CN113273080A - 声表面波滤波器及其制备方法、射频前端芯片和移动终端 - Google Patents

声表面波滤波器及其制备方法、射频前端芯片和移动终端 Download PDF

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Abstract

一种声表面波滤波器及其制造方法，该滤波器相对设置的基底(10)和压电材料层(20)，其中，基底(10)和压电材料层(20)之间设置有空腔(30)；压电材料层(20)朝向基底(10)的表面上设置有叉指换能器(202)；叉指换能器(202)位于所述空腔(30)内。该空腔(30)内部可以为真空环境，也可以为气体环境。而声波在真空中不能传播，且相较于固体介质，声波在气体介质中的传播能力较低，所以，声波能量不容易通过空腔(30)从基底(10)泄露出去，因而，形成于基底(10)和压电材料层(20)之间的空腔(30)可以减少杂散模式的声波的存在，降低了声波能量从基底(10)泄露的可能，从而提高了SAW滤波器的Q值和插入损耗。此外，还公开了一种包含该声表面波滤波器的射频前端芯片和移动终端。

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