CN113287235A - 激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法 - Google Patents

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Abstract

激光用腔装置可以具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。

Description

激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法
技术领域
本公开涉及激光用腔装置、气体激光装置和电子器件的制造方法。
背景技术
近年来，在半导体曝光装置(以下称为“曝光装置”)中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源放出的光的短波长化得以发展。一般而言，在曝光用光源中代替现有的汞灯而使用气体激光装置。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长为248nm的紫外光的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外光的激光的ArF准分子激光装置。
作为新时代的曝光技术，曝光装置侧的曝光用透镜与晶片之间被液体充满的液浸曝光已经实用化。在该液浸曝光中，曝光用透镜与晶片之间的折射率变化，因此，曝光用光源的外观的波长变短。在将ArF准分子激光装置作为曝光用光源进行液浸曝光的情况下，对晶片照射水中的波长为134nm的紫外光。将该技术称为ArF液浸曝光或ArF液浸光刻。
KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡幅度较宽，大约为350～400pm。因此，当利用如下材料构成投影透镜时，有时产生色差，该材料透射KrF和ArF激光这样的紫外光。其结果，分辨率会降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，为了对谱线宽度进行窄带化，有时在气体激光装置的激光谐振器内设置具有标准具、光栅等窄带化元件的窄带化模块(Line Narrow Module：LNM)。下面，将谱线宽度被窄带化的激光装置称为窄带化激光装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第9748727号说明书
专利文献2：美国专利第8712302号说明书
发明内容
本公开的一个方式可以是一种激光用腔装置，其具有：电介质的管；内电极，其沿着管的长度方向延伸，被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。
本公开的另一个方式可以是一种气体激光装置，其具有激光用腔装置，其中，激光用腔装置具有：电介质的管；内电极，其被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。
此外，本公开的又一个方式可以是一种电子器件的制造方法，其中，在具有激光用腔装置的气体激光装置中生成激光，将激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，激光用腔装置具有：电介质的管；内电极，其被配置于管的贯通孔内；外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着管的长度方向延伸，与管的外周面接触，该多个条部件的一端与接触板连接，该多个条部件沿着接触板的长度方向并列设置；以及板簧，其沿着管的长度方向延伸，将外电极按压于管，板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着管的长度方向的缘部切出的，板簧片包含沿着缘部折曲的折曲部，在比折曲部靠缘部侧按压条部件。
附图说明
下面，参照附图将本公开的若干个实施方式作为简单例子进行说明。
图1是示出电子器件的制造的曝光工序中被使用的制造装置的整体的概略结构例的示意图。
图2是示出气体激光装置的整体的概略结构例的示意图。
图3是腔装置的与激光的行进方向垂直的剖视图。
图4是示出电介质管、内电极、外电极和板簧的立体图。
图5是电介质管、内电极、外电极和板簧的与激光的行进方向垂直的剖视图。
图6是示出电介质管的外周面变形的状况的图。
图7是示出外电极的一部分不均匀磨损的状况的图。
图8是示出实施方式1中的腔装置的电介质管、内电极、外电极和板簧的立体图。
图9是示出实施方式1中的腔装置的电介质管、内电极、外电极和板簧的剖视图。
图10是从与电介质管的长度方向垂直的方向观察实施方式1中的腔装置的电介质管、外电极和板簧的图。
图11是示出实施方式1中、电介质管的外周面变形的状况的图。
图12是示出实施方式1中、外电极的一部分不均匀磨损的状况的图。
图13是利用与图5相同的方法示出实施方式2中的腔装置的电介质管、内电极、外电极和板簧的剖视图。
图14是示出实施方式3中的腔装置的电介质管、内电极、外电极、板簧和第2引导件的立体图。
具体实施方式
1.电子器件的曝光工序中被使用的制造装置的说明
2.比较例的气体激光装置的说明
2.1结构
2.2动作
2.3课题
3.实施方式1的腔装置的说明
3.1结构
3.2作用/效果
4.实施方式2的腔装置的说明
4.1结构
4.2作用/效果
5.实施方式3的腔装置的说明
5.1结构
5.2作用/效果
下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。
以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。
1.电子器件的曝光工序中被使用的制造装置的说明
图1是示出电子器件的制造装置的曝光工序中被使用的制造装置的整体的概略结构例的示意图。如图1所示，曝光工序中被使用的制造装置包含气体激光装置100和曝光装置200。曝光装置200包含照明光学系统210和投影光学系统220，该照明光学系统210包含多个反射镜211、212、213。照明光学系统210通过从气体激光装置100入射的激光对掩模版台RT的掩模版图案进行照明。投影光学系统220对透过掩模版后的激光进行缩小投影，使其成像于被配置于工件台WT上的未图示的工件。工件是被涂布了光刻胶的半导体晶片等感光基板。曝光装置200使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此在工件上曝光反映了掩模版图案的激光。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印器件图案，由此，能够制造作为电子器件的半导体器件。
2.比较例的气体激光装置的说明
2.1结构
对比较例的气体激光装置进行说明。图2是示出本例的气体激光装置的整体的概略结构例的示意图。如图2所示，本例的气体激光装置100包含壳体10、激光振荡器LO、能量监视器模块20和控制部CO作为主要结构。本例的气体激光装置100例如是使用包含氩(Ar)、氟(F)和氖(Ne)的混合气体的ArF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100出射中心波长大约为193nm的脉冲激光。另外，气体激光装置100也可以是ArF准分子激光装置以外的气体激光装置，例如也可以是使用包含氪(Kr)、氟(F)和氖(Ne)的混合气体的KrF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100出射中心波长大约为248nm的脉冲激光。包含作为激光介质的Ar、F2和Ne的混合气体、包含Kr、F2和Ne的混合气体有时被称为激光气体。
控制部CO例如能够使用微控制器、IC(Integrated Circuit：集成电路)、LSI(Large-scale Integrated Circuit：大规模集成电路)、ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit：面向特定用途的集成电路)等集成电路、NC(Numerical Control：数字控制)装置。此外，控制部CO在使用NC装置的情况下，可以是使用机器学习器的装置，也可以是不使用机器学习器的装置。如以下说明的那样，气体激光装置的若干个结构由控制部CO来控制。
激光振荡器LO包含腔装置CH、充电器BC、窄带化模块60和输出耦合镜OC作为主要结构。
图3是腔装置CH的与激光的行进方向垂直的剖视图。如图2、图3所示，腔装置CH具有壳体30、一对窗口31a、31b、一对电极32a、32b、绝缘部33、脉冲功率模块35、电极保持架36、横流风扇38、马达38M、电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45作为主要结构。
窗口31a和窗口31b被设置于壳体30中的彼此对置的位置。窗口31a被设置于壳体30中的激光的行进方向上的一端，窗口31b被设置于壳体30中的激光的行进方向上的另一端。如后所述，在气体激光装置100中，光在包含壳体30的光路上振荡而出射激光，因此，壳体30内产生的激光经由窗口31a和窗口31b向壳体30的外部出射。窗口31a和窗口31b例如由氟化钙构成。另外，窗口31a和窗口31b也可以利用氟化物、氧化物等的膜来涂敷。
在壳体30内被封入有激光气体。一对电极32a、32b的长度方向沿着激光的行进方向，一对电极32a、32b在壳体30内彼此对置地被配置。壳体30中的电极32a与电极32b之间的空间介于窗口31a和窗口31b之间。各个电极32a、32b是用于通过辉光放电来激励激光介质的主放电电极。在本例中，电极32a是阴极，电极32b是阳极。
在壳体30形成有开口，该开口被包含绝缘体而形成的绝缘部33堵住。电极32a被支承于绝缘部33。在绝缘部33嵌入有由导电部件构成的馈通孔34。馈通孔34将从脉冲功率模块35供给的电压施加给电极32a。电极32b被支承于电极保持架36，与电极保持架36电连接。该电极保持架36经由布线37而与壳体30电连接。
在脉冲功率模块35连接有被配置于壳体30的外部的充电器BC。充电器BC是以规定的电压对被设置于脉冲功率模块35中的未图示的电容器进行充电的直流电源装置。脉冲功率模块35包含由控制部CO控制的开关。当开关从断开变成接通时，脉冲功率模块35使从充电器BC施加的电压升压，生成脉冲状的高电压，将该高电压施加给电极32a和内电极43。
在电极保持架36上设置有第1引导件41A、第2引导件41B、第3引导件41C。电极32b被第1引导件41A和第2引导件41B夹入而被固定于电极保持架36上。
图4是示出电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45的立体图，图5是电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45的与激光的行进方向垂直的剖视图。另外，在图4中，从容易观察的观点出发，示出板簧45从外电极44分离的状态。如图4、图5所示，电介质管42为圆筒状的形状，长度方向沿着激光的行进方向进行配置。电介质管42由氧化铝等电介质构成。在电介质管42的贯通孔42H内配置有长度方向沿着电介质管42的长度方向的内电极43。如图2所示，在电介质管42的两端连接有固定管42a、42b。在一个固定管42a的贯通孔内配置有与内电极43的一端连接的未图示的布线，在另一个固定管42b的贯通孔内配置有与内电极43的另一端连接的未图示的布线。这些布线与馈通孔34连接。因此，馈通孔34如上所述将从脉冲功率模块35供给的电压施加给内电极43。
外电极44与电介质管42的外周面接触。外电极44与电极保持架36电连接。因此，外电极44与电极32b电连接，此外，经由布线37而与壳体30电连接。外电极44包含接触板44C、阶梯部44L和固定板44F。接触板44C为大致长方形的板状的形状，长度方向沿着电介质管42的长度方向延伸，与电介质管42的外周面接触。具体而言，接触板44C中的沿着电介质管42的长度方向的缘部44E的一端到另一端与电介质管42的外周面接触。
阶梯部44L包含多个条部件44B。各个条部件44B并列设置于接触板44C中的跟与电介质管42接触的缘部44E相反的一侧。因此，多个条部件44B沿着接触板44C的长度方向并列设置。在本例中，各个条部件44B彼此平行。各个条部件44B包含第1部分44B1、屈曲部44BC和第2部分44B2。第1部分44B1与接触板44C连接，在与电介质管42的长度方向垂直的面内方向上，向远离电介质管42的方向呈直线状延伸。屈曲部44BC与第1部分44B1连接，在与电介质管42的长度方向垂直的面内方向上被弯曲。第2部分44B2与屈曲部44BC连接，在与电介质管42的长度方向垂直的面内方向上延伸。
各个条部件44B的第2部分44B2的与屈曲部44BC侧相反的一侧与固定板44F连接。固定板44F为大致长方形的板状的形状，长度方向沿着电介质管42的长度方向延伸。因此，各个条部件44B与固定板44F中的沿着电介质管42的长度方向的缘部连接。在固定板44F，以大致等间隔形成有多个螺纹孔44H。
外电极44为上述结构，因此，在阶梯部44L形成有被接触板44C、一对条部件44B和固定板44F包围的多个开口44A。外电极44例如能够通过冲压成型来制造。具体而言，通过对1张金属板进行冲压成型，形成各个开口44A和螺纹孔44H，并且，使阶梯部44L的各个条部件44B立体地变形，形成第1部分44B1、屈曲部44BC和第2部分44B2。外电极44例如由黄铜构成。该情况下，如上所述在壳体30内被封入包含氟的激光气体的情况下，也在表面形成钝化，能够抑制激光气体引起的腐蚀。此外，外电极44的厚度例如为0.5mm。
板簧45呈相同形状的多个金属板重叠而成的层叠构造。各个金属板呈大致长方形的形状。在本实施方式中，各个金属板的厚度比外电极44的厚度小，例如为0.1mm。此外，在本例中，板簧45的厚度与外电极44的厚度之差例如为1张金属板的厚度以下。例如，板簧45的厚度和外电极44的厚度彼此大致相等。如上所述，如果外电极44的厚度为0.5mm，则板簧45例如是5张0.1mm的金属板重叠而成的。在板簧45形成有多个螺纹孔45H。各个螺纹孔45H被设置于在板簧45与外电极44重叠的状态下、与外电极44的各个螺纹孔44H重叠的位置。板簧45的外电极44侧形成为凹状，板簧45与外电极44重叠，在螺纹孔44H和螺纹孔45H中拧入螺钉，在板簧45和外电极44彼此被固定后，板簧45的靠外电极44侧的主面按压外电极44。该状态下，沿着电介质管42的长度方向的板簧45的一个缘部45E位于各个条部件44B的屈曲部44BC上。板簧45例如由黄铜构成。该情况下，与外电极44同样，在壳体30内被封入包含氟的激光气体的情况下，也在表面形成钝化，能够抑制腐蚀。
外电极44和板簧45通过被拧入各自的螺纹孔44H、45H中的螺钉S而被固定于第2引导件41B。因此，第2引导件41B是固定有外电极44和板簧45的固定部件。该状态下，板簧45利用板簧45的与条部件44B接触的主面整体按压外电极44，外电极44的接触板44C的缘部44E被按压于电介质管42的外周面并与其接触。电介质管42的外周面中的与接触板44C所接触的部位大致对置的部位与第3引导件41C相接。因此，即使外电极44通过板簧45的弹性力来按压电介质管42，电介质管42也由第3引导件41C支承。
内电极43和外电极44隔着电介质管42对置。通过对内电极43和外电极44施加高电压，在电介质管42和外电极44的附近产生电晕放电。该电晕放电对电极32a、32b之间产生的辉光放电进行辅助。因此，内电极43和外电极44是用于对电极32a、32b引起的辉光放电进行辅助的预备电离电极。
如图2、图3所示，在壳体10内的电极保持架36的与电极32b侧相反的一侧的空间配置有横流风扇38。壳体30内的配置有横流风扇38的空间和一对电极32a、32b之间的空间彼此连通。因此，横流风扇38旋转，由此，被封入壳体30内的激光气体在规定的方向上循环。在横流风扇38连接有被配置于壳体30的外部的马达38M。通过该马达38M的旋转，横流风扇38旋转。马达38M通过控制部CO的控制来进行接通、断开、转速的调节。因此，控制部CO通过控制马达38M，能够对在壳体30内循环的激光气体的循环速度进行调节。
在横流风扇38的旁边配置有热交换器39。通过横流风扇38而循环的激光气体的至少一部分通过热交换器39，被热交换器39调节温度。
在壳体30中的设置有窗口31a的上述一端侧连接有光路管51。输出耦合镜OC被设置于以壳体30为基准的上述一端侧，被配置于光路管51内。输出耦合镜OC是供从窗口31a出射的激光入射的光学元件，使从窗口31a出射的光中的一部分透过，使另一部分反射而经由窗口31a返回到壳体30内。输出耦合镜OC例如由在氟化钙的基板形成电介质多层膜而成的元件构成。
在壳体30中的设置有窗口31b的上述另一端侧连接有光路管52。窄带化模块60与光路管52连接。因此，窄带化模块60被设置于以壳体30为基准的上述另一端侧。窄带化模块60包含壳体61、光栅62和棱镜63、64。在壳体61形成有开口，壳体61内的空间和光路管52内的空间通过该开口连通。
光栅62和棱镜63、64被配置于壳体61内。光栅62和棱镜63、64是供从窗口31b出射的激光入射的光学元件。光栅62被进行利特罗配置，以使波长分散面和与激光的传播方向垂直的平面大致一致，并且激光的入射角度和衍射角度大致一致。在本例中，光栅62可以是针对波长为大约193nm的波长闪耀的埃舍尔光栅。
棱镜63、64中的至少一方被固定于旋转台上，棱镜63、64中的被固定于旋转台上的棱镜稍微旋转，由此，入射到光栅62的光的入射角度被调节。通过调节光相对于光栅62的入射角度，在光栅62反射的光的波长被调节。因此，从壳体30的窗口31b出射的光经由棱镜63、64在光栅62反射，由此，返回到壳体30的光的波长被调节成期望的波长。另外，被配置于窄带化模块60的棱镜的数量在本例中为2个，但是，也可以是1个，还可以是3个以上。
利用隔着壳体30设置的输出耦合镜OC和光栅62构成光谐振器，壳体30被配置于该光谐振器的光路上。因此，从壳体30出射的光在窄带化模块60的光栅62与输出耦合镜OC之间往复，每当通过电极32a与电极32b之间的激光增益空间时被放大。被放大的光的一部分透过输出耦合镜OC，作为脉冲激光而出射。
能量监视器模块20被配置于从激光振荡器LO的输出耦合镜OC出射的脉冲激光的光路上。能量监视器模块20包含壳体21、分束器22和脉冲能量传感器23。壳体21与光路管51连接。分束器22和脉冲能量传感器23是供从窗口31a出射的激光入射的光学元件。在壳体21形成有开口，通过该开口使壳体21内的空间和光路管51内的空间连通。在壳体21内配置有分束器22和脉冲能量传感器23。
分束器22使从激光振荡器LO出射的脉冲激光以高透射率透过，并且使脉冲激光的一部分朝向脉冲能量传感器23的受光面反射。脉冲能量传感器23检测入射到受光面的脉冲激光的脉冲能量，将检测到的脉冲能量的数据输出到控制部CO。
在能量监视器模块20的壳体21中的与连接有光路管51的一侧相反的一侧形成有开口，以包围该开口的方式连接有光路管53。因此，光路管51内的空间、壳体21内的空间、光路管53内的空间连通。光路管53与壳体10连接。在壳体10中的被光路管53包围的位置设置有激光出射窗口OW。因此，透过能量监视器模块20的分束器22的光经由光路管53从激光出射窗口OW向壳体10的外部出射。
另外，在光路管51、52、53、壳体21、61内被填充有吹扫气体。在吹扫气体中包含氧等杂质较少的高纯度氮等惰性气体。吹扫气体从被配置于壳体10的外部的吹扫气体供给源通过未图示的配管被供给到光路管51、52、53、壳体21、61内。
在壳体10的外部还配置有蓄积了激光气体的激光气体供给源LT。激光气体供给源LT供给成为激光气体的多个气体。在本例中，供给包含F2和Ar的混合气体。另外，如果激光气体是KrF，则激光气体供给源LT供给包含F2和Kr的混合气体。在激光气体供给源LT连接有配管，该配管进入壳体10内。该配管与激光气体供给装置LG连接。在激光气体供给装置LG设置有未图示的阀、流量调节阀，连接有与壳体30连接的其他配管。激光气体供给装置LG通过来自控制部CO的控制信号，以期望的组成比将多个气体混合而作为激光气体，将该激光气体输出到该其他配管。因此，激光气体供给源LT经由该其他配管向壳体30内供给激光气体。该其他配管与壳体30连接的连接部是向壳体30内供给激光气体的激光气体供给口LSP。
在壳体10内配置有排气装置ED。在排气装置ED连接有与壳体30连接的配管。排气装置ED将壳体30内的气体经由该配管排放到壳体10内。此时，排气装置ED通过来自控制部CO的控制信号对排气量等进行调节，对从壳体30内排放的气体进行规定的处理。该配管与壳体30连接的连接部是从壳体30内排放气体的激光气体排气口LEP。
在壳体10设置有排气管11。壳体10内的气体从该排气管11被排放到壳体10外。因此，从排气装置ED被排放到壳体10内的气体、通过未图示的结构从光路管51、52、53内等排放到壳体10内的气体被从排气管11排放到壳体10外。
2.2动作
接着，对比较例的气体激光装置100的动作进行说明。
在气体激光装置100出射激光之前的状态下，通过未图示的结构在光路管51、52、53内、壳体21、61内填充吹扫气体。此外，在壳体30内，从激光气体供给口LSP被供给来自激光气体供给源LT的激光气体，被供给的激光气体被循环。具体而言，从激光气体供给口LSP向壳体30内供给激光气体，并且，从激光气体排气口LEP排放的气体经由排气装置ED被排放到壳体10内，激光气体被封入壳体30内。此外，控制部CO控制马达38M，使横流风扇38旋转，通过横流风扇38的旋转，激光气体被循环。
在气体激光装置100出射激光时，控制部CO对充电器BC和脉冲功率模块35内的开关进行控制，对电极32a与电极32b之间和内电极43与外电极44之间施加高电压。但是，对内电极43与外电极44之间施加高电压的定时比对电极32a与电极32b之间施加高电压的定时稍早。在对内电极43与外电极44之间施加高电压时，在电介质管42的附近产生电晕放电，放射紫外光。接着，在对电极32a、32b之间施加高电压时，电极32a、32b之间的绝缘被破坏而发生放电。通过该放电的能量，电极32a、32b之间的激光气体中包含的激光介质成为激励状态，在返回到基态时放出自然放出光。该光的一部分从窗口31b出射，经由棱镜63、64在光栅62反射。在光栅62反射而再次经由窗口31b向壳体30内传播的光被窄带化。通过该被窄带化的光，激励状态的激光介质发生感应放出，光被放大。这样，规定的波长的光在光栅62与输出耦合镜OC之间谐振，发生激光振荡。然后，一部分激光透过输出耦合镜OC，从激光出射窗口OW出射。
另外，此时，在分束器22反射的激光被脉冲能量传感器23接收，脉冲能量传感器23将基于接收的激光的能量的强度的信号输出到控制部CO。控制部CO根据该信号对充电器BC、脉冲功率模块35进行控制，调节被出射的激光的功率。
2.3课题
如上所述，外电极44通过板簧45被按压于电介质管42，接触板44C的缘部44E的一端到另一端与电介质管42相接。但是，电介质管42的外周面有时如图6所示那样变形。此外，在对内电极43与外电极44之间多次施加高电压时，外电极44的接触板44C有时如图7所示那样不均匀磨损。这些情况下，有时在电介质管42的外周面与接触板44C之间形成间隙A。当在电介质管42的外周面与接触板44C之间形成间隙A时，很难进行沿着电介质管42的长度方向的均匀的电晕放电。因此，在电极32a、32b之间也很难进行均匀的辉光放电。因此，电极32a与电极32b之间的空间中的激光的放大不稳定，可能很难稳定地出射激光。
因此，在以下的实施方式中，例示能够实现能够稳定地出射激光的气体激光装置的腔装置。
3.实施方式1的腔装置的说明
接着，对实施方式1的腔装置进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。
3.1结构
图8是利用与图4相同的方法示出本实施方式中的腔装置CH的电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45的立体图。图9是利用与图5相同的方法示出本实施方式中的腔装置CH的电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45的剖视图。如图8所示，本实施方式的板簧45包含被缝45S划分的多个板簧片45P，该缝45S是从沿着电介质管42的长度方向的缘部45E切出的。因此，板簧片45包含介于缝45S之间且彼此对置的一对主面。在本实施方式中，各个缝45S的长度方向与缘部45E垂直。此外，缝45S的宽度例如为1mm以上且10mm以下。板簧45的未形成缝45S的部位是沿着电介质管42的长度方向延伸的固定部45F，各个板簧片45P在与缘部45E侧相反的一侧与固定部45F连接。在该固定部45F形成有螺纹孔45H。
各个板簧片45P包含沿着缘部45E被折曲的折曲部45B。通过折曲部45B，如图9所示，板簧片45P在与外电极44侧相反的一侧成为凸形状，在折曲部45B中，板簧片45P与外电极44分开。此外，在本实施方式中，缘部45E与外电极44的各个条部件44B相接，按压条部件44B。因此，板簧45在比折曲部45B靠缘部45E侧按压条部件44B。在本实施方式中，板簧片45P的缘部45E按压条部件44B中的屈曲部44BC。在图9中，利用虚线示出第1部分44B1、屈曲部44BC和第2部分44B2的边界。另外，屈曲部44BC是指从条部件44B从第1部分44B1侧开始弯曲的位置到沿着第1部分44B1的长度方向观察的情况下从第1部分44B1离开条部件44B的厚度T的5倍的位置为止。在图9中，利用5T表示沿着第1部分44B1的长度方向观察的情况下从第1部分44B1离开条部件44B的厚度T的5倍的位置。例如，如上所述在外电极的厚度为0.5mm的情况下，屈曲部44BC成为从条部件44B从第1部分44B1侧开始弯曲的位置到沿着第1部分44B1的长度方向观察的情况下从第1部分44B1离开2.5mm的位置为止。板簧片45P的缘部45E按压该屈曲部44BC的任意区域。
图10是从与电介质管42的长度方向垂直的方向观察本实施方式中的腔装置CH的电介质管42、外电极44和板簧45的图。如图10所示，本实施方式的板簧45的缝45S被设置于各个条部件44B之间。因此，各个板簧片45P单独按压条部件44B。
3.2作用/效果
图11是如图6那样示出电介质管42的外周面变形的状况的图，图12是如图7那样示出外电极44的一部分不均匀磨损的状况的图。在本实施方式的腔装置CH中，板簧45包含被缝45S划分的多个板簧片45P，该缝45S是从沿着电介质管42的长度方向的缘部45E切出的。各个板簧片45P能够单独按压外电极44。因此，如图11所示，在电介质管42的外周面变形的情况下，与使用比较例的板簧45的情况相比，外电极44相对于电介质管42的表面追随性也能够提高。另外，在图11中，利用虚线示出板簧片45P未追随于电介质管42的变形的部分时的状况。此外，如图12所示，在外电极44的一部分不均匀磨损的情况下，与使用比较例的板簧45的情况相比，外电极44相对于电介质管42的表面追随性也能够提高。另外，在图12中，利用虚线示出板簧片45P未追随于外电极44的不均匀磨损的部分时的状况。因此，能够抑制在电介质管42与外电极44之间出现间隙。此外，在本实施方式的腔装置CH中，板簧片45P包含沿着缘部45E被折曲的折曲部45B，在比折曲部45B靠缘部45E侧按压条部件44B。根据这种结构，能够抑制板簧片45P挠曲，板簧片45P能够稳定地按压条部件44B。因此，板簧45能够稳定地将外电极44按压于电介质管42，如上所述，能够抑制在电介质管42与外电极44之间出现间隙。因此，根据本实施方式的腔装置CH，能够实现能够稳定地出射激光的气体激光装置。因此，本实施方式的气体激光装置100能够稳定地出射激光。
此外，在本实施方式的腔装置CH中，被形成于板簧45的缝45S被设置于各个条部件44B之间，各个板簧片45P单独按压条部件44B。即，条部件44B和板簧片45P一对一地对应。因此，与一个板簧片45P按压多个条部件44B的情况相比，外电极44相对于电介质管42的表面追随性能够提高。因此，能够进一步抑制在电介质管42与外电极44之间出现间隙。另外，与本实施方式不同，也可以是一个板簧片45P按压多个条部件44B。
此外，在本实施方式的腔装置CH中，缝45S的长度方向相对于缘部45E垂直。因此，能够抑制板簧片45P对条部件44B施加的按压力根据板簧片45P中的沿着缘部45E的位置而变化。另外，与本实施方式不同，缝45S的长度方向也可以相对于缘部45E不垂直。
此外，在本实施方式的腔装置CH中，板簧45利用板簧片45P中的缘部45E按压条部件44B。因此，能够抑制板簧片45P不必要地增大。
此外，在本实施方式的腔装置CH中，板簧45按压条部件44B的屈曲部44BC。因此，能够高效地将板簧45的弹性力传递到外电极44的接触板44C。因此，与板簧45按压条部件44B的第2部分44B2的情况相比，外电极44相对于电介质管42的表面追随性能够进一步提高。因此，能够进一步抑制在电介质管42与外电极44之间出现间隙。另外，与本实施方式不同，板簧45也可以按压条部件44B的第2部分44B2。
此外，在本实施方式的腔装置CH中，板簧45是多个金属板重叠而成的层叠构造。因此，与板簧45由一张金属板构成的情况相比，板簧45的弹性变形的范围较宽，板簧45能够发挥弹性力，并且抑制被塑性变形。另外，与本实施方式不同，板簧45也可以由一张金属板构成。
4.实施方式2的腔装置的说明
接着，对实施方式2的腔装置进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。
4.1结构
图13是利用与图5相同的方法示出本实施方式中的腔装置CH的电介质管42、内电极43、外电极44和板簧45的剖视图。如图13所示，本实施方式的板簧45的板簧片45P延伸到与第1部分44B1重叠的位置。因此，本实施方式的板簧45利用板簧片45P的主面按压条部件44B的屈曲部44BC。
4.2作用/效果
根据本实施方式的腔装置CH，板簧45利用板簧片45P的主面按压条部件44B的屈曲部44BC，因此，能够扩大条部件44B和板簧45的接触面积。因此，能够抑制由于从板簧45受到的力而使外电极44产生损伤等。
5.实施方式3的腔装置的说明
接着，对实施方式3的腔装置进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。
5.1结构
图14是示出本实施方式中的腔装置CH的电介质管42、内电极43、外电极44、板簧45和第2引导件41B的立体图。本实施方式的板簧45与实施方式1的板簧45的不同之处在于，缝45S延伸到第2引导件41B。如上所述，第2引导件41B是固定外电极44和板簧45的固定部件。因此，在本实施方式的板簧45中，缝45S延伸到固定外电极44和板簧45的固定部件。
5.2作用/效果
根据本实施方式的腔装置CH，板簧45的缝45S延伸到作为固定部件的第2引导件41B，因此，与缝45S未延伸到第2引导件41B的情况相比，各个板簧片45P的可动范围较大。因此，在电介质管42的外周面的变形较大的情况下、外电极44的不均匀磨损的程度较大的情况下，也能够将外电极44按压于电介质管42的外周面。因此，在这些情况下，也能够抑制在电介质管42与外电极44之间出现间隙。
上述说明不是限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员明白能够在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还明白组合使用本公开的实施方式。
只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”或“所包含”这样的用语应该解释为“不限于记载为所包含的部分”。“具有”这样的用语应该解释为“不限于记载为所具有的部分”。此外，不定冠词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一个”这样的用语应该解释为“A”、“B”、“C”、“A+B”、“A+C”、“B+C”或“A+B+C”。进而，应该解释为还包含它们和“A”、“B”、“C”以外的部分的组合。

Claims (20)

1.一种激光用腔装置，其具有：
电介质的管；
内电极，其沿着所述管的长度方向延伸，被配置于所述管的贯通孔内；
外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着所述管的长度方向延伸，与所述管的外周面接触，该多个条部件的一端与所述接触板连接，该多个条部件沿着所述接触板的长度方向并列设置；以及
板簧，其沿着所述管的长度方向延伸，将所述外电极按压于所述管，
所述板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着所述管的长度方向的缘部切出的，
所述板簧片包含沿着所述缘部折曲的折曲部，在比所述折曲部靠所述缘部侧按压所述条部件。
2.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述激光用腔装置还具有固定部件，该固定部件沿着所述管的长度方向延伸，按压所述外电极和所述板簧而进行固定，
所述外电极包含固定板，该固定板沿着所述管的长度方向延伸，与各个所述条部件的另一端连接，被固定于所述固定部件，
所述板簧包含固定部，该固定部沿着所述管的长度方向延伸，连接于各个所述板簧片的与所述缘部侧相反的一侧，被固定于所述固定部件，
所述缝延伸到所述固定部件。
3.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述缝被设置于各个所述条部件之间，各个所述板簧片单独按压所述条部件。
4.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述缝的长度方向相对于所述缘部垂直。
5.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述板簧利用所述板簧片中的所述缘部按压所述条部件。
6.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
各个所述条部件在与所述管的长度方向垂直的面方向上包含与所述接触板连接且向离开所述管的方向延伸的第1部分、与所述第1部分连接且被弯曲的屈曲部、以及与所述屈曲部连接的第2部分，
所述板簧按压所述屈曲部。
7.根据权利要求6所述的激光用腔装置，其中，
所述板簧利用所述板簧片的主面按压所述条部件的所述屈曲部。
8.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述板簧是多个金属板重叠而成的层叠构造。
9.根据权利要求8所述的激光用腔装置，其中，
所述板簧的厚度与所述外电极的厚度之差为1张所述金属板的厚度以下。
10.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述外电极由铜构成，
所述板簧由黄铜构成。
11.根据权利要求1所述的激光用腔装置，其中，
所述缝的宽度为1mm以上且10mm以下。
12.一种气体激光装置，其具有激光用腔装置，其中，
所述激光用腔装置具有：
电介质的管；
内电极，其被配置于所述管的贯通孔内；
外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着所述管的长度方向延伸，与所述管的外周面接触，该多个条部件的一端与所述接触板连接，该多个条部件沿着所述接触板的长度方向并列设置；以及
板簧，其沿着所述管的长度方向延伸，将所述外电极按压于所述管，
所述板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着所述管的长度方向的缘部切出的，
所述板簧片包含沿着所述缘部折曲的折曲部，在比所述折曲部靠所述缘部侧按压所述条部件。
13.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
该气体激光装置还具有固定部件，该固定部件沿着所述管的长度方向延伸，按压所述外电极和所述板簧而进行固定，
所述外电极包含固定板，该固定板沿着所述管的长度方向延伸，与各个所述条部件的另一端连接，被固定于所述固定部件，
所述板簧包含固定部，该固定部沿着所述管的长度方向延伸，连接于各个所述板簧片的与所述缘部侧相反的一侧，被固定于所述固定部件，
所述缝延伸到所述固定部件。
14.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
所述缝被设置于各个所述条部件之间，各个所述板簧片单独按压所述条部件。
15.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
所述缝的长度方向相对于所述缘部垂直。
16.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
所述板簧利用所述板簧片中的所述缘部按压所述条部件。
17.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
各个所述条部件在与所述管的长度方向垂直的面方向上包含与所述接触板连接且向离开所述管的方向延伸的第1部分、与所述第1部分连接且被弯曲的屈曲部、以及与所述屈曲部连接的第2部分，
所述板簧按压所述屈曲部。
18.根据权利要求17所述的气体激光装置，其中，
所述板簧利用所述板簧片的主面按压所述条部件的所述屈曲部。
19.根据权利要求12所述的气体激光装置，其中，
所述板簧是多个金属板重叠而成的层叠构造。
20.一种电子器件的制造方法，其包含以下工序：
在具有激光用腔装置的气体激光装置中生成激光，
将所述激光输出到曝光装置，
在所述曝光装置内在感光基板上曝光所述激光，以制造电子器件，
所述激光用腔装置具有：
电介质的管；
内电极，其被配置于所述管的贯通孔内；
外电极，其包含接触板和由多个条部件构成的阶梯部，该接触板沿着所述管的长度方向延伸，与所述管的外周面接触，该多个条部件的一端与所述接触板连接，该多个条部件沿着所述接触板的长度方向并列设置；以及
板簧，其沿着所述管的长度方向延伸，将所述外电极按压于所述管，
所述板簧包含被缝划分的多个板簧片，该缝是从沿着所述管的长度方向的缘部切出的，
所述板簧片包含沿着所述缘部折曲的折曲部，在比所述折曲部靠所述缘部侧按压所述条部件。
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