CN105574039A - 一种晶圆测试数据的处理方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆测试数据的处理方法，包括：提供待测晶圆，对待测晶圆进行晶圆测试，获取该待测晶圆的第一测试数据组；于第一测试数据组中提取并整理部分数据，以形成第二测试数据组；对第二测试数据组进行运算操作，得到监控测试数据；对第二测试数据组和监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成一标准数据集合，对该标准数据集合进行压缩操作，并将压缩后的标准数据集合存储至一数据库中。本发明还公开了一种晶圆测试数据的处理系统，为工厂产品部门的产品质量监控和分析提供数据支持，在保证数据数量和质量的前提下，既能兼顾数据存储的效率，又能提高存储资源的利用率。

Description

一种晶圆测试数据的处理方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆测试数据的处理方法及系统。

背景技术

集成电路芯片的生产制造是一个非常复杂的过程，每一片晶圆从进厂到最终生产完成，都要经过成千上百道工序，每一道工序都会产生大量的数据。在半导体制造过程中，由于生产工艺和过程的复杂性，一些细微的过程变化都有可能影响到最终制造的产品，在先进的生产制程工艺中更是如此。因此，在生产过程中，一方面要求做到防微杜渐，警钟长鸣，对产品可能的质量变化进行及时预警；另一方面，当存在潜在的问题或者问题已经发生后，需要排查大量的质量数据，快速准确地对问题的根源进行追踪和定位，从而避免问题的再次发生。

晶圆测试(WaferSort，简称WS)数据是产品质量数据中的一种，相较于晶圆针测(ChipProbing，简称CP)数据，它能够更为精确的反应产品的质量细节，是用来进行产品质量监控和产品质量问题解决的一种重要数据，配合相关系统的使用能够对产品质量进行多重把关，以及提前预警，针对问题存在的原因，做出及时的处理。

但是，由于晶圆测试数据的数据量庞大，数据的数据库存储过程效率不高，不利于数据的管理和监控；晶圆测试数据的存储需要消耗大量存储资源，对存储设备的投资较大，在海量数据的情况下，数据保存时间和存储设备的成本支出往往是一对矛盾体，很难做到很好的取舍平衡。

目前，在对晶圆测试数据的存储处理上存在如下弊端：

晶圆测试数据存储方法是按点存储的方式，即一片晶圆(wafer)上的一颗芯片(Die)的一个晶圆测试数据参数的测试结果作为一条记录存入数据库中，一片晶圆产生的记录数为芯片的个数乘以晶圆测试参数的个数，数据的上传、备份和删除效率不高。

晶圆测试数据监控系统从数据库中获取原始的晶圆测试数据并进行运算，受到数据存储方式的限制，数据处理的效果不好，性能不高。

将晶圆测试数据直接存入数据库的方式导致存储资源的利用率不高，IT成本支出较大。

因此，如何得到一种既能兼顾数据存储的效率，又能提高存储资源的利用率的晶圆测试数据的处理方法及系统，成为本领域技术人员致力研究的方向。

发明内容

针对上述技术问题，本申请提供了一种晶圆测试数据的处理方法及系统，为工厂产品部门的产品质量监控提供数据支持，在保证数据数量和质量的前提下，既能兼顾数据存储的效率，又能提高存储资源的利用率。

本申请记载了一种晶圆测试数据的处理方法，包括如下步骤：

提供待测晶圆，并对所述待测晶圆进行晶圆测试，以获取该待测晶圆的第一测试数据组；

于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据，形成第二测试数据组；

对所述第二测试数据组进行运算操作，得到监控测试数据；

对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成一标准数据集合，对所述标准数据集合进行压缩操作，并将压缩后的所述标准数据集合存储至一数据库中。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，所述方法中于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据的步骤具体为：

于所述第一测试数据组中提取部分数据后，对提取的数据进行分类汇总，以得到所述第二测试数据组。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，所述第二测试数据组包括晶圆属性信息、测试参数信息和测试结果信息。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成包括主信息集合和子信息集合的所述标准数据集合，并对该标准数据集合进行解析和压缩操作后，将解析和压缩后的结果存储至所述数据库中；

其中，所述晶圆属性信息定义在所述主信息集合中，所述测试参数信息、所述测试结果信息以及所述监控测试数据均定义在所述子信息集合中。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，所述子信息集合由若干个项目构成，且该若干个项目均是以所述测试参数信息为单位，对所述测试结果信息和所述监控测试数据进行处理后生成该若干项目。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，每个所述项目中均包括对应于该项目的测试参数信息和以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息，以及对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据；

其中，所述待测晶圆上设置有若干个芯片，在每个所述项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出。

上述的晶圆测试数据的处理方法，其中，所述数据库中设置有属性信息存储模块、测试参数存储模块、测试结果存储模块和监控数据存储模块；

所述属性信息存储模块存储定义在所述主信息集合中的晶圆属性信息；

所述测试参数存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试参数信息；

所述测试结果存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试结果信息经过压缩后的结果；

所述监控数据存储模块存储定义在所述子信息集合中的监控测试数据。

本发明还记载了一种晶圆测试数据的处理系统，其中，所述系统包括数据采集模块、提取转换模块、加载模块和数据库：

所述数据采集模块在待测晶圆完成晶圆测试后，获取该晶圆的第一测试数据组，并将所述第一测试数据组发送至所述提取转换模块；

所述提取转换模块对所述第一测试数据组进行处理后，获取一标准数据集合，并将所述标准数据集合发送至所述加载模块；

所述加载模块对所述标准数据集合进行压缩操作后，将压缩的所述标准数据集合存储至所述数据库中；

其中，所述标准数据集合包括经格式标准化转换操作后的第二测试数据组和监控测试数据，所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据形成所述第二测试数据组，所述提取转换模块对所述第二测试数据组进行运算操作得到所述监控测试数据。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据形成所述第二测试数据组，具体为：

所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取部分数据后，对提取的数据进行分类汇总，得到所述第二测试数据组。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述第二测试数据组包括晶圆属性信息、测试参数信息和测试结果信息。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述标准数据集合包括主信息集合和子信息集合；

其中，所述晶圆属性信息定义在所述主信息集合中，所述测试参数信息、所述测试结果信息以及所述监控测试数据均定义在所述子信息集合中。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述子信息集合由若干个项目构成，且该若干个项目均是以所述测试参数信息为单位，对所述测试结果信息和所述监控测试数据进行处理后生成该若干项目。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，每个所述项目中均包括对应于该项目的测试参数信息和以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息，以及对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据；

其中，所述待测晶圆上设置有若干个芯片，在每个所述项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述数据库中设置有属性信息存储模块、测试参数存储模块、测试结果存储模块和监控数据存储模块；

所述属性信息存储模块存储定义在所述主信息集合中的晶圆属性信息；

所述测试参数存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试参数信息；

所述测试结果存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试结果信息经过压缩后的结果；

所述监控数据存储模块存储定义在所述子信息集合中的监控测试数据。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述提取转换模块包括提取单元、运算单元和转换单元：

所述提取单元于所述第一测试数据组提取并整理部分数据，以形成第二测试数据组，并将所述第二测试数据组发送至所述运算单元和所述转换单元；

所述运算单元对所述第二测试数据组进行运算操作后，得到监控测试数据，并将该监控测试数据发送至所述转换单元；

所述转换单元对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作生成所述标准数据集合，并将该标准数据集合发送至加载模块。

上述的晶圆测试数据的处理系统，其中，所述加载模块包括读取单元和压缩单元：

所述读取单元对所述标准数据集合进行解析和处理，并将解析和处理后的结果中需要压缩的部分发送至所述压缩单元中，将不需要压缩的部分发送至所述数据库中；

所述压缩单元对所述需要压缩的部分进行内存压缩，并将压缩后的结果存储到数据库中。

综上所述，本申请提出的晶圆测试数据的处理方法及系统，具有如下有益效果：

1、提升了对于晶圆测试数据的处理性能，加速数据的数据库存储和访问过程，解决了由于数据存储和访问性能对后续质量分析的影响，保证质量分析所需的晶圆测试数据都能被及时存储和访问。

2、为监控系统提供及时的数据支持，所有需要监控的测试参数和测试数据在数据库中都是已经经过运算和总结过的，避免和减少了监控系统对原始数据的依赖性，确保监控系统的时效性和准确性。

3、减少了晶圆测试数据对存储资源的需求，以较少的存储资源存放最多的晶圆测试数据，提高了存储资源(数据库)的利用率，节约了生产成本。

附图说明

图1是本发明提供的一种晶圆测试数据的处理方法的流程示意图；

图2是本发明提供的一种晶圆测试数据的处理系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

图1是本发明提供的一种晶圆测试数据的处理方法的流程图，如图1所示，本实施例涉及一种晶圆测试数据的处理方法，具体包括如下步骤；

步骤S1：提供待测晶圆，并对待测晶圆进行晶圆测试，获取该待测晶圆的第一测试数据组，优选的，该第一测试数据组由多个种类的信息构成，如晶圆的属性、测试参数和测试结果等；具体的，对待测晶圆上设置的若干个芯片(Die)进行晶圆测试，以获取该若干个芯片(即上述待测晶圆)的原始测试数据(即第一测试数据组)；由于对待测晶圆进行晶圆测试，并获取该待测晶圆的第一测试数据组的操作动作均可采用目前业界的常规手段，本领域技术人员可通过查询相关资料或根据其自身具有的常规知识进行上述第一测试数据组的获取操作，故在此便不予赘述。

步骤S2，利用提取转换模块(该提取转换模块中包括如ETLExtractor/Translator)并可根据后续监控和分析项目的需求，于该第一测试数据组中提取并整理部分数据(如在产品制备时对机器运行状况、产品信息、工艺条件等进行监控和分析的设备所需求的在上述的第一测试数据组中的信息)，进而形成第二测试数据组；相应的，该第二测试数据组也就包括了在后续监控和分析项目中所有需要监控和分析的晶圆属性、测试参数和测试结果等测试数据相关信息，即该第二测试数据组包括晶圆属性信息、测试参数信息和测试结果信息。

具体的，于第一测试数据组中提取部分数据后，对该提取的部分数据进行分类汇总，得到第二测试数据组，举例来说，预设第一测试数据组中包括有数据集合A和数据集合B，且数据集合A中包括有数据A1、A2、A3、A4，数据集合B中包括有数据B1、B2、B3、B4；继续根据后续监控和分析项目的需求从上述的第一测试数据组中提取出数据A1、B1、A2、B2、A3、B3后，按照预定的规则(例如数据的属性等规则等)进行分类汇总(整理)得到第二测试数据组，该第二测试数据组包括由A1、B2和A3构成的数据集合C和由B1、A2和B3构成的数据集合D。

在本发明一个优选的实施例中，在获取了上述待测晶圆的第一测试数据组后，去除该第一测试数据组中的冗余数据，并继续在剩余的第一测试数据组中提取部分数据，并经整理(分类汇总)后，得到上述第二测试数据组；其中，冗余数据为第一测试数据组中与后续工艺无关的数据；由于第一测试数据组中的信息量很大，且有些数据是明显与后续工艺无关的数据，为了降低数据的冗余度，且便于后续更快速的从第一测试数据组中提取并整理部分数据以得到如与后续预测产品质量、获知当前产品质量、预警、监控信息等相关的第二测试数据，进而保证如质量分析等所需的WS数据均能被及时的存储和访问；当然，若第一测试数据组中的所有数据均与后续工艺有关，也可不对上述获取的数据进行去冗余操作；上述的几种情况均不影响本实施例中对提取数据进行的后续操作动作。

步骤S3该提取转换模块中还可引入数值计算程序库(如GNUScientificLibrary，简称GSL)，该数值计算程序库可完成监控和分析项目对第二测试数据组的处理过程，直接产生监控和分析所需要的数据，以便于监控和分析项目相关系统直接的调取使用，省去了监控和分析项目相关系统在调取WS数据后还需要进行运算处理后才能得到监控和分析所需要的数据的步骤，进而提高了监控和分析系统的反应速度等相关的性能，即利用数值计算程序库对第二测试数据组进行运算操作，进而得到监控测试数据。

步骤S4，提取转换模块继续将上述获取的第二测试数据组和监控测试数据进行格式标准化转换操作，将监控和分析所需的数据均转为一种标准的格式(如XML等)，以便于提高后续的压缩、存储和调取的速度，进而形成了一包括主信息集合和子信息集合的标准数据集合。

其中，上述的第二测试数据组中的经过格式标准化转换操作后的晶圆属性信息定义在主信息集合中，而第二测试数据组中的经过格式标准化转换操作后的测试参数信息、测试结果信息以及经过格式标准化转换操作后的监控测试数据均定义在子信息集合中，并对该标准数据集合进行解析和压缩操作后，将解析和压缩后的结果存储至数据库中；具体的，将上述定义在主信息集合中的晶圆属性信息和定义在子信息集合中的测试参数信息、测试结果信息和监控测试数据按照工艺需求进行分类处理，继续将上述定义在子信息集合中的测试结果信息进行压缩，并将压缩后的数据存储至数据库中，同时也可将未经压缩操作且定义在主信息集合中的晶圆属性信息以及定义在子信息集合中的测试参数信息、监控测试数据直接存储至数据库中，以便于后续监控操作直接调取该部分数据；另外，也可以对定义在主信息集合和字信息集合中的所有数据均进行压缩操作，并将压缩后的数据存储至数据库中，以进一步提高数据库的利用率。

优选的，该标准数据集合为XML文档，该XML文档包括头文件(HEADER)和数据块(Data)，其中，该头文件即为主信息集合，数据库即为子信息集合，第二测试数据组中经过格式标准化转换操作后的晶圆属性信息定义在XML的头文件(HEADER)中，该定义后头文件(HEADER)的部分信息如下：

显而易见的，该定义的XML的头文件的晶圆属性信息如COMPANY_CODE等为晶圆的公用信息。

将第二测试数据组中经过格式标准化转换操作后的测试参数信息、测试结果信息以及经过格式标准化转换操作后的监控测试数据定义在数据块(Data)中，此外，该数据块由若干个项目构成，且该若干个项目均是以经过格式标准化转换操作后的测试参数信息为单位，并根据经过格式标准化转换操作后的测试结果信息和经过格式标准化转换操作后的监控测试数据生成该若干项目。

优选的，数据块中的每个项目中均包括对应于该项目的测试参数信息、以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息、以及(可根据监控和分析需求)对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据。

其中，在每个项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出，且坐标转换成缺口(Notch)向下的相对坐标，其中，缺口(Notch)是晶圆上实际存在的一个物理缺口，在对晶圆进行WS测试的时候用于测试数据坐标系的定义,在提取转换模块(ETLExtractor/Translator)对数据格式标准化处理过程中，根据原始数据中记录的缺口(Notch)的方向对数据进行坐标系一致化处理。

其中，缺口(Notch)方向：

向下(Down)x＝X,y＝-1*Y

向上(Up)x＝-1*X,y＝Y

向左(Left)x＝Y,y＝X

向右(Right)x＝-1*Y,y＝-1*X

上述每个项目中每个芯片的测试结果信息以类似于测试地图(WaferMap)的形式存在于每个项目中，该定义后的XML的数据块中的部分信息如下：

显而易见的，上述信息为XML的数据块中的一个项目，该项目中包括对应于该项目的测试参数信息(上述信息中的第一行中的NAME等)和该测试参数信息进行晶圆测试所生成的测试结果信息(上述信息中的第二行至倒数第二行，该每一行对应晶圆中一个芯片的测试结果)以及根据监控和分析需求对该测试结果信息进行运算后生成的监控测试数据(上述信息中的第一行中的SPECL＝“49”)。

此外，在提取转换模块中引入数值计算程序库用来进行数值计算的大致方法如下：

#include<gsl/gsl_sort.h>

#include<gsl/gsl_statistics.h>

如某测试参数在整片晶圆上的P50值的计算：

gsl_stats_quantile_from_sorted_data(paravalue[i]，1，SpecDiecnt[i]，0.5)；

对于所有需要监控和分析的数据项目及结果都附加在该XML文档的测试参数定义后，如需增加项次，只需在程序计算然后在后面追加即可，其改动只涉及提取转换模块。

优选的，由加载模块(ETLLoader)对该XML文档进行解析操作和压缩操作，在该加载模块中可引入TinyXMLXML文档的解析器，方便对XML文档的解析和处理，其解析和处理的大致方法如下：

且在该加载模块中还引入zlib函式库作为数据压缩工具，对测试结果进行压缩：

#include<zlib.h>

对每个晶圆上的每个测试参数的测试结果进行内存压缩后存储到数据库中，以提高数据库的利用率，大致方法如下：

优选的，将上述标准数据集合中的数据经解析和压缩操作后的结果对应存储至数据库预先设定的各个存储模块中，本实施例预先将数据库设定为四个存储模块，即该数据库中设置有属性信息存储模块(WSWafer)、测试参数存储模块(ParameterSpec)、测试结果存储模块(WSTestResult)和监控数据存储模块(WSWaferSummary)，当然，也可以根据实际工艺需求设定监控数据项次，以便于给后续的监控系统提供更为及时和完整的数据支持。

其中，属性信息存储模块存储定义在主信息集合中的晶圆属性信息；如下表所示：

NAME	Type
		CP_PARA_WAFER_KEY	NUMBER
PRODUCT_ID	VARchar2(40)
		CP_STEP	VARchar2(5)
BIN_DEFINITION_FILE_NAME	VARchar2(40)
		LOT_ID	VARchar2(40)
WAFER_NO	VARchar2(40)
		START_TIME	DATE
SITE_TESTE	UMBER(6)
		PROBE_CARD_ID	VARchar2(40)
LOAD_SEQ_NO	NUMBER
		FAB_NAME	VARchar2(16)
EDA_LOAD_TIME	DATE
		END_TIME	DATE
RECIPE_NAME	VARchar2(128)
		MEASURE_EQUIPMENT_ID	VARchar2(40)
OPERATOR_ID	VARchar2(40)

测试参数存储模块存储定义在子信息集合中的测试参数信息；如下表所示：

NAME	Type
		CP_PARA_SPEC_KEY	NUMB R
PRODUCT_ID	VARchar2(40)
		CP_STEP	VARchar2(5)
BIN_DEFINITION_FILE_NAME	VARchar2(40)
		PARAMETER_ID	VARchar2(40)
PARAMETER_NAME	VARchar2(40)
		UNIT	VARchar2(16)
SCRAP_HIGH	NUMBER
		SCRAP_LOW	NUMBER
CONTROL_HIGH	NUMBER
		CONTROL_LOW	NUMBER
CONTROL_TYPE	VARchar2(4)
		EDA_LOAD_TIME	DATE

测试结果存储模块存储定义在子信息集合中的测试结果信息经过内存压缩后的结果；利用二进制对象(Binarylargeobject，简称BLOB)来存储整片晶圆(Wafer)上的所有芯片(Die)在测试参数信息上的测试结果信息，如下表所示：

NAME	Type
		CP_PARA_WAFER_KEY	NUMBER
CP_PARA_SPEC_KEY	NUMBER
		TEST_RESULT	BLOB
EDA_LOAD_TIME	DATE

监控数据存储模块存储定义在子信息集合中的监控测试数据；如下表所示：

此外，监控系统(MonitorSystem)和客户端应用系统(Client)可根据监控和分析需求可以从数据库中的存储模块中获取测试数据，以进行监控和分析处理。

图2是本发明提供的一种晶圆测试数据的处理系统的系统示意图；如图2所示，一种晶圆测试的系统，包括：数据采集模块、提取转换模块、加载模块和数据库：

数据采集模块，在待测晶圆完成晶圆测试后，获取该待测晶圆的第一测试数据组，并将第一测试数据组发送至提取转换模块；具体的，对待测晶圆上设置的若干个芯片完成晶圆测试后，数据采集模块获取该若干个芯片的第一测试数据组。

提取转换模块，包括提取单元、运算单元和转换单元：提取单元(可根据后续监控和分析项目的需求)于接收到的第一测试数据组中提取并整理部分数据，以形成第二测试数据组(具体的，提取单元于第一测试数据组中提取部分数据后，继续对提取的数据进行分类汇总后，得到第二测试数据组)，然后将第二测试数据组发送至运算单元和转换单元；运算单元对获取的第二测试数据组进行运算操作后，得到监控测试数据，并将该监控测试数据发送至转换单元；转换单元对第二测试数据组和监控测试数据进行格式标准化转换操作形成一标准数据集合，并将该标准数据集合发送至加载模块；具体的，该标准数据集合包括主信息集合和子信息集合；且第二测试数据组中经格式标准化转换操作的晶圆属性信息定义在主信息集合中，第二测试数据组中的经格式标准化转换操作的测试参数信息、测试结果信息以及经格式标准化转换操作的监控测试数据定义在子信息集合中，优选的，该提取转换模块中引入的运算单元可为数值计算程序库(GNUScientificLibrary，简称GSL)来对第二测试数据组进行运算操作，以得到监控测试数据。

优选的，该标准数据集合为XML文档，该XML文档包括头文件(HEADER)和数据块(Data)，其中，该头文件即为主信息集合，数据库即为子信息集合，上述第二测试数据组中经过格式标准化转换操作后的晶圆属性信息定义在XML的头文件(HEADER)中，第二测试数据组中经过格式标准化转换操作后的测试参数信息、测试结果信息以及经过格式标准化转换操作后的监控测试数据定义在数据块(Data)中，对于所有需要监控和分析的数据项目及结果都附加在该XML文档的测试参数定义后，如需增加项次，只需在运算单元运算之后在后面追加即可，其改动只涉及提取转换模块。

优选的，每个项目中均包括对应于该项目的测试参数信息、以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息、以及(如根据监控和分析需求)对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据；

其中，在每个项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出，且坐标转换成缺口(Notch)向下的相对坐标，以类似于测试地图(WaferMap)的形式存在于每个项目中。

加载模块，包括读取单元和压缩单元，该读取单元对上述转换单元发送的标准数据集合进行解析和处理，并将解析和处理后的结果中需要压缩的部分发送至压缩单元中，将不需要压缩的部分存储至数据库中；通过压缩单元对读取单元解析和处理后的结果中需要压缩的部分进行内存压缩，并将压缩后的结果存储到数据库中。优选的，在该加载模块中引入TinyXMLXML文档的解析器作为读取单元，方便对XML文档的解析和处理；在该加载模块中引入zlib函式库作为压缩单元，对测试结果进行压缩，对每个晶圆上的每个测试参数的测试结果进行内存压缩后存储到数据库中，以提高数据库的利用率；具体的，该解析和处理的过程即读取标准数据集合中的信息并对该信息进行分类处理，可以将读取单元解析和处理后的结果中需要压缩的部分发送至压缩单元进行内存压缩，将不需要压缩的部分直接存储至数据库中，以便于后续监控操作直接调取该部分数据；在本发明的实施例中，该需要压缩的部分为定义在上述子信息集合中测试结果信息，另外，也可以对定义在主信息集合和子信息集合中的数据全部进行压缩后存储至数据库中，以进一步提高数据库的利用率。

数据库，存储解析和压缩后的结果；且该数据库中设置有属性信息存储模块、测试参数存储模块、测试结果存储模块和监控数据存储模块：该属性信息存储模块存储定义在主信息集合中的晶圆属性信息；测试参数存储模块存储定义在子信息集合中的测试参数信息；测试结果存储模块存储定义在子信息集合中的测试结果信息经过压缩后的结果；监控数据存储模块存储定义在子信息集合中的监控测试数据。

优选的，还包括监控系统(MonitorSystem)和客户端应用系统(Client)，该监控系统和客户端应用系统根据监控和分析需求可以从数据库中的存储模块中获取测试数据进行监控和分析。

不难发现，本实施方式为与上述晶圆测试数据的处理方法的实施例相对应的系统实施例，本实施方式可与上述晶圆测试数据的处理方法的实施例互相配合实施。上述晶圆测试数据的处理方法的实施例中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施方式中提到的相关技术细节也可应用在上述晶圆测试数据的处理方法的实施例中。

另外，上述晶圆测试数据的处理方法和晶圆测试数据的处理系统的实施例中的提取转换模块和加载模块构成ETL系统。

对65nm产品的255片晶圆(wafer)的测试数据(WS)资料分别使用现有系统和本发明的系统进行数据库上传和存储，对晶圆测试数据的系统在性能和存储资源消耗上的差异进行比较：

数据存储结构改变对ETL系统性能的影响，如下表所示：

数据压缩前后对存储资源消耗的差异比较，如下表所示：

综上所述，由于采用了上述技术方案，本申请提出的晶圆测试数据的处理方法及系统；

1、提升了对于晶圆测试数据的处理性能，加速数据的数据库存储和访问过程，解决了由于数据存储和访问性能对后续质量分析的影响，保证质量分析所需的晶圆测试数据都能被及时存储和访问。

2、为监控系统提供及时的数据支持，所有需要监控的测试参数和测试数据在数据库中都是已经经过运算和总结过的，避免和减少了监控系统对原始数据的依赖性，确保监控系统的时效性和准确性。

3、减少了晶圆测试数据对存储资源的需求，以较少的存储资源存放最多的晶圆测试数据，提高了存储资源(数据库)的利用率，节约了生产成本。

通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。

对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各中变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (16)

1.一种晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供待测晶圆，并对所述待测晶圆进行晶圆测试，以获取该待测晶圆的第一测试数据组；

于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据，形成第二测试数据组；

对所述第二测试数据组进行运算操作，得到监控测试数据；

对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成一标准数据集合；对所述标准数据集合进行压缩操作，并将压缩后的所述标准数据集合存储至一数据库中。

2.如权利要求1所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，所述方法中于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据的步骤具体为：

于所述第一测试数据组中提取部分数据后，对提取的数据进行分类汇总，以得到所述第二测试数据组。

3.如权利要求1所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，所述第二测试数据组包括晶圆属性信息、测试参数信息和测试结果信息。

4.如权利要求3所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，

对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作后，生成包括主信息集合和子信息集合的所述标准数据集合，并对该标准数据集合进行解析和压缩操作后，将解析和压缩后的结果存储至所述数据库中；

其中，所述晶圆属性信息定义在所述主信息集合中，所述测试参数信息、所述测试结果信息以及所述监控测试数据均定义在所述子信息集合中。

5.如权利要求4所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，

所述子信息集合由若干个项目构成，且该若干个项目均是以所述测试参数信息为单位，对所述测试结果信息和所述监控测试数据进行处理后生成该若干项目。

6.如权利要求5所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，

每个所述项目中均包括对应于该项目的测试参数信息和以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息，以及对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据；

其中，所述待测晶圆上设置有若干个芯片，在每个所述项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出。

7.如权利要求4所述的晶圆测试数据的处理方法，其特征在于，所述数据库中设置有属性信息存储模块、测试参数存储模块、测试结果存储模块和监控数据存储模块；

所述属性信息存储模块存储定义在所述主信息集合中的晶圆属性信息；

所述测试参数存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试参数信息；

所述测试结果存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试结果信息经过压缩后的结果；

所述监控数据存储模块存储定义在所述子信息集合中的监控测试数据。

8.一种晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述系统包括数据采集模块、提取转换模块、加载模块和数据库：

所述数据采集模块在待测晶圆完成晶圆测试后，获取该晶圆的第一测试数据组，并将所述第一测试数据组发送至所述提取转换模块；

所述提取转换模块对所述第一测试数据组进行处理后，获取一标准数据集合，并将所述标准数据集合发送至所述加载模块；

所述加载模块对所述标准数据集合进行压缩操作后，将压缩的所述标准数据集合存储至所述数据库中；

其中，所述标准数据集合包括经格式标准化转换操作后的第二测试数据组和监控测试数据，所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据形成所述第二测试数据组，所述提取转换模块对所述第二测试数据组进行运算操作得到所述监控测试数据。

9.如权利要求8所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取并整理部分数据形成所述第二测试数据组，具体为：

所述提取转换模块于所述第一测试数据组中提取部分数据后，对提取的数据进行分类汇总，得到所述第二测试数据组。

10.如权利要求8所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述第二测试数据组包括晶圆属性信息、测试参数信息和测试结果信息。

11.如权利要求10所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述标准数据集合包括主信息集合和子信息集合；

其中，所述晶圆属性信息定义在所述主信息集合中，所述测试参数信息、所述测试结果信息以及所述监控测试数据均定义在所述子信息集合中。

12.如权利要求11所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，

所述子信息集合由若干个项目构成，且该若干个项目均是以所述测试参数信息为单位，对所述测试结果信息和所述监控测试数据进行处理后生成该若干项目。

13.如权利要求12所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，

每个所述项目中均包括对应于该项目的测试参数信息和以该测试参数信息进行的晶圆测试所生成的测试结果信息，以及对该测试结果信息进行运算操作后生成的监控测试数据；

其中，所述待测晶圆上设置有若干个芯片，在每个所述项目中每个芯片的测试结果信息均是根据该芯片在晶圆上的相对坐标按行输出。

14.如权利要求11所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述数据库中设置有属性信息存储模块、测试参数存储模块、测试结果存储模块和监控数据存储模块；

所述属性信息存储模块存储定义在所述主信息集合中的晶圆属性信息；

所述测试参数存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试参数信息；

所述测试结果存储模块存储定义在所述子信息集合中的测试结果信息经过压缩后的结果；

所述监控数据存储模块存储定义在所述子信息集合中的监控测试数据。

15.如权利要求8所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述提取转换模块包括提取单元、运算单元和转换单元：

所述提取单元于所述第一测试数据组提取并整理部分数据，以形成第二测试数据组，并将所述第二测试数据组发送至所述运算单元和所述转换单元；

所述运算单元对所述第二测试数据组进行运算操作后，得到监控测试数据，并将该监控测试数据发送至所述转换单元；

所述转换单元对所述第二测试数据组和所述监控测试数据进行格式标准化转换操作形成所述标准数据集合，并将该标准数据集合发送至加载模块。

16.如权利要求8所述的晶圆测试数据的处理系统，其特征在于，所述加载模块包括读取单元和压缩单元：

所述读取单元对所述标准数据集合进行解析和处理，并将解析和处理后的结果中需要压缩的部分发送至所述压缩单元中，将不需要压缩的部分发送至所述数据库中；

所述压缩单元对所述需要压缩的部分进行内存压缩，并将压缩后的结果存储到数据库中。