CN113267912A - 一种金属电极的制备方法 - Google Patents

一种金属电极的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113267912A
CN113267912A CN202110532761.1A CN202110532761A CN113267912A CN 113267912 A CN113267912 A CN 113267912A CN 202110532761 A CN202110532761 A CN 202110532761A CN 113267912 A CN113267912 A CN 113267912A
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon
metal
metal electrode
layer
mask pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110532761.1A
Other languages
English (en)
Inventor
王旭阳
李雪征
李俊慧
冯亚丽
郭育梅
贾赫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Shiweitong Technology Co ltd
Original Assignee
Beijing Shiweitong Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Shiweitong Technology Co ltd filed Critical Beijing Shiweitong Technology Co ltd
Priority to CN202110532761.1A priority Critical patent/CN113267912A/zh
Publication of CN113267912A publication Critical patent/CN113267912A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/0305—Constructional arrangements
    • G02F1/0316—Electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/02—Electroplating of selected surface areas
    • C25D5/022—Electroplating of selected surface areas using masking means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/12—Semiconductors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

本发明公开了一种金属电极的制备方法，包括：在铌酸锂衬底上沉积金属种子层；在所述金属种子层上沉积硅层，所述硅层的厚度大于10μm；在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置；在所述掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，所述硅凹槽处暴露出金属种子层；使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极。本申请中的方案通过硅刻蚀的方式得到金属填充的硅凹槽，在硅凹槽内制备金属电极，由于硅层厚度大于10μm，因此通过本申请方法制备得到的金属电极的厚度能够大于10μm，同时金属电极的高宽比可以大于3。采用本申请制备得到的金属电极可极大提高铌酸锂电光调制器的带宽。

Description

一种金属电极的制备方法
技术领域
本申请涉及电光调制器制作工艺技术领域，具体地，涉及一种金属电极的制备方法。
背景技术
在光纤通讯技术中，基于线性电光效应工作的铌酸锂电光调制器，为了实现对10GH以上带宽的高频信号的调制，通常需要金属电极的厚度至少大于3μm，同时要求金属电极的高宽比尽可能大。大高宽比厚金属电极的加工能力，是制约铌酸锂电光调制器工作带宽提高的重要技术。
现有的直接电镀工艺很难制作出高宽比满足需求的金属电极，因此需要提供一种能够制备具有一定厚度的金属电极的工艺方法。
发明内容
本申请实施例旨在提供一种金属电极的制备方法，以解决现有技术中金属电极制备方法难以得到大高宽比厚金属电极的技术问题。
为解决上述问题，本申请一些实施例中提供一种金属电极的制备方法，包括如下步骤：
在铌酸锂衬底上沉积金属种子层；
在所述金属种子层上沉积硅层，所述硅层的厚度大于10μm；
在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置；
在所述掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，所述硅凹槽处暴露出金属种子层；
使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，在所述金属种子层上沉积硅层，所述硅层的厚度大于10μm的步骤中：
所述硅层的厚度大于20μm。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极的步骤中还包括：
除去所述硅层。
本申请一些实施例中所述的金属电极的制备方法，除去所述硅层的步骤中：
通过硅腐蚀液腐蚀所述硅层以除去所述硅层。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，还包括如下步骤：
通过种子层腐蚀液除去所述金属电极之外的多余金属种子层。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，在所述掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，所述硅凹槽处暴露出金属种子层的步骤中：
所述硅凹槽的高宽比大于3。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置的步骤中：
通过涂胶、光刻的方式制作所述掩膜图形。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，使用电极金属填充所述硅凹槽的步骤中：
通过电镀工艺，使用电极金属填充所述硅凹槽；其中，所述电极金属包括铜、金中的至少一种。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置的步骤中：
所述掩膜图形所暴露的位置还包括电路引线位置。
本申请一些实施例中的金属电极的制备方法，在铌酸锂衬底上沉积金属种子层的步骤中包括：
在所述铌酸锂衬底上制作氧化硅缓冲层；
在所述氧化硅缓冲层上制备所述金属种子层。
本申请提供的上述技术方案，与现有技术相比，至少具有如下有益效果：
本申请中的金属电极的制备方法，在铌酸锂衬底上沉积金属种子层；在金属种子层上沉积硅层，硅层的厚度大于10μm；在硅层上制作掩膜图形，掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置；在掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，硅凹槽处暴露出金属种子层；使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极。本申请中的方案通过硅刻蚀的方式得到金属填充的硅凹槽，由于硅层的厚度大于10μm，因此硅刻蚀得到的硅凹槽深度大于10μm，在硅凹槽内制备的金属电极的厚度能够大于10μm，同时金属电极的高宽比可以大于3，采用本申请制备得到的金属电极可极大提高铌酸锂电光调制器的带宽。
附图说明
下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
图1为本申请一个实施例所述金属电极的制备方法的工艺流程图；
图2a-图2g为根据图1所示金属电极的制备方法中每一工艺阶段的产品结构示意图；
图3为本申请另一个实施例所述金属电极的制备方法得到的金属产品结构示意图；
图4为本申请又一个实施例所述金属电极的制备方法得到的金属产品结构示意图。
其中的附图标记所表示的含义分别为：
1-铌酸锂衬底；2-金属种子层；21-被保留的金属种子层；3-硅层；31-硅凹槽；4-掩膜图形；41-掩膜图形的暴露位置；5-金属电极。
具体实施方式
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
本实施例提供一种金属电极的制备方法，如图1以及图2a-图2g所示，所述方法包括如下步骤：
步骤一：在铌酸锂衬底1上沉积金属种子层2。其中，沉积的方式可选择化学气相沉积方式，金属种子层2所选择的金属材料可以为常用的金属电极材料，本方案中可选择为Ti、Ni、Pd、Au中的至少一种。
步骤二：在所述金属种子层2上沉积硅层3，所述硅层3的厚度大于10μm。所述硅层3选择电阻值较高的硅材料制备。
步骤三：在所述硅层3上制作掩膜图形4，掩膜图形的暴露位置41即为金属电极的位置。本步骤中，所述掩膜图形4根据金属电极所需要的位置来确定暴露位置。在其他一些实施例中，所述掩膜图形4所暴露的位置还包括电路引线位置，如此还能够根据电路引线的位置结合金属电极的位置确定掩膜图形4，之后能够在暴露的位置填充上对应的金属材料完成金属电极和电路引线的制备。
步骤四：在所述掩膜图形的暴露位置41处进行刻蚀得到硅凹槽31，所述硅凹槽31处暴露出金属种子层。显然，由于硅层3的厚度大于10μm，本步骤中得到的硅凹槽31的厚度与所述硅层3的厚度保持一致，所以也大于10μm。
步骤五：使用电极金属填充所述硅凹槽31到金属电极5。因为电极金属是直接在硅凹槽31内部填充，之后得到的金属电极5，所以金属电极5的厚度和所述硅凹槽31的深度具有一致性，金属电极5的厚度也是大于10μm的。
本申请中的方案通过硅刻蚀的方式得到金属填充的硅凹槽31，由于硅层3的厚度大于10μm，因此硅刻蚀得到的硅凹槽31深度大于10μm，在硅凹槽31内制备的金属电极5的厚度能够大于10μm，采用本申请制备得到的金属电极5可极大提高铌酸锂电光调制器的带宽。
在一些实施例中，上述步骤二中沉积的所述硅层3的厚度可以大于20μm。由此，在步骤四中得到的所述硅凹槽31的深度也可以大于20μm，也即制备得到的金属电极5的厚度能够达到20μm以上。相比于现有技术中厚度小于3μm的电极制备工艺来说，本申请中的金属电极加工方法得到的金属电极5的厚度可增大到3至7倍，从而最后提高铌酸锂电光调制器的带宽。
在一些实施例中，以上步骤四中，刻蚀得到的硅凹槽31的高宽比大于3。目前深硅刻蚀的工艺技术，能够得到大高宽比的硅凹槽，因此能够方便地实现高宽比大于3，优选地，硅凹槽31的高宽比为10，甚至是20，如此可进一步提高金属电极的高宽比，从而提升铌酸锂电光调制器的带宽。
以上方案中，步骤二中的所述硅层3为多晶硅层或高阻硅层。在电学性质方面，多晶硅材料几乎没有导电性。而高阻硅能够适合极宽范围从1.2μm到1000μm波的各项同性晶体材料，而且高阻硅材料的电阻率大于1千欧·厘米。在本步骤中选择多晶硅层或高阻硅层，在电镀工艺中能够很好地隔离电镀电流，起到电镀掩模的作用。
在一些实施例中的金属电极的制备方法，在步骤三中，通过涂胶、光刻的方式制作所述掩膜图形4。涂胶、光刻的工艺方式较为成熟，也能够得到整齐的掩膜图形边界。
在一些实施例中的金属电极的制备方法，在步骤四中，优选通过电镀工艺，使用电极金属填充所述硅凹槽31；其中，所述电极金属包括铜、金中的至少一种，铜和金均可作为射频金属电极材料，如此能得到适于铌酸锂电光调制器的金属电极。
在本申请一些实施例中，如图3所示，在使用电极金属填充所述硅凹槽31，得到金属电极的步骤中还包括：除去所述硅层3。由此，能够生成单独保留金属电极5的结构。本步骤中，优选通过硅腐蚀液腐蚀所述硅层3以实现除去所述硅层3的目的。
在一些实施例中，如图4所示，以上方法还可以包括如下步骤：通过种子层腐蚀液除去所述金属电极5之外的多余金属种子层，即被保留的金属种子层21为位于所述金属电极5正下方的部分。
以上方法中，在铌酸锂衬底上沉积金属种子层的步骤可以包括：在所述铌酸锂衬底1上制作氧化硅缓冲层；在所述氧化硅缓冲层上制备所述金属种子层2。
本申请以上实施例中的方案利用硅的深刻蚀发方法形成深孔，并在深孔中电镀金属，之后去除硅层，形成厚度为10μm甚至是20μm的金属电极，满足铌酸锂调制器提高带宽的要求。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种金属电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
在铌酸锂衬底上沉积金属种子层；
在所述金属种子层上沉积硅层，所述硅层的厚度大于10μm；
在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置；
在所述掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，所述硅凹槽处暴露出金属种子层；
使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极。
2.根据权利要求1所述的金属电极的制备方法，其特征在于，在所述金属种子层上沉积硅层，所述硅层的厚度大于10μm的步骤中：
所述硅层的厚度大于20μm。
3.根据权利要求1所述的金属电极的制备方法，其特征在于，使用电极金属填充所述硅凹槽，得到金属电极的步骤中还包括：
除去所述硅层。
4.根据权利要求3所述的金属电极的制备方法，其特征在于，除去所述硅层的步骤中：
通过硅腐蚀液腐蚀所述硅层以除去所述硅层。
5.根据权利要求4所述的金属电极的制备方法，其特征在于，还包括如下步骤：
通过种子层腐蚀液除去所述金属电极之外的多余金属种子层。
6.根据权利要求1-5任一项所述的金属电极的制备方法，其特征在于，在所述掩膜图形所暴露的位置处进行刻蚀得到硅凹槽，所述硅凹槽处暴露出金属种子层的步骤中：
所述硅凹槽的高宽比大于3。
7.根据权利要求1-5任一项所述的金属电极的制备方法，其特征在于，在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置的步骤中：
通过涂胶、光刻的方式制作所述掩膜图形。
8.根据权利要求1-5任一项所述的金属电极的制备方法，其特征在于，使用电极金属填充所述硅凹槽的步骤中：
通过电镀工艺，使用电极金属填充所述硅凹槽；其中，所述电极金属包括铜、金中的至少一种。
9.根据权利要求1-5任一项所述的金属电极的制备方法，其特征在于，在所述硅层上制作掩膜图形，所述掩膜图形所暴露的位置为金属电极的位置的步骤中：
所述掩膜图形所暴露的位置还包括电路引线位置。
10.根据权利要求1-5任一项所述的金属电极的制备方法，其特征在于，在铌酸锂衬底上沉积金属种子层的步骤中包括：
在所述铌酸锂衬底上制作氧化硅缓冲层；
在所述氧化硅缓冲层上制备所述金属种子层。
CN202110532761.1A 2021-05-17 2021-05-17 一种金属电极的制备方法 Pending CN113267912A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110532761.1A CN113267912A (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种金属电极的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110532761.1A CN113267912A (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种金属电极的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113267912A true CN113267912A (zh) 2021-08-17

Family

ID=77231086

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110532761.1A Pending CN113267912A (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种金属电极的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113267912A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115657342A (zh) * 2022-10-11 2023-01-31 北京世维通科技股份有限公司 一种电光调制器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6294425B1 (en) * 1999-10-14 2001-09-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming integrated circuit capacitors by electroplating electrodes from seed layers
US20020167711A1 (en) * 2001-05-14 2002-11-14 Antonino Nespola Electro-optic modulator having high bandwidth and low drive voltage
CN102286760A (zh) * 2010-05-19 2011-12-21 诺发系统有限公司 用金属电化学填充高纵横比的大型凹入特征的方法、水溶液电镀槽溶液、电镀设备以及系统
JP2015121741A (ja) * 2013-12-25 2015-07-02 住友大阪セメント株式会社 光制御デバイス
CN109254423A (zh) * 2018-10-09 2019-01-22 西安中科华芯测控有限公司 一种铌酸锂电光器件厚膜导线电极的制作方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6294425B1 (en) * 1999-10-14 2001-09-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming integrated circuit capacitors by electroplating electrodes from seed layers
US20020167711A1 (en) * 2001-05-14 2002-11-14 Antonino Nespola Electro-optic modulator having high bandwidth and low drive voltage
CN102286760A (zh) * 2010-05-19 2011-12-21 诺发系统有限公司 用金属电化学填充高纵横比的大型凹入特征的方法、水溶液电镀槽溶液、电镀设备以及系统
JP2015121741A (ja) * 2013-12-25 2015-07-02 住友大阪セメント株式会社 光制御デバイス
CN109254423A (zh) * 2018-10-09 2019-01-22 西安中科华芯测控有限公司 一种铌酸锂电光器件厚膜导线电极的制作方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115657342A (zh) * 2022-10-11 2023-01-31 北京世维通科技股份有限公司 一种电光调制器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112004002038B4 (de) Akustisch gekoppelter Filmtransformator mit erhöhter Gleichtaktunterdrückung
DE102007007178A1 (de) Kapazitive mikrobearbeitete Ultraschalltransducer und Verfahren zur Herstellung derselben
DE10037216A1 (de) Anschlußstruktur sowie Verfahren zur Herstellung von Anschlußelementen und Verfahren zur Erzeugung einer Anschlußstruktur
JP2001174482A (ja) 電気的特性評価用接触針、プローブ構造体、プローブカード、および電気的特性評価用接触針の製造方法
CN207938784U (zh) Ti/Ni/Ag材料体系的基片集成波导结构
JPH04264337A (ja) 電子放出素子集積基板
CN113267912A (zh) 一种金属电极的制备方法
DE10105876A1 (de) Anschlußstruktur und zugehöriges Herstellungsverfahren
CN114070222A (zh) 一种滤波器及其制备方法
CN113416988B (zh) 一种电镀方法
KR101843035B1 (ko) 모판 및 마스크의 제조 방법
CN114496809A (zh) Htcc基板薄膜多层布线的制作方法
KR20040089484A (ko) 탄성 표면파 소자의 제조 방법
CN113403657A (zh) 一种精确控制镀层厚度的电镀方法
DE4418430C1 (de) Verfahren zur Herstellung eines Siliziumkondensators
JPH1064953A (ja) フェースダウンボンディング半導体装置とその製造方法
TW202131357A (zh) 奈米磁性電感器核心、電感器和包括此核心的裝置以及相關的製造方法
CN113423189B (zh) 一种金属电极的制备方法
JPH11100690A (ja) 微細構造体およびその製造方法
WO2024044871A1 (zh) 滤波器及其制备方法、电子设备
KR100740436B1 (ko) 전해 도금 방식을 이용한 세라믹 소자의 전극 형성 방법
CN108539334B (zh) 一种基于多孔硅的微带硅基微波滤波器及其制造方法
CN107769750A (zh) 一种改进电极连接结构的全石英晶体谐振器及其制备方法
KR20000071920A (ko) 다공성 산화 실리콘층을 이용하여 형성한 초고주파용 소자 및 그 형성 방법
CN116626922B (zh) 内置电极式薄膜铌酸锂电光调制器的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination