CN113297157B - 机台文件处理方法及处理系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种机台文件处理方法和处理系统，机台文件处理方法包括：监控机台服务器的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件，所述异动文件包括异动数据；根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据。本申请的机台文件处理方法实现了更好的时效性和准确性。

Description

机台文件处理方法及处理系统
技术领域
本发明涉及自动化机台技术领域，特别是涉及一种机台文件处理方法及处理系统。
背景技术
随着手机、计算机等终端设备对芯片需求的不断增长，在半导体领域中，芯片的制造设备和测试设备也在进一步升级，这使得芯片产出和测试的周期相应缩短，因此，为了更快地、直观地获取晶圆和芯片的测试结果，业界对机台产出测试文件的处理速度和准确度提出了更高的要求。
目前，业界常用的测试文件处理方法是，以手工方式将测试文件从机台导出，然后用EXCEL宏的方式生成晶圆的相关分析数据。虽然使用手工方式操作可以生成数据，但是，一方面手工导出不能及时地获取新生成的测试文件，会存在文件导出的速度较慢，另一方面人工处理数据时，若机台不同，需要选择不同的EXCEL宏进行处理，而且一次也只能处理一个文件。因此，目前的处理方法不能满足业界对机台文件处理的时效性的需求。
发明内容
基于此，有必要针对现有机台文件处理方法的时效性不足的问题，提供一种机台文件处理方法及处理系统。
为了实现本发明的目的，本发明采用如下技术方案：
一种机台文件处理方法，应用于边缘计算服务器，包括：
监控机台服务器的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件，所述异动文件包括异动数据；
根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；
发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据。
在其中一个实施例中，所述边缘计算服务器包括文件监控模块、文件同步模块和实时入库模块，所述监控机台服务器的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件包括：
控制所述文件监控模块监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至所述文件同步模块；
控制所述文件同步模块接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换。
在其中一个实施例中，所述异动文件包括至少一行异动数据，所述根据预设入库规则，对异动数据进行格式转换，生成模型层数据包括：
将所述异动数据的第一行设为设定行；
读取所述设定行的异动数据；
根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据；
根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略。
在其中一个实施例中，所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略包括：
当所述设定行为最后一行时，为所述异动文件生成读取标识；
当所述设定行非最后一行时，将所述设定行的下一行设为新的设定行，并重复所述读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据的步骤，直至所述新的设定行为最后一行。
在其中一个实施例中，所述根据所述异动文件和预设入库规则，获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据包括：
获取所述异动文件的存储版本；
根据所述存储版本和预设入库规则判定所述设定行的异动数据是否需要格式转换；
若是，将所述设定行的异动数据转换为模型层数据；
若否，则直接返回所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略的步骤。
在其中一个实施例中，所述监控机台服务器的文件系统的操作包括：利用Linux内核的Inotify特性，监控机台服务器的文件系统的新增和修改的操作。
一种机台文件处理方法，应用于机台文件处理系统，所述机台文件处理系统包括数据仓库服务器，所述机台文件处理方法包括：控制所述数据仓库服务器
接收边缘计算服务器发送的模型层数据和数据分析请求；
获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据，所述应用层数据用于生成可视化页面。
在其中一个实施例中，所述机台文件处理系统还包括前端应用服务器，所述机台文件处理方法还包括：
控制所述数据仓库服务器发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器根据所述应用层数据获取可视化页面；
控制所述前端应用服务器接收数据仓库服务器发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。
本发明的技术方案还提供了一种机台文件处理系统，包括：
边缘计算服务器，用于监控机台服务器的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件；根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据；
数据仓库服务器，用于接收边缘计算服务器发送的模型层数据和数据分析请求；获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据。
在其中一个实施例中，所述数据仓库服务器还用于发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器根据所述应用层数据获取可视化页面，所述机台文件处理系统还包括：
前端应用服务器，用于接收数据仓库服务器发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。
在其中一个实施例中，所述边缘计算服务器包括：
文件监控模块，用于监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至文件同步模块；
文件同步模块，用于接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换；
实时入库模块，用于根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；并发送模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据。
上述机台文件处理方法和处理系统，通过对机台服务器的文件系统的监控，实现了对机台服务器上的新增和修改的异动文件的及时获取，避免了手工导出数据时效率低、容易发生文件遗漏的问题。而且，通过增量同步的方式将异动文件获取至边缘计算服务器，提高了文件同步的效率。进一步地，通过直接在机台服务器所在的数据侧进行数据采集和初步处理，解决了机台文件数据量过大容易引发的传输速度慢、处理不及时的问题。最后，通过自动获取应用层数据，并自动获取并展示可视化页面，实现了更加快速的数据展示和应用。综上所述，本申请的机台文件处理方法实现了更好的时效性和准确性。
附图说明
图1为一实施例中的机台文件处理方法的流程图；
图2为一示例中的异动数据的截图；
图3为一示例中的模型层数据的截图；
图4为一示例中的应用层数据的截图；
图5为一实施例中的S100的子流程图；
图6为一实施例中的S200的子流程图；
图7为一实施例中的S230至S240的子流程图；
图8为另一实施例中的S200的子流程图；
图9为另一实施例中的机台文件处理方法的流程图；
图10为一实施例中的晶圆图的可视化页面；
图11为又一实施例中的机台文件处理方法的流程图；
图12为再一实施例中的机台文件处理方法的流程图；
图13为一实施例中的机台文件处理系统的结构示意图；
图14为另一实施例中的机台文件处理系统的结构示意图；
图15为一实施例中的边缘计算服务器的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的首选实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方法或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
图1为一实施例中的机台文件处理方法的流程图，本实施例的机台文件处理方法应用于边缘计算服务器，如图1所示，本实施例的机台文件处理方法包括S100～S300。
S100：监控机台服务器的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件，所述异动文件包括异动数据。
其中，所述机台服务器包括WP机台服务器、TM机台服务器等，不同的机台用于获取晶圆不同工艺制程阶段或不同表征方式的测试数据，不同表征方式包括光学测试、电性测试等。文件的新增、修改和删除均属于文件系统的操作，但只有新增和修改的操作会产生异动文件，因此，本实施例中的机台文件处理方法也只重点关注新增和修改的操作。所述异动数据即异动文件中保存的数据。
具体地，当机台服务器对一片新的晶圆进行测试后，会产生新增的异动文件；当机台服务器对已测试过的晶圆进行重复测试后，会产生修改的异动文件，而异动文件的产生必然伴随着相应的操作。因此，通过监控文件系统的新增或修改的操作，即可获悉机台服务器上产生了异动文件，从而及时将异动文件获取至边缘计算服务器。
图2为一示例中的异动数据的截图，如图2所示，异动文件通常包括多行异动数据，在本实施例中，每行异动数据包含的数据格式和数据量也不相同，操作人员仅通过异动文件无法了解晶圆的测试结果，因此，需要对异动文件中的数据进行处理，从而获取直观的测试结果。
S200：根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据。
其中，所述预设入库规则为针对不同的机台服务器在边缘计算服务器中已设定的规则，预设入库规则中包括对异动数据进行格式转换的条件和方法。模型层数据为可以直接进行分析的数据。
具体地，不同机台生成的异动文件的格式、单位、命名等内容的定义方式均存在一定的差异，例如，同样用于评价晶圆设定层的厚度是否满足厚度阈值，部分机台的记录格式为0和1，但另一部分机台的记录格式为YES和NO，又例如，同样用于记载线条的宽度，部分机台的单位使用微米，但另一部分机台的单位使用纳米。因此，仅通过相同的数据分析方法，无法对不同机台生成的异动文件进行高效的分析。图3为一示例中的模型层数据的截图，如图3所示，模型层数据不仅结构清晰，而且不同机台生成的异动文件可以被转化为格式、单位、命名等内容的定义方式相同的模型层数据。因此，在进行数据分析时，可以根据数据分析的需求，从模型层数据中简单、快捷地获取不同晶圆需求参数的测试结果。本实施例通过格式转换操作将非结构化的异动数据转化为结构化的模型层数据，降低了数据分析的复杂度，从而提高了数据分析的效率。
S300：发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据。
其中，应用层数据为经过加工和处理生成的业务需要的数据，即应用层数据中包含的数据更少，已剔除了无需展示和应用的数据。
具体地，边缘计算服务器将生成的模型层数据和数据分析请求同步发送给数据仓库服务器，数据仓库服务器即可在数据分析请求的指示下，对模型层数据进一步筛选，从而仅在应用层数据中保留待展示和应用的数据。图4为一示例中的应用层数据的截图，如图4所示，应用层数据的栏目设置与需要进行展示和应用的项目相同，相比模型层数据，应用层数据的内容更加简洁清晰，如栏目为PRODUCT_ID(产品编号)、X和Y等。操作人员通过查阅应用层数据，即可获取需求项目的测试结果。
上述机台文件处理方法，通过对机台服务器的文件系统的监控，实现了对机台服务器上的新增和修改的异动文件的及时获取，避免了手工导出数据时效率低、容易发生文件遗漏的问题。而且，本实施例以增量同步的方式将异动文件获取至边缘计算服务器，提高了文件同步的效率。进一步地，本实施例的边缘计算服务器和机台服务器均位于FAB网段，本实施例直接在机台服务器所在的数据侧进行数据采集和初步处理，再将边缘计算服务器初步处理后的模型层数据实时发送至OA网段的数据仓库服务器，解决了机台文件数据量过大容易引发的传输速度慢、处理不及时的问题。因此，相比现有技术，本实施例的机台文件处理方法能够对异动文件自动进行同步和入库，并输出结构化的模型层数据，从而降低了数据分析的复杂度，提高了机台文件处理的时效性和准确性。
在一实施例中，所述边缘计算服务器包括文件监控模块、文件同步模块和实时入库模块，图5为本实施例中的S100的子流程图，如图5所示，该机台文件处理方法的S100包括S110～S120。
S110：控制文件监控模块监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至文件同步模块。
其中，文件监控模块用于监控机台服务器的文件系统的新增和修改的操作，文件同步模块用于将机台服务器上的异动文件同步至边缘计算服务器。
具体地，当文件监控模块发现文件系统发生新增和修改的操作时，立刻发送同步请求给文件同步模块，同步请求用于指示文件同步模块将异动文件同步至边缘计算服务器，以进行及时的异动文件同步。
在一示例中，利用Linux内核的Inotify特性，监控机台服务器的文件系统的新增和修改的操作。Inotify特性不仅可以监控设定的文件，还可以监控设定的目录或子目录，并通过内核及时向设定的程序或模块发出相关的事件警告。因此，本示例通过使用Inotify特性，实现了灵活性更高、占用资源更少、反应更灵敏的文件监控。
S120：控制文件同步模块接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换。
其中，增量备份程序用于对异动文件进行增量备份。增量备份是一种获取本次备份和上一次备份的差异数据的备份方法，即在第一次进行完全备份后，第二次进行增量备份时，只备份第二次和第一次之间的差异数据，第三次进行增量备份时，只备份第三次和第二次之间的差异数据，以此类推。实时入库模块用于将同步至边缘计算服务器中的异动数据进行入库，以生成模型层数据。
具体地，文件同步模块接收到同步请求后，调用增量备份程序进行异动文件同步，相比完全备份和差异备份，增量备份每次同步时需要备份的数据量较少，耗时较短，数据在边缘计算服务器中占用的空间也较少，更加适用于本实施例中的机台文件处理方法。而且文件控制模块可以在完成同步时，即时发送入库指令至实时入库模块，可以使异动数据及时入库，有效避免了处理不及时导致的异动数据堆积。
在一实施例中，所述异动文件包括至少一行异动数据，图6为本实施例中的S200的子流程图，如图6所示，该机台文件处理方法的S200包括S210～S240。
S210：将所述异动数据的第一行设为设定行。
具体地，由于每行异动数据包含的数据格式和数据量并不相同，不能以完全相同的方法对每一行数据进行入库，因此本实施例通过分行读取的方式逐次对设定行进行入库，进一步地，为了避免异动数据的遗漏，本实施例的实时入库模块到边缘计算服务器的指定目录下获取异动文件后，先从异动数据的第一行开始进行读取和转换，即先将异动数据的第一行设为设定行，例如，图2中的第一行即“0001，20，74，1，3，767”行。
S220：读取所述设定行的异动数据。
S230：根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据。
具体地，预设入库规则中包括对异动数据进行格式转换的条件和方法，因此，针对异动数据中满足格式转换条件的内容，可以根据设定的格式转换方法，以设定的输出格式导入设定的输出位置，从而获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据。
S240：根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略。
具体地，异动文件中通常包括多行异动数据，而本实施例是以分行读取的方式进行入库，因此，需要通过设定的方法对异动数据中的每一行数据进行遍历，入库策略即规定了对每一行异动数据进行遍历的逻辑和顺序，本实施例根据行标识执行相应的入库策略，可以高效、完整地获取每一行异动数据。
在一示例中，如图7所示，该机台文件处理方法的S230包括S231～S233。
S231：获取所述异动文件的存储版本。
具体地，不同类型异动文件的存储方式不同，而异动文件的存储版本与存储方式是一一对应的，因此，可以通过获取异动文件的存储版本进而获取其存储方式，从而对异动数据进行准确的入库，避免入库时的格式错误或内容错误。
S232：根据所述存储版本和预设入库规则判定所述设定行的异动数据是否需要格式转换。
具体地，实时入库模块中已经设定了预设入库规则，预设入库规格包括格式转换的条件和方法等信息，因此，可以根据预设入库规则中的条件确定所述设定行的数据是否需要格式转换。
若是，S233：将所述设定行的异动数据转换为模型层数据。
若否，例如，异动数据中的设定行数据仅用于记载晶圆在该机台上的测试时间，而不涉及晶圆的编号和测试结果等信息，而预设入库规则中规定不对测试时间这一参数进行入库，因此无需将该设定行的异动数据转换为模型层数据，则直接返回S240：根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略。
在一示例中，如图8所示，该机台文件处理方法的S240包括S241～S242。
S241：当所述设定行为最后一行时，为所述异动文件生成读取标识。
具体地，当所述设定行为最后一行时，说明该异动文件中的异动数据已经全部完成了读取和入库的操作，则跳出S220～S230的循环，进一步地，当异动文件成功读取和入库后，通过为所述异动文件生成读取标识，可以避免未发生异动的文件被错误地重复性读取，从而提高机台文件处理方法中文件入库时读取的可靠性。
S242：当所述设定行非最后一行时，将所述设定行的下一行设为新的设定行，并重复所述读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据的步骤(S220～S230)，直至所述新的设定行为最后一行。
图9为一实施例中的机台文件处理方法的流程图，本实施例的机台文件处理方法应用于机台文件处理系统，所述机台文件处理系统包括数据仓库服务器，如图9所示，本实施例的机台文件处理方法包括S400～S500。
S400：接收边缘计算服务器发送的模型层数据和数据分析请求。
具体地，数据仓库服务器接收结构化的模型层数据，并响应于该数据分析请求，以根据模型层数据获取应用层数据。
S500：获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据，所述应用层数据用于生成可视化页面。
其中，需求输出的数据栏位即需要进行展示和应用的数据栏位，即图4中所示的PRODUCT_ID、ROUTE_ID、X、Y和CHIP_MAP等数据栏位。可视化页面是将根据数据生成的直观的图形或图像，如散点图、饼状图、柱状图等均属于可视化页面。如图10所示为半导体领域中常用的晶圆图的可视化页面，晶圆图用于直观地了解晶圆中合格晶粒与不良晶粒的分布情况，而且可以通过晶圆图中不同的填充方式表示不良晶粒产生的工艺制程或原因。
具体地，本实施例先获取需求输出的数据栏位，再从模型层数据中筛选出需求输出的数据，最后根据筛选出的数据获取应用层数据。例如，本实施例中需要输出数据栏位为“X”的数据，而机台产生的测试文件中包括“A”栏位和“B”栏位的测试数据，“X”栏位的数据需要根据“A”栏位和“B”栏位的测试数据进一步分析获取，因此在本实施例中，需要先从模型层数据中筛选出“A”栏位和“B”栏位的测试数据，再进行设定的数据分析，从而获取“X”栏位的数据，最后将该“X”栏位的数据保存至应用层数据中。可以理解的是，由于机台的晶圆测试量巨大，即使到达获取应用层数据的阶段，仍有大量的测试数据需要处理，因此本实施例根据模型层数据和需求输出的数据栏位自动获取应用层数据，可以大大减少人工手动操作获取应用层数据时的繁复操作，从而提高获取应用层数据的效率和可靠性。
进一步地，本实施例在获取应用层数据的过程中，可以根据相同的事实测试数据获取多个不同维度的测试数据表，对测试数据进行多维度的分析，从而解决数据之间不能关联分析导致的分析不够全面的问题。
在一实施例中，所述机台文件处理系统还包括前端应用服务器，图11是本实施例的机台文件处理方法的流程图，如图11所示，本实施例的机台文件处理方法还包括S600～S700。
S600：控制所述数据仓库服务器发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器根据所述应用层数据获取可视化页面。
具体地，通过将应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，可以指示前端应用服务器根据应用层数据自动获取恰当的可视化页面。通常在晶圆数据应用的阶段，需要针对不同的数据栏位，输出不同的可视化页面，因此人工操作需要繁复的数据选取和可视化页面类型选取的操作。本实施例中利用数据应用请求，使前端应用服务器自动获取可视化页面，从而提高了数据展示和应用的效率。
S700：控制所述前端应用服务器接收数据仓库服务器发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。
具体地，前端应用服务器接收应用层数据，并响应于数据应用请求，从而根据应用层数据快速获取并展示可视化页面，提高了机台文件处理方法的数据展示和应用的速度。其中，前端应用服务器可以通过数据分析工具或前端代码开发等方法获取所述可视化页面。
图12为一实施例中的机台文件处理方法，如图12所示，本实施例的机台文件处理方法包括S100～S700。本实施例的机台文件处理方法，通过对机台服务器的文件系统的监控，实现了对机台服务器上的新增和修改的异动文件的及时获取，避免了手工导出数据时效率低、容易发生文件遗漏的问题。而且，本实施例以增量同步的方式将异动文件获取至边缘计算服务器，提高了文件同步的效率。进一步地，本实施例的边缘计算服务器和机台服务器均位于FAB网段，本实施例直接在机台服务器所在的数据侧进行数据采集和初步处理，再将边缘计算服务器初步处理后的模型层数据实时发送至OA网段的数据仓库服务器，解决了机台文件数据量过大容易引发的传输速度慢、处理不及时的问题。获取模型层数据后，本实施例通过数据仓库服务器自动获取应用层数据，并利用前端应用服务器自动获取并展示可视化页面，实现了更加快速的数据展示和应用。因此，从测试文件生成、数据采集、数据分析到可视化页面展示，本实施例实现了完全自动的数据处理过程，所以本实施例提供的方法是一种时效性和可靠性兼具的机台文件处理方法。
图13为一实施例中的机台文件处理系统的结构示意图，如图13所示，机台文件处理系统包括：机台服务器100、边缘计算服务器200和数据仓库服务器300。
机台服务器100，用于进行文件系统的操作，并生成异动文件；
边缘计算服务器200，用于监控机台服务器100的文件系统的操作，获取所述操作生成的异动文件；根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器300，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器300根据所述模型层数据获取应用层数据。
数据仓库服务器300，用于接收边缘计算服务器200发送的模型层数据和数据分析请求；获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据，所述应用层数据用于生成可视化页面。
本实施例的机台文件处理系统，通过边缘计算服务器200及时获取机台服务器100上的新增和修改的异动文件，并在数据侧将异动数据转化为结构化的模型层数据，再通过数据仓库服务器300将模型层数据转化为应用层数据，从而实现了测试文件的快速获取和分析。
图14为一实施例中的机台文件处理系统的结构示意图，如图14所示，所述数据仓库服务器300还用于发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器400，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器400根据所述应用层数据获取可视化页面，所述机台文件处理系统还包括：前端应用服务器400，用于接收数据仓库服务器300发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。本实施例的机台文件处理系统，通过前端应用服务器400，实现了测试数据的自动可视化，从而提高了数据展示和应用的效率。
图15为一实施例中的边缘计算服务器200的结构示意图，如图15所示，所述边缘计算服务器200包括：文件监控模块210、文件同步模块220和实时入库模块230。
文件监控模块210，用于监控机台服务器100的文件系统的操作，发送同步请求至文件同步模块220。
文件同步模块220，用于接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块230，所述入库指令用于指示所述实时入库模块230根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换；
实时入库模块230，用于根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；并发送模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器300，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器300根据所述模型层数据获取应用层数据。
本实施例的边缘计算服务器200，通过文件监控模块210、文件同步模块220和实时入库模块230的配合，实现了异动文件的自动增量同步和异动数据的自动入库，从而有效避免了处理不及时导致的异动数据堆积的问题，提高了机台文件处理系统的运行可靠性。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种机台文件处理方法，应用于边缘计算服务器，包括：
监控不同机台服务器的文件系统的操作，获取新增和修改的操作生成的异动文件，所述异动文件包括多行异动数据，各行所述异动数据的数据格式和数据量不同，通过所述异动文件无法了解晶圆的测试结果；
根据预设入库规则对所述多行异动数据进行格式转换，生成定义方式相同的模型层数据，所述定义方式相同的内容包括格式、单位、命名，所述模型层数据为能够进行分析的数据；其中，所述预设入库规则为针对不同的机台服务器在所述边缘计算服务器中已设定的规则，所述预设入库规则中包括对异动数据进行格式转换的条件和方法；
发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据，通过查阅所述应用层数据能够获取所述测试结果；
其中，所述边缘计算服务器包括文件监控模块、文件同步模块和实时入库模块，所述监控不同机台服务器的文件系统的操作，获取新增和修改的操作生成的异动文件包括：
控制所述文件监控模块监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至所述文件同步模块；
控制所述文件同步模块接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换；
其中，所述根据预设入库规则对所述多行异动数据进行格式转换，生成定义方式相同的模型层数据，包括：将所述异动数据的第一行设为设定行；读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据；根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略；
其中，所述根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据，包括：获取所述异动文件的存储版本；根据所述存储版本和预设入库规则判定所述设定行的异动数据是否需要格式转换；若是，将所述设定行的异动数据转换为模型层数据；若否，则直接返回所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略的步骤。
2.根据权利要求1所述的机台文件处理方法，其特征在于，所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略包括：
当所述设定行为最后一行时，为所述异动文件生成读取标识；
当所述设定行非最后一行时，将所述设定行的下一行设为新的设定行，并重复所述读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据的步骤，直至所述新的设定行为最后一行。
3.根据权利要求1所述的机台文件处理方法，其特征在于，所述监控机台服务器的文件系统的操作包括：利用Linux内核的Inotify特性，监控机台服务器的文件系统的新增和修改的操作。
4.一种机台文件处理方法，应用于机台文件处理系统，所述机台文件处理系统包括数据仓库服务器，所述机台文件处理方法包括：
控制所述数据仓库服务器接收边缘计算服务器发送的模型层数据和数据分析请求，所述模型层数据为所述边缘计算服务器根据预设入库规则对异动文件包括的多行异动数据进行格式转换生成的、定义方式相同的、能够进行分析的数据，所述定义方式相同的内容包括格式、单位、命名，所述异动文件为所述边缘计算服务器通过监控不同机台服务器的文件系统的操作获取的新增和修改的操作生成的文件，各行所述异动数据的数据格式和数据量不同，通过所述异动文件无法了解晶圆的测试结果；其中，所述预设入库规则为针对不同的机台服务器在所述边缘计算服务器中已设定的规则，所述预设入库规则中包括对异动数据进行格式转换的条件和方法；
获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据，所述应用层数据用于生成可视化页面，通过查阅所述应用层数据能够获取所述测试结果；
其中，所述边缘计算服务器包括：
文件监控模块，用于监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至文件同步模块；
文件同步模块，用于接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换；
实时入库模块，用于根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；并发送模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据；
其中，所述根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据，包括：将所述异动数据的第一行设为设定行；读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据；根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略；
其中，所述根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据，包括：获取所述异动文件的存储版本；根据所述存储版本和预设入库规则判定所述设定行的异动数据是否需要格式转换；若是，将所述设定行的异动数据转换为模型层数据；若否，则直接返回所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略的步骤。
5.根据权利要求4所述的机台文件处理方法，其特征在于，所述机台文件处理系统还包括前端应用服务器，所述机台文件处理方法还包括：
控制所述数据仓库服务器发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器根据所述应用层数据获取可视化页面；
控制所述前端应用服务器接收数据仓库服务器发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。
6.一种机台文件处理系统，其特征在于，包括：
边缘计算服务器，用于监控不同机台服务器的文件系统的操作，获取新增和修改的操作生成的异动文件，所述异动文件包括多行异动数据，各行所述异动数据的数据格式和数据量不同，通过所述异动文件无法了解晶圆的测试结果；根据预设入库规则对所述多行异动数据进行格式转换，生成定义方式相同的模型层数据，所述定义方式相同的内容包括格式、单位、命名，所述模型层数据为能够进行分析的数据；发送所述模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据，通过查阅所述应用层数据能够获取所述测试结果；其中，所述预设入库规则为针对不同的机台服务器在所述边缘计算服务器中已设定的规则，所述预设入库规则中包括对异动数据进行格式转换的条件和方法；
数据仓库服务器，用于接收边缘计算服务器发送的模型层数据和数据分析请求；获取需求输出的数据栏位，根据所述数据栏位对所述模型层数据进行格式转换，生成应用层数据；
其中，所述边缘计算服务器包括：
文件监控模块，用于监控机台服务器的文件系统的操作，发送同步请求至文件同步模块；
文件同步模块，用于接收所述同步请求，调用增量备份程序进行异动文件同步；当异动文件的同步完成时，发送入库指令至实时入库模块，所述入库指令用于指示所述实时入库模块根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换；
实时入库模块，用于根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据；并发送模型层数据和数据分析请求至数据仓库服务器，所述数据分析请求用于指示所述数据仓库服务器根据所述模型层数据获取应用层数据；
其中，所述根据预设入库规则对所述异动数据进行格式转换，生成模型层数据，包括：将所述异动数据的第一行设为设定行；读取所述设定行的异动数据；根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据；根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略；
其中，所述根据所述异动文件和预设入库规则获取所述设定行的异动数据相应的模型层数据，包括：获取所述异动文件的存储版本；根据所述存储版本和预设入库规则判定所述设定行的异动数据是否需要格式转换；若是，将所述设定行的异动数据转换为模型层数据；若否，则直接返回所述根据所述设定行的行标识执行相应的入库策略的步骤。
7.根据权利要求6所述的机台文件处理系统，其特征在于，所述数据仓库服务器还用于发送所述应用层数据和数据应用请求至前端应用服务器，所述数据应用请求用于指示所述前端应用服务器根据所述应用层数据获取可视化页面，所述机台文件处理系统还包括：
前端应用服务器，用于接收数据仓库服务器发送的应用层数据和数据应用请求；根据所述应用层数据获取所述可视化页面；展示所述可视化页面。
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