CN112974342B - 晶棒托板清洁设备 - Google Patents

晶棒托板清洁设备 Download PDF

Info

Publication number
CN112974342B
CN112974342B CN202110175829.5A CN202110175829A CN112974342B CN 112974342 B CN112974342 B CN 112974342B CN 202110175829 A CN202110175829 A CN 202110175829A CN 112974342 B CN112974342 B CN 112974342B
Authority
CN
China
Prior art keywords
wiping
roller
position sensor
dust
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110175829.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112974342A (zh
Inventor
曹春风
鞠修勇
蔡振东
李传璞
姜美娜
贺成
孙明波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Qingdian Silicon Industry Co ltd
Original Assignee
Lianzhi Dalian Intelligent Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lianzhi Dalian Intelligent Technology Co Ltd filed Critical Lianzhi Dalian Intelligent Technology Co Ltd
Priority to CN202110175829.5A priority Critical patent/CN112974342B/zh
Publication of CN112974342A publication Critical patent/CN112974342A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112974342B publication Critical patent/CN112974342B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
    • B08B1/14—Wipes; Absorbent members, e.g. swabs or sponges
    • B08B1/143—Wipes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

本发明属于光伏半导体加工设备领域，公开了晶棒托板清洁设备。包括传送机构、集尘机构、除尘机构、擦拭机构、酒精喷洒机构、风干机构；集尘机构、除尘机构、擦拭机构设置在传送机构的上方，所述设备上设有擦拭机构架体，擦拭机构设置在擦拭机构架体上，所述集尘机构和除尘机构相连接，所述集尘机构与擦拭机构之间设置酒精喷洒机构，所述酒精喷洒机构设置在擦拭机构架体与集尘机构相临的一侧上，所述擦拭机构架体的另一侧上设置风干机构。该设备为自动清洁方式，不仅清洁效果非常好，而且提高了效率，节省了人力，降低了企业成本。

Description

晶棒托板清洁设备
技术领域
本发明属于光伏半导体加工设备领域，本发明涉及晶棒托板清洁设备。具体涉及晶棒托板的表面清洁设备。
背景技术
现有清洁方式有人工用抹布清洁和卡组式清洁两种。其中卡组式即为省人工而在晶棒托板运行轨道上方设置一组刮板+抹布。刮板用于刮掉晶棒托板表面固状物，抹布进行擦拭。现有人工手动清洁晶棒托板，不仅费时费力，效率也不高，浪费人工成本。现有卡组式清洁方式需调试刮板、抹布与晶棒托板上表面的距离，距离太小，阻力过大，晶棒托板通不过；距离太大，则清洁效果甚微。另外，这种方式还需要人工频繁更换抹布，更换后又要重新调试。清洁效率低下，清洁效果不好。
发明内容
本发明的目的是克服上述背景技术中的不足，提供一种晶棒托板清洁设备，该设备为自动清洁方式，不仅清洁效果非常好，而且提高了效率，节省了人力，降低了企业成本。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶棒托板清洁设备，包括传送机构、集尘机构、除尘机构、擦拭机构、酒精喷洒机构、风干机构；集尘机构、除尘机构、擦拭机构设置在传送机构的上方，所述设备上设有擦拭机构架体，擦拭机构设置在擦拭机构架体上，所述集尘机构和除尘机构相连接，所述集尘机构与擦拭机构之间设置酒精喷洒机构，所述酒精喷洒机构设置在擦拭机构架体与集尘机构相临的一侧上，所述擦拭机构架体的另一侧上设置风干机构。
所述传送机构包括倍速链线体，所述传送机构一端设有阻挡组件A和位置传感器A；所述传送机构的另一端末端依次顺序设有位置传感器E、挡停组件；所述传送机构初始端一侧还设有启动按钮。所述倍速链线体具有传送功能，负责将将晶棒托板从设备起始端输送到设备末端。
所述集尘机构包括工业吸尘器、吸尘器吸头、吸头调节板；吸尘器吸头通过管路与工业吸尘器相连接，所述吸尘器吸头通过吸头调节板固定在擦拭机构架体前端；吸头调节板与吸尘器吸头通过螺栓组连接固定，当将螺栓组稍微松开时，吸尘器吸头可绕其中一颗定丝按弧形轨迹转动调节角度，调节完毕后再将螺栓组锁紧即可。
所述除尘机构包括调节电机、调节组件、旋转电机A；所述旋转电机A连接有清洁轮；所述调节电机通过调节组件与清洁轮相连接；
所述调节组件包括滚珠丝杠、直线导轨、连接板组；所述直线导轨通过滚珠丝杠连接调节电机，所述直线导轨设置在连接板组上，所述调节组件通过连接板组与清洁轮相连接；
所述清洁轮包括辊轮；所述辊轮的一端设有螺栓；所述辊轮与螺栓之间设有垫圈，所述辊轮另一端通过转轴与旋转电机A相连接；
所述除尘机构前端支架底部设有位置传感器B；
所述酒精喷洒机构包括管式喷嘴、管夹块A、管夹块B、夹块固定板；所述夹块固定板上固定设有管夹块A、管夹块B；管夹块A与管夹块B之间设有管式喷嘴；所述酒精喷洒机构通过夹块固定板固定在擦拭机构架体上；管式喷嘴通过管路与擦拭供料机相连接，擦拭供料机用以提供酒精；
所述酒精喷洒机构的下方设有位置传感器C；
所述擦拭机构包括旋转电机B、辊筒、气管喷嘴、升降气缸、平移气缸；所述旋转电机B与辊筒相连接，所述气筒喷嘴位于辊筒正上方，旋转电机B、辊筒、气管喷嘴分别通过连接板与升降气缸相连接；所述升降气缸与平移气缸相连接；
所述擦拭机构架体内的传送机构上的一侧设有位置传感器D，相临位置的传送机构上设有阻挡组件B。
所述阻挡组件A与阻挡组件B的结构相同，均为阻挡组件。
所述阻挡组件包括挡停杆、导向套、T型槽浮动螺钉、气缸；所述气缸上端设有挡停杆，所述气缸与挡停杆之间通过T型槽浮动螺钉相连接，所述挡停杆外部设有导向套。所述挡停杆可在导向套中自由上下移动。
所述挡停组件包括挡停板；所述挡停板上设有聚氨酯缓冲螺钉；所述聚氨酯缓冲螺钉设置在挡停板前端。
进一步的，所述风干机构设置在擦拭机构架体的末端。
进一步的，所述集尘机构设置在除尘机构的斜下方。
所述阻挡组件A中的气缸，阻挡组件B中的气缸、位置传感器A、位置传感器B、集尘机构、旋转电机A、位置传感器C、调节电机、酒精喷洒机构、旋转电机B、升降气缸、平移气缸、位置传感器D、位置传感器E、风干机构分别与PLC系统相连接。
所述位置传感器A作用是：当晶棒托板上到传送机构初始位置时，位置传感器A感知信号并传递给PLC，外部停止上料。此时阻挡组件A中的气缸不做动作，挡停杆保持初始状态，挡住传送机构初始端的晶棒托板，确保前一个晶棒托板的正常清洁，当前一个晶棒托板清洁完毕时，阻挡组件A中的气缸接收到PLC系统的信号，气缸带动挡停杆向下运动，传送机构初始端的晶棒托板由倍速链线体向前传送，进而进行清洁工作。清洁清洁清洁清洁
所述集尘机构与除尘机构在具体工作时，存在先后顺序；当阻挡组件A中的气缸带动挡停杆向下运动，晶棒托板通过倍速链线体传送运动，当位置传感器B感应到晶棒托板时，位置传感器B传递给PLC系统信号，PLC系统给出集尘机构吸尘器信号，集尘机构开始工作，集尘机构工作吸尘后，通过PLC系统给出除尘机构的旋转电机A信号，除尘机构开始工作；整体设备是集尘机构开始工作后除尘机构再开始工作。位置传感器B无信号时，除尘机构停止工作，集尘机构再停止工作。集尘机构将除尘时产生的粉尘杂质尽量吸收。
所述调节组件和调节电机的作用是为了降低成本、和减少清洁轮的更换。当清洁轮的辊轮清洁时，随着清洁的次数增加，辊轮开始磨损，导致其与晶棒托板的间距增大，随着磨损越大，间距增加导致辊轮无法接触晶棒托板，辊轮无法继续清洁工作，通过设置的调节电机和调节组件，调节辊轮与晶棒托板的距离，使其继续工作，减少更换的次数，增加了辊轮的使用时间，降低了生产成本。
位置传感器C的作用是：所述位置传感器C当其感应到晶棒托板时，位置传感器C传递给PLC系统信号，PLC系统给出酒精喷洒机构工作信号，使酒精喷洒机构开始工作，向晶棒托板喷洒酒精，使清洁更完全。
位置传感器D的作用是：当晶棒托板被传送到擦拭机构架体内相应位置时，位置传感器D传递给PLC系统信号，擦拭机构接收PLC系统信号，开始擦拭工作。
位置传感器E的作用是：所述位置传感器E当其感应到晶棒托板时，位置传感器E传递给PLC系统信号，反馈此晶棒托板已经清洁完毕，可以进行下一工序。
所述风干机构位于擦拭机构末端，用以风干晶拖表面。
进一步的，所述螺栓为蝶形螺栓；
进一步的，所述辊筒设有六个面，每相邻两个面内夹角为60°；辊筒正上方有一支气管喷嘴；每完成一次擦拭动作，旋转电机B带动辊筒转过60°。旋转电机B、辊筒、气管喷嘴分别通过连接板与升降气缸相连接，来完成竖直方向的动作，而升降气缸与平移气缸连接，进而带动旋转电机B、辊筒、气管喷嘴完成水平动作。
进一步的，所述辊筒外部设有抹布，且抹布与辊筒为可拆卸连接；
进一步的，所述抹布通过子母扣固定在辊筒上。
所述除尘机构是对晶棒托板表面的硅泥等杂质进行清除；
所述集尘机构是对清除掉的硅泥等杂质进行收集；
所述酒精喷洒机构是对晶棒托板表面均匀喷洒酒精；所述擦拭机构是将晶棒托板表面残余粉尘及酒精擦掉；所述风干机构是将晶棒托板表面残留酒精进行吹干。
所述阻挡组件A是起到缓存作用，其初始状态(即原点)气缸处于伸出状态。
所述阻挡组件B是起到积放作用，其初始状态(即原点)气缸处于伸出状态。
所述挡停组件是对晶托起到缓冲、挡停作用。
本发明与现有技术相比具有的有益效果是：
本发明提供的清洁设备中的清洁轮更换方便：清洁轮由旋转电机A带动转动，与晶棒托板表面发生相对摩擦，清除硅泥等杂质，清洁轮属于耗材，当其磨损殆尽时，手动卸掉其端部的蝶形螺栓，即可进行清洁轮的更换，无需使用任何工具，十分便捷(如图4)。
清洁轮自动调整：清洁轮与晶棒托板间有一定的压力，以保证清洁效果，当清洁轮材料磨损时，根据单位时间清洁轮材料的磨损量，调节电机带动调节组件(如图3)定时进行调节，使清洁轮下压，以确保清洁效果(如图2)。
便于集尘：调整旋转电机A的转动方向，使得清洁轮转动方向与晶棒托板运行方向一致，粉尘会沿清洁轮切线方向飞出，出尘方向单一，因此便于集尘。
吸尘器头部角度可调：吸尘器头部为V字型，其角度可做60°调整(如图6)，以配合粉尘抛出方向调整，达到最佳吸尘效果。吸头调节板与吸尘器吸头通过螺栓组连接固定，当将螺栓组稍微松开时，吸尘器吸头可绕其中一颗定丝按弧形轨迹转动调节角度，调节完毕后再将螺栓组锁紧即可。
擦拭干净：擦拭机构的动力由横向平移气缸和纵向升降气缸提供，走“口”字型路径，辊筒分6个面，每面都有抹布，每擦拭一次，旋转电机B带动辊筒转过60°换另一片抹布进行擦拭。辊筒正上方有一支气管喷嘴，吹气方向垂直最上端的抹布面，加速酒精蒸发(如图5)。
抹布更换方便，成本低：抹布通过子母扣固定在辊筒上，定期更换方便，抹布清洁后可重复利用，降低成本。
本发明提供的晶棒托板清洁设备为自动清洁方式，不仅清洁效果非常好，而且提高了效率，节省了人力，降低了企业成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明：
图1是本发明晶棒托板清洁设备结构图。
图2是除尘机构结构图。
图3是调节组件示意图。
图4是清洁轮剖视图。
图5是擦拭机构结构图。
图6是集尘机构吸头角度调节示意图。
图7是阻挡组件结构示意图。
图8是挡停组件结构示意图
图9酒精喷洒机构示意图
图中1.晶棒托板，2.启动按钮，3.阻挡组件A，4.位置传感器A，5.位置传感器B，6.集尘机构，7.位置传感器C，8.除尘机构，9.酒精喷洒机构，10.擦拭机构，11.位置传感器D，12.擦拭机构架体，13.风干机构，14.阻挡组件B，15.倍速链线体，16.位置传感器E，17.挡停组件，301.挡停杆，302.导向套，303.T型槽浮动螺钉，304.气缸，601.吸头调节板，602.吸尘器吸头，801.调节电机，802.调节组件，803.旋转电机A，804.清洁轮，901.管式喷嘴，902.管夹块A，903.管夹块B，904.夹块固定板，1001.旋转电机B，1002.辊筒，1003.气管喷嘴，1004.升降气缸，1005.平移气缸，1701.聚氨酯缓冲螺钉，1702.挡停板，8021.滚珠丝杠，8022.直线导轨，8023.连接板组，8041.蝶形螺栓，8042.垫圈，8043.转轴，8044.辊轮。
具体实施方式
以下结合说明书附图，对本发明进一步说明，但本发明并不局限于以下实施例。下述实施例中与PLC系统相连接的阻挡组件A中的气缸，阻挡组件B中的气缸、位置传感器A、位置传感器B、集尘机构、旋转电机A、位置传感器C、调节电机、酒精喷洒机构、旋转电机B、升降气缸、平移气缸、位置传感器D、位置传感器E、风干机构均不限定具体型号。
实施例1
一种晶棒托板清洁设备，如图1-9所示，包括传送机构、集尘机构6、除尘机构8、擦拭机构10、酒精喷洒机构9、风干机构13；集尘机构6、除尘机构8、擦拭机构10设置在传送机构的上方，所述设备上设有擦拭机构架体12，擦拭机构10设置在擦拭机构架体12上，所述集尘机构6和除尘机构8连接，所述集尘机构6与擦拭机构8之间设置酒精喷洒机构9，所述酒精喷洒机构9设置在擦拭机构架体12与集尘机构6相临的一侧上，所述擦拭机构架体12的另一侧上设置风干机构13。
所述传送机构包括倍速链线体15，所述传送机构一端设有阻挡组件A 3和位置传感器A4；所述传送机构的另一端末端依次顺序设有位置传感器E16、挡停组件17；所述传送机构初始端一侧还设有启动按钮2。所述倍速链线体15具有传送功能，负责将将晶棒托板1从设备起始端输送到设备末端。
所述集尘机构6包括工业吸尘器、吸尘器吸头602、吸头调节板601；吸尘器吸头602通过管路与工业吸尘器相连接，所述吸尘器吸头602通过吸头调节板601固定在擦拭机构架体12前端；吸头调节板601与吸尘器吸头602通过螺栓组连接固定，当将螺栓组稍微松开时，吸尘器吸头602可绕其中一颗定丝按弧形轨迹转动调节角度，调节完毕后再将螺栓组锁紧即可。
所述除尘机构8包括调节电机801、调节组件802、旋转电机A 803；所述旋转电机A803连接有清洁轮804；所述调节电机801通过调节组件802与清洁轮804相连接；
所述调节组件802包括滚珠丝杠8021、直线导轨8022、连接板组8023；所述直线导轨8022通过滚珠丝杠8021连接调节电机801，所述直线导轨8022设置在连接板组8023上，所述调节组件802通过连接板组8023与清洁轮804相连接；
所述清洁轮804包括辊轮8044；所述辊轮8044的一端设有螺栓；所述辊轮8044与螺栓之间设有垫圈8042，所述辊轮8044另一端通过转轴8043与旋转电机A 803相连接；
所述除尘机构8前端支架底部设有位置传感器B 5；
所述酒精喷洒机构9包括管式喷嘴901、管夹块A 902、管夹块B 903、夹块固定板904；所述夹块固定板904上固定设有管夹块A 902、管夹块B 903；管夹块A 902与管夹块B903之间设有管式喷嘴901；所述酒精喷洒机构9通过夹块固定板904固定在擦拭机构架体12上；管式喷嘴901通过管路与擦拭供料机相连接，擦拭供料机用以提供酒精；
所述酒精喷洒机构9的下方设有位置传感器C 7；
所述擦拭机构10包括旋转电机B 1001、辊筒1002、气管喷嘴1003、升降气缸1004、平移气缸1005；所述旋转电机B 1001与辊筒1002相连接，所述气筒喷嘴1003位于辊筒1002正上方，旋转电机B 1001、辊筒1002、气管喷嘴1003分别通过连接板与升降气缸1004相连接；所述升降气缸1004与平移气缸1005相连接；
所述擦拭机构架体12内的传送机构上的一侧设有位置传感器D11，相临位置的传送机构上设有阻挡组件B14。
所述阻挡组件A 3与阻挡组件B14的结构相同，均为阻挡组件。
所述阻挡组件包括挡停杆301、导向套302、T型槽浮动螺钉303、气缸304；所述气缸304上端设有挡停杆301，所述气缸304与挡停杆301之间通过T型槽浮动螺钉303相连接，所述挡停杆301外部设有导向套302。所述挡停杆301可在导向套302中自由上下移动。
所述挡停组件17包括挡停板1702；所述挡停板1702上设有聚氨酯缓冲螺钉1701；所述聚氨酯缓冲螺钉1701设置在挡停板1702前端。
进一步的，所述风干机构13设置在擦拭机构架体12的末端。
进一步的，所述集尘机构6设置在除尘机构8的斜下方。
所述阻挡组件A3中的气缸304，阻挡组件B14中的气缸304、位置传感器A 3、位置传感器B 5、集尘机构6、旋转电机A 803、位置传感器C 7、调节电机801、酒精喷洒机构9、旋转电机B 1001、升降气缸1004、平移气缸1005、位置传感器D 11、位置传感器E 16、风干机构13分别与PLC系统相连接。
进一步的，所述螺栓为蝶形螺栓8041；
进一步的，所述辊筒1002设有六个面，每相邻两个面内夹角为60°；辊筒1002正上方有一支气管喷嘴1003；每完成一次擦拭动作，旋转电机B 1001带动辊筒1002转过60°。
进一步的，所述辊筒1002外部设有抹布，且抹布与辊筒1002为可拆卸连接；
进一步的，所述抹布通过子母扣固定在辊筒1002上。
本发明提供的晶棒托板清洁设备可配合晶棒托板1相关其它线体使用，也可单独使用，现就其作为独立设备使用时说明如下(当与其它晶棒托板1相关线体配合使用时，需将挡停组件17拆除)：
工作原理及工作方式具体如下：
晶棒托板1放入传送机构上，按下启动按钮2，倍速链线体15启动，带动前行；位置传感器A 4感知信号，阻挡组件A 3撤回(位置传感器A 4无信号后，阻挡组件A 3伸出，回原点)；位置传感器B 5感知信号；集尘机构6中的工业吸尘器开启，其后除尘机构8中的清洁轮804转动(位置传感器B 5无信号后，清洁轮804停，集尘机构6中的工业吸尘器停)；位置传感器C 7感知信号；酒精喷洒机构9开始喷洒酒精(位置传感器C 7无信号后，酒精停止喷洒)；位置传感器D11感知信号；升降气缸1004向下伸出，辊筒1002外部设有的清洁抹布与晶棒托板1表面接触；平移气缸1005向前伸出，对晶棒托板1表面擦拭；升降气缸1004回程；擦拭机构10回到原点；阻挡组件B14撤回，晶棒托板1前行(阻挡组件B14伸出，回原点)；风干机构13上设置的气管喷嘴吹气，加快晶棒托板1表面酒精蒸发(位置传感器D11无信号3秒后，风干机构13上设置的气管喷嘴停止吹气)；晶棒托板1运行至传送机构末端，挡停组件17将晶棒托板1挡停，同时位置传感器E16感知信号；取走晶棒托板1。(若晶棒托板1一直在此位置，位置传感器E16一直有信号，则阻挡组件A 3和阻挡组件B14始终处于伸出状态，不放行前面的晶棒托板1)
虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (4)

1.一种晶棒托板清洁设备，其特征是，包括传送机构、集尘机构（6）、除尘机构（8）、擦拭机构（10）、酒精喷洒机构（9）、风干机构（13）；集尘机构（6）、除尘机构（8）、擦拭机构（10）设置在传送机构的上方，所述设备上设有擦拭机构架体（12），擦拭机构（10）设置在擦拭机构架体（12）上，所述集尘机构（6）和除尘机构（8）连接，所述集尘机构（6）与擦拭机构（8）之间设置酒精喷洒机构（9），所述酒精喷洒机构（9）设置在擦拭机构架体（12）与集尘机构（6）相临的一侧上，所述擦拭机构架体（12）的另一侧上设置风干机构（13）；
所述传送机构包括倍速链线体（15），所述传送机构一端设有阻挡组件A（3）和位置传感器A（4）；所述传送机构的另一端末端依次顺序设有位置传感器E（16）、挡停组件（17）；所述传送机构初始端一侧还设有启动按钮（2）；
所述集尘机构（6）包括工业吸尘器、吸尘器吸头（602）、吸头调节板（601）；吸尘器吸头（602）通过管路与工业吸尘器相连接，所述吸尘器吸头（602）通过吸头调节板（601）固定在擦拭机构架体（12）前端；吸头调节板(601)与吸尘器吸头602通过螺栓组连接固定，当将螺栓组稍微松开时，吸尘器吸头(602)可绕其中一颗定丝按弧形轨迹转动调节角度60°，调节完毕后再将螺栓组锁紧即可；
所述除尘机构（8）包括调节电机（801）、调节组件（802）、旋转电机A（803）；所述旋转电机A（803）连接有清洁轮（804）；所述调节电机（801）通过调节组件（802）与清洁轮（804）相连接；
所述调节组件（802）包括滚珠丝杠（8021）、直线导轨（8022）、连接板组（8023）；所述直线导轨（8022）通过滚珠丝杠（8021）连接调节电机（801），所述直线导轨（8022）设置在连接板组（8023）上，所述调节组件（802）通过连接板组（8023）与清洁轮（804）相连接；
所述清洁轮（804）包括辊轮（8044）；所述辊轮（8044）的一端设有螺栓；所述辊轮（8044）与螺栓之间设有垫圈（8042），所述辊轮（8044）另一端通过转轴（8043）与旋转电机A（803）相连接；
所述除尘机构（8）前端支架底部设有位置传感器B（5）；
所述擦拭机构（10）包括旋转电机B（1001）、辊筒（1002）、气管喷嘴（1003）、升降气缸（1004）、平移气缸（1005）；所述旋转电机B（1001）与辊筒（1002）相连接，所述气管喷嘴（1003）位于辊筒（1002）正上方，旋转电机B（1001）、辊筒（1002）、气管喷嘴（1003）分别通过连接板与升降气缸（1004）相连接；所述升降气缸（1004）与平移气缸（1005）相连接；所述辊筒（1002）设有六个面，每相邻两个面内夹角为60°；辊筒（1002）正上方有一支气管喷嘴（1003）；每完成一次擦拭动作，旋转电机B（1001）带动辊筒（1002）转过60°；所述辊筒（1002）外部设有抹布，且抹布与辊筒（1002）为可拆卸连接；
所述擦拭机构架体（12）内的传送机构上的一侧设有位置传感器D（11），相临位置的传送机构上设有阻挡组件B（14）；
所述阻挡组件A（3）与阻挡组件B（14）的结构相同，均为阻挡组件；
所述阻挡组件包括挡停杆（301）、导向套（302）、T型槽浮动螺钉（303）、气缸（304）；所述气缸（304）上端设有挡停杆（301），所述气缸（304）与挡停杆（301）之间通过T型槽浮动螺钉（303）相连接，所述挡停杆（301）外部设有导向套（302）。
2.如权利要求1所述的一种晶棒托板清洁设备，其特征是，所述酒精喷洒机构（9）包括管式喷嘴（901）、管夹块A（902）、管夹块B（903）、夹块固定板（904）；所述夹块固定板（904）上固定设有管夹块A（902）、管夹块B（903）；管夹块A（902）与管夹块B（903）之间设有管式喷嘴（901）；所述酒精喷洒机构（9）通过夹块固定板（904）固定在擦拭机构架体（12）上；管式喷嘴（901）通过管路与擦拭供料机相连接，所述酒精喷洒机构（9）的下方设有位置传感器C（7）。
3.如权利要求2所述的一种晶棒托板清洁设备，其特征是，所述挡停组件（17）包括挡停板（1702）；所述挡停板（1702）上设有聚氨酯缓冲螺钉（1701）；所述聚氨酯缓冲螺钉（1701）设置在挡停板（1702）前端。
4.如权利要求3所述的一种晶棒托板清洁设备，其特征是，所述阻挡组件A（3）中的气缸（304），阻挡组件B（14）中的气缸（304）、位置传感器A（3）、位置传感器B（5）、集尘机构（6）、旋转电机A（803）、位置传感器C（7）、调节电机（801）、酒精喷洒机构（9）、旋转电机B（1001）、升降气缸（1004）、平移气缸（1005）、位置传感器D（11）、位置传感器E（16）、风干机构（13）分别与PLC系统相连接。
CN202110175829.5A 2021-02-09 2021-02-09 晶棒托板清洁设备 Active CN112974342B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110175829.5A CN112974342B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 晶棒托板清洁设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110175829.5A CN112974342B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 晶棒托板清洁设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112974342A CN112974342A (zh) 2021-06-18
CN112974342B true CN112974342B (zh) 2023-07-04

Family

ID=76392517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110175829.5A Active CN112974342B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 晶棒托板清洁设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112974342B (zh)

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009059790B4 (de) * 2009-12-21 2017-03-30 Paprima Industries Inc. Reinigungsvorrichtung
CN202143888U (zh) * 2011-06-27 2012-02-15 浙江安浦科技有限公司 一种清洁机构
CN206104427U (zh) * 2016-07-29 2017-04-19 深圳市拓科智能科技有限公司 一种手机屏幕自动清洁设备
CN207823476U (zh) * 2017-11-17 2018-09-07 江西省智萍钢化玻璃有限公司 一种钢化玻璃清洗装置
CN207695368U (zh) * 2018-01-02 2018-08-07 南京荣鑫机械制造有限公司 一种矫直辊的擦拭装置
CN208427415U (zh) * 2018-02-08 2019-01-25 福建省南安市荣达建材有限公司 一种瓷砖清扫装置
CN208876417U (zh) * 2018-02-12 2019-05-21 重庆市嘉乐装卸有限公司 一种便捷多段式清洁拖把
CN109013434A (zh) * 2018-07-25 2018-12-18 蚌埠淮畔精密机械有限公司 一种自动化双面玻璃清洗机
CN109604217B (zh) * 2018-12-20 2022-02-15 东风小康汽车有限公司重庆分公司 一种自动调整清洗辊间距的方法及系统
CN110369344A (zh) * 2019-07-10 2019-10-25 张荣涛 一种电子产品的除尘装置
CN210586014U (zh) * 2019-07-22 2020-05-22 赣州立鑫新材料有限公司 一种镁合金板材表面清洗装置
CN210907051U (zh) * 2019-09-24 2020-07-03 合肥恒泰超声波设备有限公司 通过式全自动胶框清洗设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN112974342A (zh) 2021-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101548139B (zh) 用于太阳能集热器的清洗装置和清洗方法
CN213051681U (zh) 一种正反双面清洁装置
CN110104411B (zh) 一种移动式输送带自动清洗车
KR20110085316A (ko) 볼트 나사산 스케일 제거장비
CN112974342B (zh) 晶棒托板清洁设备
CN219092865U (zh) 晶棒托板清洁设备
CN211303916U (zh) 一种板材自动双面清洁定位输送线
CN116654563B (zh) 一种用于皮带输送机的皮带撕裂检测装置
US7077260B2 (en) Device for cleaning corrugator belts
CN107150149B (zh) 一种带锯床系统
CN110743836A (zh) 门板除尘装置
CN110947656A (zh) 一种板材自动双面清洁定位输送线
CN209922311U (zh) 用于卷烟制丝生产线的输送带清洁装置
CN211386106U (zh) 一种服装纺织布料除尘装置
CN211846271U (zh) 用于发动机水堵隔料上料装置
CN111431469A (zh) 一种高效光伏发电装置
CN220941997U (zh) 一种瓷膜自动清理机
CN212285060U (zh) 一种可二次利用的硅沙清洗装置
CN216705187U (zh) 一种铝板切割用除尘装置
CN219806596U (zh) 一种印刷设备除尘装置
CN214683123U (zh) 涂布背辊连续清洗器
CN218987747U (zh) 一种pu链式输送机
CN219822754U (zh) 一种皮带机头自动清灰装置
CN219278656U (zh) 一种水泥熟料加工用输送回收装置
CN210619393U (zh) 一种皮运机清扫装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20240117

Address after: Room 101, Management Committee of Hefei Circular Economy Demonstration Park, Feidong County, Hefei City, Anhui Province, 231604

Patentee after: Anhui Qingdian Silicon Industry Co.,Ltd.

Address before: 116033 5-6 / F, No.2, Honggang Road, Ganjingzi District, Dalian City, Liaoning Province

Patentee before: Lianzhi (Dalian) Intelligent Technology Co.,Ltd.