工序实施过程中第二预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w3内的压力已经被维持为第二预压目标值的情况下也可以关闭预压阀V63来结束第二预压工序。

[第二计测工序]

接着，控制装置100实施通过压差传感器S来计测被检查室w2内与基准室m内的压差的第二计测工序(步骤S10)。图10示出了第二计测工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第二计测工序中，关闭在第二平衡工序中一直打开的基准阀V2和共同检查阀V3。由此，被检查室w2和基准室m内被彼此断开。在该状态下，比基准阀V2靠下游侧的基准路P2内的压力与基准室m内的压力相同，比共同检查阀V3靠下游侧的共同检查路P3内的压力、分支检查路P42内的压力以及被检查室w2内的压力相同，因此，通过由压差传感器S计测基准路P2内与共同检查路P3内的压差，能计测基准室m内与被检查室w2内的压差。在被检查室w2没有压力泄漏的情况下，压差几乎不会变化，在被检查室w2有压力泄漏的情况下，压差的绝对值逐渐增大。控制装置100能基于这样的压差的变化来判定被检查室w2是否有压力泄漏。需要说明的是，在图10中，举例示出了在第二计测工序实施过程中第二预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w3内的压力已经被维持为第二预压目标值的情况下也可以结束第二预压工序。

[第二排气工序]

接着，控制装置100实施从被检查室w2和基准室m内排出加压气体的第二排气工序(步骤S11)。图11示出了第二排气工序和第二预压工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第二排气工序中，打开在第二计测工序中一直关闭的基准阀V2、共同检查阀V3以及排气阀Ve。由此，基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P42、基准室m以及被检查室w2内的加压气体被排出至外部。需要说明的是，在图11中，举例示出了在第二排气工序实施过程中第二预压工序也被继续进行的情况，但在被检查室w3内的压力已经被维持为第二预压目标值的情况下也可以结束第二预压工序。

[第三加压工序]

接着，控制装置100实施对被检查室w3内和基准室m内进行加压的第三加压工序(步骤S12)，并且与第三加压工序的开始几乎同时地停止第二预压工序(步骤S13)。第二预压工序的停止通过关闭预压阀V63来进行。图12示出了第三加压工序的前半部分的阀的开闭状态。在第三加压工序的前半部分，关闭在第二排气工序中一直打开的排气阀Ve和检查阀V42，打开在第二排气工序中一直关闭的供给阀V1。与第二加压工序同样地，由于检查阀V43一直关闭，因此加压气体不会被供给至被检查室w3，但由于基准阀V2和共同检查阀V3一直打开，因此加压气体会被供给至基准路P2、共同检查路P3以及基准室m。此外，在第三加压工序中，控制装置100将电－气调节器R1的目标值设定为第三加压目标值。当在该状态下经过规定时间时，比电－气调节器R1靠下游侧的基准路P2、共同检查路P3以及基准室m内的压力被维持为第三加压目标值。需要说明的是，第三加压目标值可以与第一加压目标值和第二加压目标值中的至少一方相同，也可以与第一加压目标值和第二加压目标值不同。

图13示出了第三加压工序的后半部分的阀的开闭状态。在第三加压工序的后半部分，打开在第三加压工序的前半部分一直关闭的检查阀V43。在此，被检查室w3内通过上述的第二预压工序已经被进行了预压。因此，从实施第三加压工序起至基准室m和被检查室w3成为所希望的压力而结束第三加压工序为止的时间被削减。需要说明的是，在上述的说明中，将从第三加压工序开始起至第三加压工序实施过程中的任意的时间点为止的期间称为第三加压工序的前半部分，将从该任意的时间点起至第三加压工序结束为止的期间称为第三加压工序的后半部分，该任意的时间点不限定于第三加压工序实施过程中的期间的中间时间点。

[第三平衡工序]

接着，控制装置100实施使被检查室w3内的压力和基准室m内的压力平衡的第三平衡工序(步骤S14)。图14示出了第三平衡工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第三平衡工序中，关闭在第三加压工序中一直打开的供给阀V1。由此，被检查室w3和基准室m内被从供给源A断开，被检查室w3内的压力和基准室m内的压力成为大致相同的值。

[第三计测工序]

接着，控制装置100实施通过压差传感器S来计测被检查室w3内与基准室m内的压差的第三计测工序(步骤S15)。图15示出了第三计测工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第三计测工序中，关闭在第三平衡工序中一直打开的基准阀V2和共同检查阀V3。由此，通过由压差传感器S计测基准路P2内与共同检查路P3内的压差，能计测基准室m内与被检查室w3内的压差。控制装置100能基于该压差的变化来判定被检查室w3是否有压力泄漏。

[第三排气工序]

接着，控制装置100实施从被检查室w3和基准室m内排出加压气体的第三排气工序(步骤S16)。图16示出了第三排气工序的实施过程中的阀的开闭状态。在第三排气工序中，打开在第三计测工序中一直关闭的基准阀V2、共同检查阀V3以及排气阀Ve。由此，基准路P2、共同检查路P3、分支检查路P43、基准室m以及被检查室w3内的加压气体被排出至外部。经过以上这样的工序，被检查室w1～w3的压力泄漏的检查结束。

如上所述，依次实施分别将被检查室w1～w3内加压至所希望的压力的第一加压工序、第二加压工序以及第三加压工序，因此，不论被检查室w1有无压力泄漏都能将被检查室w2加压至所希望的压力，同样地，不论被检查室w2有无压力泄漏都能将被检查室w3加压至所希望的压力。因此，能高精度地进行被检查室w1～w3的压力泄漏的检查。

此外，在用于检查被检查室w1的第一检查工序的实施过程中，实施对被检查室w2进行预压的第一预压工序。因此，在第一预压工序后实施的、第二检查工序中的对被检查室w2进行加压的第二加压工序的实施期间被削减。同样地，在用于检查被检查室w2的第二检查工序的实施过程中，实施对被检查室w3进行预压的第二预压工序。因此，在第二预压工序后实施的、第三检查工序中的对被检查室w3进行加压的第三加压工序的实施期间被削减。因此，从被检查室w1的检查开始起至被检查室w3的检查结束为止所需的时间被削减。

在上述的实施例中，在按顺序实施第一加压工序、第一平衡工序、第一计测工序以及第一排气工序的期间，始终实施预压阀V62打开而对被检查室w2进行预压的第一预压工序。这样能确保被检查室w2的预压期间，因此例如适合于被检查室w2的容积比较大从而被检查室w2内的压力达到第一预压目标值需要时间的情况、第一预压目标值高从而被检查室w2内的压力达到第一预压目标值需要时间的情况。

实施第一预压工序的期间不限于上述的情况。例如，也可以在第一加压工序的实施过程中打开预压阀V62来开始第一预压工序，在第一平衡工序、第一计测工序或第一排气工序的实施过程中关闭预压阀V62来停止第一预压工序。虽然也取决于被检查室w1的容积的大小，但一般而言，第一加压工序所需的时间比第一平衡工序、第一计测工序或第一排气工序所需的时间长。因此，从确保第一预压工序所需的时间的观点考虑，优选在第一加压工序的实施过程中开始第一预压工序。

不过，也可以在第一平衡工序的实施过程中开始第一预压工序，在第一计测工序或第一排气工序的实施过程中停止第一预压工序。也可以在第一计测工序的实施过程中开始第一预压工序，在第一排气工序的实施过程中停止第一预压工序。也可以在第一加压工序的实施过程中开始并停止第一预压工序，也可以在第一计测工序的实施过程中开始并停止第一预压工序。例如适合于被检查室w2的容积小从而被检查室w2内的压力在较短时间内达到第一预压目标值的情况、第一预压目标值低从而被检查室w2内的压力在较短时间内达到第一预压目标值的情况。

同样地，在上述的实施例中，在按顺序实施第二加压工序、第二平衡工序、第二计测工序以及第二排气工序的期间，始终实施预压阀V63打开而对被检查室w3进行预压的第二预压工序，但不限定于此。例如也可以在第二加压工序、第二平衡工序以及第二计测工序中的任一个的实施过程中实施第二预压工序，在第三检查工序开始之前停止第二预压工序。

在第一加压工序中，可以与检查阀V41一起打开预压阀V61。在该情况下，在第一加压工序中，能在经由供给路P1、共同检查路P3以及分支检查路P41将加压气体供给至被检查室w1的同时，也经由共同预压路P5、分支预压路P61以及分支检查路P41的一部分将加压气体供给至被检查室w1。在该情况下，在第一平衡工序、第一计测工序中关闭预压阀V61即可。

[第二加压工序中的打开检查阀V42的定时]

接着，对在第二加压工序中打开检查阀V42的定时进行说明。在上述的实施例中，如图6～图8所示，在对被检查室w2进行了预压的第一预压工序结束之后，在第二加压工序的前半部分未打开检查阀V42，而在第二加压工序的后半部分打开了检查阀V42。以下，对在第一预压工序结束且第二加压工序中的基准室m内和共同检查路P3内的加压开始前打开了检查阀V42的情况进行说明。图17A是示出在第二加压工序中的基准室m内和共同检查路P3内的加压开始前打开了检查阀V42的情况下的由压差传感器S计测的压差的曲线图。在图17A中，纵轴是压差，横轴示出了时间。图17A所示的压差传感器S所计测的压差通过从基准路P2内的压力减去共同检查路P3内的压力而得到。第二加压工序中的基准室m内和共同检查路P3内的加压开始前的共同检查路P3内的压力通过在第二加压工序紧前实施的第一排气工序而成为大气压，通过预压被维持为第一预压目标值的被检查室w2的压力与加压开始前的共同检查路P3内的压差成为大的状态。当在该状态下打开检查阀V42时，共同检查路P3内的压力急剧上升而对压差传感器S施加冲击，可能会对压差传感器S带来影响。

图17B是示出在第二加压工序的后半部分打开了检查阀V42的情况下的由压差传感器S计测的压差的曲线图。图17B与图17A对应。在本实施例中，通过在作为共同检查路P3内的加压开始后的、第二加压工序的后半部分打开检查阀V42，抑制了共同检查路P3内的压力的急剧上升从而抑制了对压差传感器S施加冲击。

如上所述，在排气阀Ve关闭且供给阀V1、基准阀V2以及共同检查阀V3打开之后，打开检查阀V42即可。由此，会抑制对压差传感器S施加冲击。图11～图13所示的、在第二预压工序结束之后且在通过第三加压工序开始对共同检查路P3内进行加压之后打开检查阀V43的理由也是同样的。

需要说明的是，优选在共同检查路P3内与被检查室w2内的压力差成为规定值以下的情况下打开检查阀V42。压力差成为规定值以下是指，例如共同检查路P3内的压力达到了第二加压目标值且被检查室w2内的压力达到了第一预压目标值的情况。即，第二加压目标值和第一预压目标值被预先设定为差量成为规定值以下。需要说明的是，共同检查路P3内与被检查室w2内的压力差是否成为了规定值以下的判定能基于共同检查路P3内的压力和第一预压目标值来判定。共同检查路P3内的压力可以基于从实施第一加压工序起的经过时间来推定，也可以基于设于共同检查路P3或基准路P2的压力传感器来获取。

[其他]

此外，分支预压路P62和P63分别连接于分支检查路P42和P43。由此，在用于检查被检查室w2的第二检查工序中被利用的分支检查路P42在对被检查室w2进行预压的第一预压工序也被利用。同样地，在用于检查被检查室w3的第三检查工序中被利用的分支检查路P43在对被检查室w3进行预压的第二预压工序中也被利用。由此，抑制了配管的材料成本的增大，也抑制了装置的大型化。

也可以在第一检查工序的实施过程中同时实施第一预压工序和第二预压工序。在该情况下，能通过打开预压阀V62和V63这两者来对被检查室w2和w3这两者进行预压。

在上述实施例中，进行了第一排气工序和第二排气工序，但在规定的情况下也可以不一定进行第一排气工序和第二排气工序。例如，第一加压目标值小于第二加压目标值的情况下，在第一计测工序结束后，不论被检查室w1有无压力泄漏，基准路P2和共同检查路P3内的压力都为第一加压目标值以下。因此，在第一计测工序结束后，可以不进行第一排气工序，而是关闭检查阀V41并打开供给阀V1、基准阀V2以及共同检查阀V3来实施第二加压工序。由于未进行第一排气工序，因此能尽早地实施第二检查工序。此外，在被检查室w1没有压力泄漏的情况下，在第一计测工序的结束时间点，基准路P2和共同检查路P3内这两者的压力几乎都被维持为第一加压目标值，因此能在第二加压工序的前半部分使基准路P2和共同检查路P3内的压力尽早地上升至第二加压目标值，能尽早地结束第二加压工序。关于在第二计测工序结束后实施的第二排气工序，在第二加压目标值小于第三加压目标值的情况下也可以不进行。

如上所述，第一加压目标值～第三加压目标值可以相同，也可以彼此不同。例如，可以考虑被检查室w1～w3的各容积的大小、它们的本来的使用环境或使用用途等而将第一加压目标值～第三加压目标值设定为彼此不同的值。对于第一预压目标值和第二预压目标值而言也是同样的。

在上述实施例中，按被检查室w1～w3的顺序进行了检查，但不限定于此，也可以按被检查室w3、w2、w1的顺序进行检查。例如可以在被检查室w3的检查工序的实施过程中对被检查室w2进行预压，在被检查室w2的检查工序的实施过程中对被检查室w1进行预压。例如在对基准室m和被检查室w2内进行加压的同时对被检查室w1内进行预压的情况下，能通过打开供给阀V1、基准阀V2、共同检查阀V3、检查阀V42并关闭检查阀V41和V43来对基准室m和检查室w2内进行加压，能通过打开预压阀V61并关闭预压阀V62和V63来对被检查室w1内进行预压。同样地，也可以按被检查室w2、w1以及w3的顺序进行检查，也可以按被检查室w2、w3以及w1的顺序进行检查。

在上述实施例中，在对被检查室w2进行预压时使用共同预压路P5和分支预压路P62，在对被检查室w3进行预压时使用共同预压路P5和分支预压路P63。此外，在对被检查室w1进行预压时，使用共同预压路P5和分支预压路P61。即，共同预压路P5在对被检查室w1～w3进行预压时被共用。因此，与分别单独地设有在对被检查室w1～w3进行预压时使用的配管的情况相比，能抑制配管整体的长度，能抑制制造成本的增加。此外，在这样被共用的共同预压路P5设有电－气调节器R5。因此，例如与在分支预压路P61～P63中的每一个设有这样的电－气调节器的情况相比，会抑制制造成本的增加。

在上述实施例中，由单个控制装置100控制了电－气调节器R1、供给阀V1等，但也可以通过多个控制装置来控制它们。例如，也可以由第一控制装置控制电－气调节器R1、供给阀V1、基准阀V2、共同检查阀V3并且获取压差传感器S的计测值，由能与第一控制装置通信的第二控制装置控制电－气调节器R5、检查阀V41、V42以及V43、预压阀V61、V62以及V63。

在上述实施例中，在工件W形成有三个被检查室w1～w3，但也可以将形成有两个被检查室的工件作为检查对象。在该情况下，例如分支检查路P43、检查阀V43、分支预压路P63以及预压阀V63也可以不设置。此外，也可以在工件形成有四个以上的被检查室。例如在对形成有四个被检查室的工件进行检查的情况下，在上述的泄漏检查装置1进一步设置一对分支检查路、检查阀、分支预压路以及预压阀即可。

在上述实施例中，在单个工件W形成有被检查室w1～w3，但不限定于此，也可以在彼此相同或不同的多个工件分别形成有被检查室。

在上述实施例中，使用单个供给源A来实施上述的加压工序和预压工序。因此，与分别设有加压工序用的供给源和预压工序用的供给源的情况相比，抑制了泄漏检查装置1的制造成本的增加。不过，不限定于此，例如也可以将供给源A用作加压工序用，将与供给源A不同的另一供给源用作预压用。在该情况下，共同预压路P5不连接于供给路P1而是连接于与供给源A不同的供给源即可。

[第一变形例]

图18是第一变形例的泄漏检查装置1a的概略构成图。在泄漏检查装置1a中，分支预压路P61a～P63a分别未连接于分支检查路P41～P43，而是直接连接于被检查室w1～w3。例如，适合于对现有的分支检查路P41～P43进行加工并分别连接配管会增加成本的情况、根据装置周边的状况而难以对分支检查路P41～P43分别连接配管的情况、与连接于分支检查路P41～P43相比直接连接于被检查室w1～w3会使配管的总长度变短的情况等。需要说明的是，在第一变形例中，分支预压路P61a～P63a分别直接连接于被检查室w1～w3，但不限定于此，也可以是至少一个配管连接于被检查室w1～w3中的一个。

[第二变形例]

图19是第二变形例的泄漏检查装置1b的概略构成图。在泄漏检查装置1b中，分支预压路P63b未连接于共同预压路P5，而是连接于供给路P1。此外，在分支预压路P63b设有与电－气调节器R5不同的固定调节器R5b。固定调节器R5b与电－气调节器R1和R5不同，能将比固定调节器R5b靠下游侧的压力调整为预先确定的固定值。例如，在被检查室w3的第三预压目标值大于被检查室w1和w2各自的第一预压目标值和第二预压目标值，利用电－气调节器R5无法将被检查室w3内的压力维持为第三预压目标值的情况下，能通过固定调节器R5b来将被检查室w3维持为第三预压目标值。固定调节器R5b是预压调整部的一个例子。需要说明的是，分支预压路P63b连接于供给路P1，但也可以连接于共同预压路P5。可以使用电－气调节器来代替固定调节器R5b，但使用固定调节器R5b能抑制制造成本。

以上，对本发明的实施例进行了详细说明，但本发明并不限定于上述特定的实施例，可以在权利要求书所记载的本发明的主旨的范围内进行各种变形/变更。

Claims (10)

1.一种泄漏检查装置，其特征在于，包括：

检查机构，被配置为实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是通过加压气体对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于所述第一被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是在所述第一检查工序结束后通过加压气体对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第二被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；

第一预压路，被配置为通过加压气体对所述第二被检查室内进行预压；

第一预压阀，被配置为对所述第一预压路进行开闭；以及

控制装置，被配置为对所述检查机构和所述第一预压阀进行控制，

其中，所述控制装置在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第二检查工序，

所述检查机构包括：

供给路，连接于加压气体的供给源；

基准路，连接于所述供给路和所述基准室；

共同检查路，连接于所述供给路；

第一检查路，连接于所述共同检查路和所述第一被检查室；

第二检查路，连接于所述共同检查路和所述第二被检查室；

通路，与所述基准路连通，

供给阀、基准阀、共同检查阀、第一检查阀、第二检查阀以及排气阀，其中，所述供给阀对所述供给路进行开闭，所述基准阀对所述基准路进行开闭，所述共同检查阀对所述共同检查路进行开闭，所述第一检查阀对所述第一检查路进行开闭，所述第二检查阀对所述第二检查路进行开闭，所述排气阀对所述通路进行开闭；以及

计测部，计测所述基准路内与比所述共同检查阀靠下游侧的所述共同检查路内的压差，

所述控制装置对所述供给阀、所述基准阀、所述共同检查阀、所述第一检查阀以及所述第二检查阀进行控制来实施所述第一检查工序和所述第二检查工序，

所述第二检查工序包括对所述第二被检查室内和所述基准室内进行加压的第二加压工序，

在所述第二加压工序中，所述控制装置打开所述供给阀、所述基准阀以及所述共同检查阀并关闭所述第一检查阀和所述第二检查阀并关闭所述排气阀来开始所述基准室内的加压，然后打开所述第二检查阀来对所述第二被检查室内进行加压，

在所述第一检查工序的实施后且所述第二检查工序的实施前，所述控制装置保持关闭所述供给阀并打开所述第一检查阀并关闭所述第二检查阀原样地打开所述基准阀、所述共同检查阀以及所述排气阀来将所述基准路、所述基准室、所述共同检查路、所述第一检查路以及所述第一被检查室内的加压气体向外部排出。

2.根据权利要求1所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一检查工序包括：第一加压工序，对所述第一被检查室内和所述基准室内进行加压；第一平衡工序，在所述第一加压工序结束后使所述第一被检查室内的压力和所述基准室内的压力平衡；以及第一计测工序，在所述第一平衡工序结束后计测所述第一被检查室内和所述基准室内的压差，

所述控制装置在所述第一加压工序和所述第一计测工序中的至少任一个的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

3.根据权利要求2所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述控制装置在所述第一加压工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路连接于所述供给路，使得从所述供给源被供给加压气体。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路在比所述第二检查阀靠下游侧连接于所述第二检查路。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路未连接于所述第二检查路而是连接于所述第二被检查室。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述检查机构包括加压调整部，所述加压调整部设于所述供给路的比所述供给阀靠下游侧，对被供给的加压气体的输出压力进行调整，

所述控制装置在所述加压调整部设定第一加压目标值，所述第一加压目标值是通过所述第一检查工序中的加压得到的所述第一被检查室内和所述基准室内的压力的目标值，所述控制装置在所述加压调整部设定第二加压目标值，所述第二加压目标值是通过所述第二检查工序中的加压得到的所述第二被检查室内和所述基准室内的压力的目标值，

所述第一加压目标值和所述第二加压目标值是彼此不同的值。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的泄漏检查装置，其特征在于，还包括：

第二预压路，被配置为对第三被检查室内进行预压；以及

第二预压阀，被配置为对所述第二预压路进行开闭，

其中，所述检查机构实施第三检查工序，所述第三检查工序是在所述第二检查工序结束后通过加压气体对所述第三被检查室内和所述基准室内进行加压并基于所述第三被检查室内和所述基准室内的压差来检查所述第三被检查室的压力泄漏的工序，

所述控制装置在所述第二检查工序的实施过程中打开所述第二预压阀来对所述第三被检查室内进行预压，在所述第三被检查室内被进行了预压的状态下通过所述检查机构来实施所述第三检查工序。

9.根据权利要求8所述的泄漏检查装置，其特征在于，

所述第一预压路和所述第二预压路包括共用的共同预压路，

所述第一预压路包括从所述共同预压路分支出的第一分支预压路，

所述第二预压路包括从所述共同预压路分支出的第二分支预压路，

所述第一预压阀对所述第一分支预压路进行开闭，所述第二预压阀对所述第二分支预压路进行开闭。

10.根据权利要求9所述的泄漏检查装置，其特征在于，

还包括预压调整部，所述预压调整部设于所述共同预压路，对被供给的加压气体的输出压力进行调整，

其中，所述控制装置在所述预压调整部设定第一预压目标值，所述第一预压目标值是通过预压得到的所述第二被检查室内的压力的目标值，所述控制装置在所述预压调整部设定第二预压目标值，所述第二预压目标值是通过预压得到的所述第三被检查室内的压力的目标值，

所述第一预压目标值和所述第二预压目标值是彼此不同的值。