CN112899626A - 一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，包括用以分别设于平面靶材外侧的上下两端的传动杆和导向杆，以及上下两端分别与所述传动杆和所述导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个所述折叠杆之间装设有防护屏蔽面。上述平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动以带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，折叠结构的形式减小了空间的占用，完全拉开时可起到未工作靶材表面的防护作用，部分拉开时还可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。
Description
技术领域
本发明涉及平面磁控溅射技术领域，特别涉及一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置。
背景技术
磁控溅射技术广泛应用于真空镀膜工艺中，是一种利用磁场在靶表面特定区域增强电离效率和增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射的过程。
在现有的磁控溅射技术中，普遍采用平面靶材的磁场结构。在平面磁控溅射设备、尤其是实验室用平面磁控溅射设备上，同时安装有多种平面靶材。基于实验需求，在工艺过程中并不一定启用所有靶材，未工作的靶材表面如果没有防护措施会受到其它工作靶材的污染。在下一次启用这些靶面受污染的靶材时，首先，需要额外增加更多的预溅射时间来去除这些靶面杂质，给实验带来不必要的时间和资源上的浪费；其次，靶面杂质是否彻底去除并没有一个明确参数指引，给工艺过程中引入不确定性。
现有的防护措施为整块金属板或多块金属板组合在靶前开合实现对靶面的防护，金属板在开启后会离开靶面，停置在平面阴极左右两边或上下两端的区域，从而额外占用很大一部分腔体空间，结构功能单一，开合方式单一，占用空间大，对真空腔体的空间利用以及对平面阴极的升级改造提出了很高的要求，增加了新设备腔体的制造成本和现有设备的改造难度。
因此，如何能够提供一种在解决未工作靶材表面受其它工作靶材污染问题的基础上、节省空间、功能多样的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动以带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，折叠结构的形式减小了空间的占用，完全拉开时可起到未工作靶材表面的防护作用，部分拉开时还可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。
为实现上述目的，本发明提供一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，包括用以分别设于平面靶材外侧的上下两端的传动杆和导向杆，以及上下两端分别与所述传动杆和所述导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个所述折叠杆之间装设有防护屏蔽面。
优选地，所述防护屏蔽面为软帘。
优选地，所述防护屏蔽面为折叠板。
优选地，所述防护屏蔽面的材料为金属。
优选地，所述折叠杆的上下两端分别设有供所述传动杆和所述导向杆穿设的孔。
优选地，所述传动杆设有外螺纹，所述折叠杆设有内螺纹，所述传动杆与所述折叠杆螺纹连接。
优选地，所述传动杆的两端分别设有旋向相反的两组所述外螺纹，所述传动杆的两端分别设有两组所述折叠杆。
优选地，所述传动杆的中部设有与第二传动齿啮合的第一传动齿，所述第二传动齿由传动电机通过传动轴连接。
优选地，所述第一传动齿和所述第二传动齿为斜齿轮。
优选地，所述折叠杆均匀分布。
相对于上述背景技术，本发明所提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置包括设于平面靶材外侧的上端的传动杆以及设于平面靶材外侧的下端的导向杆，在传动杆和导向杆之间设有上下两端分别与传动杆和导向杆滑动连接的多个折叠杆，多个折叠杆之间留有间隙，在多个折叠杆之间装设有防护屏蔽面，在该平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置的操作过程中，多个折叠杆沿传动杆和导向杆滑动，多个折叠杆进一步带动防护屏蔽面铺展拉开或折叠收回，防护屏蔽面在完全铺展拉开时，在平面靶材的外侧完全遮盖，起到防护的作用，避免未工作靶材表面受到其它工作靶材的污染；防护屏蔽面在部分铺展拉开时，在平面靶材的外侧的遮盖面积可调，起到屏蔽的作用，可调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在完全闭合状态下的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在部分闭合状态下的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在完全开启状态下的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置的侧向结构示意图。
其中：
1-第一传动齿、2-第二传动齿、3-传动杆、4-折叠杆、5-防护屏蔽面、6-真空腔体、7-固定片、8-阴极主体、9-平面靶材、10-导向杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。
请参考图1至图4，其中，图1为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在完全闭合状态下的结构示意图，图2为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在部分闭合状态下的结构示意图，图3为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在完全开启状态下的结构示意图，图4为本发明实施例提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置的侧向结构示意图。
在第一种具体的实施方式中，阴极主体8位于真空腔体6中，平面靶材9位于阴极主体8的表面，本发明提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置包括分别设于平面靶材9的靶面的外侧上下两端的传动杆3和导向杆10，传动杆3的两端通过固定片7固定在阴极主体8的上端两边，导向杆10的两端通过固定片7固定在阴极主体8的下端两边，在传动杆3和导向杆10之间装设有多个折叠杆4，折叠杆4的上下两端分别与传动杆3和导向杆10滑动连接，多个折叠杆4之间留有间隙，在相邻的折叠杆4之间装设有防护屏蔽面5。
在本实施例中，传动杆3和导向杆10相互平行，二者作为限定轨道使得折叠杆4沿传动杆3和导向杆10的延伸方向滑动，在折叠杆4的滑动作用下，进一步带动防护屏蔽面5铺展拉开或折叠收回。换句话说，多个折叠杆4与防护屏蔽面5组合并在传动杆3和导向杆10之间构成折叠防护屏蔽机构。
需要特别说明的是，不同于现有技术中单一结构的单一方式，该折叠防护屏蔽机构具有防护以及屏蔽的多种功能。在防护的方式中，防护屏蔽面5完全铺展拉开，在平面靶材9的外侧完全遮盖；在屏蔽的方式中，防护屏蔽面5部分铺展拉开，在平面靶材9的外侧的遮盖面积可调。其中，本发明在以折叠防护屏蔽机构改进现有的防护方式、在有效避免未工作靶材表面受到其它工作靶材的污染的基础上有效节省真空腔体6内占用空间的同时，还能够起到实验中的屏蔽装置的作用，可控制折叠防护屏蔽机构以调节靶材的溅射速率和溅射区域等重要参数，对工艺改善和升级提供新的思路。
需要说明的是，为了组成可折叠的折叠防护屏蔽机构，防护屏蔽面5可采用百叶窗形式中的折叠板，折叠杆4正向滑动时折叠板以百叶窗的形式展开，相邻的折叠板的边缘靠近；折叠杆4反向滑动时折叠板以百叶窗的形式折叠，相邻的折叠板的板面靠近。
除此以外，防护屏蔽面5还可以采用其他的结构形式，应包括但不限于上述百叶窗形式的折叠板。
示例性的，防护屏蔽面5为软帘，软帘的折叠能力更强，折叠前后所占的空间更小，能够进一步提升折叠防护屏蔽机构的使用效果。
在此基础上，防护屏蔽面5以物理阻挡的方式实现屏蔽作用的同时，进一步采用抑制靶面起辉的方式实现屏蔽作用。在本实施例中，防护屏蔽面5应采用耐用的导电材料，当接地良好的导体材料作为阳极，在靠近溅射的阴极靶面时，由于阴阳极之间的间距急剧缩减，阴极靶面的起辉会减弱甚至消失，防护屏蔽面5选用可导电材料安装在平面阴极的阳罩上变为阳极，通过上述原理抑制靶面起辉实现屏蔽作用。
示例性的，防护屏蔽面5的材料选用包括但不限于金属，对于其他能够提高使用寿命和防护屏蔽效果的导电材料同应属于本实施例的说明范围。
示例性的，防护屏蔽面5为金属丝编织软帘，金属丝编织软帘也称金属帘，由铝丝、铜丝或不锈钢丝等编织。
需要说明的是，在折叠杆4的滑动形式中，可在传动杆3的下侧以及导向杆10的上侧设置滑轨，折叠杆4与传动杆3和导向杆10以滑轮滑轨的形式滑动连接，也可采用其他的滑动形式，同应属于本实施例的说明范围。
示例性的，折叠杆4的上下两端分别套住传动杆3和导向杆10以达到滑动连接的效果，更具体地说，折叠杆4的上下两端分别设有供传动杆3和导向杆10穿设的孔。
为了更好的技术效果，在折叠杆4下端的孔中装设有滚珠，导向杆10通过滚珠套在折叠杆4下端的孔中，使得折叠杆4与导向杆10之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，摩擦力减少，保证折叠杆4在导向杆10上运动顺畅，使导向杆10只起到支撑和导向的作用，而不会妨碍折叠杆4的运动。
在一种具体的实施方式中，固定片7通过四根螺丝固定，阴极主体8的上端两边的固定片7设有圆孔，传动杆3的两端通过固定轴承装设在固定片7的圆孔中，传动杆3轴向固定且可绕轴转动。更具体的，传动杆3为螺纹杆，螺纹杆设有外螺纹，折叠杆4上端的孔设有内螺纹，折叠杆4套住传动杆3并且二者螺纹连接，通过转动传动杆3，进一步在螺纹传递的作用下折叠杆4沿传动杆3滑动。
在此基础上，折叠防护屏蔽机构的数量为两组，两组折叠防护屏蔽机构均包括多个折叠杆4，也就是说，两组折叠杆4分别设置在传动杆3的两端，传动杆3两端的外螺纹旋向相反，两组折叠杆4的内螺纹同样相反，当传动杆3正向转动时，两组折叠杆4分别在传动杆3的两端相向滑动，两组防护屏蔽面5由两端向中间同时铺展拉开，最终起到防护或屏蔽的作用；当传动杆3反向转动时，两组折叠杆4分别在传动杆3的中间相背滑动，两组防护屏蔽面5由中间向两端同时折叠收回。
为了更好的技术效果，设置驱动机构以带动折叠防护屏蔽机构自动铺展或折叠。具体而言，传动电机设置在真空腔体6之外，传动电机通过传动轴连接第二传动齿2，第二传动齿2与设置在传动杆3中部的第一传动齿1啮合，在传动电机通过传动轴驱动第二传动齿2转动时，第二传动齿2带动第一传动齿1转动，实现传动杆3的转动以及折叠杆4的滑动。换句话说，防护屏蔽面5的开启或关闭受伺服或步进电机驱动控制，实现防护屏蔽面5在靶面前开关位置的高精度和高重复性控制，以满足工艺调节的参数采用要求。
其中，第一传动齿1和第二传动齿2的设置形式包括但不限于斜齿轮，斜齿轮具有传动平稳、冲击小、振动小和噪声小的特点，对于其他齿轮形式的设置方式同应属于本实施例的说明范围。
示例性的，第一传动齿1位于传动杆3的正中间，传动杆3两边的两组折叠杆4对称，每一边的一组折叠杆4均匀分布。
在本实施例中，折叠杆4与传动杆3的螺纹连接具有多种形式以满足传动杆3对折叠杆4的运动驱动。
在第一种具体的形式中，折叠杆4的孔均设有内螺纹，传动杆3设有外螺纹的端部的最外端一段可不设置螺纹，也就是说传动杆3最外端的第一段不设置螺纹，传动杆3邻近最外端的第二段设置外螺纹。在折叠杆4的滑动折叠过程中，第一个折叠杆4在传动杆3的转动作用下由第二段滑至与第一段交界处，在第二个折叠杆4滑动至与第一个折叠杆4相同的位置时第一个折叠杆4被推入第一段，此时第一个折叠杆4和第二个折叠杆4相靠近或贴合，实现第一个折叠杆4和第二个折叠杆4之间的防护屏蔽面5的折叠，以此规律，第三个折叠杆4推动第二个折叠杆4滑入第一段，最终，多个折叠杆4完成折叠。为了便于全部折叠杆4折叠后的再次铺展，最后一个折叠杆4应止动在第二段的螺纹尾端，使得传动杆3转动时，最后一个折叠杆4由端部向中间滑动，最后一个折叠杆4与相邻的折叠杆4之间的防护屏蔽面5铺展，以拉动相邻的折叠杆4重新套在第二段的螺纹尾端，以此规律，多个折叠杆4完成铺展。
在第二种具体的形式中，传动杆3的长度方向均设有外螺纹，每组折叠杆4中、只有最内侧一根折叠杆4的孔设有与传动杆3连接的内螺纹，其余折叠杆4的孔均为普通圆孔，最外侧一根折叠杆4固定在传动杆3的最外端边缘，当传动杆3转动时，最内侧的折叠杆4在螺纹的连接关系下沿传动杆3运动，其余的折叠杆4被动受到最内侧的折叠杆4的推拉开始运动，实现保护装置的开启和闭合。
综上，该平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置在靶材工作时完全打开或者开启到指定大小，不影响靶材的溅射或者作为靶材溅射时的调节参数。在靶材不工作时关闭，对靶表面提供防护作用，防止被其它工作的靶材所污染。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二之类的关系术语仅仅用来将一个实体与另外几个实体区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上对本发明所提供的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
Claims (10)
1.一种平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，包括用以分别设于平面靶材(9)外侧的上下两端的传动杆(3)和导向杆(10)，以及上下两端分别与所述传动杆(3)和所述导向杆(10)滑动连接的多个折叠杆(4)，多个所述折叠杆(4)之间装设有防护屏蔽面(5)。
2.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)为软帘。
3.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)为折叠板。
4.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述防护屏蔽面(5)的材料为金属。
5.根据权利要求1所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述折叠杆(4)的上下两端分别设有供所述传动杆(3)和所述导向杆(10)穿设的孔。
6.根据权利要求5所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)设有外螺纹，所述折叠杆(4)设有内螺纹，所述传动杆(3)与所述折叠杆(4)螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)的两端分别设有旋向相反的两组所述外螺纹，所述传动杆(3)的两端分别设有两组所述折叠杆(4)。
8.根据权利要求6所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述传动杆(3)的中部设有与第二传动齿(2)啮合的第一传动齿(1)，所述第二传动齿(2)由传动电机通过传动轴连接。
9.根据权利要求8所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述第一传动齿(1)和所述第二传动齿(2)为斜齿轮。
10.根据权利要求1至9任一项所述的平面磁控溅射阴极靶面防护屏蔽装置，其特征在于，所述折叠杆(4)均匀分布。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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