CN210347721U - 一种芯片用的手动探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，具体是一种芯片用的手动探针台，用于解决现有手动探针台检测芯片效率低的问题。本实用新型通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；通过水平快调机构使探针在水平方向快速移动，达到探针在水平方向快速移动的目的；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。

Description

一种芯片用的手动探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，更具体的是涉及一种芯片用的手动探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台一般分为全自动探针台、半自动探针台和手动探针台。

现有技术中用于导体芯片的手动探针台包括观察台、目孔、针头固定板和横板，观察台的下方设置有操作台，操作台的下方中间位置处设置有放物台，放物台的下方设置有底座，目孔安装在观察台的上方，目孔的下方设置有目镜支撑台，目镜支撑台的下方中间位置处设置有真空室，真空室的右侧设置有旋钮，真空室的下方中间位置处设置有观测口，真空室的左侧设置有抵扣，抵扣的左侧下方设置有连接架，针头固定板安装在操作台的上方，针头固定板的右侧设置有探针，探针的右侧下方靠近针头固定板的上表面设置有卡扣，卡扣的右侧上方设置有挡针架，挡针架的右侧下方设置有挡板，挡板的右侧设置有第一滑槽，横板安装在放物台的上方，横板的右侧上方设置有固定螺母，固定螺母的右侧设置有连接杆，固定螺母的左侧上方设置有支撑柱，支撑柱的上方中间位置处设置有放物板，支撑柱的左侧设置有X轴滑动板，X轴滑动板的左侧设置有X轴调控旋钮，通过调节X轴等调节按钮可以调节操作台与放物台间的距离，从而可以调节探针与导体芯片间的距离，进而实现对导体芯片的探测。

但是，上述手动探针台在调节探针与导体芯片间的相对距离时，没有设置快速调节和细微调节的机构，当探针与导体芯片间的距离较大时，如果还缓慢的调节探针与导体芯片间的距离，必定会花费更多的时间，从而影响到探针探测导体芯片的效率。因此，我们迫切的需要一种可以提高探针探测导体芯片效率的手动探针台。

发明内容

基于以上问题，本实用新型提供了一种芯片用的手动探针台，用于解决现有手动探针台检测芯片效率低的问题。本实用新型通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；由于第二转轴与顶板间通过螺纹连接，所以通过转动第二转轴可以使操作台及探针缓慢的上下移动，达到探针在竖直方向缓慢移动的目的；分别通过水平快调机构和水平微调机构可以分别使探针在水平方向快速移动和缓慢移动；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种芯片用的手动探针台，包括底座，所述底座上安装有观测台，所述底座顶面安装有与观测台相对应且可旋转的放物台，所述底座顶面在竖直方向安装有支撑板，所述支撑板上开有第一滑槽，所述第一滑槽内安装有可沿第一滑槽上下滑动的齿条箱，所述齿条箱内相对两侧面上设有齿条，所述齿条箱内还安装有与齿条可相互啮合的齿轮，所述齿轮的轮齿未布满齿轮的整个圆周面，所述齿条箱上还开有通槽，所述齿轮的轮心连接有依次穿过通槽和支撑板的第一转轴，所述第一转轴的末端连接有第一手柄；所述齿条箱上连接有连接板，所述连接板上开有第一滑槽，所述连接板的顶面安装有顶板，所述顶板被第二转轴穿过，所述第二转轴的上端连接有第二手柄，下端连接有可沿第二滑槽上下滑动的操作台，所述顶板与第二转轴通过螺纹连接；所述操作台上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针。

作为一种优选的方式，所述操作台的顶面开有第三滑槽，所述水平快调机构安装在第三滑槽内，所述水平快调机构包括安装在第三滑槽内且可沿第三滑槽左右滑动的滑动板，所述滑动板上设有固定机构，所述滑动板的顶面安装有竖直板，所述微调机构安装在竖直板上。

作为一种优选的方式，所述微调机包括第三转轴，所述第三转轴沿滑动板滑动的方向穿过竖直板且与竖直板间均通过螺纹连接，所述第三转轴的一端连接有第三手柄，另一端连接有轴承，所述轴承上连接有连接环，所述连接环上安装有探针。

作为一种优选的方式，所述轴承包括从外到内依次连接成一体的外圈、滚动体和内圈，所述内圈与第三转轴接触，所述外圈与连接环接触。

作为一种优选的方式，所述固定机构包括开在操作台上的多个安装孔，所述滑动板上连接有固定片，所述固定片可通过螺钉与安装孔连接。

作为一种优选的方式，所述放物台包括安装在底座上的放物筒，所述放物筒的顶面安装有放物槽，所述放物槽内安装有放物板，所述放物筒的顶面开有电机槽，所述电机槽内安装有电机，所述电机连接有穿过放物槽并连接放物板的第四转轴。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；由于第二转轴与顶板间通过螺纹连接，所以通过转动第二转轴可以使操作台及探针缓慢的上下移动，达到探针在竖直方向缓慢移动的目的；通过拧开连接在固定片与操作台间的螺钉，可以推动滑动板带动探针在水平方向快速的移动，达到探针在水平方向快速移动的目的，通过旋转第三转轴可以带动探针在水平方向缓慢移动；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。

附图说明

图1为本实用新型的正面剖视结构简图；

图2为本实用新型图1中A-A处的剖视结构简图；

图3为本实用新型图1中B处的放大示意图；

图4为本实用新型图1中C处的放大示意图；

图5为本实用新型图1中D处的放大示意图；

图6为本实用新型轴承的结构简图；

附图标记：1底座，2放物筒，3探针，4观测台，5第二手柄，6第二转轴，7顶板，8连接板，9第二滑槽，10通槽，11齿条箱，12齿轮，13齿条，14第一滑槽，15支撑板，16操作台，17放物槽，18放物板，19连接环，20安装孔，21固定片，22竖直板，23滑动板，24第一手柄，25第一转轴，26第三手柄，27第三转轴，28轴承，281外圈，282滚动体，283内圈，29第三滑槽，30电机槽，31电机，32第四转轴。

具体实施方式

为了本技术领域的人员更好的理解本实用新型，下面结合附图和以下实施例对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

如图1-6所示，一种芯片用的手动探针台，包括底座，所述底座上安装有观测台，所述底座顶面安装有与观测台相对应且可旋转的放物台，所述底座顶面在竖直方向安装有支撑板，所述支撑板上开有第一滑槽，所述第一滑槽内安装有可沿第一滑槽上下滑动的齿条箱，所述齿条箱内相对两侧面上设有齿条，所述齿条箱内还安装有与齿条可相互啮合的齿轮，所述齿轮的轮齿未布满齿轮的整个圆周面，所述齿条箱上还开有通槽，所述齿轮的轮心连接有依次穿过通槽和支撑板的第一转轴，所述第一转轴的末端连接有第一手柄；所述齿条箱上连接有连接板，所述连接板上开有第一滑槽，所述连接板的顶面安装有顶板，所述顶板被第二转轴穿过，所述第二转轴的上端连接有第二手柄，下端连接有可沿第二滑槽上下滑动的操作台，所述顶板与第二转轴通过螺纹连接；所述操作台上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针。

优选的，微调机包括第三转轴27，第三转轴27沿滑动板23滑动的方向穿过竖直板22且与竖直板22间均通过螺纹连接，第三转轴27的一端连接有第三手柄26，另一端连接有轴承28，轴承28上连接有连接环19，连接环19上安装有探针3。

优选的，微调机包括第三转轴27，第三转轴27沿滑动板23滑动的方向穿过竖直板22且与竖直板22间均通过螺纹连接，第三转轴27的一端连接有第三手柄26，另一端连接有轴承28，轴承28上连接有连接环19，连接环19上安装有探针3。

优选的，轴承28包括从外到内依次连接成一体的外圈281、滚动体282和内圈283，内圈283与第三转轴27接触，外圈281与连接环19接触。

优选的，固定机构包括开在操作台16上的多个安装孔20，滑动板23上连接有固定片21，固定片21可通过螺钉与安装孔20连接。

优选的，放物台包括安装在底座1上的放物筒2，放物筒2的顶面安装有放物槽17，放物槽17内安装有放物板18，放物筒2的顶面开有电机槽30，电机槽30内安装有电机31，电机31连接有穿过放物槽17并连接放物板18的第四转轴32。

本实用新型的工作原理为：在本实用新型中，当探针3与芯片间在竖直方向的距离较远时，操作者可以通过第一手柄24旋转第一转轴25，第一转轴25带动齿轮12旋转，由于齿轮12的齿轮12未布满齿轮12的整个圆周面，所以齿轮12会间断的与设置在齿条箱11内部相对两侧面上的齿条13分别啮合，从而使齿条箱11沿第一滑槽14在竖直方向向上或者向下滑动，齿条箱11再依次带动连接板8、操作台16和探针3在竖直方向向上或者向下移动；当探针3离芯片的距离较近时，停止旋转第一转轴25改为通过第二手柄5旋转第二转轴6，由于第二转轴6与顶板7间通过螺纹连接，所以通过转动第二转轴6可以带动操作台16沿第二滑槽9在竖直方向上下缓慢移动，操作台16再带动探针3在竖直方向上下缓慢移动，直到调节好探针3与芯片在竖直方向的位置时，停止旋转第二转轴6。通过转动第一转轴25可以快速带动齿条箱11及探针3上下移动，达到竖直方向快速移动的目的，缩短了在竖直方向调节探针3到芯片间的时间，从而提高了该手动探针3台检测芯片的效率；

当探针3与芯片间在竖直方向的距离较远时，操作者可以通过拧开连接固定片21与操作台16间的螺钉，再推动滑动板23沿第三滑槽29向左或者向右移动，由于操作台16上沿滑动板23滑动的方向开有多个安装孔20，所以当探针3与芯片的距离较近时，停止滑动滑动板23，并通过螺钉将固定板与安装孔20连接起来，即将滑动板23固定在操作台16上；再通过第三手柄26带动第三转轴27旋转，由于第三转轴27与竖直板22间均通过螺纹连接，所以第三转轴27在旋转的同时会沿水平方向缓慢的向左或者向右移动，从而带动连接环19及探针3缓慢的向左或者向右移动，直到调节好探针3与芯片在水平方向的位置时，停止旋转第三转轴27。通过转动第二转轴6可以快速带动连接环19及探针3向左或者向右移动，达到水平方向快速移动的目的，缩短了在水平方向调节探针3到芯片间的时间，从而提高了该手动探针3台检测芯片的效率；

当还需要调节探针3与芯片间的其他位置时，可以启动电机31，电机31旋转带动第四转轴32旋转，第四转轴32旋转带动放物板18旋转，放物板18旋转带动导体芯片旋转，从而可以使探针3对导体芯片的不同位置进行检测，这里第四转轴32与放物槽17可以通过套筒连接，套筒与第四转轴32之间通过螺纹连接，这里电机31为常规的可以在市场上轻易购买到的电机31，故对其具体型号不作限制，由于放物台是可以旋转的，所以探针3可以探测到放物台上不同位置的芯片。

这里由于第三转轴27与连接环19通过轴承28连接，轴承28的内圈283随第四转轴32一起旋转，外圈281不受第四转轴32旋转的影响，所以探针3也不受第四转轴32旋转的影响。综上，通过转动第一转轴25可以快速带动齿条箱11及探针3上下移动，达到探针3在竖直方向快速移动的目的；通过拧开连接在固定片21与操作台16间的螺钉，可以推动滑动板23带动探针3在水平方向快速的移动，从而缩短了调节探针3到芯片处的时间，进而提高了该手动探针3台检测芯片的效率。

如上即为本实用新型的实施例。上述实施例以及实施例中的具体参数仅是为了清楚表述实用新型验证过程，并非用以限制本实用新型发明的专利保护范围，本实用新型的专利保护范围仍然以其权利要求书为准，凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种芯片用的手动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑板(15)，所述支撑板(15)上开有第一滑槽(14)，所述第一滑槽(14)内安装有可沿第一滑槽(14)上下滑动的齿条箱(11)，所述齿条箱(11)内相对两侧面上设有齿条(13)，所述齿条箱(11)内还安装有与齿条(13)可相互啮合的齿轮(12)，所述齿轮(12)的轮齿未布满齿轮(12)的整个圆周面，所述齿条箱(11)上还开有通槽(10)，所述齿轮(12)的轮心连接有依次穿过通槽(10)和支撑板(15)的第一转轴(25)，所述第一转轴(25)的末端连接有第一手柄(24)；所述齿条箱(11)上连接有连接板(8)，所述连接板(8)上开有第一滑槽(14)，所述连接板(8)的顶面安装有顶板(7)，所述顶板(7)被第二转轴(6)穿过，所述第二转轴(6)的上端连接有第二手柄(5)，下端连接有可沿第二滑槽(9)上下滑动的操作台(16)，所述顶板(7)与第二转轴(6)通过螺纹连接；所述操作台(16)上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针(3)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述操作台(16)的顶面开有第三滑槽(29)，所述水平快调机构安装在第三滑槽(29)内，所述水平快调机构包括安装在第三滑槽(29)内且可沿第三滑槽(29)左右滑动的滑动板(23)，所述滑动板(23)上设有固定机构，所述滑动板(23)的顶面安装有竖直板(22)，所述微调机构安装在竖直板(22)上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述微调机包括第三转轴(27)，所述第三转轴(27)沿滑动板(23)滑动的方向穿过竖直板(22)且与竖直板(22)间均通过螺纹连接，所述第三转轴(27)的一端连接有第三手柄(26)，另一端连接有轴承(28)，所述轴承(28)上连接有连接环(19)，所述连接环(19)上安装有探针(3)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于，所述轴承(28)包括从外到内依次连接成一体的外圈(281)、滚动体(282)和内圈(283)，所述内圈(283)与第三转轴(27)接触，所述外圈(281)与连接环(19)接触。

5.根据权利要求2-4任一项所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述固定机构包括开在操作台(16)上的多个安装孔(20)，所述滑动板(23)上连接有固定片(21)，所述固定片(21)可通过螺钉与安装孔(20)连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述放物台包括安装在底座(1)上的放物筒(2)，所述放物筒(2)的顶面安装有放物槽(17)，所述放物槽(17)内安装有放物板(18)，所述放物筒(2)的顶面开有电机槽(30)，所述电机槽(30)内安装有电机(31)，所述电机(31)连接有穿过放物槽(17)并连接放物板(18)的第四转轴(32)。

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