CN112944205A - 氯硅烷充装系统和充装方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法，氯硅烷充装系统包括充装管、保护气源、氯硅烷储罐、气液分离装置、真空泵和冷却装置，充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和充装接口，保护气源与保护气口连通，氯硅烷储罐与氯硅烷进口连通，气液分离装置设在充装管上，气液分离装置位于氯硅烷进口和充装接口之间，真空泵与抽真空口连通，冷却装置设在充装管上且位于气液分离装置和充装接口之间，冷却装置用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。本发明的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

Description

氯硅烷充装系统和充装方法

技术领域

本发明涉及氯硅烷充装技术领域，具体地，涉及一种氯硅烷充装系统和氯硅烷充装方法。

背景技术

相关技术中，诸如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、一氯三氢硅的氯硅烷多采用气瓶充装，利用压差将氯硅烷导入气瓶内，从而完成充装。

但是，上述充装方式存在以下问题：①在进行单口气瓶的充装时，因气瓶只有一个进口，无排气口，进料会压缩气瓶内空间，随着进料增加，瓶内空间越来越小，进料与气瓶压差减小，使得充装时间长，且充装过程容易受环境温度影响，在环境温度较高，物料易气化，导致瓶内压力升高，使得原料无法进一步充入瓶内，达不到设定重量无法有效控制；②原料、充装管路等充装系统内存在微量水、氢气、金属、固体颗粒物等杂质，容易导致氯硅烷中杂质超标，影响氯硅烷的充装品质，但现有方案未有进一步的纯化措施；③针对部分加装过滤器的充装系统，一定程度上虽然会提升充装品质，但是过滤器需要频繁更换，增加了充装成本。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明实施例提出一种氯硅烷充装系统，该氯硅烷充装系统避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质和充装效率。

本发明实施例还提出一种应用上述氯硅烷充装系统的充装方法。

根据本发明实施例的氯硅烷充装系统包括：充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；气液分离装置，所述气液分离装置设在所述充装管上，所述气液分离装置位于所述氯硅烷进口和所述充装接口之间，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。

根据本发明实施例的氯硅烷充装系统，避免了氯硅烷中杂质和颗粒度超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

在一些实施例中，所述冷却装置为深冷器。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括检测设备，所述检测设备与所述氯硅烷气瓶可拆卸地连接，以便所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷由所述第一加热装置加热为气态的氯硅烷并进入所述检测设备内以进行检测。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括设在所述充装接口处的充装阀和控制器，所述控制器与所述称重装置和所述充装阀相连以根据所述称重装置的称重值控制所述充装阀。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括充装面板，所述充装面板内具有充装通道，所述充装通道具有与所述充装接口连通的进口和多个出口，多个所述出口适于与多个氯硅烷气瓶一一对应地可拆卸相连。

在一些实施例中，所述氯硅烷充装系统还包括第二加热装置，所述第二加热装置设在所述氯硅烷储罐上，用于微波或红外辐射加热所述氯硅烷储罐内的氯硅烷液面，所述氯硅烷储罐的外周设有夹套，所述夹套具有加热介质通道，所述加热介质通道具有用于通入加热介质以加热所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷的介质进口和排出加热介质的介质出口。

在一些实施例中，所述氯硅烷储罐内设有用于检测所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷温度的温度传感器。

根据本发明实施例的氯硅烷充装方法包括：

步骤1：向充装管内供入保护气体以清扫所述充装管；

步骤2：对所述充装管抽真空；

步骤3：重复步骤1和步骤2预定次数；

步骤4：将氯硅烷气瓶与所述充装管的充装接口连接，并对所述氯硅烷气瓶抽真空；

步骤5：加热氯硅烷储罐以使所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷亚沸蒸发成气态氯硅烷，以将所述气态氯硅烷供给到所述充装管内；

步骤6：利用所述充装管上设置的气液分离装置对供给到所述充装管内的气态氯硅烷进行汽液分离；

步骤7：利用所述充装管上设置的冷却装置对汽液分离后的气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出液态氯硅烷内的不凝气体；

步骤8：通过所述充装管将所述液态氯硅烷充装到所述氯硅烷气瓶内且在充装完毕后执行步骤1和步骤2预定次数。

附图说明

图1是根据本发明实施例的氯硅烷充装系统的整体示意图。

图2是图1中氯硅烷气瓶处的示意图。

图3是图1中氯硅烷储罐的示意图。

图4是图3中氯硅烷储罐的俯视示意图。

附图标记：

充装管1；保护气口11；氯硅烷进口12；抽真空口13；充装接口14；充装阀15；

保护气源2；

氯硅烷储罐3；排液口31；夹套32；介质出口33；介质进口34；第二加热装置35；温度传感器36；

气液分离装置4；回流管41；

冷却装置5；不凝气排放口51；

真空泵6；

氯硅烷气瓶7；第一加热装置71；称重装置72；金属软管73。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

如图1至图4所示，根据本发明实施例的氯硅烷充装系统包括充装管1、保护气源2、氯硅烷储罐3、气液分离装置4、真空泵6和冷却装置5。

充装管1具有保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13和适于与氯硅烷气瓶7相连的充装接口14。

如图1所示，充装管1为一根直管，充装管1沿着从左至右的方向延伸，保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13、充装接口14沿着从左至右的方向依次间隔设置在充装管1上。

可以理解的是，在其他一些实施例中，充装管1也可以为弯曲管、折管、环形管等。保护气口11、氯硅烷进口12、抽真空口13、充装接口14也可以按照其他顺序排布，例如，保护气口11可以设在氯硅烷进口12和抽真空口13之间；抽真空口13也可以设在保护气口11的左侧或设在充装接口14的右侧。

保护气源2与保护气口11连通、用于向充装管1内供入保护气体以吹扫充装管1。如图1所示，保护气源2可以为惰性气体，例如，保护气源2可以为氮气、氩气、氦气等。惰性气体可以存储在专门的存储容器内，存储容器与充装管1上的保护气口11连通，通过保护气口11可以向充装管1内充入惰性气体。

在对氯硅烷气瓶7充装之前，可以将保护气源2与充装管1接通，然后利用惰性气体对充装管1进行吹扫置换，由此，可以将充装管1中的微量水、微量氧、杂质气体等进行置换，起到降低杂质的作用，有利于提高氯硅烷的充装品质。

氯硅烷储罐3与氯硅烷进口12连通，氯硅烷储罐3用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向充装管1内供给气态氯硅烷。

如图1所示，氯硅烷储罐3内存储有液态氯硅烷，液态氯硅烷可以为二氯二氢硅，当然也可以为三氯氢硅、四氯化硅、一氯三氢硅等氯硅烷。氯硅烷储罐3与充装管1上的氯硅烷进口12连通，氯硅烷储罐3具有加热功能，从而可以将内部的液态氯硅烷亚沸蒸发成气态氯硅烷，氯硅烷储罐3内的氯硅烷会以气态的形态供给至充装管1内。由此，氯硅烷储罐3内的金属离子、固体颗粒、硅氧烷化合物等可以富集在氯硅烷储罐3内，而不会随着气态氯硅烷供给至充装管1内，提升了氯硅烷的充装品质。

气液分离装置4设在充装管1上，气液分离装置4位于氯硅烷进口12和充装接口14之间，气液分离装置4用于分离从氯硅烷进口12供给到充装管1内的气态氯硅烷中的液滴。

具体地，气液分离装置4为气液分离器，气液分离装置4具有气液分离功能，在氯硅烷充装过程中，气液分离装置4能够将气态氯硅烷中的液滴过滤，进而避免了液滴中的金属离子、固体颗粒、硅氧烷化合物进入氯硅烷气瓶7的情况，进一步提升了氯硅烷的充装品质。

真空泵6与抽真空口13连通，真空泵6用于对充装管1以及与充装接口14相连的氯硅烷气瓶7抽真空。

如图1所示，真空泵6与充装管1上的抽真空口13连通，真空泵6能够产生负压，从而可以起到将充装管1抽真空的作用。通过真空泵6的多次抽真空和保护气源2的多次供入惰性气体，可以降低充装管1内微量水、微量氧、杂质气体的含量。

冷却装置5设在充装管1上且位于气液分离装置4和充装接口14之间，冷却装置5用于将气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出氯硅烷中的不凝气体。

具体地，冷却装置5具有制冷效果，冷却装置5设在气液分离装置4的下游，充入充装管1内的气态氯硅烷能够被冷却装置5冷凝降温成液态的氯硅烷，由此，一方面能够降低充装管1内充装接口14侧的压强，产生的压强差则方便了氯硅烷充入氯硅烷气瓶7内，另一方面充装管1内的惰性气体、系统内残留的其他杂质气体(不凝气体)会混入气态氯硅烷中，由于不同气体的露点不同，冷却装置5的冷凝降温则可以使气态氯硅烷液化，而气态氯硅烷中的不凝气体则可以保持气态形态，从而实现不凝气体的分离，进一步降低了氯硅烷中的杂质，提升了充装品质。

如图1所示，冷却装置5的顶部可以设有不凝气排放口51，冷凝降温分离的不凝气体可以经由不凝气排放口51排出。

根据本发明实施例的氯硅烷充装系统，保护气源2和真空泵6可以在氯硅烷气瓶7充装之前对充装管1吹扫置换，氯硅烷储罐3通过加热的方式可以将氯硅烷以气态的形式充入充装管1内，气液分离装置4可以分离出气态氯硅烷中的液滴，冷却装置5可以通过冷凝降温的方式将氯硅烷的不凝气体分离。上述装置的设置和具体地操作均可以起到降低杂质的作用，避免了氯硅烷中杂质超标的情况，提升了氯硅烷的充装品质。

在一些实施例中，冷却装置5为深冷器。深冷器可以将温度降低至负20摄氏度至负50摄氏度，从而能够充分满足冷凝降温的需要。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括回流管41，回流管41连接在气液分离装置4和氯硅烷储罐3之间，用于将液滴回流至氯硅烷储罐3内。

如图1所示，回流管41的一端与气液分离装置4连接，回流管41的另一端与氯硅烷储罐3连接，气液分离装置4从气态氯硅烷中分离的液滴可以经由回流管41回流至氯硅烷储罐3内，从而起到回收氯硅烷的作用，避免了浪费。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括称重装置72和第一加热装置71，称重装置72用于对氯硅烷气瓶7称重，第一加热装置71用于加热气瓶以将氯硅烷气瓶7内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。

如图2所示，称重装置72可以为称重传感器，称重装置72设在氯硅烷气瓶7的下方，由此，可以对氯硅烷气瓶7的重量实时称重，从而可以获得氯硅烷气瓶7中氯硅烷的充入量。

第一加热装置71能够对氯硅烷气瓶7加热，例如，第一加热装置71可以为包裹在氯硅烷气瓶7外周侧的加热毯或加热带，当第一加热装置71对氯硅烷气瓶7加热时，氯硅烷气瓶7中的氯硅烷会加热挥发并以气体的形式从氯硅烷气瓶7中流出。由此，一方面当氯硅烷气瓶7中充入了较多的氯硅烷时，可以通过加热的方式排出较多的氯硅烷，从而可以确保氯硅烷气瓶7中充入合理的氯硅烷量；另一方面氯硅烷气瓶7还可以与检测设备连通，然后通过加热的方式使得氯硅烷气瓶7中的氯硅烷以气体的形式挥发至检测设备处，从而方便了检测。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括检测设备，检测设备与氯硅烷气瓶7可拆卸地连接，以便氯硅烷气瓶7内的部分液态氯硅烷由第一加热装置71加热为气态的氯硅烷并进入检测设备内以进行检测。

具体地，检测设备可以为氯硅烷浓度检测设备，检测时，将检测设备与氯硅烷气瓶7的瓶口连通，然后利用第一加热装置71加热挥发氯硅烷气瓶7，氯硅烷气瓶7中的氯硅烷即可挥发至检测设备内，从而完成分析测试。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括设在充装接口14处的充装阀15和控制器，控制器与称重装置72和充装阀15相连以根据称重装置72的称重值控制充装阀15。

如图1所示，控制器可以为PLC控制系统，充装阀15和称重装置72均与控制器电性连接。通过充装阀15和称重装置72可以控制氯硅烷气瓶7中氯硅烷的充入量，例如，可以对称重装置72设置一个目标值，当低于该目标值时，充装阀15保持开启状态，从而可以对氯硅烷气瓶7进行充装，当高于该目标值时，控制器可以控制充装阀15关闭，从而起到控制氯硅烷气瓶7充入量的作用。

可以理解的是，在其他一些实施例中，称重装置72也可以设置一个阈值范围，例如，称重装置72可以设置一个下限值和一个上限值，当低于下限值时，充装阀15保持开启状态，从而可以对氯硅烷气瓶7进行充装，当高于上限值时，控制器控制充装阀15关闭。

优选地，上限值和下限值的差值不超过0.2千克，即充入氯硅烷气瓶7中的氯硅烷误差范围应保持在0.2千克以内。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括充装面板，充装面板内具有充装通道，充装通道具有与充装接口14连通的进口和多个出口，多个出口适于与多个氯硅烷气瓶7一一对应地可拆卸相连。

如图1所示，充装管1的右端设有充装面板，充装面板内设有充装通道，充装通道可以为梳型，即充装通道具有一个进口和多个出口，充装通道的进口与充装管1连通，充装通道的多个出口则用于与氯硅烷气瓶7可拆连接，充装通道的出口形成充装接口14。

优选地，充装阀15有多个，多个充装阀15均设在充装面板上，且多个充装阀15一一对应地控制充装通道各出口的开合。

在一些实施例中，氯硅烷气瓶7通过金属软管73与充装面板连接。

在一些实施例中，氯硅烷充装系统还包括第二加热装置35，第二加热装置35设在氯硅烷储罐3上，用于微波或红外辐射加热氯硅烷储罐3内的氯硅烷液面，氯硅烷储罐3的外周设有夹套32，夹套32具有加热介质通道，加热介质通道具有用于通入加热介质以加热氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷的介质进口34和排出加热介质的介质出口33。

如图3所示，氯硅烷储罐3的外周侧设有夹套32，夹套32设在氯硅烷储罐3的中下部，夹套32内设有加热介质通道，通过加热介质通道可以向夹套32内充入加热介质，加热介质可以与氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷进行热交换，从而实现对液态氯硅烷的加热。

氯硅烷储罐3的顶部还设有第二加热装置35，第二加热装置35位于夹套32的上方，第二加热装置35可以为红外加热器，如图3所示，红外加热器可以为管状，红外加热器密封穿过氯硅烷储罐3，红外加热器水平放置并且至少部分位于氯硅烷储罐3的内部。可以理解的是，在其他一些实施例中，第二加热装置35也可以为微波加热装置。

需要说明的是，氯硅烷储罐3使用时，流入夹套32内的加热介质能够将液态氯硅烷加热至接近沸点的温度，通过调控加热介质的温度实现，然后通过第二加热装置35可以将接近沸点的液态氯硅烷加热并以分子状态逸出气液界面，逸出的气态氯硅烷会流入后续的气液分离装置4处，由此，实现了氯硅烷储罐3内液态氯硅烷的亚沸蒸发，避免了液态氯硅烷沸腾时容易产生大量液滴以及气溶胶携带金属离子、固体颗粒等杂质进入气相中的情况。

优选地，加热介质通道的介质进口34设在夹套32的底部，加热介质通道的介质出口33设在夹套32的顶部。由此，使得氯硅烷储罐3底部的液态氯硅烷的温度略微高于顶部的液态氯硅烷的温度，这样一方面有利于液态氯硅烷的上下对流循环，另一方面液态氯硅烷的顶部保持略低的温度，有利于保障氯硅烷储罐3的亚沸蒸发。

优选地，第二加热装置35有多个且在上下方向上分层设置。如图1和图2所示，第二加热装置35为红外加热管，第二加热装置35共设置有四个，四个第二加热装置35中两两为一组，两组第二加热装置35在上下方向上间隔布置，下方的一组的两个红外加热管沿着前后方向并行间隔布置，上方的一组的两个红外加热管沿着左右方向并行间隔布置。分层的设置有利于保障氯硅烷储罐3顶部气相区的均匀加热。

在一些实施例中，夹套32内设有多个折流板，折流板可以起到引导加热介质流向和减缓流速的作用。

在一些实施例中，氯硅烷储罐3内设有用于检测氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷温度的温度传感器36。如图3所示，温度传感器36设在氯硅烷储罐3的周向罐壁上，温度传感器36密封穿过夹套32并伸入氯硅烷储罐3的罐腔内。通过温度传感器36可以控制器电性连接，温度传感器36可以将采集的温度信号输送给控制器，控制器可以对温度传感器36采集的温度信号分析并根据分析的结果调控夹套32内加热介质的加入和第二加热装置35的工作，由此，可以保证储罐内温度的恒定。

优选地，温度传感器36有多个，多个温度传感器36沿着上下方向间隔布置。由此，能够降低单个温度传感器36的监测误差，保证了温度信号采集的准确性。

在一些实施例中，氯硅烷储罐3的底部设有排液口31，通过排液口31可以将氯硅烷储罐3内的残液排出。

下面描述根据本发明实施例的氯硅烷充装方法。

根据本发明实施例的氯硅烷充装方法包括以下步骤：

步骤1：向充装管1内供入保护气体以清扫充装管1。

具体地，通过保护气源2向充装管1内通入惰性气体，通入的惰性气体可以对充装管1进行吹扫置换。需要说明的是，充入惰性气体时可以在充装管1的一端连接收集容器，通入的惰性气体可以被收集容器回收再利用。

步骤2：对充装管1抽真空。

待保护气源2充入一段时间后，停止向充装管1内充入惰性气体，通过切断保护气源2和充装管1即可，然后利用真空泵6对充装管1抽真空即可。需要说明的是，抽真空时需要将充装管1上的各个阀门关闭，从而使得充装管1内处于相对密封的状态。

步骤3：重复步骤1和步骤2预定次数。

待真空泵6抽取一段时间后，关闭真空泵6，然后再次利用保护气源2向充装管1内通入惰性气体进行吹扫置换，如此反复多次即可。通过多次的抽真空和多次的吹扫置换可以起到稀释充装管1内微量水、微量氧等杂质的作用。

优选地，预定次数为40次，即至少需要抽真空40次和吹扫置换40次。

步骤4：将氯硅烷气瓶7与充装管1的充装接口14连接，并对氯硅烷气瓶7抽真空。

具体地，氯硅烷气瓶7可以利用金属软管73与充装管1上的充装接口14连接，连接完毕后，将氯硅烷气瓶7上的阀门和充装管1上的对应充装阀15打开，由此，可以使氯硅烷气瓶7与充装管1连通，然后利用真空泵6对充装管1和氯硅烷气瓶7抽真空即可。对氯硅烷气瓶7抽真空可以稀释氯硅烷气瓶7中的杂质，从而可以保证充装品质。

优选地，对氯硅烷气瓶7抽真空时保持10Pa的绝对压力。

步骤5：加热氯硅烷储罐3以使氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷亚沸蒸发成气态氯硅烷，以将气态氯硅烷供给到充装管1内。

待对氯硅烷气瓶7抽真空后，利用氯硅烷储罐3的夹套32和第二加热装置35对氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷加热，氯硅烷储罐3内的液态氯硅烷会以气态氯硅烷的形式流入通入充装管1内。

步骤6：利用充装管1上设置地气液分离装置4对供给到充装管1内的气态氯硅烷进行汽液分离。

具体地，从氯硅烷储罐3内流出的气态氯硅烷会流入气液分离装置4内，气液分离装置4会将气态氯硅烷内的液滴分离出，然后通过回流管41回排至氯硅烷储罐3内。

步骤7：利用充装管1上设置地冷却装置5对汽液分离后的气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出液态氯硅烷内的不凝气体。

经过气液分离装置4处理后的气态氯硅烷会流经冷却装置5处，冷却装置5可以对气态氯硅烷进行冷凝降温，由此，气态氯硅烷会冷凝成液态氯硅烷。冷凝降温中的不凝气体则可以通过冷却装置5顶部的不凝气排放口51排出或收集。

步骤8：通过充装管1将液态氯硅烷充装到氯硅烷气瓶7内且在充装完毕后执行步骤1和步骤2预定次数。

具体地，冷却装置5冷凝生成的液态氯硅烷在压差的作用下会被充入至氯硅烷气瓶7内，待氯硅烷气瓶7内充入设定量的液态氯硅烷后，将氯硅烷气瓶7上的阀门关闭即可。

最后，通过保护气源2再次对充装管1多次吹扫置换、通过真空泵6再次对充装管1多次抽真空，由此，可以起到稀释充装管1内氯硅烷的作用，待稀释完成后，将气瓶从充装接口14处拆除即可，从而完成氯硅烷的充装。

在一些实施例中，在步骤2和步骤8中，可以利用真空泵6对充装管1进行负压保压测试，也可以利用保护气源2对充装管1进行正压保压测试。

在一些实施例中，在步骤8中，可以将检测设备与充装后的氯硅烷气瓶7连通，然后通过第一加热装置71将氯硅烷气瓶7内的氯硅烷加热并以气态的形式通入检测设备处。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体地限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种氯硅烷充装系统，其特征在于，包括：

充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；

保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；

气液分离装置，所述气液分离装置设在所述充装管上，所述气液分离装置位于所述氯硅烷进口和所述充装接口之间，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；

真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；

冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。

3.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。

4.根据权利要求3所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括检测设备，所述检测设备与所述氯硅烷气瓶可拆卸地连接，以便所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷由所述第一加热装置加热为气态的氯硅烷并进入所述检测设备内以进行检测。

5.根据权利要求3所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括设在所述充装接口处的充装阀和控制器，所述控制器与所述称重装置和所述充装阀相连以根据所述称重装置的称重值控制所述充装阀。

6.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括充装面板，所述充装面板内具有充装通道，所述充装通道具有与所述充装接口连通的进口和多个出口，多个所述出口适于与多个氯硅烷气瓶一一对应地可拆卸相连。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括第二加热装置，所述第二加热装置设在所述氯硅烷储罐上，用于微波或红外辐射加热所述氯硅烷储罐内的氯硅烷液面，所述氯硅烷储罐的外周设有夹套，所述夹套具有加热介质通道，所述加热介质通道具有用于通入加热介质以加热所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷的介质进口和排出加热介质的介质出口。

8.根据权利要求7所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，所述第二加热装置为红外加热管，所述红外加热管有多个，多个所述红外加热管在上下方向分为多层，每一层红外加热管均包括至少两个平行在水平方向间隔布置的所述红外加热管，且相邻两层中的红外加热管的延伸方向不同。

9.根据权利要求7所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，所述氯硅烷储罐内设有用于检测所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷温度的温度传感器。

10.一种氯硅烷充装方法，其特征在于，包括：

步骤1：向充装管内供入保护气体以清扫所述充装管；

步骤2：对所述充装管抽真空；

步骤3：重复步骤1和步骤2预定次数；

步骤4：将氯硅烷气瓶与所述充装管的充装接口连接，并对所述氯硅烷气瓶抽真空；

步骤5：加热氯硅烷储罐以使所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷亚沸蒸发成气态氯硅烷，以将所述气态氯硅烷供给到所述充装管内；

步骤6：利用所述充装管上设置的气液分离装置对供给到所述充装管内的气态氯硅烷进行汽液分离；

步骤7：利用所述充装管上设置的冷却装置对汽液分离后的气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出液态氯硅烷内的不凝气体；

步骤8：通过所述充装管将所述液态氯硅烷充装到所述氯硅烷气瓶内且在充装完毕后执行步骤1和步骤2预定次数。

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