CN1953102B - 测试数据报告和分析方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了使用数据阵列从阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。一种方法包括获取所述测试数据并在数据阵列中报告所述测试数据，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分。根据转换表来组织存储在所述数据阵列中的数据，所述转换表描述了所述数据阵列中要测试的数据的位置和要分析的数据的准则。还可以生成大量其他数据布置，例如，列出预定最大数量的失效点的坐标文件或芯片做出的包括失效点的芯片报告。所述数据阵列以更易于生成和存储的形式报告所有测试数据，并且其可以被转换成图像。本发明还公开了用于使用所述数据阵列来分析数据的数据分析方法。

Description

测试数据报告和分析方法及系统

技术领域

本发明一般地涉及测试诸如存储器阵列之类的阵列结构，更具体地说，涉及使用数据阵列从阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。

背景技术

在半导体制造工业中，将在使用器件之前对其进行测试。在许多情况下，测试的部件具有阵列结构。例如，所测试的器件的一个部件为存储器阵列。存储器测试器为存储器阵列的每个单元(或位)运行多个测试并记录失效。由于存储器阵列可以包括大量单元(例如，对于1024×2048的阵列，包括2,097,152个单元)，所以收集的数据量是巨大的。一种收集和组织数据的方法是将每个单元失效都记录到美国信息互换标准代码(ASCII)文件中，例如，ASCII逗号分隔文本文件或逗号分隔值(csv)文件。所收集的数据包含每个失效的详细信息，例如，失效位置、测试类型、失效类型等。使用该方法所收集的大量数据通常要求在生成ASCII文件过程中定时暂停测试执行并询问测试器硬件。也就是说，存储器测试数据是在一次收集的。其结果就是花费过多时间来生成的非常大的ASCII文件。

解决这种情况的一种方法是将确定的失效数限制在预定最大值内。不幸的是，这种方法要求不捕获所有失效数据。此外，这种方法在失效数达到预定最大值的情况下会增加复杂性。另一种方法包括执行将数据二进制转储到位失效图，即，包括失效点的存储器阵列的物理可查看再现(图像)。图1示出了简化的位失效图10，其是包括失效点(单元)F的5×5存储器阵列的图形表示。每个位失效图表示在整个存储器阵列上施加的不同测试。因此，每个测试都需要其他位失效图。此方法是有利的，因为与记录失效相比，该方法可以在相对较短的时间内完成。尽管使用该方法可捕获所有单元失效点，但是不能得到诸如测试类型、失效类型之类的其他详细信息。

上述存储器测试数据的格式对数据分析也有负面影响。

鉴于上述内容，本领域中需要一种报告和/或分析来自阵列结构的测试的测试数据的改进的解决方案。

发明内容

本发明公开了使用数据阵列从阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。一种方法包括获取所述测试数据并在数据阵列中报告所述测试数据，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分。根据转换表来组织存储在所述数据阵列中的数据，所述转换表描述了所述数据阵列中要测试的数据的位置和要分析的数据的准则。还可以生成大量其他数据布置，例如，列出预定最大数量的失效点的坐标文件或芯片做出的包括失效点的芯片报告。所述数据阵列以更易于生成和存储的形式报告所有测试数据，并且其可以被转换成图像。本发明还公开了用于使用所述数据阵列来分析数据的数据分析方法。

本发明的第一个方面提供了一种根据阵列结构的多个测试来报告测试数据的方法，该方法包括以下步骤：获取所述测试数据；以及在数据阵列中报告所述测试数据，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分。

本发明的第二个方面提供了一种根据阵列结构的多个测试来报告测试数据的系统，该系统包括：用于获取所述测试数据的装置；以及用于在数据阵列中报告所述测试数据的装置，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分。

本发明的第三个方面提供了一种存储在计算机可读介质上的程序产品，当被执行时，所述程序产品根据阵列结构的多个测试来报告测试数据，该程序产品包括：用于获取所述测试数据的程序代码；以及用于在数据阵列中报告所述测试数据的程序代码，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分。

本发明的第四个方面提供了一种分析阵列结构的测试数据的方法，该方法包括以下步骤：在数据阵列中接收所述测试数据的报告，所述数据阵列包括至少两个表示不同测试的部分；根据转换表来扫描所述数据阵列以获取所述阵列结构的所述测试数据；以及分析所述数据。

本发明的第五个方面提供了一种包括计算机程序代码的计算机可读介质，所述计算机程序代码使得计算机基础设施能够根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据，所述计算机可读介质包括用于执行本发明的方法步骤的计算机程序代码。

本发明的第六个方面提供了一种用于根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据的商业方法，该商业方法包括管理执行本发明的每个步骤的计算机基础设施；以及根据所述管理步骤接收付款。

本发明的第七个方面提供了一种提供根据阵列结构的多个测试来报告测试数据的服务的方法，该方法包括：获取计算机基础设施；以及对于本发明的方法的每个步骤，将用于执行所述步骤的单元部署到所述计算机基础设施。

本发明的示例性方面旨在解决文中描述的问题和其他可由本领域的技术人员发现的尚未讨论的问题。

附图说明

从以下结合示出本发明的各种实施例的附图的对本发明的各个方面的详细描述，可以更容易地理解本发明的这些和其他特点，这些附图是：

图1示出了现有技术的位失效图；

图2示出了根据本发明的一个实施例的测试数据报告和分析系统的方块图；

图3是示出图2的系统的运行方法的一个实施例的流程图；

图4示出了根据本发明的一个实施例的示例性数据阵列；

图5示出了与图4的数据阵列一起使用的示例性转换表；

图6示出了与图4的数据阵列一起使用的示例性坐标文件；

图7示出了与图4的数据阵列一起使用的示例性芯片报告；

图8是示出了图2的系统的分析方法的一个实施例的流程图；

要指出的是，本发明的附图并不成比例。所述附图旨在只是示出本发明的典型方面，因此不应被看作限制本发明的范围。在附图中，相同的标号表示附图中相同的元素。

具体实施方式

如上所述，本发明提供了使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。出于说明的目的，将用于描述本发明的一种类型的阵列结构是存储器阵列。但是，应认识到本发明的教导可应用于多种阵列结构，例如，熔丝阵列、缺陷检测器形阵列(defect detector shapes array)等。

转到附图，图2示出了用于使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据144的示例性环境100。在此方面，环境100包括可以执行文中所述的各种过程步骤以便使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据的计算机基础设施102。具体地说，计算机基础设施102示为包括包含测试数据报告/分析系统106(下文简称“系统106”)的计算设备104，系统106使得计算设备104能够通过执行本发明的过程步骤来使用数据阵列根据阵列结构的多个测试报告和/或分析测试数据。

计算设备104示为包括存储器112、处理器114、输入/输出(I/O)接口116和总线118。另外，计算设备104示为与外部I/O设备/资源102及存储系统122通信。如本领域中公知的，处理器114通常执行存储在存储器112和/或存储系统122中的计算机程序代码，例如，系统106。在执行计算机程序代码时，处理器114可以从存储器112、存储系统122和/或I/O接口116读取和/或向它们写入数据130，例如，测试数据、数据阵列等。总线118提供了计算设备104中的每个组件间的通信链路。I/O设备118可以包括任何可使用户与计算设备104交互或可使计算设备104与一个或多个其他计算设备通信的设备。

在任何情况下，计算设备104可以包括任何能够执行用户安装的计算机程序代码的通用计算制品(例如，个人电脑、服务器、手持设备等)。但是，应当理解，计算设备104和系统106只是代表可以执行本发明的各种过程步骤的各种可能的等价计算设备。在这个意义上，在其他实施例中，计算设备104可以包括任何包含用于执行特定功能的硬件和/或计算机程序代码的专用计算制品，任何包含专用和通用硬件/软件的组合的计算制品，或此类计算制品。在每种情况下，可以分别使用标准的编程和工程技术来创建所述程序代码和硬件。

同样，计算机基础设施102只是说明各种类型的用于实现本发明的计算机基础设施。例如，在一个实施例中，计算机基础设施102包括两个或两个以上在任何类型的有线和/或无线通信链路(例如，网络、共享存储器等)上通信以执行本发明的各种过程步骤的计算设备(例如，服务器集群)。当通信链路包括网络时，该网络可以包括一种或多种类型的网络(例如，因特网、广域网、局域网、虚拟专用网络等)的任意组合。无论如何，计算设备间的通信可以使用各种类型的传输技术的任何组合。

尽管不是必须的，基础设施102还可以包括阵列结构测试器140。阵列结构测试器140示为在通信链路142上与计算设备104通信。如上所述，通信链路142可以包括本领域公知的各种类型的通信链路的任何组合。测试器140可以包括任何现在已知或将来开发的适合要测试的阵列结构类型的测试设备(即，硬件和/或软件)，例如，用于存储器阵列的存储器测试器。应当理解，阵列结构测试器140可以包括与为计算设备104示出的组件相同的组件(处理器、存储器、I/O接口等)。为了简洁，并未单独示出和讨论这些组件。

系统106示为包括以下组件：测试数据获取器150；转换表生成器151；包括数据阵列生成器154、坐标文件生成器158和芯片报告生成器160的报告器152；成像器162和数据分析器164。其他系统组件166可以包括任何其他操作所需但未在此处明确说明的外围功能。这些组件中的每个组件的操作会在下文进一步讨论。但是应当理解，图2示出的各种系统中的某些系统可以被独立实现、组合和/或存储于包括在计算机基础设施102中的一个或多个单独的计算设备的存储器内。此外应当理解，某些系统和/或功能可能没有实现，或其他系统和/或功能可被包括为环境100的一部分。

转到图3，结合图2和4-7，现在将说明系统106的操作方法的一个实施例。本发明的一个实施例获取测试数据144(图2)并在数据阵列170(图4)中报告所述数据，而不是将每个测试的数据转储至无详细信息的位失效图中或生成具有所有数据的庞大的ASCII文件。将生成转换表180(图5)来说明所述数据阵列的组织。

在第一步骤S1中，数据获取器150导致获取测试数据144。该步骤可以包括任何当前已知或将来开发的从测试器140接收测试数据144的方法。例如，通过通信链路142、无线传输等。可以以诸如位失效图、数据流等的多种方式中的任何方式来提供测试数据144。

接下来在步骤S2，转换表生成器151导致生成转换表180。转换表指示了数据阵列170(图4)中特定测试的测试数据的位置，即，它说明了数据阵列170(图4)的组织，以及在数据阵列中分析数据的准则。应当认识到，如果用户(虽然不大可能)可以跟踪数据在数据阵列170中的位置，则使用数据阵列170不一定需要转换表180。转换表180可以包括以下信息：为数据阵列170(图4)中的各种测试的数据提供标识符的测试名称(例如，Map_FScan、Map_SSCAN1等)和数据阵列170中测试的数据位置，即，与数据阵列170中的测试对应的部分172的位置。对于数据位置，转换表180可以包括：数据阵列中测试数据的起始列、数据阵列中测试数据的结束列、数据阵列中测试数据的起始行以及数据阵列中测试数据的结束行。例如，测试Map_FScan具有在行0到224(未全部示出)和列0到0包括其数据的部分174(图4)。因此，可以在部分182(图5中的转换表180的第一行)中提供Map_FScan的数据，假设转换表180被扩展到完整大小。但是，并不总是置于数据阵列170的一行中这种情况。例如，测试SM4_WLNS1具有在行448到895和列515到626中包括其数据的部分(未在数据阵列中示出)。

转换表180还可以包括每个测试的其他信息，例如：指示测试所属的组的集标识符(如，集1、2或3)；测试所属的集中的测试数；集中的相对测试位置(如，2/4、4/8等)。此外，如以下将说明的，转换表180还可以包括要在坐标文件(图6)中报告的特定测试的失效点的预定数(坐标文件最大值)。

接下来，在步骤S3，报告器152导致在数据阵列170中报告测试数据144(图2)，如图4所示。具体地说，在子步骤S3A，使用数据阵列生成器154生成数据阵列170。参考图4，数据阵列170包括至少两个代表不同测试的部分172。也就是说，不同的部分172代表测试器140(图2)所完成的不同测试的结果。尽管它们看起来相似，但是数据阵列170与位失效图不同。数据阵列170像位失效图一样指示存储器单元的失效点，但是数据阵列中的失效点的位置与阵列结构中的位置之间没有关系。由于数据阵列170可以包括用于阵列结构的大量测试的单元，所以它还可以具有是阵列结构中的单元数的倍数的大小。注意，出于说明目的简化了示例性数据阵列170；它通常是一个非常大的阵列，例如，1024×2048的阵列。

优选地根据转换表180来组织存储在数据阵列170中的数据，图5中示出了转换表180的一个示例性实施例。再次地，应当认识到，如果用户(虽然不大可能)可以跟踪数据在数据阵列170中的位置，则使用数据阵列170不一定需要转换表180。

在可选的子步骤S3B中，坐标文件生成器158导致生成如图6所示的坐标文件190，其中包括特定测试的失效点的预定数，例如20。所述预定数在转换表180中提供并可以是用户定义的。如图6所示，坐标文件190包括6个失效点。每个失效点可以包括例如晶片批次ID、晶片ID、指示晶片上测试的芯片的位置的芯片部位X、Y(测试部位)、测试名称(例如，PLD3B)，以及包括具有相应阵列结构单元位置的失效点位置的数据阵列170中的坐标。也就是说，坐标表190包括数据阵列坐标和定义的最大数目的失效点的阵列结构坐标。坐标文件190对确定失效点的类型和确切位置非常有用。

在另一个可选的子步骤S3C中，芯片报告生成器160可以生成包括芯片上的每个测试的结果的芯片报告。图7示出了示例性的芯片报告196。在一个实施例中，芯片报告196可以包括晶片上芯片(小片)的X和Y位置、测试名称及每个测试的失效数(失效计数)。如本领域的技术人员将认识到的，芯片报告190还可以包括每个芯片的各种其他信息。

在步骤S3期间，可以为批次内的其他晶片继续测试，因此无需暂停以便进行数据再现。

继续参考图4，一旦完成测试，可选的下一步骤S4可以包括成像器162(图2)导致数据阵列170被再现为图像。在一个实施例中，所述图像为压缩文件，例如，标记图像文件格式(TIFF)图像，其中包含每个芯片的数据阵列170的位图，即测试部位。成像器162可以将数据从数据阵列170提取到二进制数据流中(数据阵列170中的每个位可以是TIFF文件中的1个像素，其可以被转换为二进制)，即位数据光栅。

在步骤S5中，数据分析器166导致使用数据阵列170(例如，以TIFF文件的形式)来分析数据。转到图8，现在将说明分析方法的流程图。在一个实施例中，在第一步骤S101中，数据分析器166接收数据阵列170中测试数据的报告，该数据阵列包括至少两个代表不同测试的部分。然后，在步骤S102，数据分析器166根据转换表180扫描数据阵列170以获取阵列结构的测试数据。如上所述，数据阵列170可以是图像，例如为TIFF格式。在这此方面，数据分析器166可以包括任何当前已知或将来开发的图像扫描器及用于识别测试数据的相关硬件/软件，例如，光学字符识别等。转换表180用于转换扫描的数据阵列。在步骤S103，数据分析器166导致分析测试数据。所述分析可以包括任何当前已知或将来开发的测试数据分析，例如失效分析。可以将测试的分析结果添加到常规的分析概要中。可以对晶片的每个数据阵列170进行分析并总结所述分析。由于数据分析器166作为数据阵列生成的后期过程执行，所以它可以在测试其他阵列结构并生成数据阵列时(步骤S3A)用作并行过程。数据阵列170和数据分析器166的使用显著减少了得到测试结果所需的测试时间和资源。

应当理解，上述步骤的顺序仅为示例性的。在此意义上，可以并行、以不同的顺序、相隔很长时间等来执行一个或多个步骤。进而，在本发明的各种实施例中可以不执行一个或多个这些步骤。此外，系统106及测试器140的结构可以与图中所示的结构不同。例如，系统106可以被实现为更大的测试器系统的一部分。

虽然在此作为用于使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据的方法和系统示出并描述了本方面，但是应当理解，本发明还提供了各种备选实施例。例如，在一个实施例中，本发明提供了一种包括计算机程序代码的计算机可读介质，所述计算机程序代码使得计算机基础设施能够使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。在此意义上，所述计算机可读介质包括程序代码，例如系统106(图2)，它可以实现本发明的各种过程步骤的每个步骤。应当理解，术语“计算机可读介质”包括一个或多个任何类型的程序代码的物理体现。具体地说，所述计算机可读介质可以包括在一个或多个便携式存储制品(例如，光盘、磁盘、磁带等)上、计算设备的一个或多个数据存储部分(例如，存储器112(图2)和/或存储系统122(图2)(如固定盘、只读存储器、随机存取存储器、高速缓冲存储器等))上包含的和/或包含为在网络上传输的数据信号(例如，在程序代码的有线/无线电子分发期间)的程序代码。

在其他实施例中，本发明提供了一种基于订阅、广告和/或收费来执行本发明的过程步骤的商业方法。也就是说，服务提供商(例如，因特网服务提供商)可以如上所述提供使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据。在这种情况下，服务提供商可以管理(例如，创建、维护、支持等)为一个或多个客户执行本发明的处理步骤的计算机基础设施(例如，计算机基础设施102(图2))。作为回报，服务提供商可以在订阅和/或收费协议下收取一个或多个客户的付款，和/或服务提供商可以从将广告空间出售给一个或多个第三方来收取费用。

在再一个实施例中，本发明提供了一种提供用于使用数据阵列根据阵列结构的多个测试来报告和/或分析测试数据的服务的方法。在这种情况下，可以获取(例如，创建、维护、提供等)计算机基础设施(例如，计算机基础设施102(图2))及获取(例如，创建、购买、使用、调整等)一个或多个用于执行本发明的过程步骤的系统并将其部署到所述计算机基础设施。在此意义上，部署每个系统可以包括以下一个或多个步骤：(1)从计算机可读介质中将程序代码安装至计算设备，例如，计算设备104(图2)；(2)将一个或多个计算设备添加到所述计算机基础设施；以及(3)结合和/或修改所述计算机基础设施的一个或多个现有系统，使得所述计算机基础设施能够执行本发明的过程步骤。

如本文中使用的，应当理解，术语“程序代码”和“计算机程序代码”为同义词，意指一组指令的以任何语言、代码或符号表示的任何表达，旨在使具有信息处理能力的计算设备直接执行特定的功能，或者在执行以下项的任意组合后执行特定的功能：a)转换为另一种语言、代码或符号；b)以不同的材料形式再现；和/或(c)解压缩。在此意义上，程序代码可以体现为一种或多种类型的程序产品，例如，应用/软件程序、组件软件/功能库、操作系统、特定计算和/或I/O设备的基本I/O系统/驱动器，及此类产品。

出于示例和描述目的提供了本发明的各种方面的上述描述。其并非旨在是穷举的或将本发明限于所公开的精确形式，并且很显然，许多修改和变化都是可能的。这些对本领域的技术人员来说显而易见的修改和变化旨在被包括在如所附权利要求限定的本发明的范围之内。

Claims (10)

1.一种根据阵列结构的多个测试来报告测试数据的方法，所述方法包括以下步骤：

获取所述测试数据；

生成指示一个特定测试的测试数据在数据阵列中的位置的转换表；

在数据阵列中报告所述测试数据，所述数据阵列包括至少两个代表不同测试的部分，

其中所述转换表还包括要在坐标文件中报告的特定测试的预定数量的失效点，

其中所述在数据阵列中报告所述测试数据的步骤还包括生成包含特定测试的所述预定数量的失效点的坐标文件，其中所述坐标文件进一步包括数据阵列坐标和所述预定数量的失效点的阵列结构坐标。

2.如权利要求1中所述的方法，其中所述报告步骤还包括生成以下项中的至少一项：

包括特定测试的预定数量的失效点的坐标文件；以及

包括芯片上每个测试的结果的芯片报告。

3.如权利要求1中所述的方法，还包括将所述数据阵列再现为图像的步骤。

4.一种根据阵列结构的多个测试来报告测试数据的系统，所述系统包括：

用于获取所述测试数据的获取器；

用于生成转换表的生成器，所述转换表指示所述数据阵列中特定测试的测试数据的位置；

用于报告数据阵列中的所述测试数据的报告器，所述数据阵列包括至少两个代表不同测试的部分，

其中所述转换表还包括要在坐标文件中报告的特定测试的预定数量的失效点，并且所述报告器还生成包括特定测试的预定数量的失效点的坐标文件，其中所述坐标文件进一步包括数据阵列坐标和所述预定数量的失效点的阵列结构坐标。

5.如权利要求4中所述的系统，还包括用于使用所述转换表来分析所述数据阵列的分析器。

6.如权利要求4中所述的系统，其中所述报告器还生成包括芯片上每个测试的结果的芯片报告。

7.如权利要求4中所述的系统，还包括导致将所述数据阵列再现为图像的成像器。

8.一种分析阵列结构的测试数据的方法，所述方法包括以下步骤：

在数据阵列中接收所述测试数据的报告，所述数据阵列包括至少两个代表不同测试的部分，其中，一个转换表指示所述数据阵列中特定测试的测试数据的位置，所述转换表还包括要在坐标文件中报告的特定测试的预定数量的失效点，所述坐标文件包括数据阵列坐标和特定测试的预定数量的失效点的阵列结构坐标；

根据转换表扫描所述数据阵列以获取所述阵列结构的所述测试数据；以及

分析所述数据。

9.如权利要求8中所述的方法，其中所述数据阵列在图像中。

10.如权利要求8中所述的方法，其中所述分析步骤在测试其他阵列结构期间发生。

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