CN113083742A - 一种wafer片频率自动分选机 - Google Patents

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Abstract

一种WAFER片频率自动分选机，包括机架，机架上设置有工作台，工作台上一侧摆放有物料盒，工作台上还设置有频率测试装置，物料盒旁设置有晶圆取料机械臂，工作台上设置有一条与物料盒呈垂直关系的导轨，导轨位于工作台一端边缘，导轨上设置有晶圆移动装置，导轨内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置、测试平台和出口晶圆校正装置，三者均与导轨平行，出口晶圆校正装置处设置有与其垂直的收纳盒，收纳盒旁设置有与晶圆取料机械臂结构相同的晶圆放料机械臂，测试平台前方设置有频率测试装置。

Description

一种WAFER片频率自动分选机
技术领域
本发明涉及一种石英WAFER片加工设备技术领域，具体指一种WAFER片频率自动分选机。
背景技术
随着电子行业的高速发展，石英晶片的使用越来越普遍。但是石英WAFER片的频率分选显得很麻烦，往往需要人工测试WAFER片的频率，涉及取料、摆放、测试、放料等等步骤，人工操作显得效率低下，费时费力，经济效益低。
发明内容
本发明的目的是克服现技术中存在的缺陷和不足，提供一种结构简单、使用方便、分选效率高、能够对WAFER片实现自动化频率分选的一种WAFER片频率分选机。
为实现以上目的，本发明的技术解决方案是：一种WAFER片频率自动分选机，包括机架，所述机架上设置有工作台，工作台上一侧摆放有物料盒，工作台上还设置有频率测试装置，其特征在于：所述物料盒旁设置有晶圆取料机械臂，工作台上设置有一条与物料盒呈垂直关系的导轨，导轨位于工作台一端边缘，导轨上设置有晶圆移动装置，导轨内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置、测试平台和出口晶圆校正装置，三者均与导轨平行，出口晶圆校正装置处设置有与其垂直的收纳盒，收纳盒旁设置有与晶圆取料机械臂结构相同的晶圆放料机械臂，测试平台前方设置有频率测试装置。
所述晶圆移动装置包括机械手，机械手通过连接装置固定在导轨上，机械手包含两个左右对称的真空吸嘴。
所述晶圆取料机械臂包括一条固定在工作台上的一号滑轨，一号滑轨上通过连接装置固定有取料板，取料板通过三组取料电机来实现X、Y、Z三个方向的移动。
所述进口晶圆校正装置和出口晶圆校正装置结构相同，进口晶圆校正装置顶部一角设置有方形凸台，方形凸台一侧设置有L型的直角推板，直角推板通过固定组件固定在二号滑轨上，固定组件包括固定板和与二号滑轨垂直的连杆，连杆与位于进口晶圆校正装置顶部的气缸的活塞杆垂直相连。
所述测试平台顶部由下往上设置有绝缘块和测试电极。
所述频率测试装置包括一条指向测试平台的三号滑轨，三号滑轨上通过连接装置固定有测试探头，测试探头通过三组测试电机来实现X、Y、Z三个方向的移动。
所述工作台上设置有中空的方形支架，方形支架顶部设置有微型电脑和显示器。
本发明相比现有技术，具有以下有益效果：
1、本设计中将WAFER片放入物料盒中，晶圆取料机械臂从物料盒中利用取料板将WAFER片取出放到进口晶圆校正装置上进行定位，晶圆移动装置上的真空吸嘴将定位完成的WAFER片移动到测试平台上的测试电极上，频率测试装置测量出WAFER片的频率，晶圆移动装置上的另一个真空吸嘴将测试完成的WAFER片移动到右侧的出口晶圆校正装置上定位，右侧的晶圆放料机械臂将定位完成的WAFER取出并根据测试结果放入不同档位的收纳盒中，整个频率分选过程全部实现自动化操作，结构简单，使用方便，取消了人工操作，提升了生产效率。
2、本设计中工作台上设置有中空的方形支架，方形支架顶部设置有微型电脑和显示器，测试探头得到的测试数据将会通过微型电脑反映在显示器上，方便操作人员掌握具体测试信息。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明中工作台上的布局图；
图3是本发明中频率测试装置的结构示意图；
图4是本发明中晶圆移动装置的结构示意图；
图5是本发明中进口晶圆校正装置的结构示意图；
图6是本发明中进口晶圆校正装置的俯视图；
图7是本发明中测试平台的结构示意图；
图8是本发明中晶圆取料机械臂的结构示意图。
图中：机架1，工作台101，物料盒2，频率测试装置3，三号滑轨31，测试探头32，测试电机33，导轨4，晶圆移动装置5，机械手51，真空吸嘴52，进口晶圆校正装置6，方形凸台61，直角推板62，固定板63，连杆64，二号滑轨65，气缸66，测试平台7，绝缘块71，测试电极72，出口晶圆校正装置8，收纳盒9，晶圆取料机械臂10，一号滑轨102，取料板103，取料电机104，方形支架11，微型电脑111，显示器112，晶圆放料机械臂12。
具体实施方式
以下结合附图说明和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
参见图1至图8，一种WAFER片频率自动分选机，包括机架1，所述机架1上设置有工作台101，工作台101上一侧摆放有物料盒2，工作台101上还设置有频率测试装置3，所述物料盒2旁设置有晶圆取料机械臂10，工作台101上设置有一条与物料盒2呈垂直关系的导轨4，导轨4位于工作台101一端边缘，导轨4上设置有晶圆移动装置5，导轨4内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置6、测试平台7和出口晶圆校正装置8，三者均与导轨4平行，出口晶圆校正装置8处设置有与其垂直的收纳盒9，收纳盒9旁设置有与晶圆取料机械臂10结构相同的晶圆放料机械臂12，测试平台7前方设置有频率测试装置3。
所述晶圆移动装置5包括机械手51，机械手51通过连接装置固定在导轨4上，机械手51包含两个左右对称的真空吸嘴52。
所述晶圆取料机械臂10包括一条固定在工作台101上的一号滑轨102，一号滑轨102上通过连接装置固定有取料板103，取料板103通过三组取料电机104来实现X、Y、Z三个方向的移动。
所述进口晶圆校正装置6和出口晶圆校正装置8结构相同，进口晶圆校正装置6顶部一角设置有方形凸台61，方形凸台61一侧设置有L型的直角推板62，直角推板62通过固定组件固定在二号滑轨65上，固定组件包括固定板63和与二号滑轨65垂直的连杆64，连杆64与位于进口晶圆校正装置6顶部的气缸66的活塞杆垂直相连。
所述测试平台7顶部由下往上设置有绝缘块71和测试电极72。
所述频率测试装置3包括一条指向测试平台7的三号滑轨31，三号滑轨31上通过连接装置固定有测试探头32，测试探头32通过三组测试电机33来实现X、Y、Z三个方向的移动。
所述工作台101上设置有中空的方形支架11，方形支架11顶部设置有微型电脑111和显示器112。
使用时，将WAFER片放入物料盒2中，晶圆取料机械臂10包括一号滑轨102和三个取料电机104，取料板103从物料盒2中将WAFER片取出后在三个取料电机104的控制下，沿着X、Y、Z三个轴移动，继而将WAFER片放到进口晶圆校正装置6的方形凸台61上，利用气缸66推动连杆64进而带动直角推板62向方形凸台61的直角处推进，即将WAFER片推进到方形凸台61的中心位置进行定位，定位完成后，晶圆移动装置5上的真空吸嘴52将定位完成的WAFER片移动到测试平台7上的测试电极72上，频率测试装置3上的测试探头32在三个方向的测试电机33的带动下不断沿X、Y、Z三轴移动，以测量出WAFER片的频率，测量完成后，晶圆移动装置5上的另一个真空吸嘴52将测试完成的WAFER片移动到右侧的出口晶圆校正装置8上定位，右侧的晶圆放料机械臂12将完成定位的WAFER取出并根据测试结果放入不同档位的收纳盒9中，整个频率分选过程全部实现自动化操作，结构简单，使用方便，取消了人工操作，提升了生产效率。本设计中工作台101上设置有中空的方形支架11，方形支架11顶部设置有微型电脑111和显示器112，测试探头32得到的测试数据将会通过微型电脑111反映在显示器112上，方便操作人员掌握具体测试信息。本发明结构简单、使用方便、分选效率高、能够对WAFER片实现自动化频率分选。

Claims (7)

1.一种WAFER片频率自动分选机，包括机架（1），所述机架（1）上设置有工作台（101），工作台（101）上一侧摆放有物料盒（2），工作台（101）上还设置有频率测试装置（3），其特征在于：所述物料盒（2）旁设置有晶圆取料机械臂（10），工作台（101）上设置有一条与物料盒（2）呈垂直关系的导轨（4），导轨（4）位于工作台（101）一端边缘，导轨（4）上设置有晶圆移动装置（5），导轨（4）内侧沿导轨方向依次设置有进口晶圆校正装置（6）、测试平台（7）和出口晶圆校正装置（8），三者均与导轨（4）平行，出口晶圆校正装置（8）处设置有与其垂直的收纳盒（9），收纳盒（9）旁设置有与晶圆取料机械臂（10）结构相同的晶圆放料机械臂（12），测试平台（7）前方设置有频率测试装置（3）。
2.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述晶圆移动装置（5）包括机械手（51），机械手（51）通过连接装置固定在导轨（4）上，机械手（51）包含两个左右对称的真空吸嘴（52）。
3.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述晶圆取料机械臂（10）包括一条固定在工作台（101）上的一号滑轨（102），一号滑轨（102）上通过连接装置固定有取料板（103），取料板（103）通过三组取料电机（104）来实现X、Y、Z三个方向的移动。
4.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述进口晶圆校正装置（6）和出口晶圆校正装置（8）结构相同，进口晶圆校正装置（6）顶部一角设置有方形凸台（61），方形凸台（61）一侧设置有L型的直角推板（62），直角推板（62）通过固定组件固定在二号滑轨（65）上，固定组件包括固定板（63）和与二号滑轨（65）垂直的连杆（64），连杆（64）与位于进口晶圆校正装置（6）顶部的气缸（66）的活塞杆垂直相连。
5.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述测试平台（7）顶部由下往上设置有绝缘块（71）和测试电极（72）。
6.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述频率测试装置（3）包括一条指向测试平台（7）的三号滑轨（31），三号滑轨（31）上通过连接装置固定有测试探头（32），测试探头（32）通过三组测试电机（33）来实现X、Y、Z三个方向的移动。
7.根据权利要求1所述的一种WAFER片频率自动分选机，其特征在于：所述工作台（101）上设置有中空的方形支架（11），方形支架（11）顶部设置有微型电脑（111）和显示器（112）。
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