CN113088876A - 掩膜版及其制备方法和蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本公开实施例提供一种掩膜版及其制备方法和蒸镀装置，其中，掩膜版包括：本体；功能结构层，设于本体的一侧表面，功能结构层包括涂料前驱体层，涂料前驱体层包括含氟聚合物以及分散于含氟聚合物中的预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油特性。本公开实施例的技术方案，降低了蒸镀工艺过程中有机材料在掩膜版上附着的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，有利于降低掩膜版的清洗难度，提高蒸镀工艺的加工效率。

Description

掩膜版及其制备方法和蒸镀装置
技术领域
本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜版及其制备方法和蒸镀装置。
背景技术
精细金属掩膜版(Fine Mental Mask，FMM)是OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机电激光显示)屏幕在蒸镀工艺过程中所使用的消耗性核心零部件，用于在OLED屏幕上沉积可以发出红光(R)、绿光(G)、蓝光(B)有机物质以形成像素，并且在预设区域准确且精细地沉积有机物质，以提高屏幕的分辨率和良率。
但是，在进行蒸镀工艺过程中，有机物质容易在掩膜版上大量附着并形成堆积，从而导致有机材料在像素开口处沉积不均匀或者在屏幕上形成异物，并且增加了掩膜版的清洗难度。
发明内容
本公开实施例提供一种掩膜版及其制备方法和蒸镀装置，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。
作为本公开实施例的第一方面，本公开实施例提供一种掩膜版，包括：
本体；
功能结构层，设于本体的一侧表面，功能结构层包括涂料前驱体层，涂料前驱体层包括含氟聚合物以及分散于含氟聚合物中的预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油特性。
在一种实施方式中，涂料前驱体层包括第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层的其中之一，或者，涂料前驱体层包括叠层设置的第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层，且第一涂料前驱体子层邻近本体设置；
其中，第一涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒与含氟聚合物的比例为1:10至1:8；第二涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒与含氟聚合物的比例为1:5至1:3。
在一种实施方式中，微球颗粒的直径为30纳米至100纳米；和/或，
微球颗粒的材质包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅、碳管粉末中的至少一种。
在一种实施方式中，含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯聚合物。
在一种实施方式中，功能结构层还包括微米矩阵图案，微米矩阵图案设于本体的朝向涂料前驱体层一侧表面。
在一种实施方式中，微米矩阵图案包括多个矩形凸起，多个矩形凸起在预设方向上间隔设置，且多个相邻矩形凸起之间的间距在预设方向上递减。
作为本公开实施例的第二方面，本公开实施例提供一种掩膜版的制备方法，其特征在于，包括：
制备涂料前驱体，涂料前驱体具备疏水和/或疏油特性；
将涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成涂料前驱体层。
在一种实施方式中，制备涂料前驱体，包括：
对微球颗粒进行预处理，获得预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油的特性；
将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按预设比例进行混合，制备涂料前驱体。
在一种实施方式中，将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按预设比例进行混合，制备涂料前驱体，包括以下中的至少一项：
将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第一预设比例进行混合，制备第一涂料前驱体，第一预设比例为1:10至1:8；
将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第二预设比例进行混合，制备第二涂料前驱体，第二预设比例为1:5至1:3；
以及，将涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成涂料前驱体层，包括以下中的任一项：
将第一涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成第一涂料前驱体层；
将第二涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成第二涂料前驱体层；
将第一涂料前驱体和第二涂料前驱体依次涂覆在本体的一侧表面，分别形成第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层。
作为本公开实施例的第三方面，本公开实施例提供一种蒸镀装置，包括蒸发源以及位于蒸发源蒸镀方向侧的掩膜版，掩膜版为根据本公开任一种实施方式的掩膜版。
本公开实施例的技术方案，降低了有机材料在掩膜版上附着的概率，从而降低了在屏幕产品的像素开口处由于有机材料的堆积所导致的沉积不均匀以及形成异物的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，还有利于降低掩膜版的清洗难度，提高蒸镀工艺的加工效率。
上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本公开进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。
附图说明
在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本公开范围的限制。
图1示出根据本公开实施例的掩膜版的结构示意图；
图2示出根据本公开实施例的掩膜版的局部结构示意图；
图3示出根据本公开实施例的掩膜版的工作原理示意图；
图4示出根据本公开实施例的掩膜版的本体的结构示意图；
图5示出根据本公开实施例的掩膜版的本体的结构示意图；
图6示出根据本公开实施例的掩膜版的工作原理示意图；
图7示出根据本公开实施例的掩膜版的制备方法的流程图；
图8示出根据本公开实施例的掩膜版的制备方法的制备涂料前驱体的具体流程图。
附图标记说明：
掩膜版1；
本体10；功能结构层10a；微米矩阵图案11；矩形凸起12；
涂料前驱体层20；含氟聚合物21；微球颗粒22。
具体实施方式
在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
图1示出根据本公开实施例的掩膜版1的结构示意图。如图1所示，掩膜版1包括本体10和功能结构层10a。
具体地，功能结构层10a设于本体10的一侧表面，且功能结构层10a被配置为具备疏水和/或疏油特性。
示例性地，掩膜版1的本体10的材质可以包括金属，例如，本体10可以采用殷钢(Invar Steel，一种铁镍合金)材料制备而成。可以理解的是，本体10的材质并不限于殷钢。在其它实施例中，本体的材质可以包括因瓦合金。
具体地，本体10的材质具体可以包括32％-36％的镍元素、60％左右的铁元素、以及少量的S、P、C等元素。可以理解的是，殷钢在常温条件下具有很低的热膨胀系数(约1.6×10^6/℃)，即殷钢随温度的变化变形极小，由此，提高了掩膜版1整体结构的稳定性和可靠性，有利于在蒸镀工艺过程中提高屏幕产品的良率。
功能结构层10a可以具有疏水特性，或者疏油特性，或者同时具有疏水和疏油特性(超双疏结构)。需要说明的是，超双疏结构是基于超疏水的理论建立的，而超疏水理论是根据自然界中的荷叶、水黾、水稻叶等生物的微观表面结构所引申发展出来的。
示例性地，功能结构层10a可以被构造为类“荷叶”的仿生复合微纳结构，从而增大功能结构层10a的表面粗糙度，降低功能结构层10a的表面化学能，使得不同表面张力的液体无法润湿铺展在功能结构层10a的表面，以使功能结构层10a具备疏水和/或疏油的特性。
根据本公开实施例的掩膜版1，通过在本体10的一侧表面设置功能结构层10a，且功能结构层10a被配置为具备疏水和/或疏油特性，可以使掩膜版1具备针对烷烃、苯等具有较低表面张力液体的抗润湿性。由此，在利用本公开实施例的掩膜版1对屏幕产品进行蒸镀工艺的过程中，降低了有机材料在掩膜版1上附着的概率，从而降低了在屏幕产品的像素开口处由于有机材料的堆积所导致的沉积不均匀以及形成异物的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，还有利于降低掩膜版1的清洗难度，从而提高了蒸镀工艺的加工效率。
如图2和图3所示，在一种实施方式中，功能结构层10a包括涂料前驱体层20。涂料前驱体层20包括含氟聚合物21以及分散于含氟聚合物21中的预处理后的微球颗粒22，预处理后的微球颗粒22具备疏水和/或疏油特性。预处理后的微球颗粒22可以增大涂料前驱体层20的表面粗糙度，同时有利于实现功能结构层10a的疏水和/或疏油特性。
示例性地，微球颗粒22占涂料前驱体的质量百分比可以为15％至50％。
示例性地，可以将含氟聚合物21、聚二甲基硅氧烷、聚亚苯基硫醚等，在二甲苯或丙酮对中溶解并混合，以形成含氟聚合物21混合液，再将预处理后的微球颗粒22与含氟聚合物21混合液按照一定比例混合，从而形成涂料前驱体。然后，利用喷涂工艺将涂料前驱体喷涂于本体10的一侧表面，涂料前驱体在高温下干燥固化形成涂料前驱体层20。
其中，微球颗粒22可以预先通过疏水预处理和/或疏油预处理，以使预处理后的微球颗粒22具备疏水和/或疏油特性。
在一个具体示例中，对微球颗粒22进行疏水预处理，可以通过将微球颗粒22加入聚氟硅烷和无水乙醇的混合液(90-98％wt)中搅拌反应4至10小时，然后微球颗粒22进行加热回流分离并干燥，即可使微球颗粒22具备疏水特性。其中，聚硅氧烷具体可以包括聚甲基氢硅氧烷、聚二甲基硅氧烷中的至少一种。
对微球颗粒22进行疏油预处理，可以通过将微球颗粒22加入有机胺溶液(50-70％vol)中分散均匀，然后加入全氟辛酸(20-30％vol)，继续搅拌反应8至12小时，然后将微球颗粒22加热回流分离，即可使微球颗粒22具备特性。其中，全氟辛酸具体可以包括全氟辛酸、全氟辛酸钠、全氟辛酸钾及其混合物等。
优选地，可以对微球颗粒22分别进行疏水预处理和疏油预处理，以使预处理后的微球颗粒22同时具备疏水特性和疏油特性。其中，对微球颗粒22进行疏水预处理和疏油预处理的先后顺序不作具体限定。
需要说明的是，根据Cassie-Baxte理论，液体在表面上的润湿性与表面粗糙度相关。具体地，润湿性与表面粗糙度的关系满足以下公式：
cosθ*＝fslcosθe-flv。
其中，fsl为平行于粗糙表面单位结构(其平面投影面积为1)方向上的液-固界面的面积，flv为平行于粗糙表面单位结构(其平面投影面积为1)方向上的液-气界面的总面积，θ*为液体在实际表面上的接触角，θe为液体在固体表面上的接触角。
根据该公式可知，其中，液体在实际表面上接触角θ*介于0～180°，在一些极端情况下表面呈现出极端润湿现象，θ*～0°的表面称为超亲水表面或超亲油表面，θ*＞150°的表面被称为超疏水表面或超疏油表面。由此，表面粗糙度越大，则液体在实际表面上的接触角越大，并且液体在表面上的润湿性越低。也就是说，表面粗糙度与液体在该表面上的润湿性成反比。
根据上述实施方式，通过将涂料前驱体层20设置为包括含氟聚合物21以及微球颗粒22，一方面，由于含氟聚合物21具有较高的耐热性、化学腐蚀性、耐久性和耐候性，有利于提高功能结构层10a的稳定性、可靠性以及使用寿命。另一方面，由于微球颗粒22均匀分散于含氟聚合物21中，增大了涂料前驱体层20外表面的粗糙度，提高了掩膜版1外表面的表面润湿性，从而降低了有机材料在功能结构层10a上附着的概率。再一方面，通过对微球颗粒22进行预处理，以使微球颗粒22具备疏水和/或疏油特性，可以进一步提高掩膜版1的抗润湿性，从而进一步降低了有机材料在功能结构层10a上附着的概率，并且进一步提高了采用本公开实施例的掩膜版1所制备的屏幕产品的分辨率和良率，降低对掩膜版1的清洗难度。
在一种实施方式中，涂料前驱体层20包括第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层的其中之一，或者，涂料前驱体层20包括叠层设置的第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层，且第一涂料前驱体子层邻近本体10设置。
换而言之，涂料前驱体层20可以仅包括第一涂料前驱体子层；或者，涂料前驱体层20可以仅包括第二涂料前驱体子层；再或者，涂料前驱体层20可以既包括第一涂料前驱体子层又包括第二涂料前驱体子层，其中，第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层叠层设置，且第一涂料前驱体子层位于第二涂料前驱体子层和本体10之间。
其中，第一涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒22与含氟聚合物21的比例为1:10至1:8；第二涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒22与含氟聚合物21的比例为1:5至1:3。
优选地，涂料前驱体层20可以既包括第一涂料前驱体子层又包括第二涂料前驱体子层。其中，第一涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒22与含氟聚合物21的比例为1:9，第二涂料前驱体子层中，预处理后的微球颗粒22与含氟聚合物21的比例为1:4。并且，涂料前驱体层20在涂覆于本体10的一侧表面时，先将第一涂料前驱体涂覆于本体10的一侧表面，以形成第一涂料前驱体子层；然后将第二涂料前驱体涂覆于第一涂料前驱体层20的远离本体10的一侧表面，以形成第二涂料前驱体子层。
可以理解的是，微球颗粒22与含氟聚合物21的比例，决定了涂料前驱体在本体10上的附着性以及所形成的涂料前驱体层20的表面粗糙度。微球颗粒22与含氟聚合物21的比例越小，则涂料前驱体在本体10上的附着性越好，相反地涂料前驱体层20的表面粗糙度越小；微球颗粒22与含氟聚合物21的比例越大，则涂料前驱体在本体10上的附着性越差，相反地涂料前驱体层20的表面粗糙度越大。
根据上述优选的示例，通过将涂料前驱体层20设置为不同混合比例的涂料前驱体子层，且将微球颗粒22与含氟聚合物21的混合比例小的涂料前驱体先涂覆于本体10的一侧表面以形成第一前驱体子层，再将微球颗粒22与含氟聚合物21的混合比例大的涂料前驱体涂覆于第一前驱体子层以形成第二前驱体子层，一方面可以提高涂料前驱体层20与本体10的结合效果，另一方面可以保证涂料前驱体层20具有较大的表面粗糙度。
此外，在本公开的其他示例中，涂料前驱体层20还可以包括两个以上的涂料前驱体子层，多个涂料前驱体子层叠层设置，并且在远离本体10的方向上，不同的涂料前驱体子层中的微球颗粒22与含氟聚合物21的比例逐渐增大。
在一种实施方式中，微球颗粒22的直径为30纳米至100纳米。
可以理解的是，微球颗粒22的直径越小，则微球颗粒22的加工难度越大、加工成本越高，且涂料前驱体层20的表面粗糙度则越小；微球颗粒22的直径越大，则微球颗粒22的加工难度越小、加工成本越低，且涂料前驱体层20的表面粗糙度则越大。
通过将微球颗粒22的直径设置为30纳米至100纳米，可以在保证微球颗粒22的加工难度和加工成本适宜的前提下，尽可能的增大涂料前驱体层20的表面粗糙度。
在一种实施方式中，微球颗粒22的材质包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅、碳管粉末中的至少一种。
优选地，微球颗粒22的材质可以为纳米二氧化硅。可以理解的是，纳米二氧化硅是一种无机化工材料，俗称白炭黑。由于纳米二氧化硅的尺寸为超细纳米级，尺寸范围在1～100nm，纳米二氧化硅为无定形白色粉末，无毒、无味、无污染，微结构为球形，呈絮状和网状的准颗粒结构，分子式和结构式为SiO2，不溶于水。
在一种实施方式中，基于掩膜版1的使用环境和清洗环境，含氟聚合物21包括全氟乙烯丙烯聚合物。
需要说明的是，全氟乙烯丙烯聚合物的熔点为380℃，在200℃左右性能保持不变。并且，通过采用全氟乙烯丙烯聚合物，涂料前驱体经过1000目砂纸摩擦后仍然可以保持较好的性能。
此外，相关技术中采用包括全氟十二烷基三氯硅烷材质的掩膜版1，由于全氟十二烷基三氯硅烷的熔点为11℃左右，并且在蒸镀腔室200℃的工作温度下无法保持其超疏油的特性，因而无法在蒸镀过程中保持稳定结构以避免有机材料在掩膜版1上堆积。
根据上述实施方式，通过采用全氟乙烯丙烯聚合物，可以使涂料前驱体在蒸镀腔室200℃的工作温度下，仍然保持稳定的性能，从而保证了掩膜版1仍然具备较稳定的疏水和/或疏油的特性。
在一种实施方式中，如图3和图4所示，功能结构层10a还包括设于本体10的朝向涂料前驱体层20一侧表面的有微米矩阵图案11。
在本公开的实施例中，可以采用图案化工艺对本体10进行处理，以在本体10的朝向涂料前驱体层20的表面形成微米矩阵图案11。其中，微米矩阵图案11指的是矩阵图案的尺寸在微米级别。
在一个具体示例中，可以利用光刻工艺对本体10的朝向涂料前驱体的表面进行处理，以形成微米矩阵图案11。具体地，可以利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底，制备出粗糙的低表面能的微米矩阵图案11。其中，微米矩阵图案11的平面尺寸为1um*1um。
根据上述实施方式，通过在涂料前驱体的表面设置微米矩阵图案11，可以在一定程度上增大功能结构层10a的表面粗糙度，降低功能结构层10a的表面能，从而进一步提高掩膜版1的疏水和/或疏油特性，降低有机材料在掩膜版1上附着的概率。
在一种实施方式中，如图4至图6所示，微米矩阵图案11包括多个矩形凸起12，多个矩形凸起12在预设方向上间隔设置，且多个相邻矩形凸起12之间的间距d在预设方向上递减。
在一个示例中，如图4所示，多个矩形凸起12可以在预设方向上排列为多行，且每行中的多个矩形凸起12在与预设方向相垂直的方向上间隔设置。
在另一个示例中，如图5所示，多个矩形凸起12可以在本体10的一侧表面上呈棋盘形状交替设置。
可以理解的是，相邻矩形凸起12之间的间距d较小，则其对应区域的表面能越低；相邻矩形凸起12之间的间距d越大，则其对应区域的表面能越高。通过将多个相邻矩形凸起12之间的间距d在预设方向上递减，则矩形图案各区域的表面能沿预设方向呈梯度分布(逐渐减小)，由此，可以使掩膜版1上的液体从高表面能的区域向低表面能的区域流动，即沿图5所示的预设方向向左流动，从而实现对液体导流的目的，避免有机材料的液体在功能结构层10a上附着，进一步提高了掩膜版1的疏水和/疏油的特性。
如图6所示，在一种实施方式中，矩形凸起12的高度h为1微米至2.5微米，相邻矩形凸起12之间的间距d为0.2微米至1微米。
可以理解的是，针对烷烃、苯等具有较低表面张力的液体，其所形成的液滴尺寸通常大于5微米，通过将矩形凸起12的高度h设置为1微米至2.5微米，且相邻矩形凸起12之间的间距d设置为0.2微米至1微米，可以使液滴无法容置于相邻矩形凸起12之间的间隙中，并且，可以使液滴与微米矩阵图案11表面之间的接触角θ大于150度，从而使功能结构层10a的表面形成超疏水表面或超疏油表面，进一步提高了掩膜版1的疏水和/或疏油特性。
下面参照图7和图8描述根据本公开实施例的掩膜版的制备方法。
如图7所示，该方法可以包括：
步骤S11：制备涂料前驱体，涂料前驱体具备疏水和/或疏油特性；
步骤S12：将涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成涂料前驱体层。
示例性地，在步骤S11中，可以通过将微球颗粒与含氟聚合物进行混合，以得到涂料前驱体。可以理解的是，涂料前驱体可以为包括微球颗粒与含氟聚合物的混合液。
其中，微球颗粒可以具备疏水和/或疏油特性，并且多个微球颗粒可以增大涂料前驱体层的表面粗糙度，从而降低掩膜版的表面能，以实现掩膜版的疏水和/或疏油特性。
示例性地，在步骤S12中，可以利用涂覆工艺将涂料前驱体涂覆于本体的一侧表面，并对涂料前驱体在高温下进行干燥固化，以形成涂料前驱体层。
根据本公开实施例的方法，通过将具备疏水和/或疏油特性的涂料前驱体涂覆于本体的一侧表面，以在本体的一侧表面上形成涂料前驱体层，可以使掩膜版具备针对烷烃、苯等具有较低表面张力液体的抗润湿性。由此，在使用该方法设备得到的掩膜版进行蒸镀工艺时，降低了有机材料在掩膜版上附着的概率，从而降低了在屏幕产品的像素开口处由于有机材料的堆积所导致的沉积不均匀以及形成异物的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，还有利于降低掩膜版的清洗难度，从而提高了蒸镀工艺的加工效率。
如图8所示，在一种实施方式中，步骤S11包括：
步骤S111：对微球颗粒进行预处理，获得预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油的特性；
步骤S112：将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按预设比例进行混合，制备涂料前驱体。
示例性地，在步骤S111中，可以利用聚氟硅烷、全氟辛酸等对微球颗粒进行疏水和疏油预处理，以使预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油的特性。
示例性地，在步骤S112中，可以将含氟聚合物、聚二甲基硅氧烷、聚亚苯基硫醚等，在二甲苯或丙酮对中溶解并混合，以形成含氟聚合物混合液，再将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物混合液按照一定比例混合，得到涂料前驱体。
其中，含氟聚合物可以采用全氟乙烯丙烯共聚物，且全氟乙烯丙烯共聚物占含氟聚合物混合液的质量百分比为43％。
根据上述实施方式，通过含氟聚合物和预处理后的微球颗粒进行混合，制备得到涂料前驱体，一方面，由于含氟聚合物具有较高的耐热性、化学腐蚀性、耐久性和耐候性，有利于提高涂料前驱体层的稳定性、可靠性以及使用寿命。另一方面，由于微球颗粒均匀分散于含氟聚合物中，增大了涂料前驱体层外表面的粗糙度，提高了掩膜版外表面的表面润湿性，从而降低了有机材料在掩膜版上附着的概率。
在一种实施方式中，步骤S112包括以下中的至少一项：
将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第一预设比例进行混合，制备第一涂料前驱体，第一预设比例为1:10至1:8；
将预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第二预设比例进行混合，制备第二涂料前驱体，第二预设比例为1:5至1:3。
优选地，第一预设比例可以为，微球颗粒与含氟聚合物的混合比例为1:9。第二预设比例可以为，微球颗粒与含氟聚合物的混合比例为1:4。
可以理解的是，微球颗粒与含氟聚合物的比例，决定了涂料前驱体在本体上的附着性以及所形成的涂料前驱体层的表面粗糙度。微球颗粒与含氟聚合物的比例越小，则涂料前驱体在本体上的附着性越好，相反地涂料前驱体层的表面粗糙度越小；微球颗粒与含氟聚合物的比例越大，则涂料前驱体在本体上的附着性越差，相反地涂料前驱体层的表面粗糙度越大。
在一种实施方式中，步骤S12包括以下中的任一项：
将第一涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成第一涂料前驱体层；
将第二涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成第二涂料前驱体层；
将第一涂料前驱体和第二涂料前驱体依次涂覆在本体的一侧表面，分别形成第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层。
优选地，在步骤S12中，可以将第一涂料前驱体和第二涂料前驱体依次涂覆在本体的一侧表面，分别形成第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层。由此，一方面可以提高涂料前驱体层与本体的结合效果，另一方面可以保证涂料前驱体层具有较大的表面粗糙度。
需要说明的是，在本公开的其他示例中，第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层之间还可以设有其他的涂料前驱体子层，其他的涂料前驱体子层中微球颗粒与含氟聚合物的混合比例介于第一预设比例和第二预设比例之间，并且多个其他的涂料前驱体子层中的微球颗粒与含氟聚合物的混合比例，在远离本体的方向上递增。
在一种实施方式中，步骤S111包括以下中的至少一项：
将微球颗粒加入到聚氟硅烷和无水乙醇的混合液中进行搅拌反应，经过加热回流分离并干燥，获得预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具有疏水特性；
将微球颗粒加入到有机胺溶液中，并加入全氟辛酸，搅拌反应后，经过加热回流分离并干燥，获得预处理后的微球颗粒，预处理后的微球颗粒具有疏油特性。
示例性地，在对微球颗粒进行疏水预处理的过程中，聚硅氧烷可以包括聚甲基氢硅氧烷和聚二甲基硅氧烷中的至少一种。
在对微球颗粒进行疏油预处理的过程中，全氟辛酸具体可以包括全氟辛酸、全氟辛酸钠、全氟辛酸钾中的至少一种。
优选地，可以采用上述步骤对微球颗粒分别进行疏水预处理和疏油预处理，以使预处理后的微球颗粒同时具备疏水特性和疏油特性。其中，对微球颗粒进行疏水预处理和疏油预处理的先后顺序不作具体限定。
根据上述实施方式，通过对微球颗粒进行疏水和/或疏油预处理，以使微球颗粒具备疏水和/或疏油特性，可以进一步提高掩膜版的抗润湿性，从而进一步提高了有机材料在掩膜版上附着的概率。
在一种实施方式中，在步骤S12之前，该方法还包括：
采用图案化工艺在本体的一侧表面形成微米矩阵图案；
对微米矩阵图案进行活化处理；
将涂料前驱体涂覆在活化处理后的微米矩阵图案的表面。
示例性地，可以利用光刻工艺对本体的朝向涂料前驱体的一侧表面进行处理，以形成微米矩阵图案。具体地，可以利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底，制备出粗糙的低表面能的微米矩阵图案。其中，微米矩阵图案的平面尺寸为1um*1um。由此，可以提高本体的表面粗糙度，降低本体的表面能，从而使本体的表面具备一定的疏水和/或疏油功能。
其中，微米矩阵图案中可以包括多个矩形凸起，多个矩形凸起在预设方向上间隔设置，且多个相邻矩形凸起之间的间距在预设方向上递减。由此，可以使在微米矩阵图案上的液滴由高表面能区域向低表面能区域(即沿预设方向)流动，从而使掩膜版具备对液滴进行导流的功能，进一步提高了掩膜版的疏水和/疏油的特性。
示例性地，可以利用聚二甲基硅氧烷、环甲基硅氧烷、氨基硅氧烷、聚甲基苯基硅氧烷、聚醚聚硅氧烷共聚物中的一种或几种，对微米矩阵图案进行活化处理，从而在微米矩阵图案的表面形成活化层。由此，可以提高涂料前驱体在微米矩阵图案表面上的附着性，从而提高涂料前驱体与本体的结合效果，进而提高掩膜版的整体结构的稳定性和可靠性。
作为本公开实施例的第三方面，本公开实施例提供一种蒸镀装置，包括蒸发源以及位于蒸发源蒸镀方向侧的掩膜版，掩膜版为根据本公开任一种实施方式的掩膜版。示例性地，掩膜版的功能结构层可以朝向蒸发源。
根据本公开实施例的蒸镀装置，通过利用根据本公开实施例的掩膜版，降低了有机材料在掩膜版上附着的概率，从而降低了在屏幕产品的像素开口处由于有机材料的堆积所导致的沉积不均匀以及形成异物的概率，提高了屏幕产品的分辨率和良率；并且，还有利于降低掩膜版的清洗难度，从而提高了蒸镀工艺的加工效率。
在本说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本公开的不同结构。为了简化本公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本公开。此外，本公开可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。
以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种掩膜版，其特征在于，包括：
本体；
功能结构层，设于所述本体的一侧表面，所述功能结构层包括涂料前驱体层，所述涂料前驱体层包括含氟聚合物以及分散于所述含氟聚合物中的预处理后的微球颗粒，所述预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油特性。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述涂料前驱体层包括第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层的其中之一，或者，所述涂料前驱体层包括叠层设置的第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层，且所述第一涂料前驱体子层邻近所述本体设置；
其中，所述第一涂料前驱体子层中，所述预处理后的微球颗粒与所述含氟聚合物的比例为1:10至1:8；所述第二涂料前驱体子层中，所述预处理后的微球颗粒与所述含氟聚合物的比例为1:5至1:3。
3.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述微球颗粒的直径为30纳米至100纳米；和/或，
所述微球颗粒的材质包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅、碳管粉末中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯聚合物。
5.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述功能结构层还包括微米矩阵图案，所述微米矩阵图案设于所述本体的朝向所述涂料前驱体层一侧表面。
6.根据权利要求5所述的掩膜版，其特征在于，所述微米矩阵图案包括多个矩形凸起，多个所述矩形凸起在预设方向上间隔设置，且多个相邻所述矩形凸起之间的间距在预设方向上递减。
7.一种掩膜版的制备方法，其特征在于，包括：
制备涂料前驱体，所述涂料前驱体具备疏水和/或疏油特性；
将所述涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成涂料前驱体层。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，制备涂料前驱体，包括：
对微球颗粒进行预处理，获得预处理后的微球颗粒，所述预处理后的微球颗粒具备疏水和/或疏油的特性；
将所述预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按预设比例进行混合，制备涂料前驱体。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，将所述预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按预设比例进行混合，制备涂料前驱体，包括以下中的至少一项：
将所述预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第一预设比例进行混合，制备第一涂料前驱体，所述第一预设比例为1:10至1:8；
将所述预处理后的微球颗粒与含氟聚合物按第二预设比例进行混合，制备第二涂料前驱体，所述第二预设比例为1:5至1:3；
以及，将所述涂料前驱体涂覆在本体的一侧表面，形成涂料前驱体层，包括以下中的任一项：
将所述第一涂料前驱体涂覆在所述本体的一侧表面，形成第一涂料前驱体层；
将所述第二涂料前驱体涂覆在所述本体的一侧表面，形成第二涂料前驱体层；
将所述第一涂料前驱体和所述第二涂料前驱体依次涂覆在所述本体的一侧表面，分别形成第一涂料前驱体子层和第二涂料前驱体子层。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括蒸发源以及位于所述蒸发源蒸镀方向侧的掩膜版，所述掩膜版为权利要求1至6中任一项所述的掩膜版。
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