CN113206031A - 一种晶圆自动定位示教系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆自动定位示教系统及方法，所述晶圆自动定位示教系统包括：承载台；示教盘，朝向所述承载台的一侧的中心设有图像采集装置，用于采集所述承载台的图像；搬运装置，用于搬运所述示教盘或晶圆；定位装置，设置在所述搬运装置上，用于获取所述示教盘或所述晶圆的中心位置；控制装置，连接所述图像采集装置、所述搬运装置和所述定位装置，首先根据所述承载台的图像以及所述示教盘的中心位置，控制二者同心；通过所述定位装置获取所述晶圆的中心位置，根据所述晶圆和所述示教盘的中心偏差调整所述晶圆与所述承载台同心。本发明有效解决每次晶圆对中都需要获取晶圆实际图像并进行补光，以及多视角的图像采集需要较大空间的问题。

Description

一种晶圆自动定位示教系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体晶圆技术领域，尤其涉及一种晶圆自动定位示教系统及方法。

背景技术

在晶圆的加工工序中，需要将晶圆放置在承载台中心，因此需要进行对中操作。目前的晶圆对中方法为，将晶圆放置在承载台上，通过多个图像采集装置获取晶圆和承载台的多个视角的图像，并与基准图像作比对，从而计算偏差，控制取片装置将晶圆调整至基准位置。

但是，目前的对中方法存在以下问题：每一次放置晶圆都需要获取晶圆多个视角的图像，并与基准图像作比对，操作比较繁琐；并且，获取晶圆多个视角的图像即需要在多个角度设置图像采集装置，对于尺寸较小的晶圆，多个图像采集装置在空间中的分布相对密集，但对于尺寸较大的晶圆，多个图像采集装置在空间中的分布需要更加分散，以获得相对完整清晰图像，因此需要较大的工作环境腔体。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种晶圆自动定位示教系统及方法，有效解决每次晶圆对中都需要获取晶圆实际图像并进行补光，以及多视角的图像采集需要较大空间的问题。

一方面，本发明实施例提供一种晶圆自动定位示教系统，包括：承载台；示教盘，所述示教盘朝向所述承载台的一侧的中心设有图像采集装置，用于采集所述承载台的图像；搬运装置，位于所述承载台上方，用于搬运所述示教盘或晶圆；定位装置，设置在所述搬运装置上，用于获取所述示教盘或所述晶圆的中心位置；控制装置，连接所述图像采集装置、所述搬运装置和所述定位装置，所述控制装置首先根据所述承载台的图像以及所述示教盘的中心位置，控制所述搬运装置使所述示教盘与所述承载台同心；之后将所述示教盘替换为所述晶圆，通过所述定位装置获取所述晶圆的中心位置，并计算所述晶圆和所述示教盘的中心偏差，根据所述中心偏差控制所述搬运装置以调整所述晶圆与所述承载台同心。

与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：首先，设置示教盘，在所述示教盘上设置图像采集装置，能够节省空间，无需设置多个图像采集装置，因此在有限的工作腔体内能够适用于大尺寸晶圆的定位；其次，将所述定位装置设置在所述搬运装置上，以获取所述示教盘或所述晶圆的中心位置，无需对每个晶圆进行单独拍摄或者图像采集，节约成本，且只有在所述示教盘与所述承载台进行对准的过程中，需要对所述承载台进行图像拍摄，以修正所述示教盘的中心位置，后续的所述晶圆只需通过定位装置测量中心位置，就能够得到所述中心偏差，实现所述晶圆的对中，无需再进行图像采集以及补光，因此操作更加简便，不会产生过多的光污染。

在本发明的一个实施例中，所述搬运装置包括：机械手，以及连接于所述机械手和所述控制装置之间的运动支架，所述机械手的中心设有安装位；所述定位装置包括多个位置传感器，多个所述位置传感器环绕所述安装位设置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述位置传感器环绕于所述安装位，并连接所述搬运装置，相比多个视角的图像采集装置以获取所述晶圆的中心位置的方式，采用位置传感器在竖直方向的空间占用更小，克服了所述工作腔体狭小的限制；所述位置传感器根据所述晶圆/所述示教盘的边缘进行定位，无需在所述晶圆或所述示教盘上设置定位标志；所述位置传感器根据所述晶圆遮挡所述位置传感器的长度来确定所述晶圆的位置，因此在所述晶圆的搬运过程中无需再进行补光，能够避免引入光照污染。

在本发明的一个实施例中，多个所述位置传感器包括：第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器；其中，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器共线，所述第三位置传感器和所述第四位置传感器共线；所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一位置传感器和所述第二位置传感器能够测量所述晶圆和所述示教盘在所述第一位置传感器和所述第二位置传感器连线上的位置信息，从而计算该连线上所述晶圆和所述示教盘的第一中心偏差；同样的，所述第三位置传感器和所述第四位置传感器能够测量所述晶圆和所述示教盘在所述第三位置传感器和所述第四位置传感器连线上的位置信息，从而计算与所述第一中心偏差方向垂直的第二中心偏差，根据所述第一中心偏差和所述第二中心偏差实现所述晶圆的对中。

在本发明的一个实施例中，所述示教盘的直径与所述晶圆相同。

采用该技术方案后所达到的技术效果：每个尺寸的所述示教盘能够实现对应尺寸所述晶圆的对中操作。

在本发明的一个实施例中，所述承载台的中心设有定位孔，用于确定所述承载台的中心位置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述图像采集装置设置在所述示教盘的中心位置，并以所述承载台的所述定位孔作为单一定位基准，而非对所述示教盘进行边缘定位，这样可以采用较小的视野进行中心定位，完成所述示教盘的示教作用；所述图像采集装置可以采用微物距完成示教，即缩小所述图像采集装置与所述定位孔的距离，实现在较低的高度完成示教，从而克服所述工作腔体狭小的限制。

在本发明的一个实施例中，所述示教盘朝向所述承载台的一侧设有补光装置，所述补光装置呈环绕所述图像采集装置的圆环设置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述补光装置用于所述图解采集装置获取所述承载台更清晰明亮的图像，从而提高所述示教盘与所述承载台中心对准的精度；将所述补光装置设置为圆环结构，能够均匀补光，无需在所述承载台的多个视角设置所述补光装置，节省空间和成本。

另一方面，本发明实施例一种晶圆自动定位示教方法，包括如上述任一项实施例所述的晶圆自动定位示教系统，包括：步骤S1：搬运装置搬运示教盘；步骤S2：定位装置获取所述示教盘的中心位置，图像采集装置获取承载台中心的定位孔图像；步骤S3：控制装置计算所述示教盘的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述示教盘的中心位置与所述定位孔对齐；步骤S4：所述搬运装置搬运晶圆；步骤S5：所述定位装置获取所述晶圆的中心位置；步骤S6：所述控制装置计算所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述晶圆的中心位置与所述定位孔对应。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述晶圆自动定位示教方法，通过所述示教盘中心的所述图像采集装置实现其与所述承载台中心的对准，无需多个所述图像采集装置，因此能够减少空间占用；所述晶圆只需通过定位装置即可计算其与所述示教盘的中心偏差，实现对中，无需再进行图像采集和补光。

在本发明的一个实施例中，所述步骤S6中，所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，通过所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差得到，所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差包括X方向偏差和Y方向偏差。

采用该技术方案后所达到的技术效果：计算所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的X方向偏差和Y方向偏差，能够更加准确快速的对其所述晶圆和所述承载台。

在本发明的一个实施例中，所述定位装置包括：共线的第一位置传感器和第二位置传感器，以及共线的第三位置传感器和第四位置传感器；所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直；所述步骤S5还包括，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第一偏差数据；所述第三位置传感器和所述第四位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第二偏差数据；所述步骤S6还包括，所述控制装置根据所述第一偏差数据计算得到所述X方向偏差，所述控制装置根据所述第二偏差数据计算得到所述Y方向偏差。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一位置传感器、所述第二位置传感器、所述第三位置传感器和所述第四位置传感器能够对所述示教盘或所述晶圆进行定位，从而实现所述晶圆自动定位示教方法，将所述晶圆修正至所述承载台中心。

在本发明的一个实施例中，所述步骤S2还包括：通过无线传输模块将所述定位孔图像传输至所述控制装置。

采用该技术方案后所达到的技术效果：无需将数据线连至所述示教盘，因此便于所述示教盘的安装固定，以及便于将其更换为所述晶圆。

综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：

i)所述示教盘通过所述图像采集装置拍摄所述承载台，从而实现所述示教盘与所述承载台的对中，从而起到示教作用，所述晶圆与所述示教盘的中心进行对中即可实现其与所述承载台的对中，操作简便；

ii)所述示教盘完成定位示教后，后续所有所述晶圆可通过所述定位装置进行调整，无需再进行图像采集和补光，减少光污染；

iii)所述定位装置安装于所述机械手，通过多个位置传感器测量所述示教盘或所述晶圆的位置中心偏差，从而实现对所述晶圆的调整，相比通过多个所述图像采集装置于空间内的多个视角拍摄所述晶圆来实现对所述晶圆的调整，能够节省空间。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明第一实施例提供的一种晶圆自动定位示教系统100的结构示意图。

图2为图1中的晶圆自动定位示教系统100另一视角的结构示意图。

图3为图1中的示教盘120和机械手131的连接示意图。

图4为图1中示教盘120的结构示意图。

图5为图1中承载台110的结构示意图。

图6为本发明第二实施例提供的一种晶圆自动定位示教方法的流程图。

主要元件符号说明：

100为晶圆自动定位示教系统；110为承载台；111为定位孔；120为示教盘；121为图像采集装置；122为补光装置；130为搬运装置；131为机械手；132为运动支架；133为安装位；134为第一运动杆；135为第二运动杆；136为第三运动杆；140为定位装置；141为第一位置传感器；142为第二位置传感器；143为第三位置传感器；144为第四位置传感器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

【第一实施例】

参见图1-4，其为本发明第一实施例提供一种晶圆自动定位示教系统100，例如包括：承载台110、示教盘120、搬运装置130、定位装置140和控制装置。其中，承载台110用于安装晶圆，搬运装置130位于承载台110上方，用于搬运所述晶圆至承载台110，并完成所述晶圆与承载台110的对中；示教盘120，在所述晶圆对中之前安装于所述搬运装置130，优先进行示教盘120与承载台110的对中，从而对所述晶圆实现示教，所述晶圆可通过比较其与示教盘120的中心偏差即可实现对中，示教盘120朝向承载台110的一侧的中心设有图像采集装置121，用于采集所述承载台110的图像；定位装置140，连接搬运装置130，用于获取示教盘120或所述晶圆的中心位置；所述控制装置连接图像采集装置121、搬运装置130和定位装置140，所述控制装置首先根据承载台110的图像以及示教盘120的中心位置，控制搬运装置130使示教盘120与承载台110同心；之后将示教盘120替换为所述晶圆，通过定位装置140获取所述晶圆的中心位置，并计算所述晶圆和示教盘120的中心偏差，根据所述中心偏差控制搬运装置130以调整所述晶圆与承载台110同心。

在一个具体的实施例中，搬运装置130例如包括：机械手131，以及连接于机械手131和所述控制装置之间的运动支架132。其中，所述机械手131的中心设有安装位133，用于安装示教盘120和所述晶圆。

优选的，运动支架132连接机械手131的一端例如设有插槽，机械手131对应的一端插接于所述插槽内，从而实现固定并跟随运动支架132运动。

进一步的，运动支架132例如为曲柄结构，包括第一运动杆134、第二运动杆135和第三运动杆136。第一运动杆134通过插槽连接机械手131； 第二运动杆135位于第一运动杆134的上方或下方，并转动连接第一运动杆134远离机械手131的一端；第三运动杆136位于第二运动杆135的上方或下方，并转动连接第二运动杆135远离第一运动杆134的一端。

再进一步，所述控制装置连接第一运动杆134、第二运动杆135或第三运动杆136。

优选的，机械手131连接示教盘120的一端例如为环状支撑件，安装位133位于所述环状支撑件内。其中，机械手131例如包括多个晶圆支撑片，周向连接所述环状支撑件朝向安装位133的一侧，用于支撑示教盘120和所述晶圆。

进一步的，所述晶圆支撑片上例如设有吸盘，使得示教盘120或所述晶圆安装至安装位133内时，所述吸盘能够示教盘120或所述晶圆，使其不会滑动，避免示教盘120或所述晶圆产生对中误差。

在一个具体的实施例中，定位装置140例如包括多个位置传感器，环绕安装位133。举例来说，每个所述环状支撑件上例如设有一个所述位置传感器，根据示教盘120或所述晶圆遮住所述位置传感器的长度，测量示教盘120或所述晶圆在对应的所述位置传感器上沿径向的产生的偏移量。

进一步的，示教盘120或所述晶圆的直径均小于安装位133的直径，使得示教盘120或所述晶圆的外边缘与安装位133的内壁之间具有间隙，便与所述位置传感器测量示教盘120或所述晶圆的所述中心偏差。

优选的，多个所述位置传感器例如包括：第一位置传感器141、第二位置传感器142、第三位置传感器143、第四位置传感器144，从而对示教盘120或所述晶圆的四个位置进行定位。其中，第一位置传感器141和第二位置传感器142共线，第三位置传感器143和第四位置传感器144共线，便于确定第一位置传感器141和第二位置传感器142共线方向上，示教盘120或所述晶圆的中心坐标，以及确定第三位置传感器143和第四位置传感器144共线方向上，示教盘120或所述晶圆的中心坐标；第一位置传感器141、第二位置传感器142的连线，和第三位置传感器143、第四位置传感器144的连线垂直，以便于通过数学方法计算所述中心坐标。

进一步的，安装位133任意一侧的所述位置传感器均可作为第一位置传感器141，相应的，与其相对一侧的所述位置传感器为第二位置传感器142，夹设于第一位置传感器141和第二位置传感器142之间的为第三位置传感器143和第四位置传感器144。

再进一步，第一位置传感器141根据示教盘120或所述晶圆的外边缘遮挡长度不同，测得第一位置传感器141所在位置遮挡长度的偏移量；第二位置传感器142测得其所在位置示教盘120或所述晶圆遮挡长度的偏移量，从而通过数学方法计算出第一位置传感器141和第二位置传感器142连线方向上，所述晶圆中心相对示教盘120的偏移量。同样的，第三位置传感器143和第四位置传感器144能够通过测量计算出第三位置传感器143和第四位置传感器144连线方向上，所述晶圆中心相对示教盘120的偏移量，因此定位装置140能够测得所述中心偏差，所述控制装置能够通过所述中心偏差对所述晶圆进行对中。

在此基础上，所述环状支撑件为四个或大于四个，即四个所述环状支撑件均布于安装位133后，任意相邻的两个所述环状支撑件之间还可以设置若干个所述环状支撑件，从而提高示教盘120或所述晶圆的支撑效果，以及所述吸盘的吸附效果。

在一个具体的实施例中，参见图4，其为示教盘120的结构示意图。其中，示教盘120例如还包括：补光装置122，位于示教盘120朝向承载台110的一侧。举例来说，补光装置122环绕图像采集装置121，使得图像采集装置121采集的承载台110图像能够更加明亮，提高所述控制装置对承载台110中心的识别准确度，减小误差。

在一个具体的实施例中，参见图5，其为承载台110的结构示意图。其中，承载台110例如包括定位孔111，位于承载台110顶面的中心，使得承载台110在平稳放置所述晶圆的同时，其中心位置能够被准确识别。

【第二实施例】

本发明第二实施例提供一种晶圆自动定位示教方法。参见图6，所述晶圆自动定位示教方法例如包括：

步骤S1：搬运装置130搬运示教盘120；

步骤S2：定位装置140获取示教盘120的中心位置，图像采集装置121获取承载台110中心的定位孔111图像；

步骤S3：控制装置计算示教盘120的中心位置与定位孔111的偏差，调整搬运装置130使示教盘120的中心位置与定位孔111对齐；

步骤S4：搬运装置130搬运晶圆；

步骤S5：定位装置140获取所述晶圆的中心位置；

步骤S6：控制装置计算所述晶圆的中心位置与定位孔111的偏差，调整搬运装置130使所述晶圆的中心位置与定位孔111对应。

在一个具体的实施例中，所述步骤S1中需要说明的是，搬运装置130主动夹取示教盘120，或采用人工将示教盘120放置于机械手131的安装位133上；运动支架132通过第一运动杆134、第二运动杆135、第三运动杆136的转动，从而将示教盘120移动至承载台110上方，使承载台110中心的定位孔111进入图像采集装置121的视野内。

优选的，控制装置可以预先记录定位孔111的位置和机械手131的安装位133中心的位置，通过运动支架132将定位孔111先与机械手131的安装位133中心重合，保证定位孔111在图像采集装置121的视野内，避免示教盘120的中心与定位孔111差距较大。

在一个具体的实施例中，所述步骤S2中，所述定位装置140获取示教盘120的中心位置例如包括：定位装置140的第一位置传感器141、第二位置传感器142、第三位置传感器143和第四位置传感器144分别测量示教盘120对应位置的遮挡长度，从而确定示教盘120位置；控制装置获取示教盘120中心的位置后，将示教盘120的中心在机械手131上的位置设置为原点。

需要说明的是，示教盘120与机械手131相对固定后，机械手131移动过程中始终视为示教盘120的中心处于所述原点。

进一步的，图像采集装置121获取承载台110中心的定位孔111图像，例如包括：打开补光装置122；所述图像采集装置121实时获取承载台110中心的定位孔111的图像，并将定位孔111的图像传输至所述控制装置。

其中，定位孔111的图像通过无线传输模块传输至所述控制装置。此时，示教盘120上的图像采集装置121无需连接数据线，便于示教盘120的安装，避免数据线遮挡图像采集装置121的视野或影响搬运装置130的运动。

在一个具体的实施例中，所述步骤S3中需要说明的是，所述控制装置第一次计算示教盘120的中心位置与定位孔111的偏差后，启动机械手131调整示教盘120的中心位置，之后实时检测示教盘120的中心位置与定位孔111的偏差，直到所述偏差在容许误差以内时，完成示教盘120中心和承载台110中心的对应，即所述原点与承载台110中心对应，此时停止移动机械手131，并关闭图像采集装置121和补光装置122。

在一个具体的实施例中，所述步骤S4中需要说明的是，取下示教盘120后，依次对所述晶圆进行对中；搬运装置130将所述晶圆搬运至承载台110上方，并且再次使所述原点与承载台110中心对齐。

在一个具体的实施例中，所述步骤S5-S6中需要说明的是，通过定位装置140获取所述晶圆的中心位置，无需再次开启图像采集装置121和补光装置122来对齐所述晶圆和承载台110。根据所述晶圆的中心位置与示教盘120的中心位置的偏差，能够得到所述晶圆的中心位置与定位孔111的偏差。其中，所述晶圆的中心位置与所述示教盘120的中心位置的偏差包括X方向偏差△x和Y方向偏差△y。

优选的，第一位置传感器141和第二位置传感器142共线，第三位置传感器143和第四位置传感器144共线，第一位置传感器141、第二位置传感器142的连线，和第三位置传感器143、第四位置传感器144的连线垂直。

进一步的，所述步骤S5例如包括：步骤S51：所述第一位置传感器141和所述第二位置传感器142测得其连线上所述晶圆和所述示教盘120的第一偏差数据；步骤S52：所述第三位置传感器143和所述第四位置传感器144测得其连线上所述晶圆和所述示教盘120的第二偏差数据。

相应的，所述步骤S6例如包括，所述控制装置根据所述第一偏差数据计算得到所述X方向偏差，所述控制装置根据所述第二偏差数据计算得到所述Y方向偏差。

需要说明的是，所述控制装置控制底端搬运装置130，消除所述X方向偏差△x和所述Y方向偏差△y，使所述晶圆的中心与所述原点重合，即所述晶圆的中心与承载台110的中心重合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆自动定位示教系统，其特征在于，包括：

承载台；

示教盘，所述示教盘朝向所述承载台的一侧的中心设有图像采集装置，用于采集所述承载台的图像；

搬运装置，位于所述承载台上方，用于搬运所述示教盘或晶圆；

定位装置，设置在所述搬运装置上，用于获取所述示教盘或所述晶圆的中心位置；

控制装置，连接所述图像采集装置、所述搬运装置和所述定位装置，所述控制装置首先根据所述承载台的图像以及所述示教盘的中心位置，控制所述搬运装置使所述示教盘与所述承载台同心；之后将所述示教盘替换为所述晶圆，通过所述定位装置获取所述晶圆的中心位置，并计算所述晶圆和所述示教盘的中心偏差，根据所述中心偏差控制所述搬运装置以调整所述晶圆与所述承载台同心。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述搬运装置包括：机械手，以及连接于所述机械手和所述控制装置之间的运动支架，所述机械手的中心设有安装位；

所述定位装置包括多个位置传感器，多个所述位置传感器环绕所述安装位设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，多个所述位置传感器包括：第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器；

其中，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器共线，所述第三位置传感器和所述第四位置传感器共线；

所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直。

4.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述示教盘的直径与所述晶圆相同。

5.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述承载台的中心设有定位孔，用于确定所述承载台的中心位置。

6.根据权利要求1-3任一项所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，所述示教盘朝向所述承载台的一侧设有补光装置，所述补光装置呈环绕所述图像采集装置的圆环设置。

7.一种晶圆自动定位示教方法，包括如权利要求1-2任一项所述的晶圆自动定位示教系统，其特征在于，包括：

步骤S1：搬运装置搬运示教盘；

步骤S2：定位装置获取所述示教盘的中心位置，图像采集装置获取承载台中心的定位孔图像；

步骤S3：控制装置计算所述示教盘的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述示教盘的中心位置与所述定位孔对齐；

步骤S4：所述搬运装置搬运晶圆；

步骤S5：所述定位装置获取所述晶圆的中心位置；

步骤S6：所述控制装置计算所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，调整所述搬运装置使所述晶圆的中心位置与所述定位孔对应。

8.根据权利要求7所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述步骤S6中，所述晶圆的中心位置与所述定位孔的偏差，通过所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差得到，所述晶圆的中心位置与所述示教盘的中心位置的偏差包括X方向偏差和Y方向偏差。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述定位装置包括：共线的第一位置传感器和第二位置传感器，以及共线的第三位置传感器和第四位置传感器；所述第一位置传感器、所述第二位置传感器的连线，和所述第三位置传感器、所述第四位置传感器的连线垂直；

所述步骤S5还包括，所述第一位置传感器和所述第二位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第一偏差数据；所述第三位置传感器和所述第四位置传感器测得其连线上所述晶圆和所述示教盘的第二偏差数据；

所述步骤S6还包括，所述控制装置根据所述第一偏差数据计算得到所述X方向偏差，所述控制装置根据所述第二偏差数据计算得到所述Y方向偏差。

10.根据权利要求7所述的晶圆自动定位示教方法，其特征在于，所述步骤S2还包括：通过无线传输模块将所述定位孔图像传输至所述控制装置。

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