CN113074923A - 用于抓持装置的真空吸头的状态控制的检查设备和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于抓持装置(27)的真空吸头(35)的状态控制的一种检查设备以及一种方法，所述检查设备具有多个检查装置(52)，所述检查装置在至少一个检查区(53)中朝向载体组件(51)的外侧定位并且在所述载体组件(51)的XY平面中并排而置并且彼此间隔，从而使真空吸头(35)能分别相对于所述检查装置(52)对准，其中，所述载体组件(51)具有至少两个定向元件(54)，所述定向元件构造用于使所述抓持设备(27)在所述XY平面中相对于所述载体组件(51)位置正确地对准，从而使所述抓持装置(27)的相应真空吸头(35)相对于所述载体组件(51)的相应检查装置(52)对准。

Description

用于抓持装置的真空吸头的状态控制的检查设备和方法

技术领域

本发明涉及一种用于抓持装置的真空吸头的状态控制的检查设备以及一种借助这种检查设备来执行对抓持装置的真空吸头的状态控制的方法。

背景技术

由EP 3 375 576 A1已知用于抓持装置的真空吸头的状态控制的一种方法和一种设备。抓持装置包括具有抽吸元件的真空吸头，所述抽吸元件被施加以真空以便抓持工件。在此，作用在工件上的每个抽吸元件或一组抽吸元件由抓持装置的至少一个阀操控。为了检查真空吸头的各个抽吸元件，设置检查设备，该检查设备包括多个检查装置，其中，每个检查装置在检查时与每个真空吸头相对置地布置。为了检查抽吸元件，使其与检查设备的相应检查装置产生接触。接着，操控相应的检查装置，以便检查抽吸元件的功能。

由DE 20 2013 101 438 U1已知一种电路板检查设备。该电路板检查设备包括控制壳体，在所述控制壳体上设有检查壳体。在检查壳体的底部上设有保持销，可以将电路板固定在所述保持销上，以便执行检查。为此，将壳体盖闭合。在打开壳体盖之后，盖上的保持销将电路板提起，以便随后简单地取出电路板。

由DE 10 2013 113 580 A1已知一种用于在检查电子构件的装置中定位具有多个电子构件的载体的方法。载体被提供有拾取和放置单元。在此，借助至少一个摄像机检测载体一侧上的多个标记，并且参照用于容纳载体的巢穴的已知位置求取标记的位置。接着，使槽运动到与支架准确地相对的位置中并且将支架向巢穴移交。接着，借助至少一个另外的摄像机检测在载体的另一侧上的多个其他标记，并且参照检查底座的固定位置求取其他标记的位置。接着，将巢穴定位在与检查底座相对的准确位置中，并且将载体压在检查底座上。

发明内容

本发明所基于的任务在于，提出一种用于抓持设备的真空吸头的状态控制的检查设备以及一种借助这种检查设备对抓持设备的真空吸头进行状态控制的方法，通过所述检查设备，以简单的方式实现抓持设备相对于检查设备的精确定位。

通过一种用于抓持设备的真空吸头的状态控制的检查设备来解决该任务，在所述检查设备中，载体组件具有至少两个定向元件，该载体组件至少在检查区中包括朝向外侧定向的检查装置，该检查装置在在XY方向上延伸的平面中并排而置并且彼此间隔，所述定向元件构造用于使抓持设备在XY平面上相对于载体组件位置正确地对准，从而使抓持装置的相应真空吸头相对于相应检查装置对准。在将抓持装置放置在检查装置上之前，所述至少两个定向元件可以实现抓持设备相对于检查设备的高定位准确性。无论是抓持设备相对于检查设备的手动定位还是自动定位，都可以实现这种高定位准确性。由此可以实现高的工艺可靠性。通过将抓持装置的相应真空吸头主动精确地分配至相应的检查装置，可以可靠地执行后续检查，因为可以在检查开始之前排除在如下情况下的误差源：抓持设备相对于检查设备缺少位置正确的对准。

优选地，载体组件构造为矩形或方形，在载体组件的第一侧边上间隔设有至少两个定向元件，在载体组件的与第一侧边相邻的侧边上设有至少一个定向元件。由此实现抓持设备相对于载体组件的定向元件的三支点支承。这种三支点支承使得抓持设备相对于定向元件定位简单而明确。因此，可以得出载体组件在XY平面中相对于抓持设备的可靠对准。还可以在第一侧边上设置长定向元件并且在载体组件的与第一侧边相邻的侧边上设置短定向元件，其中，长定向元件具有短定向元件的优选至少1.5倍长度。

有利地，至少两个定向元件分别构造为止挡部、尤其止挡面，其相对于载体组件的XY平面在Z方向上延伸。由此得出用于抓持设备的这种机械式止挡部的一种结构简单的构型。也可以设想其它形状例如圆柱体或棱柱体作为定向元件。

根据第一实施方式，至少两个定向元件可以具有作为止挡部的止挡面，所述止挡面构造为垂直于载体组件的XY平面。替代地，在Z方向上看，其也可以构成导入斜面。止挡元件也可以具有转变到垂直止挡面中的导入斜面。由此可以简化抓持设备的运来和抓持设备相对于载体组件的定位。

用于使抓持设备相对于载体组件定向的一种替代的实施方式在载体组件的每个侧边上设置至少一个定向元件，或者，设置在载体组件的每个侧边上的定向元件形成环绕的定向框，并且定向元件或定向框具有止挡部，所述止挡部构造用于抓持设备相对于载体组件的检查场的自定心布置。这种替代的布置使得可以将抓持设备的真空吸头沿着Z轴线输送到载体组件上，随后，通过止挡部实现抓持设备的真空吸头和/或载体组件在XY平面中彼此独立的定向。

在检查设备中，优选地，载体组件借助可弹性退让的元件在壳体中相对于壳体底部和/或至少相对于壳体壁浮动地支承。这种布置具有如下优点：在抓持设备相对于检查设备定位期间，可以使载体组件在定向方面与抓持设备的真空吸头相匹配，以便提高后续检查的定位准确性。

有利地，可弹性退让的元件在壳体的壳体底部上朝Z方向直立地定向。由此，以简单的方式不仅实现在XY平面中的移动运动而且实现围绕沿Z方向的转动轴线对载体组件的位置进行补偿。此外，可以沿着Z轴线操控在抓持装置和载体组件支架之间的挤压压力。

替代地，可弹性退让的元件可以定位在侧向的壳体壁上并且在XY平面中延伸。优选地，可以在壳体底部和载体组件之间设置可弹性退让的或可运动的至少一个导向元件。由此也可以实现载体组件相对于抓持设备的真空吸头的对准。

当载体组件浮动地支承在壳体中时，可弹性退让的元件允许载体组件在XY平面中比在Z方向上更大程度地偏转。由此，一方面，可以通过相对于抓持设备的真空吸头的对准实现载体组件的高定位准确性，另一方面，在抓持设备和载体组件之间形成足够高的挤压压力，以便执行后续检查。

检查设备的另一有利的构型设置，接收载体组件的壳体具有盖，该盖可以在使用检查设备之前翻开并且优选地具有用于借助操作装置打开的作用元件、尤其是压片。在不使用检查设备时，通过壳体上的盖防止载体组件的污染，由此得出更长的功能寿命。

有利地，在壳体和盖之间的接口中设置密封元件、尤其环绕的密封元件。它们防止例如湿气、水、脂肪和/或油或其它污染(例如在激光切割或者激光熔化时产生的浓烟或灰尘)进入。

此外，优选地设置，检查设备的多个检查装置或所有检查装置彼此布置成网格尺寸(Rastermaβ)，其与真空吸头的网格尺寸、尤其吸头区中的抽吸元件相对应。由此可以检查每个真空吸头或每个抽吸元件。

此外，通过一种借助检查设备对抓持装置的真空吸头进行状态控制的方法来解决本发明所基于的任务，在该检查设备中，使抓持装置相对于检查设备的载体组件移动，该检查设备包括多个用于抓持设备的相应真空吸头的检查装置，在所述方法中，在将真空吸头的抽吸元件放置在载体组件的相应检查装置上之前，移动抓持设备以贴靠在载体组件的至少两个定向元件上，并且，在抓持设备在XY平面中相对于载体组件对准之后，将抓持装置的真空吸头放置在检查装置上。由此，在为了后续检查而将抓持装置的真空吸头相对于相应检查装置定位之前，使具有检查装置的载体组件和具有真空吸头的抓持设备相对于彼此位置正确地对准。由此，抓持设备整体上连同其所有真空吸头相对于检查装置位置正确地对准。

此外，优选地，通过可弹性退让的元件来浮动支承地通过壳体来接收具有检查装置的载体组件。这以简单的方式使得具有相应检查设备的载体组件可以相对于抓持设备的真空吸头位置准确地对准。

此外，优选地，借助盖将提供载体组件的壳体封闭，并且在执行状态控制之前将盖打开。可以通过致动器(例如流体加载的缸或马达)来操控盖的打开。替代地，加工机的操作装置可以优选在压片或其他固定点上作用在盖上，由此将盖打开。在执行对抓持装置的真空吸头的检查之后，又可以闭合盖。

此外，优选地，在真空吸头在XY平面中相对于载体组件对准之后将抓持装置输送到载体组件上，并且优选地以预确定的按压力使其相对于载体组件定位。由此可以确保，借助相应的检查装置在保持不变的条件下执行状态控制的后续执行。尤其在检查真空吸头的抽吸元件的保持力时，检查抽吸元件在载体组件处的密封性和贴靠。

附图说明

接下来根据在附图中示出的示例进一步描述和阐述本发明以及其他有利的实施方式和拓展方案。从说明书和附图中获知的特征可以根据本发明各自单独使用或以任何组合以多个形式应用。附图示出：

图1示出加工机和具有抓持设备的搬运设备(Handlingsvorrichtung)的立体视图，该抓持设备具有真空吸头，

图2示出图1中具有真空吸头的抓持设备的吸板的从下方的示意性视图，

图3示出具有闭合壳体的检查设备的立体视图，

图4示出具有打开壳体的根据图3的检查设备的立体视图，

图5示出沿着图3中的线A-A的示意性截面图，

图6示出沿着图3中的线B-B的示意性截面图，

图7示出用于布置定向元件的一种替代实施方式的示意性视图，

图8示出关于图3的一种替代实施方式的示意性截面图，

图9示出根据图8的替代实施方式的示意性视图，

图10示出关于图3的一种替代实施方式的示意性截面图，和

图11示出根据图10的实施方式的示意性视图。

具体实施方式

在图1中立体地示出加工机11，其例如构造为冲压机。为了分割加工例如呈板材形式的板状工件12，优选地设置具有冲压头14和冲压模(未进一步示出)的、位置固定的加工装置21。替代地，也可以使用激光加工机或激光冲压机，在所述激光加工机或激光冲压机中，与冲压头14相邻地设置有激光加工头。在工件加工期间，待加工的工件12平放在工件支承部16上。在加工期间，工件12被优选包括夹子18的保持装置17保持住并且可以借助由箭头标明的常规线性驱动装置19相对于冲压头14在工件平面(X/Y平面)的X方向上移动。可以通过以下方式使工件12在工件平面的Y方向上运动：借助由箭头标明的常规线性驱动装置20使工件支承部16与保持装置17一起相对于底座24移动，工件支承部16支承在该底座上。工件12可以以此方式在X方向和Y方向上相对于冲压头14移动，从而可以将工件12的分别待加工的区域定位在冲压头14的加工区域中。加工区域位于冲压头14和未进一步示出的冲压底模之间，所述冲压底模可更换。相应地，在激光冲压机中，在激光加工头的位置固定的加工区域中可以布置有激光光学器件。

对于加工机11的工件支承部16，在端面侧上设置搬运装置26，该搬运装置还可以包括抓持装置27，该抓持装置可以沿着至少一个线性轴线28从板状材料12的装载位置和卸载位置29、30移动到取出位置或等待位置，以便拾取加工后的工件36并且将其例如从加工机11中输出或者存放在仓库40中。

可以与装载和卸载站29、30相邻地设置检查站41，其具有用于抓持装置27的检查设备42。搬运装置26可以使抓持装置27沿着线性轴线28移动到检查站41中，以便以抓持装置27执行状态控制。

抓持装置27可以具有抽吸框34，其包括一个或多个吸板33，如图2中从下方的视图中示出的那样。在每个吸板33上设有多个真空吸头35。真空吸头35中的每个用作取出吸头。根据第一实施方式，真空吸头35包括一个抽抽吸元件31和一个阀，该抽吸元件相对于吸板33的壳体38的外侧37突出，该阀配属于该抽吸元件31但是位于壳体38内。替代地，真空吸头35可以包括一个抽吸元件31，该抽吸元件可以与多个另外的抽吸元件31或者一组抽吸元件31一起由一个阀操控。所述阀可以是纯机械式阀，即所谓的被动阀。这种被动阀仅通过空气流动(例如通过施加真空)来开关。替代地，所述阀也可以是可操控的、尤其是可电操控的阀，例如电磁阀。在这种实施方式中，也可以给每个抽吸元件31分属一个阀或者一个阀共同地操控一组抽吸元件31。为了操控这种可控制的阀、尤其电磁阀，设置未进一步示出的电控制装置。

抽吸元件31可以构造为由弹性塑料制成的折叠匣(Balg)或者说波纹管。吸板33通过软管线路与真空泵连接。为了单个操控抽吸元件31，对阀进行操控。真空吸头35的数量、抽吸元件31的尺寸及其成行成列成其它网格的布置是任意的并且可以与相应的操作任务相匹配，也可以在吸板33上在一个或多个吸头区39内设置直径不同大小的抽吸元件31。在根据图2的实施例中布置有例如三个吸头区39，其分别具有五个真空吸头35。优选地，可以分开地操控吸头区39中的每个，又可以分开地操控吸头区39中的每个真空吸头35。

还可以借助至少一个线性驱动装置使吸板33以在吸气框34上在XYZ坐标系(在图1中示出)内的Y轴和/或Z轴上可移动的方式受驱动。

在图3中示意性地放大地示出闭合的壳体46，其中，设置有用于抓持装置27的真空吸头35的状态控制的检查设备42。

在图4中，壳体46的盖47被打开，并且壳体46处于使用位置44中。在该使用位置44中可以看到检查设备42的载体组件51。该载体组件51包括多个检查装置52，所述多个检查装置朝向载体组件51的上侧定向。检查装置52在XY平面中并排地并且彼此间隔地定向。优选地，检查装置52彼此布置成网格尺寸，所述检查装置相应于真空吸头35、尤其相应于吸头区39中的抽吸元件31。由EP 3 375 576 A1(全面地引用该文件)已知检查装置52的构造以及其替代的实施方式。

载体组件51包括多个定向元件54，所述定向元件设置在相邻的或者说彼此邻接的两个侧边55、56上。在该实施例中，载体组件51构造为矩形。在这种实施方式中，在较长侧边55上设置优选两个定向元件54，在较短侧边56上设置一个定向元件54。这些定向元件54用于：在将真空吸头35放置在载体组件51上之前使抓持元件27相对于载体组件51定向。通过例如设置在载体组件51上的三个定向元件54使得可以例如借助搬运装置26简单地移近抓持装置27。通过定向元件54可以实现抓持装置27的壳体相对于载体组件的三支点贴靠，这实现真空吸头35相对于相应检查装置52的高定位准确性。

定向元件54优选与至少一个检查区53邻接地定位。所述一个或多个检查区53包括多个检查装置52。所述一个或多个检查场53在载体组件51的侧边55、56内延伸。有利地，每个定向元件54包括垂直于XY平面定向的止挡部57。通过定向元件54的止挡部57可以使抓持装置27与其壳体产生贴靠并定向。止挡部57可以构造为止挡面或者止挡点。

载体组件51浮动地支承在壳体46中。通过载体组件51在壳体46中的浮动支承可以使载体组件51至少在XY平面中——即在载体组件51的平面延伸部中——至少略微地移动，以便执行补偿运动。由此确保，在抓持装置27位于载体组件51上方时，载体组件51的定向元件54彼此贴靠地精确地定位。

在图5中示出沿着图3中的线A-A的示意性截面图。在图6中示出沿着图3中的线B-B的示意性截面图。从这两个截面图得知载体组件51相对于壳体46的浮动支承的第一实施方式。载体组件51通过可弹性退让的元件58相对于壳体46保持住。可弹性退让的元件58例如可以构造为由橡胶弹性材料或弹簧弹性材料制成的柱状体。它们例如在Z方向上定向，并且接收载体组件51，使其与壳体底部48成一定距离载体组件。载体组件51也在侧向上与壳体46的壳体壁49间隔开地定位。例如，四个彼此间隔布置的可弹性退让的元件58可以接收载体组件51，如由图5和图6和在图4中以点线形式得知的那样。因此，可以在X方向和Y方向上进行移动运动或补偿运动，也可以进行载体组件51围绕Z轴线的轻微扭转运动。

载体组件51包括例如载体板61，各个检查装置52定位在所述载体板中。在载体板61下方可以设置传感装置62和/或电子部件。

在根据图5和6的截面图中，壳体46的盖47是闭合的。有利地，在盖47和壳体46之间设置至少一个呈密封元件63形式的密封件。在此，可以涉及多个密封元件63或者一个环绕的密封元件63，所述密封元件例如固定在和/或插装在盖47上。密封元件63优选贴靠在载体组件51的外部侧边55、56上。由此可以保护载体组件51的检查装置52免受例如水、油、灰尘等污染。

为了打开和闭合盖47，构造作用元件50、例如压片。为了打开和闭合盖47，可以手动地操纵作用元件或借助搬运设备26来操纵作用元件。

在图7中示出定向元件54的一种替代的布置。为此，在较长侧边55上设置在尺寸上长形伸展的定向元件54，在较短侧边56上设置较短的定向元件54。在此，两个定向元件54分别远离角区域地布置，在所述角区域中，侧边55、56转变到彼此中。有利地，较长的或者长形伸展的定向元件54的长度相当于短的定向元件54的长度的至少1.5倍。

在图8中示出关于图3的检查设备42的另一替代的实施方式的截面图。图9示出根据图8的替代实施方式的从上方的示意性截面图。

载体组件51在壳体46中的浮动支承不同于根据图3至6的实施方式。例如，可弹性退让的元件58设置在XY平面中并且支撑在壳体壁49上。优选地，在较长侧边55上设置两个可弹性退让的元件58，在与较长侧边55相邻的较短侧边56上设置例如至少一个可弹性退让的元件58。载体组件51可以平放在壳体底部48上。有利地，在壳体底部48和载体组件51之间设置呈可运动的导向元件59形式的支承面。

定向元件54优选在数量和定向方面基本上与可弹性退让的元件58的定位相对应。也可以设置不同的定位。通过根据图8和9的这种实施方式获得与在根据图3至6的以上所述的实施方式中相同的优点。

在图10中示出关于图3的检查设备42的一种替代方案的示意性截面图。图11示出根据图10的替代实施方式的从上方的示意性视图。

在该实施方式中，载体组件51再一次相对于壳体46浮动地支承。载体组件51在载体组件51的每个侧边55、56上包括定向元件54，所述定向元件形成环绕所述一个或多个检查装置52的定向框65。在该定向框65上构造有作为导入斜面的止挡部57。由此，在将抓持装置27沿着Z轴线放置到载体组件51上时，能够使抓持装置27相对于载体组件51在中心定位。

载体组件51可以由至少两个可弹性退让的元件58容纳至壳体底部48。由此又使载体组件51不仅能够在XY平面内而且能够在Z方向上移动运动。

为了执行抓持装置27的真空吸头35的状态控制，将抓持装置27移动到检查站41中至检查设备42。如果检查设备42包括具有盖47的壳体46，则将该盖打开。接着，借助搬运设备26将抓持装置27向载体组件51移去。在第一阶段中，使抓持装置27相对于载体组件51的定向元件54定位并且产生贴靠。抓持装置27和载体组件51相对于彼此对准。接着，抓持装置27沿着Z轴线移动运动，使得真空吸头35以预确定的挤压压力平放并定位在载体组件51上。

接着，通过操控各个检查装置52来执行检查程序。在真空吸头35的检查结束时，可以使抓持装置27在Z方向上向上移动。接着，可以闭合盖47，如果设有该盖的话。接着，抓持装置27可以执行其他操作活动，或者，如果在检查时对单个真空吸头35不满，则可以将该抓持装置提供用于维修。

Claims (15)

1.一种用于抓持装置(27)的真空吸头(35)的状态控制的检查设备，

-具有多个检查装置(52)，所述检查装置在至少一个检查区(53)中朝向载体组件(51)的外侧定位并且在所述载体组件(51)的XY平面中并排而置并且彼此间隔，从而使真空吸头(35)能够分别相对于所述检查装置(52)定位，

其特征在于，

-所述载体组件(51)具有至少两个定向元件(54)，所述定向元件构造为用于使所述抓持设备(27)在所述XY平面中相对于所述载体组件(51)位置正确地定向，从而使所述抓持装置(27)的相应真空吸头(35)相对于所述载体组件(51)的相应检查装置(52)对准。

2.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于，所述载体组件(51)构造为矩形或方形，并且在所述载体组件(51)的第一侧边(55)上彼此间隔地设有至少两个定向元件(54)，在所述载体组件的与所述第一侧边(55)相邻的第二侧边(56)上设有至少一个定向元件(54)。

3.根据权利要求2所述的检查设备，其特征在于，所述至少两个定向元件(54)分别具有至少一个止挡部(57)、尤其止挡面，所述止挡面相对于所述载体组件(51)的XY平面在Z方向上延伸。

4.根据权利要求3所述的检查设备，其特征在于，所述至少两个定向元件(54)的止挡部(57)垂直于XY平面地延伸，或者在Z方向上看，所述止挡部形成用于所述抓持装置(27)向所述载体组件(51)上的放置运动的导入斜面。

5.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于，在所述载体组件(51)的每个侧边(55，56)上设置至少一个定向元件(54)，或者，设置在所述载体组件(51)的每个侧边(55，56)上的定向元件(54)形成环绕的定向框(65)，并且所述定向元件(54)或所述定向框(65)具有止挡部(57)，所述止挡部构造为用于使所述抓持装置(27)自定心地布置到所述载体组件(51)上。

6.根据以上权利要求中任一项所述的检查设备，其特征在于，所述载体组件(51)借助至少一个可弹性退让的元件(58)在壳体(46)中相对于所述壳体(46)的壳体底部(48)和/或至少一个壳体壁(49)浮动地支承。

7.根据以上权利要求中任一项所述的检查设备，其特征在于，所述可弹性退让的元件(58)在所述壳体(46)的壳体底部(48)上在Z方向上直立地定向并且承载所述载体组件(51)。

8.根据权利要求6所述的检查设备，其特征在于，所述可弹性退让的元件(58)定位在侧向的壳体壁(49)上并且在XY平面中延伸，并且，优选在所述壳体底部(48)和所述载体组件(51)之间设置至少一个能够运动的导向元件(59)。

9.根据权利要求6所述的检查设备，其特征在于，所述壳体(46)具有能够转移到使用位置(44)中的盖(47)，所述盖优选地具有作用元件(50)、尤其是用于搬运设备(26)的压片或者具有用于操控打开运动的马达。

10.根据权利要求9所述的检查设备，其特征在于，在所述壳体(46)和所述盖(47)之间的接口由至少一个密封元件(63)、尤其至少一个布置在所述盖(47)中的环绕密封元件(63)密封。

11.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于，所述检查装置(52)彼此布置成网格尺寸，所述检查装置与所述真空吸头(35)、尤其吸头区(39)中的抽吸元件(31)相对应。

12.一种借助检查设备(42)对抓持装置(27)的真空吸头(35)进行状态控制的方法，

-在所述检查设备中，所述检查设备(42)具有载体组件(51)，所述载体组件朝向所述载体组件(51)的外侧包括多个检查装置(52)，所述检查装置在所述载体组件(51)的XY平面中并排而置并且彼此间隔地定向，从而使所述抓持装置(27)的真空吸头(35)分别相对于所述检查装置(52)定位，

其特征在于，

-将所述抓持装置(27)移动至所述载体组件(51)，

-在将所述真空吸头(35)放置在所述载体组件(51)的相应检查装置(52)上之前，移动所述抓持装置(27)以贴靠在所述载体组件(51)上的至少两个定向元件(54)上，并且，

-在所述抓持装置(27)在XY平面中相对于所述载体组件(51)定向之后，将所述真空吸头(35)放置在所述检查装置(52)上。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，通过可弹性退让的元件(58)将所述载体组件(51)浮动支承地接收在壳体(46)中。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，在用盖(57)封闭的壳体(46)中提供所述载体组件(51)，并且在执行所述状态控制之前打开所述盖(47)。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的方法，其特征在于，在所述载体组件(51)和所述抓持装置(27)在XY平面中相对彼此对准之后，以预限定的力将所述抓持装置(27)输送到所述载体组件(51)的所述检查装置(52)上，以产生可靠贴靠。

Images