CN113373421B - 防着板及其制备方法、蒸镀设备 - Google Patents

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Abstract

本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，该防着板包括：基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述基板包括：衬底；间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。该防着板通过凸台排布密度的变化以及疏水疏油涂层的覆盖，形成表面能梯度，使得熔融的蒸镀材料可以从高表面能(凸台排布密度小的)区域流向低表面能(凸台排布密度大的)区域，从而实现定向流动，便于收集与回收蒸镀材料，降低生产成本。

Description

防着板及其制备方法、蒸镀设备
技术领域
本申请涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种防着板及其制备方法、蒸镀设备。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)作为一种新型的纯固体显示技术，具备之前的技术优势，并具有独特的自发光、超轻薄、响应快、宽视角等优点被广泛关注，OLED显示技术已被广泛的研究、生产。OLED显示屏中有机发光层的制备，通常是采用真空蒸镀技术，在蒸镀腔室内，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其蒸发并沉积在目标面板上，但是工艺过程中，蒸发的蒸镀材料只有极少数(2％左右)沉积在目标面板上，剩余的约98％的蒸镀材料会沉积在蒸镀腔室的腔壁上，不仅污染了蒸镀腔室，而且造成大量的蒸镀材料的浪费，增加了生产成本。
发明内容
针对上述问题，本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，解决了现有技术中大部分蒸镀材料附着在了蒸镀腔室内部的造成材料浪费、增加生产成本的技术问题。
第一方面，本申请提供一种防着板，包括基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；
其中，所述基板包括：
衬底；
间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；
其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。
在一些实施例中，上述防着板中，所述多个凸台呈阵列排布。
在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层的材料包括含氟聚合物和分散于所述含氟聚合物中的纳米微球。
在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层；
其中，所述第一功能层中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二功能层中所述纳米微球的质量百分比。
在一些实施例中，上述防着板中，所述第二功能层中，所述纳米微球的质量百分比为15％至50％。
在一些实施例中，上述防着板中，所述纳米微球至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。
在一些实施例中，上述防着板中，所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。
在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层上表面对水的接触角大于150°，对油的接触角大于150°。
第二方面，本申请提供一种防着板的制备方法，包括：
提供基板；其中，所述基板包括衬底以及间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐减大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；
对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板；
形成疏水疏油前驱体；
将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。
在一些实施例中，上述防着板的制备方法中，对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板，包括以下步骤：
采用表面活性剂对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板。
在一些实施例中，上述防着板的制备方法中，形成疏水疏油前驱体，包括以下步骤：
提供纳米微球，并对所述纳米微球进行疏水预处理和疏油预处理，得到疏水疏油的所述纳米微球；
提供含氟聚合物，并将所述含氟聚合物溶解于有机溶剂中，得到所述含氟聚合物的混合液；
将疏水疏油的所述纳米微球与所述含氟聚合物的混合液混合，得到疏水疏油前驱体。
在一些实施例中，上述防着板的制备方法中，所述疏水疏油前驱体包括第一前驱体和第二前驱体；
其中，所述第一前驱体中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二前驱体中所述纳米微球的质量百分比。
在一些实施例中，上述防着板的制备方法中，所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层；
将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层，包括以下步骤：
将所述第一前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖于所述基板上表面的所述第一功能层；
将所述第二前驱体涂覆于所述第一功能层上表面，形成覆盖于所述第一功能层上表面的所述第二功能层。
第二方面，本申请提供一种蒸镀设备，包括：
蒸镀腔室；
坩埚，设置于所述蒸镀腔室内，用于放置蒸镀材料；
如第一方面中任一项所述的防着板或者利用如第二方面中任一项所述的制备方法所制备的防着板，设置于所述蒸镀腔室内，且所述防着板位于所述蒸镀腔室的腔壁与所述坩埚之间；
回收容器，设置于所述蒸镀腔室内且位于所述防着板的端部，用于收集附着在所述防着板上的所述蒸镀材料；
其中，所述防着板的基板中，多个凸台在衬底上方的排布密度沿朝向所述回收容器的方向逐渐增大。
在一些实施例中，上述蒸镀设备中，还包括：加热板，位于所述蒸镀腔室外侧并与所述防着板对应设置，用于加热所述防着板。
采用上述技术方案，至少能够达到如下技术效果：
本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，该防着板包括：基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述基板包括：衬底；间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。该防着板通过凸台排布密度的变化以及疏水疏油涂层的覆盖，形成表面能梯度，使得熔融的蒸镀材料可以从高表面能(凸台排布密度小的)区域流向低表面能(凸台排布密度大的)区域，从而实现定向流动，便于收集与回收蒸镀材料，降低生产成本。
附图说明
附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：
图1是一种蒸镀设备的结构示意图；
图2是本申请一示例性实施例示出的一种防着板的立体结构示意图；
图3是本申请一示例性实施例示出的一种防着板上液滴定向流动示意图；
图4是本申请一示例性实施例示出的一种防着板的局部剖面结构示意图；
图5是本申请一示例性实施例示出的一种防着板的制备方法流程示意图；
图6是本申请一示例性实施例示出的一种蒸镀设备的结构示意图。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，附图并未按照实际的比例绘制；
附图标记为：
10-蒸镀设备；11-防着板；12-蒸镀腔室；13-坩埚；141-蒸镀材料；142-蒸镀材料；15-目标面板；16-精细金属掩膜版；20-蒸镀设备；21-防着板；211-基板；2111-衬底；2112-凸台；212-疏水疏油涂层；2121-纳米微球；2122-含氟聚合物；22-蒸镀腔室；23-坩埚；24-回收容器；25-加热板；26-蒸镀材料。
具体实施方式
以下将结合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，借此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题，并达到相应技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。本申请实施例以及实施例中的各个特征，在不相冲突前提下可以相互结合，所形成的技术方案均在本申请的保护范围之内。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。
应理解，尽管可使用术语“第一”、“第二”、“第三”等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本申请教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。
应理解，空间关系术语例如“在...上方”、位于...上方”、“在...下方”、“位于...下方”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下方”的元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下方”和“在...下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。
在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本申请的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
这里参考作为本申请的理想实施例(和中间结构)的示意图的横截面图来描述本申请的实施例。这样，可以预期由于例如制备技术和/或容差导致的从所示形状的变化。因此，本申请的实施例不应当局限于在此所示的区的特定形状，而是包括由于例如制备导致的形状偏差。
为了彻底理解本申请，将在下列的描述中提出详细的结构以及步骤，以便阐释本申请提出的技术方案。本申请的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本申请还可以具有其他实施方式。
一种蒸镀设备10，如图1所示，包括防着板11、蒸镀腔室12和坩埚13。其中，坩埚13设置于所述蒸镀腔室12内，用于放置蒸镀材料141。防着板11设置于所述蒸镀腔室12内，并且所述防着板11位于所述蒸镀腔室12的腔壁与所述坩埚13之间，在蒸镀工艺过程中，防着板11可以作为防止蒸镀材料污染腔室内部的防护装置，用于在蒸镀工艺过程中防止蒸镀材料141污染蒸镀腔室12，对蒸镀腔室12的腔壁起保护作用。蒸镀工艺过程中，通过加热坩埚13中的蒸镀材料141，使其蒸发并通过精细金属掩膜版16沉积在目标面板15上。虽然防着板11防止了蒸镀腔室12倍蒸镀材料污染，但是大部分蒸镀材料142附着在防着板11上，仍然造成了材料的浪费，生产成本没有有效降低，如果能够利用开发这类材料，将会带来巨大的经济效益，并且大幅降低生产成本。
本申请实施例提供一种防着板21，可以应用于显示面板的蒸镀工艺，请参阅图2，该防着板21包括基板211以及覆盖基板211上表面的疏水疏油涂层212。
其中，基板211包括：衬底2111，以及间隔设置于衬底2111上方的多个凸台2112。多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿预设方向(图中箭头所指方向)逐渐增大；凸台2112的尺寸以及任意相邻两个凸台2112之间的间距均为微米级；疏水疏油涂层212的厚度小于凸台2112的高度。
由于凸台2112的尺寸以及任意相邻两个凸台2112之间的间距均为微米级，且蒸镀材料液滴的尺寸一般都在微米级或大于微米级，所以蒸镀材料液滴与基板21上表面的实际接触面积很小，可以在凸台2112之间的间隙位置处形成液-气界面，如图3所示。
多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿预设方向逐渐增大，即多个凸台2112在衬底2111上方的排布间距沿预设方向逐渐减小，再加上基板211表面疏水疏油涂层212的涂覆，使得基板211上凸台2112密度小的区域，基板211的表面能高；基板211上凸台2112密度大的区域，基板211的表面能低，从而导致附着在基板211表面的液滴(比如蒸镀材料液滴)可以从高表面能区域流向低表面能区域，从而实现定向流动，如图3所示。所以，上述凸台2112排布密度逐渐增大的预设方向即为附着在防着板21上的液滴的定向流动方向，通过疏水疏油涂层212和微米凸台2112结构的设计，可形成具有定向导流功能的防着板21。
在一些实施例中，多个凸台2112呈阵列排布。
在一些实施例中，凸台2112的形状可以为长方体、圆柱体等形状。
在一些实施例中，多个凸台2112的形成可以通过光刻等图案化工艺。
在一些实施例中，如图3和4所示，疏水疏油涂层212的材料包括纳米微球2121和含氟聚合物2122，纳米微球2121分散于含氟聚合物2122中。其中，含氟聚合物2122耐热性好，所以该疏水疏油涂层212可以适用于蒸镀等高温工艺。
含氟聚合物2122包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚，含氟聚合物2122可溶解于二甲苯或丙酮等有机溶剂中溶解之后再与纳米微球2121混合。
在一些实施例中，疏水疏油涂层212包括依次层叠设置于基板211上表面的第一功能层(图中未标注)和第二功能层(图中未标注)。
第一功能层覆盖基板211上表面，第二功能层覆盖第一功能层上表面；其中，第一功能层中纳米微球2121的质量百分比小于第二功能层中纳米微球2121的质量百分比。
纳米微球2121含量较小的第一功能层起到过渡作用，由于基板211表面与纳米微球2121含量较大的第二功能层之间的附着力较小，第二功能层不能很牢固地附着在基板211表面，而第一功能层与基板211表面和第二功能层的附着力都适中，所以通过第一功能层的过渡，疏水疏油涂层212就能很牢固地附着在基板211表面。
在一些实施例中，可以通过第二功能层中纳米微球2121含量的调控，使得疏水疏油涂层212上表面对水的接触角大于150°，对油的接触角大于150°，实现超双疏。
防着板21由于表面构造的类“荷叶”的仿生复合微纳结构，增大了表面粗糙度从而降低防着板21的表面化学能，使得不同表面张力的液体无法润湿铺展在所修饰的样品表面，达到超疏水超疏油目的。同时，通过多级粗糙表面设计(凸台2112)和低表面能化学物质(疏水疏油涂层212)构造出一种微纳复合的结构，使其实现对所有的液体具有优异的抗润湿性，并通过优化设计，增大了涂料在金属表面的附着力，提高了疏水疏油涂层212的耐摩擦磨损性能，由于凸台2112排布密度的变化，构造出的表面能梯度分布的微纳结构，可以引导液体沿着指定方向集流，从而实现蒸镀材料的收集。
可以将粗糙不均匀的基板211表面设想为一个复合表面，即液滴在粗糙表面上的接触是一种复合接触，当表面结构疏水性较强时，在疏水表面上的液滴并不能填满粗糙表面上的凹槽(表面上纳米微球2121之间的间隙，以及凸台2112之间的间隙)，在液滴下将有截留的空气存在，于是表观上的液-固接触面其实由固体和气体共同组成，由此Cassie-Baxter润湿方程给出了表面粗糙度与润湿性的关系：
cos θ*＝fsl cos θe-flv；
其中，θ*为液滴在防着板21表面上的接触角，θe为纳米微球2121的接触角。fsl和flv分别是平行于粗糙表面单位结构方向上的液-固界面总面积占比和液-气界面总面积占比(总面积占比和fsl+flv＝1)。
在表面粗糙度和表面化学的双重作用下，液体在实际表面上接触角θ*介于0～180°，在一些极端情况下表面呈现出极端润湿现象，θ*～0°的表面称为超亲水表面或超亲油表面，θ*>150°的表面被称为超疏水表面或超疏油表面。所以根据此模型，通过纳米微球2121和基板211上凸台2112的设置，可以制备设计出粗糙表面可以降低液体的表面润湿性，通过微纳复合结构的构造，可以进一步降低表面张力较低的油的在金属表面的润湿性，达到超双疏的特点。
上述疏水疏油涂层212类似于自然界中的荷叶、水黾、水稻叶等生物的微观表面结构，由于油是低表面张力的非极性液体，容易润湿铺展在物体表面，本实施例根据超疏水理论的完善和微纳尺度的优化，对于油一类的低表面张力的非极性液体也有了新的突破，可以通过构造的表面微结构来实现超双疏的特性，在这个基础上，可以通过设计超疏表面的微纳构造，就可以实现液滴由高表面能到低表面能的定向移动从而实现定向导流的目的。
在一些实施例中，第二功能层中，纳米微球2121的质量百分比为15％-50％。
在一些实施例中，第二功能层中，纳米微球2121与含氟聚合物2122的质量比为1:4(纳米微球2121的质量百分比为20％)。
在一些实施例中，第一功能层中，纳米微球2121与含氟聚合物2122的质量比为1:9(纳米微球2121的质量百分比为10％)。
在一些实施例中，纳米微球2121至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。
在一些实施例中，纳米微球2121的粒径在30nm～100nm之间。
在一些实施例中，纳米微球2121预先通过氟硅烷、全氟辛酸进行疏水和疏油预处理。
在一些实施例中，含氟聚合物2122包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。
在一些实施例中，含氟聚合物2122中全氟乙烯丙烯共聚物的质量百分比为43％。
本申请实施例提供的防着板21，通过凸台2112排布密度的变化以及疏水疏油涂层212的覆盖，形成表面能梯度，使得附着在防着板21上的液滴可以从高表面能(排布密度小的)区域流向低表面能(排布密度大的)区域，从而实现定向流动，便于收集与回收附着在防着板21上的液滴。
请参阅图5，本申请实施例还提供的一种防着板21的制备方法，包括以下步骤：
步骤S110：提供基板211；其中，基板211包括衬底2111以及间隔设置于衬底2111上方的多个凸台2112；多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿预设方向逐渐减大；凸台2112的尺寸以及任意相邻两个凸台2112之间的间距均为微米级。
多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿预设方向逐渐增大，即多个凸台2112在衬底2111上方的排布间距沿预设方向逐渐减小。
在一些实施例中，多个凸台2112呈阵列排布。
在一些实施例中，多个凸台2112的形成可以通过光刻等图案化工艺，利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底2111上，即在衬底2111上方形成了多个间隔设置的凸台2112。
步骤S120：对基板211的上表面进行活化处理，得到活化的基板211。
在一些实施例中，采用表面活性剂对基板211的上表面进行活化处理，提高基板211的上表面的粘附力，以便后续的疏水疏油涂层212更好的附着。
在一些实施例中，表面活性剂至少包括聚二甲基硅氧烷、环甲基硅氧烷、氨基硅氧烷、聚甲基苯基硅氧烷、聚醚聚硅氧烷共聚物中的一种。
步骤S130：形成疏水疏油前驱体。
在一些实施例中，步骤S130具体包括：
S132：提供纳米微球2121，并对纳米微球2121进行疏水预处理和疏油预处理，得到疏水疏油的纳米微球2121；
S134：提供含氟聚合物2122，并将含氟聚合物2122溶解于有机溶剂中，得到含氟聚合物2122的混合液；
S136：将疏水疏油的纳米微球2121与含氟聚合物2122的混合液混合，得到疏水疏油前驱体。
在一些实施例中，纳米微球2121至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。
在一些实施例中，纳米微球2121的疏水预处理，具体包括将纳米微球2121如纳米二氧化硅(质量百分比2～10％)加入聚氟硅烷和无水乙醇的混合液(质量百分比90～98％)中搅拌反应4～10h，将处理后的纳米微球2121进行加热回流分离并干燥即可得到疏水纳米微球2121。
纳米微球2121的疏油预处理，具体包括将纳米二氧化硅加入有机胺溶液(体积百分比50～70％)中分散均匀，然后加入全氟辛酸(体积百分比20～30％)，继续搅拌反应8～12h，将所得纳米微球2121加热回流分离得到疏油纳米微球2121。
全氟辛酸，具体可以至少包括全氟辛酸、全氟辛酸钠、全氟辛酸钾中的一种。
在一些实施例中，含氟聚合物2122包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。
在一些实施例中，含氟聚合物2122中全氟乙烯丙烯共聚物的质量百分比为43％。
在一些实施例中，含氟聚合物2122溶解于二甲苯或丙酮等有机溶剂中，以得到含氟聚合物2122的混合液。
疏水疏油前驱体包括第一前驱体和第二前驱体两种；
其中，第一前驱体中纳米微球2121的质量百分比小于第二前驱体中纳米微球2121的质量百分。
在一些实施例中，第二前驱体中，纳米微球2121的质量百分比为15％-50％。
在一些实施例中，第二前驱体中，纳米微球2121与含氟聚合物2122的质量比为1:4(纳米微球2121的质量百分比为20％)。
在一些实施例中，第一前驱体中，纳米微球2121与含氟聚合物2122的质量比为1:9(纳米微球2121的质量百分比为10％)。
步骤S140：将疏水疏油前驱体涂覆于活化的基板211上表面，形成覆盖基板211上表面的疏水疏油涂层212；其中，疏水疏油涂层212的厚度小于凸台2112的厚度。
在一些实施例中，涂覆方式是使用喷涂法将涂料前驱体喷涂在基底层上，然后在高温下干燥固化形成超双疏层。最终得到的防着板21的结构如图2所示。
多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿预设方向逐渐增大，即多个凸台2112在衬底2111上方的排布间距沿预设方向逐渐减小，再加上基板211表面疏水疏油涂层212的涂覆，使得基板211上凸台2112密度小的区域，基板211的表面能大；基板211上凸台2112密度大的区域，基板211的表面能小，从而导致附着在基板211表面的液滴(比如蒸镀材料液滴)可以从高表面能区域流向低表面能区域，从而实现定向流动，所以上述凸台2112排布密度逐渐增大的预设方向即为附着在防着板21上的液滴的定向流动方向。
在一些实施例中，步骤S140，包括以下步骤：
S142：将第一前驱体涂覆于活化的基板211上表面，以形成覆盖于基板211上表面的第一功能层；
S144：将第二前驱体涂覆于第一功能层上表面，以形成覆盖于第一功能层上表面的第二功能层。
得到的疏水疏油涂层212包括覆盖基板211上表面的第一功能层和覆盖第一功能层上表面的第二功能层。
纳米微球2121含量较小的第一功能层起到过渡作用，由于基板211表面与纳米微球2121含量较大的第二功能层之间的附着力较小，第二功能层不能很牢固地附着在基板211表面，而第一功能层与基板211表面和第二功能层的附着力都适中，所以通过第一功能层的过渡，疏水疏油涂层212就能很牢固地附着在基板211表面。
请参阅图6，本申请实施例还提供的一种蒸镀设备20，包括：蒸镀腔室22、坩埚23、上述任一实施例的防着板21或利用上述任一实施例的制备方法所制备的防着板21，以及回收容器24。
蒸镀腔室22，是由壳体围成的真空腔室。
坩埚23，设置于蒸镀腔室22内，用于放置蒸镀材料26。
防着板21，设置于蒸镀腔室22内，并且防着板21位于蒸镀腔室22的腔壁与坩埚23之间。
回收容器24，设置于蒸镀腔室22内且位于防着板21端部，用于收集附着在防着板21上的蒸镀材料26。
其中，防着板21的基板211中，多个凸台2112在衬底2111上方的排布密度沿朝向回收容器24的方向逐渐增大。
在一些实施例中，蒸镀腔室22顶部的防着板21的凸台2112排布密度增大方向可以朝向真空腔室的侧壁，侧壁的防着板21的凸台2112排布密度增大方向向下，即顶部的蒸镀材料26液滴先流向蒸镀腔室22侧壁，再通过蒸镀腔室22侧壁的防着板21，向下流动，流至设置于蒸镀腔室22底部的回收容器24内。
在一些实施例中，蒸镀设备20还包括：加热板25，位于蒸镀腔室22外侧并与防着板21对应设置，用于加热防着板21，以熔化附着在防着板21上的蒸镀材料26。
通过加热板加热防着板21，使附着的蒸镀材料26达到熔点，使得熔融状态的蒸镀材料26可以通过防着板21的定向导流作用，流至回收容器24中。
该蒸镀设备20通过上述具有疏水疏油涂层和微米凸台结构、可定向导流的防着板21，使得附着在防着板21的蒸镀材料26定向流动至回收容器24中，从而实现蒸镀材料26的收集与回收，大大降低了生产成本。
以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。虽然本申请所公开的实施方式如上，但的内容只是为了便于理解本申请而采用的实施方式，并非用以限定本申请。任何本申请所属技术领域内的技术人员，在不脱离本申请所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本申请的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (15)

1.一种防着板，其特征在于，包括基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；
其中，所述基板包括：
衬底；
间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；
其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。
2.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述多个凸台呈阵列排布。
3.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述疏水疏油涂层的材料包括含氟聚合物和分散于所述含氟聚合物中的纳米微球。
4.根据权利要求3所述的防着板，其特征在于，所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层；
其中，所述第一功能层中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二功能层中所述纳米微球的质量百分比。
5.根据权利要求4所述的防着板，其特征在于，所述第二功能层中，所述纳米微球的质量百分比为15％至50％。
6.根据权利要求3所述的防着板，其特征在于，所述纳米微球至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。
7.根据权利要求3所述的防着板，其特征在于，所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。
8.根据权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述疏水疏油涂层上表面对水的接触角大于150°，对油的接触角大于150°。
9.一种防着板的制备方法，其特征在于，包括：
提供基板；其中，所述基板包括衬底以及间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐减大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；
对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板；
形成疏水疏油前驱体；
将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板，包括以下步骤：
采用表面活性剂对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板。
11.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，形成疏水疏油前驱体，包括以下步骤：
提供纳米微球，并对所述纳米微球进行疏水预处理和疏油预处理，得到疏水疏油的所述纳米微球；
提供含氟聚合物，并将所述含氟聚合物溶解于有机溶剂中，得到所述含氟聚合物的混合液；
将疏水疏油的所述纳米微球与所述含氟聚合物的混合液混合，得到疏水疏油前驱体。
12.根据权利要求11所述的制备方法，其特征在于，所述疏水疏油前驱体包括第一前驱体和第二前驱体；
其中，所述第一前驱体中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二前驱体中所述纳米微球的质量百分比。
13.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层；
将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层，包括以下步骤：
将所述第一前驱体涂覆于活化的所述基板上表面，形成覆盖于所述基板上表面的所述第一功能层；
将所述第二前驱体涂覆于所述第一功能层上表面，形成覆盖于所述第一功能层上表面的所述第二功能层。
14.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：
蒸镀腔室；
坩埚，设置于所述蒸镀腔室内，用于放置蒸镀材料；
如权利要求1至8中任一项所述的防着板或者利用如权利要求9至13中任一项所述的制备方法所制备的防着板，设置于所述蒸镀腔室内，且所述防着板位于所述蒸镀腔室的腔壁与所述坩埚之间；
回收容器，设置于所述蒸镀腔室内且位于所述防着板的端部，用于收集附着在所述防着板上的所述蒸镀材料；
其中，所述防着板的基板中，多个凸台在衬底上方的排布密度沿朝向所述回收容器的方向逐渐增大。
15.根据权利要求14所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：
加热板，位于所述蒸镀腔室外侧并与所述防着板对应设置，用于加热所述防着板。
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