CN112853273A - 一种柔性amoled掩模版表面镀膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架。通过按压板向下运动，磁性相吸的第一磁性套和第二磁性套，使第一磁性块与第二磁性块靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板与基板紧贴，通过蒸镀源对掩模版和基板进行蒸镀处理，本装置通过按压板、第一磁性块、第二磁性块的装置的联合设置，使按压板与基板进行更好的贴合，方便进行镀膜处理，避免基板与掩模板在加工时的变形。

Description

一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备
技术领域
本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备。
背景技术
随着移动通信技术的发展，手机功能有了极大发展，同时智能手机发展趋向于大屏化，而过大的屏幕会影响手机的便携性能，故设计可折叠型智能手机在移动通讯领域引起了极大关注。AMOLED是有源矩阵有机发光二极体面板。相比传统的液晶面板，AMOLED具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。掩模版(mask)简称掩模，是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上。掩模的性能直接决定了光刻工艺的质量。
现有镀膜设备中，由于金属掩模板和基板比较薄，一般只有几十微米厚，很容易发生形变，因而在实际使用中不可避免的会导致其与待蒸镀基板贴合的不紧，从而使得在蒸镀有机发光材料时，不能形成正确的图案，且现有的镀膜装置不方便对装置表面的灰尘进行清洁，从而影响镀膜效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，以解决上述背景技术中提出现有的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备在使用过程中，由于金属掩模板比较薄，镀膜装置不方便对装置表面的灰尘进行清洁，从而影响镀膜效果的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室、固定装置和除尘装置，所述蒸镀腔室的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁固定连接有滑动块，所述滑动块的顶部外壁固定连接有蒸镀源，所述蒸镀腔室的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架，所述掩模版支撑架的顶部外壁设置有掩模版，所述蒸镀腔室的两侧内壁且位于掩模版支撑架的上方固定连接有基板支撑架，所述基板支撑架的一侧外壁固定连接有支撑板，所述基板支撑架的一侧外壁且位于支撑板的上方固定连接有支撑箱，所述支撑箱的内壁设置有基板，所述支撑箱的内壁滑动连接有按压板。
所述固定装置包括第一磁性块与第二磁性块，所述第一磁性块与第二磁性块的外壁之间固定连接有弹簧，所述第一磁性块的底部外壁活动连接有第一活动杆与第二活动杆，所述第一活动杆与第二活动杆交叉活动连接，所述第一活动杆与第二活动杆的外壁均套接有第一磁性套和第二磁性套。
优选的，所述除尘装置包括除尘箱，所述除尘箱的底部外壁与蒸镀腔室的顶部外壁固定连接，所述除尘箱的底部外壁固定连接有除尘管，所述除尘管的两侧外壁均活动连接有连接管。
优选的，所述第一磁性块的顶部外壁与支撑箱的内壁顶部固定连接，所述第二磁性块的底部外壁与按压板的顶部外壁固定连接。
优选的，所述第一磁性块与第二磁性块的外壁磁性相斥，所述第一磁性套与第二磁性套磁性相吸。
优选的，所述第二磁性块的两侧外壁均开设有与第一活动杆和第二活动杆相适配的活动孔。
优选的，所述连接管远离除尘管的一端固定连接有风筒，所述风筒的外壁开设有出风口。
优选的，所述除尘管的两侧外壁均固定连接有伸缩推杆，所述伸缩推杆远离除尘管的一端与连接管的外壁活动连接。
优选的，所述蒸镀腔室的内壁开设有滑槽，所述滑动块的底部外壁通过滑槽与蒸镀腔室的底部内壁滑动连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、通过将基板放置在支撑箱内，通过按压板对基板进行进一步的固定，通过固定装置的设置，使按压板更好的对基板进行更好的固定，通过第一磁性块与第二磁性块的磁性相斥设置，使第二磁性块向下运动，进而带动按压板向下运动，磁性相吸的第一磁性套和第二磁性套，使第一磁性块与第二磁性块靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板与基板紧贴，通过蒸镀源对掩模版和基板进行蒸镀处理，本装置通过按压板、第一磁性块、第二磁性块的装置的联合设置，使按压板与基板进行更好的贴合，方便进行镀膜处理，避免基板与掩模板在加工时的变形。
2、通过启动除尘箱内部的装置，使风通过除尘管和连接管，进而通过风筒吹出，通过启动伸缩推杆，带动连接管运动，进而使除尘效果更佳，本装置通过除尘装置的设置，方便对基板表面的灰尘进行清洁，从而方便更好的进行镀膜。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图；
图2为本发明的基板支撑架结构示意图；
图3为本发明的固定装置处结构示意图；
图4为本发明的除尘装置处结构示意图。
图中：1、蒸镀腔室；2、螺纹杆；3、滑动块；4、蒸镀源；5、掩模版支撑架；6、掩模版；7、基板支撑架；8、支撑板；9、支撑箱；10、基板；11、按压板；12、固定装置；121、第一磁性块；122、第二磁性块；123、弹簧；124、第一活动杆；125、第二活动杆；126、第一磁性套；127、第二磁性套；128、活动孔；13、除尘装置；131、除尘箱；132、除尘管；133、连接管；134、风筒；135、伸缩推杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室1、固定装置12和除尘装置13，蒸镀腔室1的一侧外壁固定连接有电机，电机的输出轴固定连接有螺纹杆2，螺纹杆2的外壁固定连接有滑动块3，滑动块3的顶部外壁固定连接有蒸镀源4，蒸镀腔室1的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架5，掩模版支撑架5的顶部外壁设置有掩模版6，蒸镀腔室1的两侧内壁且位于掩模版支撑架5的上方固定连接有基板支撑架7，基板支撑架7的一侧外壁固定连接有支撑板8，基板支撑架7的一侧外壁且位于支撑板8的上方固定连接有支撑箱9，支撑箱9的内壁设置有基板10，支撑箱9的内壁滑动连接有按压板11，固定装置12包括第一磁性块121与第二磁性块122，第一磁性块121与第二磁性块122的外壁之间固定连接有弹簧123，第一磁性块121的底部外壁活动连接有第一活动杆124与第二活动杆125，第一活动杆124与第二活动杆125交叉活动连接，第一活动杆124与第二活动杆125的外壁均套接有第一磁性套126和第二磁性套127。
本实施方案中，通过将基板10放置在支撑箱9内，通过按压板11对基板10进行进一步的固定，通过固定装置12的设置，使按压板11更好的对基板10进行更好的固定，通过第一磁性块121与第二磁性块122的磁性相斥设置，使第二磁性块122向下运动，进而带动按压板11向下运动，磁性相吸的第一磁性套126和第二磁性套127，使第一磁性块121与第二磁性块122靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板11与基板10紧贴，通过蒸镀源4对掩模版6和基板10进行蒸镀处理。
具体的，除尘装置13包括除尘箱131，除尘箱131的底部外壁与蒸镀腔室1的顶部外壁固定连接，除尘箱131的底部外壁固定连接有除尘管132，除尘管132的两侧外壁均活动连接有连接管133。
在本实施例中，通过启动除尘箱131内部的装置，使风通过除尘管132和连接管133，进而通过风筒134吹出，通过启动伸缩推杆135，带动连接管133运动，进而使除尘效果更佳。
具体的，第一磁性块121的顶部外壁与支撑箱9的内壁顶部固定连接，第二磁性块122的底部外壁与按压板11的顶部外壁固定连接。
在本实施例中，支撑箱9的内壁顶部为第一磁性块121的安装提供条件，按压板11的顶部外壁为第二磁性块122的安装提供条件。
具体的，第一磁性块121与第二磁性块122的外壁磁性相斥，第一磁性套126与第二磁性套127磁性相吸。
在本实施例中，通过第一磁性块121与第二磁性块122的相斥，使第二磁性块122带动按压板11与基板10更好的贴合，第一磁性套126和第二磁性套127，使第一磁性块121与第二磁性块122靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板11与基板10紧贴。
具体的，第二磁性块122的两侧外壁均开设有与第一活动杆124和第二活动杆125相适配的活动孔128。
在本实施例中，通过活动孔128的设置，方便第一活动杆124与第二活动杆125的运动，为其运动提供空间。
具体的，连接管133远离除尘管132的一端固定连接有风筒134，风筒134的外壁开设有出风口。
在本实施例中，通过多个出风口的设置，使风筒134内的风可以更好的细化吹出。
具体的，除尘管132的两侧外壁均固定连接有伸缩推杆135，伸缩推杆135远离除尘管132的一端与连接管133的外壁活动连接。
在本实施例中，通过伸缩推杆135的伸缩运动，带动除尘管132运动，进而带动除尘管132与风筒134发生角度的变化，使除尘出风效果更好。
具体的，蒸镀腔室1的内壁开设有滑槽，滑动块3的底部外壁通过滑槽与蒸镀腔室1的底部内壁滑动连接。
在本实施例中，通过滑槽的设置，使螺纹杆2转动时不会滑动块3转动，滑动块3左右运动。
本发明的工作原理及使用流程：使用时，通过将基板10放置在支撑箱9内，通过按压板11对基板10进行进一步的固定，通过固定装置12的设置，使按压板11更好的对基板10进行更好的固定，通过第一磁性块121与第二磁性块122的磁性相斥设置，使第二磁性块122向下运动，进而带动按压板11向下运动，磁性相吸的第一磁性套126和第二磁性套127，使第一磁性块121与第二磁性块122靠近，进而加速两个磁性块的排斥，使按压板11与基板10紧贴，通过蒸镀源4对掩模版6和基板10进行蒸镀处理；通过启动除尘箱131内部的装置，使风通过除尘管132和连接管133，进而通过风筒134吹出，通过启动伸缩推杆135，带动连接管133运动，进而使除尘效果更佳。
尽管已经表示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，包括蒸镀腔室(1)、固定装置(12)和除尘装置(13)，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的一侧外壁固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的外壁固定连接有滑动块(3)，所述滑动块(3)的顶部外壁固定连接有蒸镀源(4)，所述蒸镀腔室(1)的内壁两侧均固定连接有掩模版支撑架(5)，所述掩模版支撑架(5)的顶部外壁设置有掩模版(6)，所述蒸镀腔室(1)的两侧内壁且位于掩模版支撑架(5)的上方固定连接有基板支撑架(7)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁固定连接有支撑板(8)，所述基板支撑架(7)的一侧外壁且位于支撑板(8)的上方固定连接有支撑箱(9)，所述支撑箱(9)的内壁设置有基板(10)，所述支撑箱(9)的内壁滑动连接有按压板(11)；
所述固定装置(12)包括第一磁性块(121)与第二磁性块(122)，所述第一磁性块(121)与第二磁性块(122)的外壁之间固定连接有弹簧(123)，所述第一磁性块(121)的底部外壁活动连接有第一活动杆(124)与第二活动杆(125)，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)交叉活动连接，所述第一活动杆(124)与第二活动杆(125)的外壁均套接有第一磁性套(126)和第二磁性套(127)。
2.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述除尘装置(13)包括除尘箱(131)，所述除尘箱(131)的底部外壁与蒸镀腔室(1)的顶部外壁固定连接，所述除尘箱(131)的底部外壁固定连接有除尘管(132)，所述除尘管(132)的两侧外壁均活动连接有连接管(133)。
3.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述第一磁性块(121)的顶部外壁与支撑箱(9)的内壁顶部固定连接，所述第二磁性块(122)的底部外壁与按压板(11)的顶部外壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述第一磁性块(121)与第二磁性块(122)的外壁磁性相斥，所述第一磁性套(126)与第二磁性套(127)磁性相吸。
5.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述第二磁性块(122)的两侧外壁均开设有与第一活动杆(124)和第二活动杆(125)相适配的活动孔(128)。
6.根据权利要求2所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述连接管(133)远离除尘管(132)的一端固定连接有风筒(134)，所述风筒(134)的外壁开设有出风口。
7.根据权利要求2所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述除尘管(132)的两侧外壁均固定连接有伸缩推杆(135)，所述伸缩推杆(135)远离除尘管(132)的一端与连接管(133)的外壁活动连接。
8.根据权利要求1所述的一种柔性AMOLED掩模版表面镀膜设备，其特征在于：所述蒸镀腔室(1)的内壁开设有滑槽，所述滑动块(3)的底部外壁通过滑槽与蒸镀腔室(1)的底部内壁滑动连接。
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