CN113125817A - 一种排线限位板探针组合结构 - Google Patents
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Abstract
本发明一种排线限位板探针组合结构属于半导体测试技术领域；在该排线限位板探针组合结构中，转接探针与限位板之间设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈与限位板过盈配合，限位板为绝缘材料板，所述第一轴承的内圈与转接探针过盈配合，在第一轴承的上方，依次设置有与第一轴承同轴的齿轮和第二轴承；排线包括外皮和芯线，所述外皮套在第二轴承的外圈上，所述芯线焊接在第二轴承的外圈上，芯线依次通过第二轴承的外圈、第二轴承的滚动体和第二轴承的内圈实现与转接探针短路；将本发明应用于同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构中，能够实现对相同芯片进行同步或类同步测试，或对不同芯片进行类同步测试，节约重复性测试时间。
Description
本申请是发明专利申请《同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构》的分案申请。
原案申请日：2020-11-29。
原案申请号：2020113659525。
原案发明名称：同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构。
技术领域
本发明一种排线限位板探针组合结构属于半导体测试技术领域。
背景技术
随着半导体技术和MEMS技术的发展，集成电路芯片结构也日趋复杂。为了确保集成电路的电气质量，需要在芯片封装前进行测试。测试过程中，可以将探针插入插座进行测试。然而，随着探针尺寸逐渐减小，在微米级甚至亚微米级尺寸下，探针与插座的对准就变得困难，如果硬插入（插座位置不随探针调整，固定不动），容易造成探针的损坏，同时，因插入会造成探针弯曲，容易出现相邻两个探针距离过近，在进行大功率芯片测试过程中，由于电流过大，容易出现探针之间放电而造成短路的问题。
同时，精密测量技术告诉我们，要想让测试结果具有更大的置信区间，即测量结果更加可信、可靠，需要进行多次测量，那么，探针进行拆装反复测试就显得尤为重要，在微米级甚至亚微米级尺寸下，进行探针与插座的反复拆装且不损伤探针就显得尤为困难。
申请号为201711115635.6的发明专利《垂直式探针卡之探针装置》，涉及到了一种装针方法，该方法通过移动中间导板，使得探针向同一方向弯曲，虽然解决的是“盖头不易”问题，但是该技术方案能够成功限制探针之间的距离，因此能够解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。然而，这种方法由于缺少对中间导板进行精密定位的结构，因此在移动中间导板时，非常容易造成探针弯曲程度超出弹性变形范围，进而造成探针不可恢复，进而装针拆针不可逆，因此无法对统一探针进行拆装反复测试。
针对此问题，本公司申请了发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》，在这两项专利中，通过三角体基座和均分架的机构设置，同时配合先插入、再对准、后接触的步骤，降低了探针与插座的对准难度，不容易损坏探针，同时实现了拆装过程可逆，有利于进行重复性测试，同时还能够限制探针之间的距离，解决大电流下探针之间放电而造成短路的问题。
然而，这两项专利还有一个问题无法解决，首先，对某一种芯片进行重复测试需要依次进行，浪费时间，其次，这种探针及插座结构对芯片的兼容性差，无法对不同芯片进行同步测试。
发明内容
本申请在本公司发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》的基础上，作进一步改进，公开了一种同步或类同步测试的探针转接件及插座结构及关键结构，实现对相同芯片进行同步或类同步测试，或对不同芯片进行类同步测试。
本发明的目的是这样实现的：
同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，包括相互匹配的探针转接件和插座结构；
所述探针转接件包括四个能够更换的转接插座，每个转接插座均通过排线连接转接探针，所述转接插座上的孔成矩阵分布，所述转接探针上的针成向量分布，转接探针贯穿限位板，且能够绕自身旋转，转接探针在限位板上方部分设置有齿轮，四组转接探针所对应的四组齿轮半径成首项和公差相等的等差数列，在与齿轮同平面上，设置有齿条框架，所述齿条框架由多个平行的成阶梯状的齿条构成，所述齿条与齿轮啮合，所述转接探针的下方设置有弯曲结构，所有转接探针的弯曲结构在初始位置均向同一方向弯曲；
所述插座结构包括基板，能够在基板上滑动的三角体基座和能够上下移动的均分架；所述三角体基座的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层，所述导电层的宽度小于2rsin(π/8)，其中，r为转接探针下方弯曲结构的半径；所述导电层通过导线从三角体基座下方穿过基板连接外部，所述三角体基座的另一侧设置有绝缘板，所述均分架为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条的方向垂直。
上述同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，所述转接探针与限位板之间设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈与限位板过盈配合，限位板为绝缘材料板，所述第一轴承的内圈与转接探针过盈配合，在第一轴承的上方，依次设置有与第一轴承同轴的齿轮和第二轴承；所述排线包括外皮和芯线，所述外皮套在第二轴承的外圈上，所述芯线焊接在第二轴承的外圈上，芯线依次通过第二轴承的外圈、第二轴承的滚动体和第二轴承的内圈实现与转接探针短路。
上述同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，所述齿条框架中，多个平行的成阶梯状的齿条的两端均设置有同步板，其中一个同步板的外端部设置有丝杠，所述丝杠上设置有能够绕自身旋转的螺母，所述螺母安装在空心轴电机的内部，所述空心轴电机运行，带动螺母转到，进而带动同步板平移，最终带动转接探针转动。
上述同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，所述基板上设置有滑道，三角体基座坐在滑道上，并能够在滑道上运动，所述滑道两端设置有限位部，用于限定三角体基座的运行轨迹，所述基板在相邻两个滑道中间，设置有导线孔，所述导线从导线孔伸出，连接外部。
同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的关键结构，为探针转接件，所述探针转接件包括四个能够更换的转接插座，每个转接插座均通过排线连接转接探针，所述转接插座上的孔成矩阵分布，所述转接探针上的针成向量分布，转接探针贯穿限位板，且能够绕自身旋转，转接探针在限位板上方部分设置有齿轮，四组转接探针所对应的四组齿轮半径成首项和公差相等的等差数列，在与齿轮同平面上，设置有齿条框架，所述齿条框架由多个平行的成阶梯状的齿条构成，所述齿条与齿轮啮合，所述转接探针的下方设置有弯曲结构，所有转接探针的弯曲结构在初始位置均向同一方向弯曲。
同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的关键结构，为插座结构，所述插座结构包括基板，能够在基板上滑动的三角体基座和能够上下移动的均分架；所述三角体基座的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层，所述导电层的宽度小于2rsin(π/8)，其中，r为转接探针下方弯曲结构的半径；所述导电层通过导线从三角体基座下方穿过基板连接外部，所述三角体基座的另一侧设置有绝缘板，所述均分架为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条的方向垂直。
同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的关键结构，为排线限位板探针组合结构，在所述排线限位板探针组合结构中，所述转接探针与限位板之间设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈与限位板过盈配合，限位板为绝缘材料板，所述第一轴承的内圈与转接探针过盈配合，在第一轴承的上方，依次设置有与第一轴承同轴的齿轮和第二轴承；所述排线包括外皮和芯线，所述外皮套在第二轴承的外圈上，所述芯线焊接在第二轴承的外圈上，芯线依次通过第二轴承的外圈、第二轴承的滚动体和第二轴承的内圈实现与转接探针短路。
面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法，包括以下步骤：
步骤a、将待测试芯片插入转接插座中，将探针转接件的转接探针插入插座结构中；
步骤b、空心轴电机运行，使转接探针下方的弯曲结构与均分架中绝缘柱的方向一致；
步骤c、将转接探针向插座结构方向插入到固定深度；
步骤d、测试第一组转接探针；
空心轴电机运行，使半径最小齿轮所对应的转接探针绕自身旋转，且该转接探针下方的弯曲结构指向三角体基座中豁口内侧面的导电层；
向下移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板接触，进而使得本步骤所述的转接探针下方的弯曲结构与导电层接触；
测试转接探针；
向上移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板分离；
步骤e、测试第二组转接探针；
空心轴电机运行，使半径第二小齿轮所对应的转接探针绕自身旋转，且该转接探针下方的弯曲结构指向三角体基座中豁口内侧面的导电层；
向下移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板接触，进而使得本步骤所述的转接探针下方的弯曲结构与导电层接触；
测试转接探针；
向上移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板分离；
步骤f、测试第三组转接探针；
空心轴电机运行，使半径第二大齿轮所对应的转接探针绕自身旋转，且该转接探针下方的弯曲结构指向三角体基座中豁口内侧面的导电层；
向下移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板接触，进而使得本步骤所述的转接探针下方的弯曲结构与导电层接触；
测试转接探针；
向上移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板分离；
步骤g、测试第四组转接探针；
空心轴电机运行，使半径最大齿轮所对应的转接探针绕自身旋转，且该转接探针下方的弯曲结构指向三角体基座中豁口内侧面的导电层；
向下移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板接触，进而使得本步骤所述的转接探针下方的弯曲结构与导电层接触；
测试转接探针；
向上移动均分架，使均分架中的绝缘柱与三角体基座上的绝缘板分离；
步骤h、空心轴电机运行，使转接探针绕自身旋转，使转接探针下方的弯曲结构与均分架中绝缘柱的方向一致；
步骤i、将探针转接件从插座结构中拔出，将待测试芯片从探针转接件的转接插座中拔出。
上述面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法，如果：
只有一个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮所对应的转接插座中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤h和步骤i；
有两个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮和半径第二小齿轮所对应的转接插座中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤h和步骤i；
有三个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮、半径第二小齿轮和半径第二大齿轮所对应的转接插座中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f、步骤h和步骤i；
有四个待测试芯片，将待测试芯片插入到所有转接插座中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f、步骤g、步骤h和步骤i。
有益效果：
第一、同本公司发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》一样，由于设置有能够在基板上滑动的三角体基座，因此只需要转接探针落入两个三角体基座之间即可，因此降低了转接探针与插座结构之间的对准难度，同时，由于转接探针在插入过程中或不接触三角体基座，或与三角体基座轻微接触，因此避免了“硬插入”的情况，使得转接探针不易损坏，有利于进行重复性测试。
第二、同本公司发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》一样，由于转接探针下方设置有弯曲结构，且弯曲方向受齿条框架的限制，被测试转接探针的弯曲结构永远弯向同一方向，这样就能够确保转接探针之间的距离被限制，不会达到放电距离，此外，三角体基座设置有绝缘板，同样能够使两个转接探针之间绝缘，避免大电流下转接探针之间放电而造成短路的问题。
第三、同本公司发明专利《一种探针及插座结构》及《一种探针及插座匹配方法》一样，在本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构下，同时配合本发明面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法，使得转接探针拆装过程互逆，且在转接探针装拆的过程中，由于弯曲结构的弯曲方向与均分架中绝缘柱的方向一致，因此弯曲结构不会与三角体基座上的豁口发生干涉，进一步确保装拆过程中转接探针不被损坏，这同样有利于进行重复性测试。
第四、在本申请中，由于设置有相互匹配的探针转接件和插座结构，且在探针转接件中设置有四个能够更换的转接插座，并且每个转接插座均通过排线连接转接探针，这样，可以通过：1）在不同转接插座上插入相同芯片，实现对多个芯片进行非拆装的类同步测试，压缩测试时间，节约时间成本；2）在同一转接插座上插入相同芯片，实现对多个芯片进行完全同步测试，进一步压缩测试时间，节约时间成本。
第五、在本申请中，由于转接插座能够更换，因此能够替换成与芯片相对应的转接插座，提高探针转接件对芯片的兼容性，并且，在不同转接插座上插入不同的芯片，在测试过程中，只需要空心轴电机运行，向下移动均分架和向上移动均分架三个过程，就可以替换成另一个芯片进行测试，压缩测试时间，节约时间成本，并实现对不同芯片进行类同步测试。
附图说明
图1是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构匹配关系示意图。
图2是本发明探针转接件结构示意图一。
图3是本发明探针转接件结构示意图二。
图4是本发明插座结构示意图。
图5是本发明面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法的流程图。
图中：1-1限位板、1-2转接探针、1-3齿轮、1-4齿条框架、1-4-1齿条、1-4-2同步板、1-4-3丝杠、1-4-4螺母、1-4-5空心轴电机、1-5-1第一轴承、1-5-2第二轴承、1-6转接插座、1-7排线、1-7-1外皮、1-7-2芯线、2-1基板、2-1-1滑道、2-1-2限位部、2-1-3导线孔、2-2三角体基座、2-2-1导电层、2-2-2导线、2-2-3绝缘板、2-3均分架。
具体实施方式
下面结合附图对本发明具体实施例作进一步详细描述。
具体实施方式一
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的具体实施方式。
本实施方式下的同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，包括相互匹配的探针转接件和插座结构，其匹配关系如图1所示；
所述探针转接件如图2和图3所示，其中，图3是图2A-A方向示意图，该探针转接件包括四个能够更换的转接插座1-6，每个转接插座1-6均通过排线1-7连接转接探针1-2，所述转接插座1-6上的孔成矩阵分布，所述转接探针1-2上的针成向量分布，转接探针1-2贯穿限位板1-1，且能够绕自身旋转，转接探针1-2在限位板1-1上方部分设置有齿轮1-3，四组转接探针1-2所对应的四组齿轮1-3半径成首项和公差相等的等差数列，在与齿轮1-3同平面上，设置有齿条框架1-4，所述齿条框架1-4由多个平行的成阶梯状的齿条1-4-1构成，所述齿条1-4-1与齿轮1-3啮合，所述转接探针1-2的下方设置有弯曲结构，所有转接探针1-2的弯曲结构在初始位置均向同一方向弯曲；
所述插座结构如图4所示，该插座结构包括基板2-1，能够在基板2-1上滑动的三角体基座2-2和能够上下移动的均分架2-3；所述三角体基座2-2的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层2-2-1，所述导电层2-2-1的宽度小于2rsin(π/8)，其中，r为转接探针1-2下方弯曲结构的半径；所述导电层2-2-1通过导线2-2-2从三角体基座2-2下方穿过基板2-1连接外部，所述三角体基座2-2的另一侧设置有绝缘板2-2-3，所述均分架2-3为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条1-4-1的方向垂直。
具体实施方式二
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的具体实施方式。
本实施方式下的同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定所述转接探针1-2与限位板1-1之间设置有第一轴承1-5-1，所述第一轴承1-5-1的外圈与限位板1-1过盈配合，限位板1-1为绝缘材料板，所述第一轴承1-5-1的内圈与转接探针1-2过盈配合，在第一轴承1-5-1的上方，依次设置有与第一轴承1-5-1同轴的齿轮1-3和第二轴承1-5-2；所述排线1-7包括外皮1-7-1和芯线1-7-2，所述外皮1-7-1套在第二轴承1-5-2的外圈上，所述芯线1-7-2焊接在第二轴承1-5-2的外圈上，芯线1-7-2依次通过第二轴承1-5-2的外圈、第二轴承1-5-2的滚动体和第二轴承1-5-2的内圈实现与转接探针1-2短路，如图2所示。
具体实施方式三
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的具体实施方式。
本实施方式下的同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定所述齿条框架1-4中，多个平行的成阶梯状的齿条1-4-1的两端均设置有同步板1-4-2，其中一个同步板1-4-2的外端部设置有丝杠1-4-3，所述丝杠1-4-3上设置有能够绕自身旋转的螺母1-4-4，所述螺母1-4-4安装在空心轴电机1-4-5的内部，所述空心轴电机1-4-5运行，带动螺母1-4-4转到，进而带动同步板1-4-2平移，最终带动转接探针1-2转动，如图3所示。
具体实施方式四
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构的具体实施方式。
本实施方式下的同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，在具体实施方式一的基础上，进一步限定基板2-1上设置有滑道2-1-1，三角体基座2-2坐在滑道2-1-1上，并能够在滑道2-1-1上运动，所述滑道2-1-1两端设置有限位部2-1-2，用于限定三角体基座2-2的运行轨迹，所述基板2-1在相邻两个滑道2-1-1中间，设置有导线孔2-1-3，所述导线2-2-2从导线孔2-1-3伸出，连接外部，如图4所示。
具体实施方式五
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构中探针转接件的具体实施方式。
本实施方式下的探针转接件，如图2和图3所示，该探针转接件包括四个能够更换的转接插座1-6，每个转接插座1-6均通过排线1-7连接转接探针1-2，所述转接插座1-6上的孔成矩阵分布，所述转接探针1-2上的针成向量分布，转接探针1-2贯穿限位板1-1，且能够绕自身旋转，转接探针1-2在限位板1-1上方部分设置有齿轮1-3，四组转接探针1-2所对应的四组齿轮1-3半径成首项和公差相等的等差数列，在与齿轮1-3同平面上，设置有齿条框架1-4，所述齿条框架1-4由多个平行的成阶梯状的齿条1-4-1构成，所述齿条1-4-1与齿轮1-3啮合，所述转接探针1-2的下方设置有弯曲结构，所有转接探针1-2的弯曲结构在初始位置均向同一方向弯曲。
具体实施方式六
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构中插座结构的具体实施方式。
本实施方式下的插座结构，如图4所示，该插座结构包括基板2-1，能够在基板2-1上滑动的三角体基座2-2和能够上下移动的均分架2-3；所述三角体基座2-2的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层2-2-1，所述导电层2-2-1的宽度小于2rsin(π/8)，其中，r为转接探针1-2下方弯曲结构的半径；所述导电层2-2-1通过导线2-2-2从三角体基座2-2下方穿过基板2-1连接外部，所述三角体基座2-2的另一侧设置有绝缘板2-2-3，所述均分架2-3为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条1-4-1的方向垂直。
具体实施方式七
以下是本发明同步或类同步测试的探针转接件及插座结构中排线限位板探针组合结构的具体实施方式。
本实施方式下的排线限位板探针组合结构，如图2所示，在该排线限位板探针组合结构中，所述转接探针1-2与限位板1-1之间设置有第一轴承1-5-1，所述第一轴承1-5-1的外圈与限位板1-1过盈配合，限位板1-1为绝缘材料板，所述第一轴承1-5-1的内圈与转接探针1-2过盈配合，在第一轴承1-5-1的上方，依次设置有与第一轴承1-5-1同轴的齿轮1-3和第二轴承1-5-2；所述排线1-7包括外皮1-7-1和芯线1-7-2，所述外皮1-7-1套在第二轴承1-5-2的外圈上，所述芯线1-7-2焊接在第二轴承1-5-2的外圈上，芯线1-7-2依次通过第二轴承1-5-2的外圈、第二轴承1-5-2的滚动体和第二轴承1-5-2的内圈实现与转接探针1-2短路。
具体实施方式八
以下是本发明面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法的具体实施方式。
本实施方式下的面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法，流程图如图5所示，该面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法包括以下步骤：
步骤a、将待测试芯片插入转接插座1-6中，将探针转接件的转接探针1-2插入插座结构中；
步骤b、空心轴电机1-4-5运行，使转接探针1-2下方的弯曲结构与均分架2-3中绝缘柱的方向一致；
步骤c、将转接探针1-2向插座结构方向插入到固定深度；
步骤d、测试第一组转接探针1-2；
空心轴电机1-4-5运行，使半径最小齿轮1-3所对应的转接探针1-2绕自身旋转，且该转接探针1-2下方的弯曲结构指向三角体基座2-2中豁口内侧面的导电层2-2-1；
向下移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3接触，进而使得本步骤所述的转接探针1-2下方的弯曲结构与导电层2-2-1接触；
测试转接探针1-2；
向上移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3分离；
步骤e、测试第二组转接探针1-2；
空心轴电机1-4-5运行，使半径第二小齿轮1-3所对应的转接探针1-2绕自身旋转，且该转接探针1-2下方的弯曲结构指向三角体基座2-2中豁口内侧面的导电层2-2-1；
向下移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3接触，进而使得本步骤所述的转接探针1-2下方的弯曲结构与导电层2-2-1接触；
测试转接探针1-2；
向上移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3分离；
步骤f、测试第三组转接探针1-2；
空心轴电机1-4-5运行，使半径第二大齿轮1-3所对应的转接探针1-2绕自身旋转，且该转接探针1-2下方的弯曲结构指向三角体基座2-2中豁口内侧面的导电层2-2-1；
向下移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3接触，进而使得本步骤所述的转接探针1-2下方的弯曲结构与导电层2-2-1接触；
测试转接探针1-2；
向上移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3分离；
步骤g、测试第四组转接探针1-2；
空心轴电机1-4-5运行，使半径最大齿轮1-3所对应的转接探针1-2绕自身旋转，且该转接探针1-2下方的弯曲结构指向三角体基座2-2中豁口内侧面的导电层2-2-1；
向下移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3接触，进而使得本步骤所述的转接探针1-2下方的弯曲结构与导电层2-2-1接触；
测试转接探针1-2；
向上移动均分架2-3，使均分架2-3中的绝缘柱与三角体基座2-2上的绝缘板2-2-3分离；
步骤h、空心轴电机1-4-5运行，使转接探针1-2绕自身旋转，使转接探针1-2下方的弯曲结构与均分架2-3中绝缘柱的方向一致；
步骤i、将探针转接件从插座结构中拔出，将待测试芯片从探针转接件的转接插座1-6中拔出。
具体实施方式九
以下是本发明面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法的具体实施方式。
本实施方式下的面向同步测试或类同步测试的探针转接件及插座匹配方法，在具体实施方式八的基础上，进一步限定：
只有一个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮1-3所对应的转接插座1-6中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤h和步骤i；
有两个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮1-3和半径第二小齿轮1-3所对应的转接插座1-6中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤h和步骤i；
有三个待测试芯片，将待测试芯片插入到与半径最小齿轮1-3、半径第二小齿轮1-3和半径第二大齿轮1-3所对应的转接插座1-6中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f、步骤h和步骤i；
有四个待测试芯片，将待测试芯片插入到所有转接插座1-6中，执行步骤a、步骤b、步骤c、步骤d、步骤e、步骤f、步骤g、步骤h和步骤i。
需要说明的是，以上所有具体实施方式所列举的技术特征，只要不矛盾，都能够进行排列组合，本领域技术人员能够根据高中阶段学习过的排列组合数学知识穷尽每一种排列组合后的结果，所有排列组合后的结果都应该理解为被本申请所公开。
Claims (3)
1.一种排线限位板探针组合结构，其特征在于，转接探针（1-2）与限位板（1-1）之间设置有第一轴承（1-5-1），所述第一轴承（1-5-1）的外圈与限位板（1-1）过盈配合，限位板（1-1）为绝缘材料板，所述第一轴承（1-5-1）的内圈与转接探针（1-2）过盈配合，在第一轴承（1-5-1）的上方，依次设置有与第一轴承（1-5-1）同轴的齿轮（1-3）和第二轴承（1-5-2）；排线（1-7）包括外皮（1-7-1）和芯线（1-7-2），所述外皮（1-7-1）套在第二轴承（1-5-2）的外圈上，所述芯线（1-7-2）焊接在第二轴承（1-5-2）的外圈上，芯线（1-7-2）依次通过第二轴承（1-5-2）的外圈、第二轴承（1-5-2）的滚动体和第二轴承（1-5-2）的内圈实现与转接探针（1-2）短路。
2.根据权利要求1所述的一种排线限位板探针组合结构，其特征在于，应用于同步或类同步测试的探针转接件及插座结构中。
3.根据权利要求2所述的一种排线限位板探针组合结构，其特征在于，所述同步或类同步测试的探针转接件及插座结构，包括相互匹配的探针转接件和插座结构；
所述探针转接件包括四个能够更换的转接插座（1-6），每个转接插座（1-6）均通过排线（1-7）连接转接探针（1-2），所述转接插座（1-6）上的孔成矩阵分布，所述转接探针（1-2）上的针成向量分布，转接探针（1-2）贯穿限位板（1-1），且能够绕自身旋转，转接探针（1-2）在限位板（1-1）上方部分设置有齿轮（1-3），四组转接探针（1-2）所对应的四组齿轮（1-3）半径成首项和公差相等的等差数列，在与齿轮（1-3）同平面上，设置有齿条框架（1-4），所述齿条框架（1-4）由多个平行的成阶梯状的齿条（1-4-1）构成，所述齿条（1-4-1）与齿轮（1-3）啮合，所述转接探针（1-2）的下方设置有弯曲结构，所有转接探针（1-2）的弯曲结构在初始位置均向同一方向弯曲；
所述插座结构包括基板（2-1），能够在基板（2-1）上滑动的三角体基座（2-2）和能够上下移动的均分架（2-3）；所述三角体基座（2-2）的一侧设置有豁口，所述豁口的内侧面设置有导电层（2-2-1），所述导电层（2-2-1）的宽度小于2rsin(π/8)，其中，r为转接探针（1-2）下方弯曲结构的半径；所述导电层（2-2-1）通过导线（2-2-2）从三角体基座（2-2）下方穿过基板（2-1）连接外部，所述三角体基座（2-2）的另一侧设置有绝缘板（2-2-3），所述均分架（2-3）为多个平行且间距相同的绝缘柱构成，所述绝缘柱的方向与齿条（1-4-1）的方向垂直。
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