CN113211526A - 一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，包括工作台底座，所述工作台底座上表面的一端设置有立架，立架的上表面设置有横向驱动丝杆，横向驱动丝杆上拟合有第一移动块，第一移动块的上表面固定连接有纵向横梁，纵向横梁内设置有纵向驱动丝杆，纵向驱动丝杆上啮合有开槽支架。本发明提出的一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，工作效率高。

Description

一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法
技术领域
本发明涉及抛光技术领域，特别涉及一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法。
背景技术
在众多的化学机械平面化工艺中，抛光组合物与半导体晶片表面接触。抛光组合物以化学方式修饰晶片表面，使该表面更易于进行清理。化学机械平面化工艺用的固定研磨抛光垫与带颗粒浆液的垫子能够去除晶片的修饰层和废弃抛光组合物，使得表面修饰、清理过程得以重复，直至得到所需的最终晶片表面性质，现有的抛光垫需要表面平整，才能对物料进行抛光打磨。
中国专利CN212095934U公开了一种抛光白垫平铺压板设备，包括挤压台板，所述挤压台板下方四角处安装支撑柱，挤压台板所谓上方开设安装孔，所述挤压台板上通过安装孔安装有平铺挤压装置；所述平铺挤压装置包括定位杆、平铺板、支撑板和压平装置，定位杆的底端固定在平铺板上，定位杆上端固定在支撑板，支撑板上设置压平装置。本实用新型一种抛光白垫平铺压板设备，挤压弹簧挤压压板四角处，使整个压板压力均匀，保证抛光垫受力均匀，提高抛光垫挤压后的平整度，增加平铺效率，摩擦垫提高摩擦力，使抛光垫在挤压时不会移位，满足不同尺寸的抛光垫进行挤压平铺，提高设备的多用性，增加生产效益。
该申请虽然在一定程度上解决了背景技术中问题，但是该申请中设备主要针对白垫的压平处理，在抛光白垫生产中，往往还需要在白垫的表面对白垫进行开槽，现在还没有针对白垫开槽的设备，给白垫开槽带来不便。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，不需要重复刀切开槽，工作效率高，使用简单，另外在侧边切刀上设置有卡合架，安装压制架，压制架在支撑弹簧的作用下紧压抛光白垫，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，保证开槽边缘的完整性，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座，所述工作台底座上表面的一端设置有立架，立架的上表面设置有横向驱动丝杆，横向驱动丝杆上拟合有第一移动块，第一移动块的上表面固定连接有纵向横梁，纵向横梁内设置有纵向驱动丝杆，纵向驱动丝杆上啮合有开槽支架，所述开槽支架包括第二移动块和延伸支架，第二移动块的与纵向驱动丝杆啮合，第二移动块的一端固定连接有贯穿柱，贯穿柱贯穿纵向横梁，且贯穿柱两端分别连接有延伸支架，延伸支架之间安装有伸缩气缸，伸缩气缸的输出端贯穿延伸支架，且伸缩气缸的输出端连接有开槽刀具，所述开槽刀具的上表面固定连接有安装块，安装块通过螺栓与伸缩气缸的输出端连接，开槽刀具的两侧对称连接有侧边切刀，开槽刀具的一端设置有延伸板，延伸板一侧固定连接有竖直板。
优选的，所述工作台底座的上表面设置有吸附台，吸附台上开设有吸附孔，吸附台内设置有真空泵。
优选的，所述侧边切刀的外壁上固定连接有卡合架，卡合架上卡合连接有安装架。
优选的，所述安装架上等距离的开设有活动孔，活动孔内活动连接有压制架。
优选的，所述压制架的上表面等距离设置有第一导向柱，第一导向柱贯穿活动孔，且第一导向柱的上端固定连接有第一限位板，第一限位板上套接有支撑弹簧，支撑弹簧的上下端分别与安装架和压制架连接，压制架的两端开设有辊筒槽，辊筒槽内设置有辊筒结构。
优选的，所述辊筒结构包括安装轴和活动辊筒，安装轴的两端与辊筒槽固定连接，安装轴与活动辊筒活动连接。
优选的，所述压制架的下表面为光滑的平面，活动辊筒的下表面与压制架齐平。
优选的，所述竖直板的下端开设导向孔，导向孔内活动连接有底部切刀。
优选的，所述底部切刀的一侧等距离的设置有第二导向柱，第二导向柱贯穿导向孔，且第二导向柱上套接有撑紧弹簧，撑紧弹簧的两端分别与底部切刀和竖直板的侧壁连接。
本发明要解决的另一技术问题是提供一种抛光用白垫表面开槽装置的实施方法，包括如下步骤：
S1：将需要开槽的抛光白垫放置到吸附台上，真空泵开启，将抛光白垫吸附固定；
S2：横向驱动丝杆在电机的控制下旋转，第一移动块在横向驱动丝杆上移动位置，直至移动至抛光白垫需要开槽的位置上；
S3：纵向驱动丝杆在电机的控制下旋转，第二移动块在纵向驱动丝杆上移动，带动开槽刀具移动至抛光白垫靠近立架的一侧；
S4：伸缩气缸带动开槽刀具下移，直至压制架的一端与抛光白垫相抵，继续下移开槽刀具，将侧边切刀插入至抛光白垫中，保持伸缩气缸的伸缩长度，纵向驱动丝杆带动第二移动块移动；
S5：第二移动块向远离立架的方向移动，侧边切刀沿直线进行分切，同时底部切刀从开槽的槽底将废料切除，并随着开槽刀具的整体移动，将废料推出槽口。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明提出的一种抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆和纵向驱动丝杆控制开槽刀具横向和纵向移动，能够带动开槽刀具移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具上设置有侧边切刀和底部切刀，侧边切刀先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀抄底清槽，一次成型，不需要重复刀切开槽，工作效率高，使用简单，另外在侧边切刀上设置有卡合架，安装压制架，压制架在支撑弹簧的作用下紧压抛光白垫，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，保证开槽边缘的完整性。
附图说明
图1为本发明的整体结构图；
图2为本发明的开槽支架安装结构图；
图3为本发明的开槽刀具结构图；
图4为本发明的开槽刀具部分结构图；
图5为本发明的侧边切刀连接结构图；
图6为本发明的安装架安装结构图；
图7为本发明的压制架结构图；
图8为本发明的辊筒结构结构图；
图9为本发明的底部切刀结构图。
图中：1、工作台底座；11、立架；12、横向驱动丝杆；13、第一移动块；14、纵向横梁；15、纵向驱动丝杆；16、吸附台；161、吸附孔；2、开槽支架；21、第二移动块；211、贯穿柱；22、延伸支架；221、伸缩气缸；3、开槽刀具；31、安装块；32、侧边切刀；321、卡合架；33、延伸板；34、竖直板；341、导向孔；35、安装架；351、活动孔；36、压制架；361、第一导向柱；362、第一限位板；363、支撑弹簧；364、辊筒槽；365、辊筒结构；3651、安装轴；3652、活动辊筒；37、底部切刀；371、第二导向柱；372、撑紧弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座1，工作台底座1上表面的一端设置有立架11，立架11的上表面设置有横向驱动丝杆12，横向驱动丝杆12上拟合有第一移动块13，第一移动块13的上表面固定连接有纵向横梁14，纵向横梁14内设置有纵向驱动丝杆15，纵向驱动丝杆15上啮合有开槽支架2，工作台底座1的上表面设置有吸附台16，吸附台16上开设有吸附孔161，吸附台16内设置有真空泵，通过真空泵在吸附台16内产生负压，实现吸附孔161吸附抛光白垫，固定抛光白垫的位置。
请参阅图2，开槽支架2包括第二移动块21和延伸支架22，第二移动块21的与纵向驱动丝杆15啮合，第二移动块21的一端固定连接有贯穿柱211，贯穿柱211贯穿纵向横梁14，且贯穿柱211两端分别连接有延伸支架22，延伸支架22之间安装有伸缩气缸221，伸缩气缸221的输出端贯穿延伸支架22，且伸缩气缸221的输出端连接有开槽刀具3。
请参阅图3-图9，开槽刀具3的上表面固定连接有安装块31，安装块31通过螺栓与伸缩气缸221的输出端连接，开槽刀具3的两侧对称连接有侧边切刀32，侧边切刀32的外壁上固定连接有卡合架321，卡合架321上卡合连接有安装架35，通过卡合架321固定安装架35，安装架35为可拆卸的结构，方便使用，安装架35上等距离的开设有活动孔351，活动孔351内活动连接有压制架36，压制架36的上表面等距离设置有第一导向柱361，第一导向柱361贯穿活动孔351，且第一导向柱361的上端固定连接有第一限位板362，第一限位板362上套接有支撑弹簧363，支撑弹簧363的上下端分别与安装架35和压制架36连接，压制架36的两端开设有辊筒槽364，辊筒槽364内设置有辊筒结构365，辊筒结构365包括安装轴3651和活动辊筒3652，安装轴3651的两端与辊筒槽364固定连接，安装轴3651与活动辊筒3652活动连接，压制架36在支撑弹簧363的作用下，与抛光白垫上表面相抵，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，压制架36的下表面为光滑的平面，活动辊筒3652的下表面与压制架36齐平，且压制架36在跟随开槽刀具3移动时，活动辊筒3652能够起到润滑作用，防止阻力过大，开槽刀具3的一端设置有延伸板33，延伸板33一侧固定连接有竖直板34，竖直板34的下端开设导向孔341，导向孔341内活动连接有底部切刀37，底部切刀37的一侧等距离的设置有第二导向柱371，第二导向柱371贯穿导向孔341，且第二导向柱371上套接有撑紧弹簧372，撑紧弹簧372的两端分别与底部切刀37和竖直板34的侧壁连接，底部切刀37起到抄底作用，将侧边切刀32之间的开出的长槽内部清空，从废料的底部将其切断，一次成型，不需要重复刀切开槽。
为了更好的展现抛光用白垫表面开槽装置的实施流程，本实施例现提出一种抛光用白垫表面开槽装置的实施方法，包括以下步骤：
步骤一：将需要开槽的抛光白垫放置到吸附台16上，真空泵开启，将抛光白垫吸附固定，在开槽过程中，抛光白垫保持固定位置；
步骤二：横向驱动丝杆12在电机的控制下旋转，第一移动块13在横向驱动丝杆12上移动位置，直至移动至抛光白垫需要开槽的位置上，可以等距离的开槽，也可以根据需要，在合适的位置上开设槽口；
步骤三：纵向驱动丝杆15在电机的控制下旋转，第二移动块21在纵向驱动丝杆15上移动，带动开槽刀具3移动至抛光白垫靠近立架11的一侧，底部切刀37应悬空设置；
步骤四：伸缩气缸221带动开槽刀具3下移，直至压制架36的一端与抛光白垫相抵，继续下移开槽刀具3，将侧边切刀32插入至抛光白垫中，保持伸缩气缸221的伸缩长度，纵向驱动丝杆15带动第二移动块21移动；
步骤五：第二移动块21向远离立架11的方向移动，侧边切刀32沿直线进行分切，同时底部切刀37从开槽的槽底将废料切除，并随着开槽刀具3的整体移动，将废料推出槽口，底部切刀37起到抄底作用，将侧边切刀32之间的开出的长槽内部清空，从废料的底部将其切断，一次成型，不需要重复刀切开槽。
综上所述：本抛光用白垫表面开槽装置及其实施方法，采用横向驱动丝杆12和纵向驱动丝杆15控制开槽刀具3横向和纵向移动，能够带动开槽刀具3移动至抛光白垫表面上的任何位置，方便操控，便于实施，开槽刀具3上设置有侧边切刀32和底部切刀37，侧边切刀32先在抛光白垫的上表面切线，再由底部切刀37抄底清槽，一次成型，不需要重复刀切开槽，工作效率高，使用简单，另外在侧边切刀32上设置有卡合架321，安装压制架36，压制架36在支撑弹簧363的作用下紧压抛光白垫，对抛光白垫的表面起到压制作用，在开槽的过程中，能够防止抛光白垫槽口的边缘翘起或者褶皱，保证开槽边缘的完整性。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种抛光用白垫表面开槽装置，包括工作台底座(1)，其特征在于：所述工作台底座(1)上表面的一端设置有立架(11)，立架(11)的上表面设置有横向驱动丝杆(12)，横向驱动丝杆(12)上拟合有第一移动块(13)，第一移动块(13)的上表面固定连接有纵向横梁(14)，纵向横梁(14)内设置有纵向驱动丝杆(15)，纵向驱动丝杆(15)上啮合有开槽支架(2)，所述开槽支架(2)包括第二移动块(21)和延伸支架(22)，第二移动块(21)的与纵向驱动丝杆(15)啮合，第二移动块(21)的一端固定连接有贯穿柱(211)，贯穿柱(211)贯穿纵向横梁(14)，且贯穿柱(211)两端分别连接有延伸支架(22)，延伸支架(22)之间安装有伸缩气缸(221)，伸缩气缸(221)的输出端贯穿延伸支架(22)，且伸缩气缸(221)的输出端连接有开槽刀具(3)，所述开槽刀具(3)的上表面固定连接有安装块(31)，安装块(31)通过螺栓与伸缩气缸(221)的输出端连接，开槽刀具(3)的两侧对称连接有侧边切刀(32)，开槽刀具(3)的一端设置有延伸板(33)，延伸板(33)一侧固定连接有竖直板(34)。
2.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述工作台底座(1)的上表面设置有吸附台(16)，吸附台(16)上开设有吸附孔(161)，吸附台(16)内设置有真空泵。
3.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述侧边切刀(32)的外壁上固定连接有卡合架(321)，卡合架(321)上卡合连接有安装架(35)。
4.如权利要求3所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述安装架(35)上等距离的开设有活动孔(351)，活动孔(351)内活动连接有压制架(36)。
5.如权利要求4所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述压制架(36)的上表面等距离设置有第一导向柱(361)，第一导向柱(361)贯穿活动孔(351)，且第一导向柱(361)的上端固定连接有第一限位板(362)，第一限位板(362)上套接有支撑弹簧(363)，支撑弹簧(363)的上下端分别与安装架(35)和压制架(36)连接，压制架(36)的两端开设有辊筒槽(364)，辊筒槽(364)内设置有辊筒结构(365)。
6.如权利要求5所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述辊筒结构(365)包括安装轴(3651)和活动辊筒(3652)，安装轴(3651)的两端与辊筒槽(364)固定连接，安装轴(3651)与活动辊筒(3652)活动连接。
7.如权利要求6所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述压制架(36)的下表面为光滑的平面，活动辊筒(3652)的下表面与压制架(36)齐平。
8.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述竖直板(34)的下端开设导向孔(341)，导向孔(341)内活动连接有底部切刀(37)。
9.如权利要求1所述的一种抛光用白垫表面开槽装置，其特征在于：所述底部切刀(37)的一侧等距离的设置有第二导向柱(371)，第二导向柱(371)贯穿导向孔(341)，且第二导向柱(371)上套接有撑紧弹簧(372)，撑紧弹簧(372)的两端分别与底部切刀(37)和竖直板(34)的侧壁连接。
10.一种如权利要求1-9任一项所述的抛光用白垫表面开槽装置的实施方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：将需要开槽的抛光白垫放置到吸附台(16)上，真空泵开启，将抛光白垫吸附固定；
S2：横向驱动丝杆(12)在电机的控制下旋转，第一移动块(13)在横向驱动丝杆(12)上移动位置，直至移动至抛光白垫需要开槽的位置上；
S3：纵向驱动丝杆(15)在电机的控制下旋转，第二移动块(21)在纵向驱动丝杆(15)上移动，带动开槽刀具(3)移动至抛光白垫靠近立架(11)的一侧；
S4：伸缩气缸(221)带动开槽刀具(3)下移，直至压制架(36)的一端与抛光白垫相抵，继续下移开槽刀具(3)，将侧边切刀(32)插入至抛光白垫中，保持伸缩气缸(221)的伸缩长度，纵向驱动丝杆(15)带动第二移动块(21)移动；
S5：第二移动块(21)向远离立架(11)的方向移动，侧边切刀(32)沿直线进行分切，同时底部切刀(37)从开槽的槽底将废料切除，并随着开槽刀具(3)的整体移动，将废料推出槽口。
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